JP7075242B2 - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、被加工物Wの表面WaのデバイスDが形成された領域を表面保護部材1で覆う。本実施形態に示す表面保護部材1は、粘着性を有し、かつ、被加工物Wと略同径の大きさを有している。また、表面保護部材1は、例えば、ポリオレフィンやポリ塩化ビニル等なる基材に粘着材が積層された粘着テープであることが好ましい。表面保護部材1を被加工物Wの表面Waに貼着して、その表面Waの全面を覆うことにより、各デバイスDが保護される。表面保護部材1が粘着テープにより構成されているため、表面保護ステップを容易に実施可能となる。表面保護ステップは、図示していないが、例えば、粘着テープを被加工物Wの表面Waに貼着するテープ貼り機において実施される。
図2に示すように、被加工物Wに貼着された表面保護部材1側から加熱部材2の上に載置して、表面保護部材1を加熱する。加熱部材2は、例えば赤外線ヒータからなる。加熱部材2では、表面保護部材1を例えば80℃で1分間程度加熱することにより、表面保護部材1の粘着材を硬化収縮させる。これにより、表面保護部材1の粘着材が硬くなることから、後述する裏面研削ステップを実施するときに、研削時の応力の影響を小さくして隣り合うチップの動きを抑制することができる。加熱部材2は、表面保護部材1に温風を噴射して粘着材を加温させるヒータで構成してもよい。保護部材加熱ステップは、上記したテープ貼り機内で実施してもよいし、後記のレーザ加工装置3内で実施してもよい。
次いで、図3(a)に示すレーザ加工装置3に被加工物Wを搬送し、レーザ加工によって被加工物Wの内部に変質層Mを形成する。レーザ加工装置3は、被加工物Wを保持する保持テーブル30と、保持テーブル30の上方側に配設されたレーザ加工手段31とを少なくとも備えている。保持テーブル30の上面は、図示しない吸引源からの吸引作用を受けて被加工物Wを吸引保持する保持面30aとなっている。保持テーブル30の下方には、保持テーブル30とレーザ加工手段31とを鉛直方向と直交する水平方向(X軸方向及びY軸方向)に相対移動させる移動手段が接続されている。
次に、図4(a)に示す研削装置4を用いて、被加工物Wの裏面Wbを研削してチップの仕上がり厚さに形成する。研削装置4は、被加工物Wを保持する保持テーブル40と、保持テーブル40を回転させる回転手段41と、保持テーブル40に保持された被加工物Wに対して研削を施す研削手段42とを備えている。保持テーブル40の上面は、図示しない吸引源からの吸引作用を受けて被加工物Wを吸引保持する保持面40aとなっている。
図5(a)に示すように、例えば拡張装置5を用いて、被加工物Wを個々のチップCに分割するとともにチップ間隔を拡張させる。拡張装置5は、被加工物Wを下方から支持する支持テーブル50と、支持テーブル50の外周側に配設され中央に開口を有するフレームFが載置されるフレーム載置台51と、フレーム載置台51に載置されたフレームFをクランプするクランプ部52と、フレーム載置台51の下部に連結されフレーム載置台51を上下方向に昇降させる昇降手段53とを備えている。昇降手段53は、シリンダ53aと、シリンダ53aにより昇降駆動されるピストン53bとにより構成され、ピストン53bが上下に移動することにより、フレーム載置台51を昇降させることができる。
31:レーザ加工手段 32:レーザヘッド 33:ケーシング 34:撮像手段
4:研削装置 40:保持テーブル 41:回転手段 42:研削手段
43:スピンドル 44:マウント 45:研削ホイール 46:研削砥石
5:拡張装置 50:支持テーブル 51:フレーム載置台
52:クランプ部 53:昇降手段 53a:シリンダ 53b:ピストン
6:亀裂 7:チップ間隔
Claims (2)
- 表面に格子状に形成された分割予定ラインによって区画された領域に機能素子が形成された被加工物を、分割予定ラインに沿って個々のチップに分割する被加工物の加工方法であって、
該被加工物の表面の該機能素子が形成された領域を表面保護部材で覆う表面保護ステップと、
該表面保護部材の粘着材を硬化収縮させる保護部材加熱ステップと、
該被加工物の裏面側から分割予定ラインに沿って該被加工物に対して透過性を有するレーザ光線を照射し、チップの仕上がり厚さに相当する位置より裏面側に変質層を形成する変質層形成ステップと、
変質層の形成された被加工物の裏面を研削し、チップの仕上がり厚さに形成する裏面研削ステップと、
該被加工物を個々のチップに分割するとともにチップ間隔を拡張させる保護部材拡張ステップと、を含み、
変質層形成ステップの実施前の保護部材加熱ステップで該表面保護部材の該粘着材を硬化収縮させることで、該裏面研削ステップでチップ分割が完全にされない未分割領域が被加工物に形成されることを特徴とする被加工物の加工方法。 - 前記表面保護部材は、粘着テープであることを特徴とする請求項1記載の被加工物の加工方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018034805A JP7075242B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 被加工物の加工方法 |
KR1020190008592A KR102586315B1 (ko) | 2018-02-28 | 2019-01-23 | 피가공물의 가공 방법 |
CN201910128396.0A CN110211926B (zh) | 2018-02-28 | 2019-02-21 | 被加工物的加工方法 |
TW108106378A TWI787471B (zh) | 2018-02-28 | 2019-02-25 | 工件加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018034805A JP7075242B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 被加工物の加工方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019149518A JP2019149518A (ja) | 2019-09-05 |
JP7075242B2 true JP7075242B2 (ja) | 2022-05-25 |
Family
ID=67784982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018034805A Active JP7075242B2 (ja) | 2018-02-28 | 2018-02-28 | 被加工物の加工方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7075242B2 (ja) |
KR (1) | KR102586315B1 (ja) |
CN (1) | CN110211926B (ja) |
TW (1) | TWI787471B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI734549B (zh) * | 2020-07-06 | 2021-07-21 | 荌益國際有限公司 | 基板移轉方法及裝置 |
CN115319563B (zh) * | 2022-08-30 | 2024-01-19 | 上海积塔半导体有限公司 | 固定装置和芯片打磨方法 |
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JP2015149444A (ja) | 2014-02-07 | 2015-08-20 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2016115800A (ja) | 2014-12-15 | 2016-06-23 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS4733934U (ja) | 1971-05-15 | 1972-12-15 | ||
JP2005223283A (ja) * | 2004-02-09 | 2005-08-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの分割方法 |
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JP6295154B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2018-03-14 | 株式会社ディスコ | ウェーハの分割方法 |
JP2016119370A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP6456766B2 (ja) * | 2015-05-08 | 2019-01-23 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP6523882B2 (ja) * | 2015-09-02 | 2019-06-05 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2017054843A (ja) * | 2015-09-07 | 2017-03-16 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
-
2018
- 2018-02-28 JP JP2018034805A patent/JP7075242B2/ja active Active
-
2019
- 2019-01-23 KR KR1020190008592A patent/KR102586315B1/ko active IP Right Grant
- 2019-02-21 CN CN201910128396.0A patent/CN110211926B/zh active Active
- 2019-02-25 TW TW108106378A patent/TWI787471B/zh active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102586315B1 (ko) | 2023-10-06 |
TW201937578A (zh) | 2019-09-16 |
JP2019149518A (ja) | 2019-09-05 |
TWI787471B (zh) | 2022-12-21 |
CN110211926B (zh) | 2024-02-09 |
CN110211926A (zh) | 2019-09-06 |
KR20190103942A (ko) | 2019-09-05 |
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A621 | Written request for application examination |
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