JP6506520B2 - SiCのスライス方法 - Google Patents
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Description
このように、最初に形成した分離層から入射側の端面に向けてレーザー光線の集光点を移動させていくため、SiCインゴットにレーザー光線を入射しやすくするための端面の鏡面加工の回数を低減することができ、SiCインゴットから複数枚のSiC板を効率よく切り出すことができる。
図1に示すように、レーザー照射手段10によってSiCインゴット1の内部に分離起点となる分離層を形成する。レーザー照射手段10は、SiCに対して透過性を有する波長のレーザー光線を発振するレーザー発振部11と、レーザー発振部11の下方側に配設されレーザー光線をSiCインゴット1の内部の所定位置に集光させる集光器12と、を少なくとも備えている。
初期分離層形成工程を実施した後、図3に示すように、初期分離層形成工程で形成した分離層5と同様の分離層を第1インゴット1aの内部に複数形成する。具体的には、図3(a)に示すように、レーザー照射手段10は、レーザー光線13の集光点Pを分離層5からSiCインゴット1の端面2側に所定の距離だけ移動させる。所定の距離とは、第1インゴット1aをスライスして得ようとする1枚のSiC板の厚みDと同じ距離を意味する。SiC板の厚みDは、例えば1mmに設定されている。
繰返し工程を実施した後、図4に示す剥離手段20を用いて、繰返し工程によって形成された複数の分離層5に外力(例えば、接着力や押圧力)を加えて分離層5を起点に分離させ第1インゴット1aからSiC板6を得る。剥離手段20は、SiCインゴット1が載置される載置台21と、載置台21の上面に立設された立設基台22とを備えている。載置台21には、SiCインゴット1を保持するための保持ブロック23が配設されており、SiCインゴット1を保持して固定することができる。また、載置台21の内部には、回転手段24が埋設されており、SiCインゴット1を所定の方向に回転させることができる。
分離工程を実施した後、図7に示す第2インゴット1bの端面3には、凹凸が形成されているため、例えば研削手段30を用いて端面3に対して所望の研削加工を行う。研削手段30は、回転可能なスピンドル31と、スピンドル31の下端にマウント32を介して装着された研削ホイール33と、研削ホイール33の下部に環状に固着された砥石34とを少なくとも備えている。
2,3:端面 4:分離予定面 5:分離層 6:SiC板 7:加工面
10:レーザー照射手段 11:レーザー発振器 12:集光器 13:レーザー光線
20:剥離手段 21:載置台 22:立設基台 23:保持ブロック 24:回転手段
25:昇降手段 250:ボールネジ 251:モータ 252:昇降部
26:保持部 260:供給孔
27:接着剤供給源 28:接着剤
30:研削手段 31:スピンドル 32:マウント 33:研削ホイール 34:砥石
40:液体供給部 41:液体 42:液面
Claims (2)
- SiCに対して透過性を有する波長のレーザー光線をSiCインゴットの端面から入射させ集光器でSiCの内部に集光させた集光点を該端面に平行な分離予定面に沿って面状に走査させて分離層を形成し、該分離層で分離させることによりSiC板を得るSiCのスライス方法であって、
該集光点を該分離予定面に沿って該端面に平行に走査させ、該端面から離間した深さ位置に該分離層を形成する初期分離層形成工程と、
該初期分離層形成工程の後、該集光点を、該分離層から該端面側に向けて該SiC板の厚みと同じ距離ずつ順次移動させ、該端面に平行に走査させ、該分離層の形成を繰返し行い複数の該分離層を形成する繰返し工程と、
該繰返し工程の後、該繰返し工程によって形成された複数の該分離層に外力を与えて該分離層を起点にSiC板を分離して複数枚のSiC板を取得する分離工程と、
該初期分離層形成工程で形成し該分離工程の後に残存した分離層をレーザー光線の入射を可能とする面に形成する表面処理工程と、
を備え、
該分離工程では、該SiCインゴットの側面部分に押圧力を加えることにより、該初期分離層形成工程及び該繰返し工程で形成した分離層を分離させ、
該表面処理工程では、該初期分離層形成工程で形成し該分離工程の後に残存した分離層に液体を滴下して平坦な液面を形成する
SiCのスライス方法。 - SiCに対して透過性を有する波長のレーザー光線をSiCインゴットの端面から入射させ集光器でSiCの内部に集光させた集光点を該端面に平行な分離予定面に沿って面状に走査させて分離層を形成し、該分離層で分離させることによりSiC板を得るSiCのスライス方法であって、
該集光点を該分離予定面に沿って該端面に平行に走査させ、該端面から離間した深さ位置に該分離層を形成する初期分離層形成工程と、
該初期分離層形成工程の後、該集光点を、該分離層から該端面側に向けて該SiC板の厚みと同じ距離ずつ順次移動させ、該端面に平行に走査させ、該分離層の形成を繰返し行い複数の該分離層を形成する繰返し工程と、
該繰返し工程の後、該繰返し工程によって形成された複数の該分離層に外力を与えて該分離層を起点にSiC板を分離して複数枚のSiC板を取得する分離工程と、
該初期分離層形成工程で形成し該分離工程の後に残存した分離層をレーザー光線の入射を可能とする面に形成する表面処理工程と、
を備え、
該分離工程では、該SiCインゴットを回転させながら、該SiC板を上昇させて、該初期分離層形成工程及び該繰返し工程で形成した分離層を分離させ、
該表面処理工程では、該初期分離層形成工程で形成し該分離工程の後に残存した分離層に液体を滴下して平坦な液面を形成する
SiCのスライス方法。
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Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6478821B2 (ja) * | 2015-06-05 | 2019-03-06 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
CN105436710B (zh) * | 2015-12-30 | 2019-03-05 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种硅晶圆的激光剥离方法 |
KR102388994B1 (ko) | 2016-03-22 | 2022-04-22 | 실텍트라 게엠베하 | 분리될 고형체의 결합된 레이저 처리 방법 |
JP6669594B2 (ja) * | 2016-06-02 | 2020-03-18 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法 |
JP6723877B2 (ja) * | 2016-08-29 | 2020-07-15 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成方法 |
EP3551373A1 (de) | 2016-12-12 | 2019-10-16 | Siltectra GmbH | Verfahren zum dünnen von mit bauteilen versehenen festkörperschichten |
CN108213745B (zh) * | 2016-12-16 | 2020-01-24 | 上海新昇半导体科技有限公司 | SiC晶体切片移动设备及移动方法 |
DE102017205635A1 (de) | 2017-04-03 | 2018-10-04 | 3D-Micromac Ag | Verfahren und Fertigungssystem zur Herstellung mikroelektronischer Komponenten mit Schichtaufbau |
JP6935224B2 (ja) * | 2017-04-25 | 2021-09-15 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法 |
WO2018235843A1 (ja) | 2017-06-19 | 2018-12-27 | ローム株式会社 | 半導体装置の製造方法およびウエハ貼着構造体 |
JP6976745B2 (ja) * | 2017-06-30 | 2021-12-08 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成装置 |
JP7231548B2 (ja) * | 2017-09-04 | 2023-03-01 | リンテック株式会社 | 薄型化板状部材の製造方法、及び製造装置 |
JP6946153B2 (ja) * | 2017-11-16 | 2021-10-06 | 株式会社ディスコ | ウエーハの生成方法およびウエーハ生成装置 |
JP6976828B2 (ja) * | 2017-11-24 | 2021-12-08 | 株式会社ディスコ | 剥離装置 |
JP7009194B2 (ja) * | 2017-12-12 | 2022-01-25 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成装置および搬送トレー |
TWI735924B (zh) * | 2018-07-26 | 2021-08-11 | 美商荷諾工業股份有限公司 | 用於材料裂解中受控制的裂痕擴展之入射輻射引發的次表面損傷 |
US10940611B2 (en) | 2018-07-26 | 2021-03-09 | Halo Industries, Inc. | Incident radiation induced subsurface damage for controlled crack propagation in material cleavage |
JP7327920B2 (ja) * | 2018-09-28 | 2023-08-16 | 株式会社ディスコ | ダイヤモンド基板生成方法 |
JP7164396B2 (ja) * | 2018-10-29 | 2022-11-01 | 株式会社ディスコ | ウエーハ生成装置 |
US10576585B1 (en) | 2018-12-29 | 2020-03-03 | Cree, Inc. | Laser-assisted method for parting crystalline material |
US10562130B1 (en) | 2018-12-29 | 2020-02-18 | Cree, Inc. | Laser-assisted method for parting crystalline material |
US11024501B2 (en) | 2018-12-29 | 2021-06-01 | Cree, Inc. | Carrier-assisted method for parting crystalline material along laser damage region |
DE102019201438B4 (de) * | 2019-02-05 | 2024-05-02 | Disco Corporation | Verfahren zum Herstellen eines Substrats und System zum Herstellen eines Substrats |
US10611052B1 (en) | 2019-05-17 | 2020-04-07 | Cree, Inc. | Silicon carbide wafers with relaxed positive bow and related methods |
SE1950611A1 (en) * | 2019-05-23 | 2020-09-29 | Ascatron Ab | Crystal efficient SiC device wafer production |
DE102019122827A1 (de) * | 2019-08-26 | 2021-03-04 | Photonic Sense GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Ausschneiden einer Teilgeometrie aus einem Materialblock |
JP7309191B2 (ja) * | 2019-11-06 | 2023-07-18 | 中村留精密工業株式会社 | ウェハー分割装置 |
US11081393B2 (en) * | 2019-12-09 | 2021-08-03 | Infineon Technologies Ag | Method for splitting semiconductor wafers |
JP2023037281A (ja) * | 2021-09-03 | 2023-03-15 | 株式会社デンソー | 半導体ウェハ製造方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI261358B (en) * | 2002-01-28 | 2006-09-01 | Semiconductor Energy Lab | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP2004299969A (ja) | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリカガラスのスライス方法 |
JP2005277136A (ja) | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Sharp Corp | 基板製造方法および基板製造装置 |
JP2005294325A (ja) | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Sharp Corp | 基板製造方法及び基板製造装置 |
US20070111480A1 (en) * | 2005-11-16 | 2007-05-17 | Denso Corporation | Wafer product and processing method therefor |
JP2009050892A (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-12 | Seiko Epson Corp | 基板分割方法、及び表示装置の製造方法 |
JP2010021398A (ja) * | 2008-07-11 | 2010-01-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの処理方法 |
JP5643293B2 (ja) * | 2009-04-21 | 2014-12-17 | テトラサン インコーポレイテッド | 太陽電池内の構造部を形成するための方法 |
JP5537081B2 (ja) * | 2009-07-28 | 2014-07-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 加工対象物切断方法 |
JP5710133B2 (ja) * | 2010-03-16 | 2015-04-30 | 株式会社ディスコ | ワークの分割方法 |
KR20110114972A (ko) * | 2010-04-14 | 2011-10-20 | 삼성전자주식회사 | 레이저 빔을 이용한 기판의 가공 방법 |
JP2012109341A (ja) * | 2010-11-16 | 2012-06-07 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 半導体材料の切断方法と切断装置 |
US9353646B2 (en) * | 2011-01-19 | 2016-05-31 | President And Fellows Of Harvard College | Slippery surfaces with high pressure stability, optical transparency, and self-healing characteristics |
JP5606348B2 (ja) * | 2011-02-03 | 2014-10-15 | 株式会社ディスコ | 水晶振動子の製造方法 |
JP5829433B2 (ja) | 2011-05-27 | 2015-12-09 | 株式会社東京精密 | レーザダイシング装置及び方法 |
JP5917862B2 (ja) * | 2011-08-30 | 2016-05-18 | 浜松ホトニクス株式会社 | 加工対象物切断方法 |
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WO2013126927A2 (en) * | 2012-02-26 | 2013-08-29 | Solexel, Inc. | Systems and methods for laser splitting and device layer transfer |
WO2014179368A1 (en) * | 2013-04-29 | 2014-11-06 | Solexel, Inc. | Damage free laser patterning of transparent layers for forming doped regions on a solar cell substrate |
JP6390898B2 (ja) * | 2014-08-22 | 2018-09-19 | アイシン精機株式会社 | 基板の製造方法、加工対象物の切断方法、及び、レーザ加工装置 |
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