JP2005115346A - 光導波路構造体及び光モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】 光導波路に関し、光出射面と光入射面とが略直角をなして位置する面発光型レーザやフォトダイオードなどの面型光素子と光ファイバのような伝送媒体との間の光結合を簡素且つ容易に行うことができる光導波路を実現しようとする。
【解決手段】 光の進行方向を緩徐に直角方向に曲げる為の曲面４３Ａをもつと共に曲面４３Ａに於ける光の進行方向に沿って形成された溝をもつ第１のクラッド部４３と、溝を埋め第１のクラッド部４３に比較して高い屈折率をもつ透明材料からなるコア部と、該コア部の表出面及び第１のクラッド部４３に於ける曲面４３Ａを覆って一体化された第２のクラッド部４５とを備える。
【選択図】 図１９

Description

本発明は、光通信や光情報処理に用いる光モジュールを構成するレーザダイオードやフォトダイオードなどの光素子と光ファイバや光導波路などの伝送媒体とを結合するのに好適な光導波路構造体及びそれを用いた光モジュールに関する。

例えば、面発光型レーザは、通常の端面発光型レーザに比較してアレイ配置する場合に高集積化が可能であって、基板への実装性が優れている為、大容量伝送が必要な光通信や高集積化が必要な光情報処理に用いるキー部品と考えられている。

面発光型レーザを基板に実装し、光ファイバなどの伝送媒体にレーザ光を入射するモジュールを作製するに際し、特にミラーなど光を偏向する為の特別な光学系を用いない場合には、光ファイバを基板に対して垂直に配置することになる。

図４８は基板に対して光ファイバを垂直に配置した例を表す要部切断側面図であり、図に於いて、１は基板、２は面発光型レーザやフォトダイオードなどの面型光素子、３は光ファイバ、３Ａは光ファイバのコアをそれぞれ示している。

図示のように、光ファイバ３を基板１に対して垂直に配設した場合、実装性が劣る、例えば、作業に手間が掛かり、また、薄型の光モジュールを実現させたい場合には不向きである。従って、光ファイバ３は基板１に対して平行に配置されることが望ましい。

また、光モジュールの多様な構造に対応する為、面発光型レーザからの出射光を光導波路に入射させることが必要な場合も起こり、その場合の光モジュールとしては、面発光型レーザを実装した基板と同一基板上に光導波路が形成された構造であることが製造面から見て好ましい。

前記した理由から、基板上に配設された面型光素子と光ファイバや光導波路を結合する場合、面型光素子からの光を概ね直角方向に偏向する光学系が必要であり、そのような光学系として、光の経路内に於ける適所に配設した傾斜ミラーに依る反射を利用することが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３などを参照。）。

図４９は光の経路内の適所に傾斜ミラーを配設した例を表す要部切断側面図であり、図に於いて、４はレンズ、５は傾斜ミラーをそれぞれ示し、そして、図４８に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。

図示のように、光ファイバ３は基板１と平行に配設され、基板１上の面型光素子２から出射された光はレンズ４を介して傾斜ミラー５に入射し、そこで直角方向に反射されて光ファイバ３に入射するようになっている。

然しながら、ここで用いるような傾斜ミラー５には、高平坦度や低面粗度などの面で高精度の形状が要求される為、光モジュールとして充分な機能をもつミラーを作製することは容易でないし、また、図４９に見られるような構成を実現するには、面型光素子２から出射された光をレンズ４で集束し、傾斜ミラー５で反射させて正確に光ファイバ３に入射させなければならないから、例えばレンズ４の光軸と傾斜ミラー５の反射点位置を精密に位置合わせすることが必要であり、実用上からすると優れているとは言い難い。

また、他の従来の技術としては、光ファイバを略直角方向に曲げ、面型光素子と光ファイバとを結合する光学系も知られている（例えば、特許文献４を参照。）。
特許文献４に開示された技術では、レンズを用いていないので、光軸調整の必要はないが、光ファイバを高い精度をもって曲げ、その状態で固定しなければならないから、その組み立ては容易ではない。

現在、光通信や光情報処理に関する市場では、低価格の光モジュールが要求されているので、その実現の為には、構成が簡素な光モジュール、簡単に組み立て可能な光モジュールが必要である。

このような観点から、前記した提案のほかにも、光導波路の構成及び形成方法に関し、いくつかの提案がなされている（例えば、特許文献５、特許文献６、特許文献７などを参照。）。
特開昭６２−３５３０４号公報 特開平５−８８０２９号公報 国際公開第００／００８５０５号パンフレット 米国特許第６１３７９２９号明細書 特公平７−９４９２号公報 特開平８−３２７８４４号公報 特開平１０−２４６８２７号公報

本発明では、ミラーに代わり、光出射面と光入射面とが略直角をなして位置する面発光型レーザやフォトダイオードなどの面型光素子と光ファイバのような伝送媒体との間の光結合を簡素且つ容易に行うことができる光導波路構造体を実現しようとする。

更に、本発明では、そのような光導波路構造体を用いた光モジュールを実現しようとする。

本発明に依る光導波路構造体に於いては、光の進行方向を曲げる為の曲面をもつと共に前記曲面に於ける光の進行方向に沿って形成された溝をもつ第１のクラッド部と、前記第１のクラッド部に比較して高い屈折率をもつ透明材料からなり、少なくとも前記溝を埋めるコア部と、少なくとも前記コア部の表出面を含む面を覆い、前記第１のクラッド部と一体化された第２のクラッド部と、を備えてなることが基本になっている。

更に、本発明では、断面円弧状に湾曲した曲面の凸面側に前記曲面の湾曲方向に延びる溝を有する第１のクラッド部と、前記溝を埋め入射した光が伝播されるコア部と、前記コア部を覆って前記曲面の凸面側に形成された第２のクラッド部と、を有することを特徴とする光導波路構造体が提供される。

また、本発明では、基板と、前記基板に実装された光素子と、前記光素子に入射する光或いは前記光素子から出射された光を伝播する光導波路構造体と、を有する光モジュールに於いて、断面円弧状に湾曲した曲面の凸面側に前記曲面の湾曲方向に延びる溝を有する第１のクラッド部と、前記溝を埋め光が伝播されるコア部と、前記コア部を覆って前記曲面の凸面側に形成された第２のクラッド部と、を備える光導波路構造体を有し、前記光導波路構造体は、前記コア部の端面が基板に実装された光素子の直上になるように配置されていることを特徴とする光モジュールが提供される。

面発光型レーザ或いはフォトダイオードなどの面型光素子を基板に実装し、光ファイバや光導波路などの光伝送媒体を基板と平行に配置しても、面型光素子と光伝送媒体との間に前記手段を採った光導波路を介在させることで、クラッド部の曲面に形成されたコア部が面型光素子からの信号光を光伝送媒体に効率良く入射させることができ、また、反対に光伝送媒体からの信号光を面型光素子に効率良く入射させることができる。

従って、光モジュールに於いて、面型光素子と光伝送媒体との間を光結合するのに光を直角に偏向しなければならない場合でも、前記手段を採った光導波路を用いれば、ミラーは不要となり、その結果、面倒な光軸合わせは行わずに済むから、光モジュールの組み立てが極めて容易になる。

また、前記手段を採った光導波路を作製する場合、射出成形やプレス形成などの型成形で作製したり、或いは、機械切削、レーザアブレーション、サンドブラスト、プラズマ加工などの技術を組み合わせて作製することができ、何れの場合であっても作製は容易であり、また、特に型成形を実施して作製した場合の生産性は良好である。

まず、第１の実施の形態について説明する。
図１は第１の実施の形態の光導波路を用いて作製した光モジュールを表す要部切断側面図であり、図に於いて、１１は基板、１２は面型光素子、１３は光ファイバ、１３Ａは光ファイバのコア、１５は光導波路、１６は第１のクラッド部、１７はコア部、１８は第２のクラッド部をそれぞれ示している。

図２乃至図７は第１の実施の形態の光導波路の一形態を作製する場合の概略を説明する為の図であり、図２、図４、図６が要部側面を、また、図３、図５、図７が要部正面をそれぞれ示し、更に、要部側面と要部正面とは図番の順でそれぞれ対応している。尚、図１に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。
図２及び図３参照
（１）
曲面及びコア部を埋め込む位置に溝を形成する為の凸条をもった第１のブロック及び第１のブロックに対応する構造をもった第２のブロックからなる金型及び透明なクラッド材料を用いた射出成形で第１のクラッド部１６と第２のクラッド部１８を作製する。

作製した第１のクラッド部１６は、光伝送媒体と対向する一端辺１６Ａ及び一端辺１６Ａと略直角な他端辺１６Ｂをもち、一端辺１６Ａと他端辺１６Ｂとの間は緩徐な曲面１６Ｃで結ばれ、その曲面１６Ｃに於ける略中央のコア部形成予定領域には溝１６Ｄが形成されている。

また、作製した第２のクラッド部１８は、第１のクラッド部１６に於ける曲面１６Ｃを埋める形状になっていて、第１のクラッド部１６に於ける一端辺１６Ａに連なって平面をなす一端辺１８Ａ及び第１のクラッド部１６に於ける他端辺１６Ｂに連なって平面をなす他端辺１８Ｂをもち、一端辺１８Ａと他端辺１８Ｂとの間は第１のクラッド部１６に於ける曲面１６Ｃに合致する曲面１８Ｃで結ばれている。

第１のクラッド部１６及び第２のクラッド部１８を作製するには、射出成形に限られることはなく、例えばプレス成形、或いは、機械切削、レーザアブレーション、サンドブラスト、プラズマ加工などの手段を組み合わせて作製することも可能である。
図４及び図５参照
（２）
第１のクラッド部１６に於ける溝１６Ｄにクラッド材料に比較して高屈折率である透明材料を充填してコア部１７を形成する。
図６及び図７参照
（３）
第１のクラッド部１６と第２のクラッド部１８とを貼り合わせて光導波路１５を完成する。

第１の実施の形態の光導波路の材料には、プラスチック、ガラス、石英などの透明固体材料を用いることができ、それ等材料のうち、屈折率を考慮してクラッド材とコア材を選択するのであるが、成形性の面からするとプラスチックや低融点ガラスが好適である。

第１の実施の形態の光導波路は、図１について説明したように、面型光素子と光ファイバなどの光伝送媒体とを光結合するように配設され、面型光素子と光伝送媒体との間で信号光を効率良く遣り取りできるのであるが、その場合、例えば面型光素子からの出射光は、面型光素子の直上に配設された光導波路に直接入射させるか、或いは、光導波路に形成されたレンズを介して入射させてもよい。

図８及び図９は光導波路にレンズを設けた形態を説明する為の図であり、図８は要部側面を、また、図９は要部正面をそれぞれ表し、そして、各図に見られる１９はレンズを示している。尚、図２乃至図７に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。

第１の実施の形態の光導波路では、レンズ１９を備える場合、光導波路１５と一体に作り付けるものであるから、反射ミラー及びレンズなどを用いる従来例とは異なり、面倒な光軸合わせを行う必要はない。

前記した諸形態の光導波路では、コア部の幅が一定、従って、光の入射側（或いは出射側）の開口、及び、光の出射側（或いは入射側）の開口は同じ大きさのものについて説明した。然しながら、面型光素子の発光面積と光伝送媒体のコア径や開口面積とが一致しない場合も多い。そのような場合には、コア部として光伝播方向に次第に横断面積が変化するテーパ構造にすると結合損失が低減される。

図１０、図１１、図１２はテーパ構造のコア部をもつ光導波路の一形態を表す説明図であり、図１０は要部側面、図１１は要部正面、図１２は要部上面をそれぞれ示し、図示されたコア部２０は、光入射側開口２０Ａが小さく、光出射側開口２０Ｂが大きくなっている。

図１３、図１４、図１５はテーパ構造のコア部をもつ光導波路の他の形態を表す説明図であり、図１３は要部側面、図１４は要部正面、図１５は要部上面をそれぞれ示し、図示されたコア部２１は、図１０、図１１、図１２について説明したコア部２０とは逆に光入射側開口２１Ａが大きく、光出射側開口２１Ｂが小さくなっている。

図１０〜図１５について、テーパ構造のコア部に関して簡単な内容を詳細に説明したが、これは面型光素子や光伝送媒体をアレイ化する場合に有用な技術であることに依る。
図１６は面型光素子アレイ及びプラスチックファイバアレイからなる光モジュールを表す要部上面図であり、図に於いて、２２は２５０〔μｍ〕ピッチで配設された面型光素子からなるアレイ、２３は光導波路、２５Ａ乃至２５Ｄはコア部、２７Ａ乃至２７Ｄは５００〔μｍ〕ピッチで配設されてアレイを構成するプラスチックファイバをそれぞれ示している。

図１７及び図１８は、図１６に見られる光導波路の要部側面及び要部正面を表し、２４は第１のクラッド部、２５はコア部、２６は第２のクラッド部をそれぞれ示している。尚、図１６に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。

前記したように、アレイ化された面型光素子のピッチと光伝送媒体のピッチとが相違していても、このような構造を有する光導波路を用いることで容易に光結合することができる。

図１９は第１の実施の形態の実施例を説明する為の光モジュールを表す要部切断側面図であり、図に於いて、４１はプリント基板、４２はプリント基板上に配設された面型レーザやフォトダイオードなどの面型光素子、４３は第１のクラッド部、４３Ａは光の進行方向を緩徐に直角方向に曲げる為の曲面、４３Ｂはレンズ、４３Ｃは第１のクラッド部の裏面に形成されて面型光素子を覆う凹所、４５は第２のクラッド部、４６は光ファイバリボン、４７はＭＴ（ｍｅｃｈａｎｉｃａｌｌｙ ｔｒａｎｓｆｅｒａｂｌｅ）型光コネクタをそれぞれ示している。尚、図示されていないが、曲面４３Ａには光の進行方向に沿う複数条の溝が形成され、その溝内にはコア部が形成されている。

図２０は図１９に見られる破線で囲んだ部分を拡大して表す要部切断側面図であり、図１９に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。
図に依れば、第１のクラッド部４３の裏面、即ち、面型光素子４２に対向する部分にレンズ４３Ｂが形成され、面型光素子４２がレーザであるとした場合、出射光がレンズ４３Ｂで集束されてから第１のクラッド部４３の溝に埋め込まれたコア部４４に入射するようになっていて、コア部４４の表出面と第１のクラッド部４３の曲面４３Ａとは第２のクラッド部４５で覆われて一体化されている。

図２１は図１９について説明した光モジュールを表す要部上面図であり、図１９及び図２０に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。
第１の実施の形態の光導波路に於ける第１のクラッド部４３は、プリント基板４１に対し、それぞれに設けた位置合わせピン孔に位置合わせピン４８を挿通することに依って位置決めされ、面型光素子４２とレンズ４３Ｂが簡単且つ正確に対向し、そして、光ファイバリボン４６が取り付けられたＭＴ型光コネクタ４７は、第１のクラッド部４３に対し、それぞれに設けた位置合わせピン孔に位置合わせピン４９を嵌挿することに依って位置決めされ、光ファイバリボン４６とコア部４４が簡単且つ正確に対向するようになっている。

図２２は第１の実施の形態の実施例である光導波路の組み立てについて説明する為の要部分解斜面図であり、図１９乃至図２１に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。

図２２に依れば、第１のクラッド部４３に図２１に見られる位置合わせピン４８が嵌合される位置合わせピン孔４３Ｄ、同じく位置合わせピン４９が嵌合される位置合わせピン孔４３Ｅ、第２のクラッド部４５が嵌装される嵌合孔４３Ｆがそれぞれ形成されている構造が明らかである。

第１のクラッド部４３に於いて、嵌合孔４３Ｆの入口から曲面４３Ａの下方に至る上面には、コア部４４が埋め込まれる複数条の溝（図示せず）が形成されていて、それ等の溝には、液状紫外線硬化樹脂を充填し、その後、嵌合孔４３Ｆには、第２のクラッド部４５を嵌装する。

図２３乃至図２６は第１のクラッド部の構造を詳細に説明する為の要部切断側面図、要部下面図、要部正面図、拡大要部正面図であり、図１９乃至図２２に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。

図２３及び図２４から明らかなように、第１のクラッド部４３の下面には凹所４３Ｃが形成され、従って、凹所４３Ｃの周囲は壁４３Ｇになっていて、その壁４３Ｇは、第１のクラッド部４３をプリント基板４１に取り付けた場合、面型光素子４２を外部のごみなどから遮断する封止構造を実現する。

図２４から明らかなように、壁４３Ｇの部分には位置合わせピン孔４３Ｄが形成され、また、凹所４３Ｃ内に於いてコア部４４が埋め込まれる溝と対向する適所にはレンズ４３Ｂが形成されている。

図２５から明らかなように、第１のクラッド部４３の正面には第２のクラッド部４５を嵌装する嵌合孔４３Ｆが開口され、その周囲の適所には位置合わせピン孔４３Ｅが形成されている。図２６には嵌合孔４３Ｆの近傍が拡大して表されていて、嵌合孔４３Ｆの上面にはコア部４４を埋設する溝４３Ｈを形成してあるのが看取される。

前記説明した第１のクラッド部４３は、横断面形状が５０〔μｍ〕角、且つ、曲率半径１０〔ｍｍ〕であるコア部４４を埋め込む溝の対応部、直径７００〔μｍ〕の位置合わせピン孔の対応部、レンズ４３Ｂの対応部などが形成されている射出成形用金型に対し、屈折率が１．５０である溶融した熱可塑性樹脂（ポリオレフィン系樹脂）を充填し、射出成形することで作製される。

第２のクラッド部４５は、コア部４４が形成される曲面に対応する為の曲率半径が１０〔ｍｍ〕である曲面をもつＶ字形状をもつ射出成形用金型に対し、屈折率が１．５０である溶融した熱可塑性樹脂（ポリオレフィン系樹脂）を充填し、射出成形することで作製される。

前記のようにして作製された第１のクラッド部４３に於ける溝４３Ｈにコア材となる屈折率が１．５５の液状紫外線硬化樹脂（エポキシ系樹脂或いはアクリル系樹脂など）が充填され、そして、溝４３Ｈに流し込まれた液状紫外線硬化樹脂からなるコア材は、この後、嵌合孔４３Ｆに第２のクラッド部４５を挿入することで充填が完全になる。

第２のクラッド部４５は、第１のクラッド部４３の開口４３Ｆから挿入し、紫外線を照射してコア材を硬化してコア部４４とし、第１のクラッド部４３と第２のクラッド部４５とが接着されて光導波路が完成される。

更に詳細には、第１のクラッド部４３に第２のクラッド部４５を挿入した際、溝４３Ｈ内のコア材は第２のクラッド部４５に依って更に内部に押し込まれる状態となり、溝４３Ｈを完全に埋めると共に溝４３Ｈに入り切れずに溢れたコア材は第２のクラッド部４５に依って薄く展延され、第１のクラッド部４３と第２のクラッド部４５とを接着する働きをすることになる。

前記のようにして作製された光導波路は、面型光素子４２が搭載され、且つ、位置合わせピン孔が設けられたプリント基板４１に位置合わせピン４８を用いて固定され、光導波路の正面には光ファイバリボン４６が取り付けられたＭＴ型光コネクタ４７が位置合わせピン４９を用いて固定されることで光モジュールが完成する。

次に、第２の実施の形態について説明する。
図２７は第２の実施の形態の光導波路構造体を用いた光モジュールの要部正面図、図２８は図２７のＡ−Ａ断面図、図２９は図２７のコア部深さ方向の切断面図である。

図２７及び図２８に示す光モジュール５０は、基板５１と、基板５１に実装された２つの面型光素子５２、及び光導波路構造体６０を有している。光導波路構造体６０は、その底部にガイド構造（図示せず）を有しており、そのガイド構造に依り面型光素子５２を挟んだ状態で基板５１に固定されるようになっている。

光導波路構造体６０は、これを基板５１に固定したときの基板５１面に対する垂直方向の切断面が円弧状に湾曲した曲面を有する第１のクラッド部６１、第１のクラッド部６１に比べて高い屈折率をもつ透明材料を用いてアレイ状に形成され光の伝播経路となるコア部６２、及び第１のクラッド部６１とコア部６２を覆う第２のクラッド部６３を有している。そして、図２９から明らかなように、この第２の実施の形態の光導波路構造体６０は、その第１のクラッド部６１の凸面６１Ａ側に、その曲面の湾曲方向に延びる溝６１Ｂが形成され、その溝６１Ｂにコア部６２が形成されている。

このように、第２の実施の形態の光導波路構造体６０に於いては、円弧状に湾曲した曲面の凸面６１Ａ側に溝６１Ｂを形成してそこにコア部６２を設ける構成になっている。この点で、第１のクラッド部１６の凹面（曲面１６Ｃ）側に溝１６Ｄを形成してそこにコア部１７を設けた第１の実施の形態と相違している。

光導波路構造体６０の第１のクラッド部６１は、型を用いて形成可能であり、例えば、まずコア部６２に相当する凸条をもった第１のブロックとそれに対応する構造をもった第２のブロックからなる金型でクラッド材料を成形し、溝６１Ｂを有する第１のクラッド部６１を形成する。そして、第１のクラッド部６１の成形体の溝６１Ｂにクラッド材料よりも高屈折率の透明材料を充填してコア部６２を形成し、それらの上に第２のクラッド部６３を例えばフィルム状のクラッド材料を貼り付けるなどして形成することに依り、光導波路構造体６０が形成される。このように型成形技術を利用することに依り、光導波路構造体６０を容易に形成することができる。

尚、前記した第１の実施の形態と同様、第１のクラッド部６１は、射出成形やプレス成形などで形成することができるが、生産性を考慮すると射出成形が好適である。更に、機械切削、レーザアブレーション、サンドブラスト、プラズマ加工などを組み合わせて形成してもよい。また、光導波路構造体６０には、プラスチック、ガラス、石英などの透明固体材料を用いることができる。それらの材料のうち、屈折率を考慮してクラッド材料とコア材料が選択されるが、成形性の面からはプラスチックや低融点ガラスが好適である。

また、この光導波路構造体６０では、２つの面型光素子５２を用い、１つにつき４本、計８本のコア部６２が形成されているが、その数はこれに限定されるものではない。光導波路構造体６０は、ここでは各コア部６２の一端面が面型光素子５２の直上にくるように基板５１上に配設され、また、他端面が基板５１面に対し略平行方向に向くように構成されている。

面型光素子５２は、面発光型レーザなどの面型発光素子或いはフォトダイオードなどの面型受光素子であり、例えば、２つの面型光素子５２のうち、一方を面型発光素子、他方を面型受光素子とすることが可能である。この場合、光モジュール５０は、送受信モジュールとして機能することになる。また、両方に面型発光素子を用い光モジュール５０を送信モジュールとして機能させたり、或いは両方に面型受光素子を用い光モジュール５０を受信モジュールとして機能させたりしても構わない。尚、面型光素子５２の数は２つに限定されるものではなく、また、その面型光素子５２の数や種類に依ってコア部６２の数を適宜変更することが可能である。

このような光モジュール５０に対し、コア部６２の他端側には光コネクタ７０が配設され、この光コネクタ７０に光ファイバ７１が接続されるようになっている。面型光素子５２が面型発光素子であれば、面型発光素子から出射した光がコア部６２に入射しここでその進行方向を曲げられて光ファイバ７１へと出射される。同様に、面型光素子５２が面型受光素子であれば、光ファイバ７１から出射した光がコア部６２に入射しここでその進行方向を曲げられて面型受光素子へと出射される。

このような構成の光モジュール５０に用いる光導波路構造体６０は、従来のような高精度のミラーが不要で、レンズも必要に応じて一体成形することが可能である為、光軸調整が不要になる。それに依り、この光導波路構造体６０は、光モジュール５０に於いて、光の進行方向を概ね直角方向に曲げつつ面型光素子５２と光ファイバ７１との間を光結合することのできる、簡素で容易に製造可能な偏向光学系として機能する。

ここで、レンズを備えた光導波路構造体について説明する。
図３０はレンズ一体型の光導波路構造体の要部正面図、図３１は図３０のＢ−Ｂ断面図である。

図３０及び図３１に示す光導波路構造体８０は、第１のクラッド部８１の断面円弧状の凸面８１Ａ側に、アレイ状に形成された８本のコア部８２を有し、各コア部８２の両端面に対向する位置に、第１のクラッド部８１に一体に形成されたレンズ８４をそれぞれ有している。そして、このような光導波路構造体８０は、光モジュールにおいては、各レンズ８４が面型光素子の受光面或いは発光面や、光ファイバコアの出射端面或いは入射端面に真っ直ぐ向き合うようにして配設する。

このようなレンズ８４を設けることに依り、面型発光素子や光ファイバからコア部８２に入射する光をレンズ８４で集束し、或いはコア部８２から面型受光素子や光ファイバへ出射する光をレンズ８４で集束することができ、光の結合損失を低減することができる。

このように第２の実施の形態の光導波路構造体６０，８０は、光を伝播するコア部６２，８２が、第１のクラッド部６１，８１の凸面６１Ａ，８１Ａ側にその湾曲面に沿って形成され、これを第２のクラッド部６３，８３で覆い、直接或いはレンズ８４を介して、面型光素子と光伝送媒体との間で光を効率良く遣り取りできるようになっている。尚、レンズ８４は、コア部６２の一方の端面との対向位置にのみ設けることも可能であるが、面型光素子と光伝送媒体との間で光を低損失で結合する為には、前述のように両端面に対向する位置に設けておくことが望ましい。

このほか、この第２の実施の形態においても、前記した第１の実施の形態と同様、光導波路構造体のコア部をテーパ構造にしたり、複数コア部間のピッチを光導波路構造体内部で変換する構造にしたりすることができる。

図３２はテーパ構造のコア部を有する光導波路構造体の要部正面図、図３３は図３２のＣ−Ｃ断面図である。尚、図２７及び図２８に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。

図３２及び図３３に示す光導波路構造体９０は、面型光素子５２の受光面積や発光面積と光ファイバ７１や光コネクタ７０のコア径や開口面積とが一致しない場合などの為に、第１，第２のクラッド部９１，９３に挟まれたコア部９２が光の伝播方向に次第に横断面積を変化させるようなテーパ構造になっている。ここでは、面型光素子５２の受光面積或いは発光面積に比べて光ファイバ７１のコア径が大きく、コア部９２の横断面積が面型光素子５２側から光ファイバ７１側に向かって次第に大きくなるように構成されている。これに依り、面型光素子５２と光ファイバ７１との間の光の結合損失が低減されるようになる。

尚、ここでは面型光素子５２と光ファイバ７１との間を光導波路構造体９０で光結合する場合を例にして述べたが、このような構成の光導波路構造体９０は、コア径の異なる光ファイバ間を光結合するような場合にも適用可能であり、それに依り、コア径の差に依って生じる光の結合損失を低減することができる。

図３４はピッチが変換されたコア部を有する光導波路構造体の要部正面図、図３５は図３４のＤ−Ｄ断面図である。
図３４及び図３５に示す光導波路構造体１００は、第１，第２のクラッド部１０１，１０３に挟まれたコア部１０２の一端側が２５０〔μｍ〕ピッチになるように形成され、他端側が５００〔μｍ〕ピッチになるように形成されている。更に、各コア部１０２は、一端側から他端側に向かって横断面積が次第に大きくなるテーパ構造になっている。

このような光導波路構造体１００は、例えば、面型光素子が２５０〔μｍ〕ピッチで配設され、光ファイバコアが５００〔μｍ〕ピッチで配設されるような場合に適用することができる。それに依り、例えば２５０〔μｍ〕ピッチの面型レーザアレイと５００〔μｍ〕ピッチのプラスチックファイバアレイのように、標準仕様でピッチが異なるもの同士を容易に低損失で光結合することができるようになる。

尚、ここでは各コア部１０２をテーパ構造とした場合を例にして述べたが、各コア部の幅は一定にし、端部間のピッチのみ変化させた構成としてもよい。
また、図３６はスラブ構造のコア部を有する光導波路構造体の要部正面図、図３７は図３６のＥ−Ｅ断面図、図３８は図３６のコア部深さ方向の切断面図である。

図３６乃至図３８に示す光導波路構造体１１０は、凸面１１１Ａを有する第１のクラッド部１１１に形成した幅広の溝１１１Ｂにコア部１１２が形成され、第２のクラッド部１１３がそのコア部１１２を覆ったスラブ構造になっている。このような構成の光導波路構造体１１０は、例えば、コア部１１２への光の入射角度を適当に設定し、光の直進性を利用して、コア部１１２内を伝播する光を斜め方向に進行させるといったことが可能になる。

尚、前記の光導波路構造体９０，１００，１１０は、勿論、光の結合損失を低減する為、そのコア部９２，１０２，１１２の端面に対向する位置に、図３０及び図３１に示したのと同様にして第１のクラッド部９１，１０１，１１１にレンズを設けた構成としてもよい。

図３９乃至図４４はレンズ一体型の光導波路構造体を形成する場合の概略を説明する為の図であり、図３９、図４１、図４３が要部正面を、また、図４０、図４２、図４４が要部切断側面をそれぞれ示し、更に、要部正面と要部切断側面とは図番の順でそれぞれ対応している。尚、図４０には図３９のＦ−Ｆ断面を、図４２には図４１のＧ−Ｇ断面を、図４４には図４３のＨ−Ｈ断面を、それぞれ示している。また、図３９乃至図４４では、図３０及び図３１に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。

まず、曲面、及び曲面のコア部を埋め込む位置に断面形状５０〔μｍ〕角で曲率半径１０〔ｍｍ〕の溝を形成する為の凸条をもった第１のブロックとそれに対応する構造をもった第２のブロックからなる射出成形用金型に、透明なクラッド材料を充填し、射出成形を行う。これに依り、図３９及び図４０に示すような構成の第１のクラッド部８１が形成される。第１のクラッド部８１を形成する為のクラッド材料には、屈折率１．５０の熱可塑性樹脂（ポリオレフィン系樹脂）を用いる。

形成した第１のクラッド部８１は、断面円弧状の凸面８１Ａを有し、その凸面８１Ａ上のコア部形成予定領域に複数の溝８１Ｂが形成されている。各溝８１Ｂの両端に対向する適所には、レンズ８４が形成されており、底部には、基板に固定する為のガイド構造８１Ｃが形成されている。

この第１のクラッド部８１の内部は空洞８１Ｄになっている。このように空洞８１Ｄを形成することに依り、部品の軽量化、低コスト化が実現される。また、このような空洞８１Ｄを形成することに依り、光導波路構造体８０を基板に固定する際、その基板に実装されているチップなどをこの空洞８１Ｄ内に収めることも可能になり、光モジュールの小型化が図られると共に、基板上のチップレイアウトの自由度を増すことができるようになる。

更に、第１のクラッド部８１の下面には凹所８１Ｅが形成されて、凹所８１Ｅの周囲は壁になっており、第１のクラッド部８１が基板に取り付けられたときに、その基板に実装されている面型光素子を外部のごみなどから遮断する封止構造を実現する。

尚、第１のクラッド部８１は、凸面８１Ａと、レンズ８４が形成されて光コネクタ７０に対向する側の壁８１Ｆ、更にそれらを結ぶ側壁８１Ｇを有し、前記の空洞８１Ｄは、これらに囲まれた空間で構成されるが、これらのうち側壁８１Ｇは必ずしも設けておくことを要しない。但し、コア部８２の光の伝播方向に加えられる力に対する強度を確保する為には、側壁８１Ｇを設けておくことが望ましい。コア部８２の光の伝播方向に加えられる力としては、例えば、後述のような第２のクラッド部８３の貼り付け時に加わる力や液状コア材料８２Ａの紫外線硬化時に生じる応力、或いは光導波路構造体８０の基板５１への取り付け時に加わる力などが挙げられる。

次いで、図４１及び図４２に示すように、第１のクラッド部８１の凸面８１Ａにディスペンサを用いて適量の液状コア材料８２Ａを滴下する。この液状コア材料８２Ａには、屈折率１．５５で第１のクラッド部８１のクラッド材料に比べて高屈折率の液状紫外線硬化樹脂（エポキシ系樹脂或いはアクリル系樹脂など）を用いる。

次いで、図４３及び図４４に示すように、第１のクラッド部８１と屈折率が等しいクラッド材料からなり、厚みが５０〔μｍ〕のフィルム形状の第２のクラッド部８３を、液状コア材料８２Ａが滴下された凸面８１Ａに貼り付ける。貼り付け時には、溝８１Ｂに液状コア材料８２Ａが充填されるとともに、第１，第２のクラッド部８１，８３間に余剰の液状コア材料８２Ａの薄膜８２Ｂが残るように貼り合わせる。但し、図４３に於いては、この薄膜８２Ｂはその図示を省略している。

貼り合わせの際には、シリコンゴムのような柔らかい素材を用い、それを第２のクラッド部８３の上から一定の圧力で押さえ付け、その状態で紫外線を照射する。第２のクラッド部８３が押さえ付けられることで、液状コア材料８２Ａは薄く展延される。そして、液状コア材料８２Ａは紫外線照射に依り硬化し、溝８１Ｂ内で硬化した液状コア材料８２Ａに依ってコア部８２が形成されるとともに、第１のクラッド部８１と第２のクラッド部８３はその間に残った薄膜８２Ｂに依って接着される。

尚、第１のクラッド部８１と第２のクラッド部８３の間に接着層として残す薄膜８２Ｂの厚さは、ディスペンサに依る滴下量と硬化時に印加する圧力でコントロールする。但し、クロストークなどの問題を避ける為、この薄膜８２Ｂは膜厚０．５〔μｍ〕以下とすることが好ましい。

図４５はレンズ一体型の光導波路構造体に於けるレンズ部分の拡大断面図である。
光導波路構造体８０に於いて、第１のクラッド部８１の端部は、コア部８２が形成される溝８１Ｂの終端箇所からレンズ８４に至るまでのおよそ０．８〔ｍｍ〕〜１．０〔ｍｍ〕程度の領域では、溝８１Ｂ深さ方向の厚みが第２のクラッド部８３の側に次第に厚くなるように形成されている。これに依り、例えばコア部８２の端面からの出射光が図中鎖線で示したような発散角をもって広がっても、これを低損失でレンズ８４に集光することができる。

尚、この第１のクラッド部８１に設けた突出部８１Ｈに依り、液状コア材料８２Ａを滴下して第２のクラッド部８３を貼り付ける際の余った液状コア材料８２Ａのレンズ８４側への流出が防止されるようになっている。

図４６はレンズ一体型の光導波路構造体を用いた光モジュールの要部正面図、図４７は図４６のＩ−Ｉ断面図である。尚、図２７乃至図３１に於いて用いた記号と同記号は同部分を表すか或いは同じ意味をもつものとする。

前記のようにして形成された光導波路構造体８０を用いて光モジュール５０が形成される。光導波路構造体８０は、面型光素子５２が実装された基板５１に面型光素子５２を挟んだ状態でガイド構造８１Ｃに依って固定される。その際、光導波路構造体８０は、そのコア部８２の端部に設けられたレンズ８４が面型光素子５２に対向するように固定される。また、レンズ８４が設けられている他端部には、光ファイバ７１が取り付けられた光コネクタ７０が、光ファイバ７１のコアと光導波路構造体８０のコア部８２とが光結合するように固定される。

尚、光導波路構造体８０の基板５１への固定、及び光コネクタ７０の光導波路構造体８０への固定は、例えば、第１の実施の形態の場合と同様、予め互いの適所に位置合わせピンとピン孔を形成しておき、組み立て時にその位置合わせピンをピン孔に嵌合することに依り行うことができる。例えばここでは、位置合わせピンとして設けたガイド構造８１Ｃを基板５１に設けたピン孔に嵌合することに依り光導波路構造体８０を基板５１に固定している。

このような方法に依り、光導波路構造体８０は位置合わせされた状態で基板５１に取り付けられ、また、光コネクタ７０及び光ファイバ７１は位置合わせされた状態で光モジュール５０の光導波路構造体８０に取り付けられる。光導波路構造体８０のコア部８２に入射した光は、その進行方向を緩除に略直角に曲げられるようになる。

尚、以上の説明では、光導波路構造体に依ってそのコア部を伝播する光の進行方向を略直角に曲げる場合について述べたが、光の進行方向を曲げる角度はこれに限定されるものではなく、光モジュールの用途などに応じて設定することが可能である。

本発明に於いては、前記説明した諸形態を含め、多くの形態で実施することができ、以下、それを付記として例示する。
（付記１） 光の進行方向を曲げる為の曲面をもつと共に前記曲面に於ける光の進行方向に沿って形成された溝をもつ第１のクラッド部と、前記第１のクラッド部に比較して高い屈折率をもつ透明材料からなり、少なくとも前記溝を埋めるコア部と、少なくとも前記コア部の表出面を含む面を覆い、前記第１のクラッド部と一体化された第２のクラッド部と、を備えてなることを特徴とする光導波路構造体。

（付記２） 光の進行方向を緩徐に略直角方向に曲げる為の曲面をもつと共に前記曲面に於ける光の進行方向に沿って形成された溝をもつ第１のクラッド部と、前記溝を埋め前記第１のクラッド部に比較して高い屈折率をもつ透明材料からなるコア部と、前記コア部の表出面及び前記第１のクラッド部に於ける前記曲面を覆って一体化された第２のクラッド部と、を備えてなることを特徴とする光導波路構造体。

（付記３） 前記コア部に於ける光入出射端面に前記第１のクラッド部と一体に作製されたレンズが設置されてなることを特徴とする付記１或いは付記２記載の光導波路構造体。

（付記４） 光の進行方向を緩徐に略直角方向に曲げる為の曲面をもつと共に前記曲面に於ける光の進行方向に沿って形成された溝をもつ第１のクラッド部と、前記溝を埋め前記第１のクラッド部に比較して高い屈折率をもつ透明材料からなるコア部と、前記コア部の表出面及び前記第１のクラッド部に於ける前記曲面を覆って一体化された第２のクラッド部と、前記第１のクラッド部に於ける面型光素子との対向面に形成され且つ前記面型光素子を受容して外部と遮断する凹所と、前記第１のクラッド部の前記曲面に埋め込まれた前記コア部に於ける光入出射端面近傍であって且つ前記面型光素子と対向する位置に前記第１のクラッド部と一体に作製されたレンズと、前記第１のクラッド部に形成されて前記第１のクラッド部を基板に固定する際に位置合わせするガイド構造と、を備えてなることを特徴とする光導波路構造体。

（付記５） 前記ガイド構造は、ピンが挿通される位置合わせピン孔であることを特徴とする付記４記載の光導波路構造体。
（付記６） 前記第１のクラッド部の前記曲面に埋め込まれた前記コア部が光の伝播方向についてテーパ構造をなすことを特徴とする付記１乃至４の何れか１記載の光導波路構造体。

（付記７） 前記コア部がアレイ構造をなすと共に配列された各前記コア部のピッチが光入射端と光出射端とで異なることを特徴とする付記１乃至６の何れか１記載の光導波路構造体。

（付記８） 断面円弧状に湾曲した曲面の凸面側に前記曲面の湾曲方向に延びる溝を有する第１のクラッド部と、前記溝を埋め入射した光が伝播されるコア部と、前記コア部を覆って前記曲面の凸面側に形成された第２のクラッド部と、を有することを特徴とする光導波路構造体。

（付記９） 前記コア部は、前記第１のクラッド部及び前記第２のクラッド部に比較して高い屈折率を有していることを特徴とする付記８記載の光導波路構造体。
（付記１０） 前記第２のクラッド部は、前記コア部と同一材料の薄膜を介して前記第１のクラッド部に接着されていることを特徴とする付記８記載の光導波路構造体。

（付記１１） 前記第１のクラッド部は、内部に光素子を受容することのできる凹所を有していることを特徴とする付記８記載の光導波路構造体。
（付記１２） 前記第１のクラッド部は、前記溝に形成された前記コア部の端面近傍にレンズを有していることを特徴とする付記８記載の光導波路構造体。

（付記１３） 前記第１のクラッド部は、前記溝に形成された前記コア部の前記端面から前記レンズに至るまでの領域が、前記溝の深さ方向の厚みが前記コア部を覆う前記第２のクラッド部の側に向かって次第に厚くなるように形成されていることを特徴とする付記１２記載の光導波路構造体。

（付記１４） 前記第１のクラッド部は、固定時の位置合わせを行うことのできるガイド構造を有していることを特徴とする付記８記載の光導波路構造体。
（付記１５） 前記溝が形成される前記曲面に側壁が設けられていることを特徴とする付記８記載の光導波路構造体。

（付記１６） 基板と、前記基板に実装された光素子と、前記光素子に入射する光或いは前記光素子から出射された光を伝播する光導波路構造体と、を有する光モジュールに於いて、断面円弧状に湾曲した曲面の凸面側に前記曲面の湾曲方向に延びる溝を有する第１のクラッド部と、前記溝を埋め光が伝播されるコア部と、前記コア部を覆って前記曲面の凸面側に形成された第２のクラッド部と、を備える光導波路構造体を有し、前記光導波路構造体は、前記コア部の端面が基板に実装された光素子の直上になるように配置されていることを特徴とする光モジュール。

（付記１７） 前記第１のクラッド部は、前記溝に形成された前記コア部の端面近傍にレンズを有していることを特徴とする付記１６記載の光モジュール。

第１の実施の形態の光導波路を用いて作製した光モジュールを表す要部切断側面図である。 第１の実施の形態の光導波路の一形態を作製する場合の概略を説明する為の要部側面図（その１）である。 第１の実施の形態の光導波路の一形態を作製する場合の概略を説明する為の要部正面図（その１）である。 第１の実施の形態の光導波路の一形態を作製する場合の概略を説明する為の要部側面図（その２）である。 第１の実施の形態の光導波路の一形態を作製する場合の概略を説明する為の要部正面図（その２）である。 第１の実施の形態の光導波路の一形態を作製する場合の概略を説明する為の要部側面図（その３）である。 第１の実施の形態の光導波路の一形態を作製する場合の概略を説明する為の要部正面図（その３）である。 光導波路にレンズを設けた形態を説明する為の要部側面図である。 光導波路にレンズを設けた形態を説明する為の要部正面図である。 テーパ構造のコア部をもつ光導波路の一形態を表す要部側面説明図である。 テーパ構造のコア部をもつ光導波路の一形態を表す要部正面説明図である。 テーパ構造のコア部をもつ光導波路の一形態を表す要部上面説明図である。 テーパ構造のコア部をもつ光導波路の他の形態を表す要部側面説明図である。 テーパ構造のコア部をもつ光導波路の他の形態を表す要部正面説明図である。 テーパ構造のコア部をもつ光導波路の他の形態を表す要部上面説明図である。 面型光素子アレイ及びプラスチックファイバアレイからなる光モジュールを表す要部上面図である。 図１６に見られる光導波路の要部側面図である。 図１６に見られる光導波路の要部正面図である。 第１の実施の形態の実施例を説明する為の光モジュールを表す要部切断側面図である。 図１９に見られる破線で囲んだ部分を拡大して表す要部切断側面図である。 図１９について説明した光モジュールを表す要部上面図である。 第１の実施の形態の実施例である光導波路の組み立てについて説明する為の要部分解斜面図である。 第１のクラッド部の構造を詳細に説明する為の要部切断側面図である。 第１のクラッド部の構造を詳細に説明する為の要部下面図である。 第１のクラッド部の構造を詳細に説明する為の要部正面図である。 第１のクラッド部の構造を詳細に説明する為の拡大要部正面図である。 第２の実施の形態の光導波路構造体を用いた光モジュールの要部正面図である。 図２７のＡ−Ａ断面図である。 図２７のコア部深さ方向の切断面図である。 レンズ一体型の光導波路構造体の要部正面図である。 図３０のＢ−Ｂ断面図である。 テーパ構造のコア部を有する光導波路構造体の要部正面図である。 図３２のＣ−Ｃ断面図である。 ピッチが変換されたコア部を有する光導波路構造体の要部正面図である。 図３４のＤ−Ｄ断面図である。 スラブ構造のコア部を有する光導波路構造体の要部正面図である。 図３６のＥ−Ｅ断面図である。 図３６のコア部深さ方向の切断面図である。 レンズ一体型の光導波路構造体を形成する場合の概略を説明する為の要部正面図（その１）である。 レンズ一体型の光導波路構造体を形成する場合の概略を説明する為の要部切断側面図（その１）である。 レンズ一体型の光導波路構造体を形成する場合の概略を説明する為の要部正面図（その２）である。 レンズ一体型の光導波路構造体を形成する場合の概略を説明する為の要部切断側面図（その２）である。 レンズ一体型の光導波路構造体を形成する場合の概略を説明する為の要部正面図（その３）である。 レンズ一体型の光導波路構造体を形成する場合の概略を説明する為の要部切断側面図（その３）である。 レンズ一体型の光導波路構造体に於けるレンズ部分の拡大断面図である。 レンズ一体型の光導波路構造体を用いた光モジュールの要部正面図である。 図４６のＩ−Ｉ断面図である。 基板に対して光ファイバを垂直に配置した例を表す要部切断側面図である。 光の経路内の適所に傾斜ミラーを配設した例を表す要部切断側面図である。

符号の説明

４１ プリント基板
４２ 面型光素子
４３ 第１のクラッド部
４３Ａ 光の進行方向を緩徐に直角方向に曲げる為の曲面
４３Ｂ レンズ
４３Ｃ 第１のクラッド部の裏面に形成されて面型光素子を覆う凹所
４３Ｄ 位置合わせピン孔
４３Ｅ 位置合わせピン孔
４３Ｆ 第２のクラッド部が嵌装される嵌合孔
４４ コア部
４５ 第２のクラッド部
４６ 光ファイバリボン
４７ ＭＴ型光コネクタ
４８ 位置合わせピン
４９ 位置合わせピン

Claims (10)

1. 光の進行方向を曲げる為の曲面をもつと共に前記曲面に於ける光の進行方向に沿って形成された溝をもつ第１のクラッド部と、
   前記第１のクラッド部に比較して高い屈折率をもつ透明材料からなり、少なくとも前記溝を埋めるコア部と、
   少なくとも前記コア部の表出面を含む面を覆い、前記第１のクラッド部と一体化された第２のクラッド部と、
   を備えてなることを特徴とする光導波路構造体。
2. 光の進行方向を緩徐に略直角方向に曲げる為の曲面をもつと共に前記曲面に於ける光の進行方向に沿って形成された溝をもつ第１のクラッド部と、
   前記溝を埋め前記第１のクラッド部に比較して高い屈折率をもつ透明材料からなるコア部と、
   前記コア部の表出面及び前記第１のクラッド部に於ける前記曲面を覆って一体化された第２のクラッド部と、
   を備えてなることを特徴とする光導波路構造体。
3. 前記コア部に於ける光入出射端面に前記第１のクラッド部と一体に作製されたレンズが設置されてなることを特徴とする請求項１或いは２記載の光導波路構造体。
4. 光の進行方向を緩徐に略直角方向に曲げる為の曲面をもつと共に前記曲面に於ける光の進行方向に沿って形成された溝をもつ第１のクラッド部と、
   前記溝を埋め前記第１のクラッド部に比較して高い屈折率をもつ透明材料からなるコア部と、
   前記コア部の表出面及び前記第１のクラッド部に於ける前記曲面を覆って一体化された第２のクラッド部と、
   前記第１のクラッド部に於ける面型光素子との対向面に形成され且つ前記面型光素子を受容して外部と遮断する凹所と、
   前記第１のクラッド部の前記曲面に埋め込まれた前記コア部に於ける光入出射端面近傍であって且つ前記面型光素子と対向する位置に前記第１のクラッド部と一体に作製されたレンズと、
   前記第１のクラッド部に形成されて前記第１のクラッド部を基板に固定する際に位置合わせするガイド構造と、
   を備えてなることを特徴とする光導波路構造体。
5. 前記第１のクラッド部の前記曲面に埋め込まれた前記コア部が光の伝播方向についてテーパ構造をなすことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１記載の光導波路構造体。
6. 断面円弧状に湾曲した曲面の凸面側に前記曲面の湾曲方向に延びる溝を有する第１のクラッド部と、
   前記溝を埋め入射した光が伝播されるコア部と、
   前記コア部を覆って前記曲面の凸面側に形成された第２のクラッド部と、
   を有することを特徴とする光導波路構造体。
7. 前記第２のクラッド部は、前記コア部と同一材料の薄膜を介して前記第１のクラッド部に接着されていることを特徴とする請求項６記載の光導波路構造体。
8. 前記第１のクラッド部は、前記溝に形成された前記コア部の端面近傍にレンズを有していることを特徴とする請求項６記載の光導波路構造体。
9. 前記第１のクラッド部は、前記溝に形成された前記コア部の前記端面から前記レンズに至るまでの領域が、前記溝の深さ方向の厚みが前記コア部を覆う前記第２のクラッド部の側に向かって次第に厚くなるように形成されていることを特徴とする請求項８記載の光導波路構造体。
10. 基板と、前記基板に実装された光素子と、前記光素子に入射する光或いは前記光素子から出射された光を伝播する光導波路構造体と、を有する光モジュールに於いて、
    断面円弧状の曲面の凸面側に前記曲面に沿って形成された溝を有する第１のクラッド部と、
    前記溝を埋め光が伝播されるコア部と、
    前記コア部を覆って前記曲面の凸面側に形成された第２のクラッド部と、
    を備える光導波路構造体を有し、
    前記光導波路構造体は、前記コア部の端面が基板に実装された光素子の直上になるように配置されていることを特徴とする光モジュール。
    

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