JP2012015256A - ウエーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に格子状に形成された複数のストリートに沿って半導体ウエーハ2を個々のデバイスに分割するウエーハの分割方法であって、ウエーハ表面側からストリートに沿ってデバイスの仕上がり厚さに相当する深さの溝24を形成する溝形成工程と、紫外線照射により硬化するアクリル系液状樹脂5を溝に充填するとともに保護フィルム6を配設し、保護フィルム側から紫外線を照射することによりアクリル系液状樹脂を硬化せしめるアクリル系液状樹脂硬化工程と、ウエーハの裏面を研削して裏面に溝を表出させ、ウエーハを個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程と、ウエーハの裏面に環状のフレームに装着された粘着テープを貼着した後、表面から保護フィルムとともに硬化したアクリル系樹脂を剥離する保護フィルム剥離工程とを含む。
【選択図】図8
Description
また、ウエーハが個々のデバイスに分割された後にデバイスの仕上がり厚さに達するまで研削が継続すると、デバイスの角に欠けが生じ、デバイスの品質を低下させるという問題がある。
ウエーハの表面側からストリートに沿ってデバイスの仕上がり厚さに相当する深さの溝を形成する溝形成工程と、
該溝形成工程が実施されたウエーハの表面に紫外線の照射によって硬化するアクリル系液状樹脂を塗布して該溝にアクリル系液状樹脂を充填するとともに保護フィルムを配設し、該保護フィルム側から紫外線を照射することによりアクリル系液状樹脂を硬化せしめるアクリル系液状樹脂硬化工程と、
該アクリル系液状樹脂硬化工程が実施されたウエーハの裏面を研削して裏面に該溝を表出させ、ウエーハを個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程と、
該ウエーハ分割工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着された粘着テープの表面に貼着するウエーハ支持工程と、
該粘着テープの表面に貼着されたウエーハの表面から該保護フィルムとともに硬化したアクリル系樹脂を剥離する保護フィルム剥離工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの分割方法が提供される。
また、上記保護フィルムは、アクリル系以外の樹脂フィルムからなり、表面にアクリル処理が施されている。
また、上記溝形成工程によって形成される溝は、幅がデバイスの仕上がり厚さに相当する深さに対して1/2以上に設定されていることが望ましい。
また、本発明によるウエーハの分割方法においては、ウエーハ分割工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着された粘着テープの表面に貼着した後、ウエーハの表面から保護フィルムとともに硬化したアクリル系樹脂を剥離するので、溝に充填されているアクリル系樹脂も同時に除去することができる。
3:切削装置
31:切削装置のチャックテーブル
32:切削手段
323:切削ブレード
4:スピンコーター
5:アクリル系液状樹脂
6:保護フィルム
7:紫外線照射器
8:研削装置
81:研削装置のチャックテーブル
82:研削手段
824:研削ホイール
F:環状のフレーム
T:粘着テープ
Claims (4)
- 表面に格子状に形成された複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハをストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハの分割方法であって、
ウエーハの表面側からストリートに沿ってデバイスの仕上がり厚さに相当する深さの溝を形成する溝形成工程と、
該溝形成工程が実施されたウエーハの表面に紫外線の照射によって硬化するアクリル系液状樹脂を塗布して該溝にアクリル系液状樹脂を充填するとともに保護フィルムを配設し、該保護フィルム側から紫外線を照射することによりアクリル系液状樹脂を硬化せしめるアクリル系液状樹脂硬化工程と、
該アクリル系液状樹脂硬化工程が実施されたウエーハの裏面を研削して裏面に該溝を表出させ、ウエーハを個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程と、
該ウエーハ分割工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着された粘着テープの表面に貼着するウエーハ支持工程と、
該粘着テープの表面に貼着されたウエーハの表面から該保護フィルムとともに硬化したアクリル系樹脂を剥離する保護フィルム剥離工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの分割方法。 - 該保護フィルムは、アクリル系樹脂フィルムからなっている、請求項1記載のウエーハの分割方法。
- 該保護フィルムは、アクリル系以外の樹脂フィルムからなり、表面にアクリル処理が施されている、請求項1記載のウエーハの分割方法。
- 該溝形成工程によって形成される溝は、幅がデバイスの仕上がり厚さに相当する深さに対して1/2以上に設定されている、請求項1から3のいずれかに記載のウエーハの分割方法。
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