JP2007178852A - 光配線基板及びこれを用いた光モジュール - Google Patents
光配線基板及びこれを用いた光モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007178852A JP2007178852A JP2005379101A JP2005379101A JP2007178852A JP 2007178852 A JP2007178852 A JP 2007178852A JP 2005379101 A JP2005379101 A JP 2005379101A JP 2005379101 A JP2005379101 A JP 2005379101A JP 2007178852 A JP2007178852 A JP 2007178852A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- optical fiber
- wiring board
- core
- polymer waveguide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【課題】光導波路と光ファイバを低コストで位置合わせできる光配線基板及びこれを用いた光モジュールを提供する。
【解決手段】支持基板10上の中央から一辺に向けて複数のコア11とクラッド12からなるポリマ導波路13を形成し、そのポリマ導波路13を形成するコア材とクラッド材を用いて支持基板10上の中央から他辺にかけて凸状の位置合わせ用パターン14を複数本形成すると共にその位置合わせ用パターン14間で光ファイバガイド溝15を形成し、その光ファイバガイド溝15に光ファイバ20を実装すると共にその光ファイバ20を、ポリマ導波路13の各コア11に接続したものである。
【選択図】図1
【解決手段】支持基板10上の中央から一辺に向けて複数のコア11とクラッド12からなるポリマ導波路13を形成し、そのポリマ導波路13を形成するコア材とクラッド材を用いて支持基板10上の中央から他辺にかけて凸状の位置合わせ用パターン14を複数本形成すると共にその位置合わせ用パターン14間で光ファイバガイド溝15を形成し、その光ファイバガイド溝15に光ファイバ20を実装すると共にその光ファイバ20を、ポリマ導波路13の各コア11に接続したものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、光導波路と光素子や光ファイバなどの光部材との位置合わせ機構とを有し、光ファイバを容易に実装できる光配線基板及びこれを用いた光モジュールに関するものである。
従来、光導波路と光素子等の光部品との実装は、光の光量をモニタしながら最適な位置合わせを行うアクティブ実装と、画像により位置合わせを行う方法、またV溝により光ファイバの位置合わせを行う方法がある。
ここでアクティブ実装は、光源と導波路の位置合わせの場合、導波路からの出射光の光量を最大となるようにLDと導波路の位置関係を調整しなければならず、実装コストが高いという問題がある。また画像による位置合わせでも、画像で、搭載する素子や、導波路の位置関係を認識し、それぞれの位置合わせを行うために、アクティブ実装に比べれば短時間であるが、大幅な低コスト化は望めない。
それに対して、V溝での光素子や光ファイバとの位置合わせ(特許文献1、2)では、上述したような光量モニタや画像モニタの必要がなく、低コストな実装方法として知られている。
また、特許文献3では、光導波路に光ファイバ取付部を一体に形成した基板にシングルモード光ファイバを調心して取り付けることが行われている。
V溝作製方法としては、シリコンの異方性エッチングや金型による樹脂上へ作製する方法があるが、通常はV溝を作製後に導波路を作製するために、V溝と導波路との位置合わせを行う必要があり、その位置合わせが別途必要となる。
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、光導波路と光ファイバを低コストで位置合わせできる光配線基板及びこれを用いた光モジュールを提供することにある。
上記目的を達成するために請求項1の発明は、支持基板上の中央から一辺に向けて複数のコアとクラッドからなるポリマ導波路を形成し、そのポリマ導波路を形成するコア材とクラッド材を用いて支持基板上の中央から他辺にかけて凸状の位置合わせ用パターンを複数本形成すると共にその位置合わせ用パターン間で光ファイバガイド溝を形成し、その光ファイバガイド溝に光ファイバを実装すると共にその光ファイバを、ポリマ導波路の各コアに接続したことを特徴とする光配線基板である。
請求項2の発明は、支持基板上に、アンダークラッド材、コア材、オーバークラッド材を塗布すると共に、上記ポリマ光導波路のコアと位置合わせ用パターン形状を形成すべく露光して硬化させ、未硬化部分を除去して、ポリマ導波路と位置合わせ用パターンを形成する請求項1記載の光配線基板である。
請求項3の発明は、位置合わせ用パターンが導波路端面から支持基板の他辺にかけて延び、隣接する位置合わせ用パターンで形成される光ファイバガイド溝の幅が、前記光ファイバの径と等しく、ポリマ導波路のコアは、光ファイバガイド溝に光ファイバを実装したときに、そのファイバのコア中心と一致するように形成される請求項1又は2に記載の光配線基板である。
請求項4の発明は、請求項1〜3いずれかに記載の光配線基板を、サブマウントコネクタの挿入穴に挿入し、他方そのサブマウントコネクタ内に、光配線基板のポリマ導波路のコアと結合する光ファイバアレイを設けたことを特徴とする光モジュールである。
請求項5の発明は、請求項1〜3いずれかに記載の光配線基板を、サブマウントコネクタの挿入穴に挿入すると共にその挿入穴内に光路を垂直に変換するミラーを設け、サブマウントコネクタにそのミラーに位置して光素子を実装したことを特徴とする光モジュールである。
本発明によれば、ポリマ導波路のコアまたはクラッド作製時にコアを作製するプロセスと同じプロセスによりコアと同時に光ファイバやその他基板位置合わせ用のパターンを作製するために、導波路コアと位置合わせパターンとの位置合わせの必要がなく大幅な低コスト化が可能となる。
以下、本発明の好適な一実施の形態を添付図面に基づいて詳述する。
図1〜図5は、本発明の一実施の形態を示し、図1は平面図、図2は図1のA−A線断面図、図3は、図1のB−B線断面図、図4は図1のC−C線断面図である。
図において、10は、ガラエポ基板、ガラス、プラスチック板等からなる支持基板で、その支持基板10上の中央から一辺(図では右辺)に向けて複数のコア11とクラッド12からなるポリマ導波路13が形成され、そのポリマ導波路13を形成するコア材とクラッド材を用いて支持基板10上の中央から他辺(左辺)にかけて凸状の位置合わせ用パターン14が複数本形成され、その位置合わせ用パターン14間で光ファイバガイド溝15が形成される。
この光ファイバガイド溝15に図7、図8に示すように光ファイバ20が実装され、また光ファイバ20とポリマ導波路13を接着剤23により接着して光配線基板30を形成する。
この接着は、ポリマ導波路13のコア11の屈折率とファイバコア21の屈折率の間の屈折率を持つ接着剤23を用い、また接着剤23で、光ファイバ20のクラッド22も、光ファイバガイド溝15を形成する支持基板10と位置合わせ用パターン14に接着固定する。
図5、図6は、支持基板10上にポリマ導波路13と位置合わせ用パターン14とを同時に形成する工程を示したものである。
先ず、図5(a)に示すように、支持基板10上にアンダークラッド材(アクリル系紫外線硬化樹脂、屈折率1.51)12uが塗布され、ポリマ導波路と位置合わせ用パターンの形状を形成したマスク(図示せず)にてUV露光されて硬化され、未露光・未硬化部分が現像液(アセトン)で除去されて、図5(b)、図6(b)に示すようにポリマ導波路13のアンダークラッド12bと位置合わせ用パターン14bが形成される。
このアンダークラッド12bの厚さは、上述した光ファイバ20のクラッド22の厚さと同じになるように形成する。
次に図5(c)に示すように、コア材(アクリル系紫外線硬化樹脂、屈折率1.56)11cが塗布され、ポリマ導波路のコアと位置合わせ用パターンの形状を形成したマスク(図示せず)にてUV露光されて硬化され、未露光・未硬化部分が現像液で除去されて、図5(d)、図6(d)に示すようにポリマ導波路13のコア11と位置合わせ用パターン14dが形成される。
このコア11の厚さと幅は、光ファイバ20のコア径と同じになるよう形成する。
さらに、図5(e)に示すようにオーバクラッド材11oが塗布され、ポリマ導波路と位置合わせ用パターンの形状を形成したマスク(図示せず)にてUV露光されて硬化され、未露光・未硬化部分が現像液で除去されて、図5(f)に示すようにオーバークラッド12fが形成されて、図1に示したポリマ導波路13と位置合わせ用パターン14が形成される。
この支持基板10へのポリマ導波路13と位置合わせ用パターン14は、図示のように予め使用する形状に形成しても、或いは大きな支持基板10を用い、その支持基板10上に、ポリマ導波路13と位置合わせ用パターン14を多数形成した後、ダイシングにより図示した四角形状に切り出して形成するようにしてもよい。
以上のように支持基板10へのポリマ導波路13と位置合わせ用パターン14を形成した後、図7、図8で説明したように光ファイバ20を位置合わせ用パターン14間の光ファイバガイド溝15に実装して、光ファイバ20のコア21とポリマ導波路13のコア11とを結合する。この場合、支持基板10からコア11の中心までの高さは、光ファイバ20の半径と同じに形成され、また位置合わせ用パターン14は、マスクを用いて露光・現像して形成するため、精密である、光ファイバガイド溝15に光ファイバ20を嵌め込めば、光ファイバ20のコア21とポリマ導波路13のコア11との調心ができる。
この光ファイバ20は、コア径が数10μmのマルチモードファイバであり、クラッド22の径の誤差は、サブミクロン程度であり、上述のように位置合わせ用パターン14をマスクを用いて露光・現像して形成することで、接続のための調心作業を必要とせず、低コスト化が可能となる。
次に、この光配線基板30を用いて、光モジュールを構成する例を図9、図10により説明する。
図9に示すように、サブマウントコネクタ32には、光配線基板30のポリマ導波路13を挿入する挿入穴33が形成され、また、ポリマ導波路13のコア11(図示なし)に位置してファイバーアレー34が形成されており、その挿入穴33に光配線基板30を挿入し、接着剤35で固定することで光モジュール36とすることができる。
図10は、光配線基板と光素子とを結合した光モジュール40の例を示したものである。
透明なサブマウントコネクタ41には、光配線基板30のポリマ導波路13を挿入する挿入穴42が形成され、その挿入穴42内に光路を垂直に変換するミラー43が設けられ、サブマウントコネクタ41に、そのミラー43に位置してVCSELアレイやPDアレイなどの光素子44がハンダ45で実装される。
このミラー43は、プリズム状をしたガラスで作製されており、反射面に金属コート、または多層膜コートが施されている。
サブマウントコネクタ41の挿入穴42内のミラー43と結合するよう光配線基板30のポリマ導波路13を挿入すると共に接着剤46で固定して光モジュール40とする。
この光モジュール40においては、VCSELアレイからなる光素子44からの光信号がサブマウントコネクタ41を通し、ミラー43で全反射されて光配線基板30のポリマ導波路13の各コアに入射され、光ファイバ20(図示せず)に送信される。また光素子44がPDアレイの場合、光ファイバ20からの光信号がポリマ導波路13からミラー43に入射され、ミラー43で全反射されて光素子44で受信される。
図11は、光配線基板30の変形例を示したもので、支持基板10上に、ポリマ導波路13と位置合わせ用パターン14(図示なし)を形成する他にクラッド12の部分をやや大きめに形成し、その余剰のクラッド部分12sに他の光部品との位置合わせ用の溝47を形成したもので、これにより光配線基板30を他の光部品に取り付ける際の位置決め精度を向上させることができる。
なお、上述の実施の形態では、紫外線硬化樹脂を塗布し、これを露光し、現像液で未硬化部分を除去する例で説明したが、位置合わせ用パターン14の形成には、この他にも、支持基板10やクラッド12をエッチングにより形成するようにしてもよい。またこのエッチングは大きめにしてラフでよく、精密なエッチングはコア加工のときに行えばよい。
10 支持基板
11 コア
12 クラッド
13 ポリマ導波路
14 位置合わせ用パターン
15 光ファイバガイド溝
20 光ファイバ
11 コア
12 クラッド
13 ポリマ導波路
14 位置合わせ用パターン
15 光ファイバガイド溝
20 光ファイバ
Claims (5)
- 支持基板上の中央から一辺に向けて複数のコアとクラッドからなるポリマ導波路を形成し、そのポリマ導波路を形成するコア材とクラッド材を用いて支持基板上の中央から他辺にかけて凸状の位置合わせ用パターンを複数本形成すると共にその位置合わせ用パターン間で光ファイバガイド溝を形成し、その光ファイバガイド溝に光ファイバを実装すると共にその光ファイバを、ポリマ導波路の各コアに接続したことを特徴とする光配線基板。
- 支持基板上に、アンダークラッド材、コア材、オーバークラッド材を塗布すると共に、上記ポリマ光導波路のコアと位置合わせ用パターン形状を形成すべく露光して硬化させ、未硬化部分を除去して、ポリマ導波路と位置合わせ用パターンを形成する請求項1記載の光配線基板。
- 位置合わせ用パターンが導波路端面から支持基板の他辺にかけて延び、隣接する位置合わせ用パターンで形成される光ファイバガイド溝の幅が、前記光ファイバの径と等しく、ポリマ導波路のコアは、光ファイバガイド溝に光ファイバを実装したときに、そのファイバのコア中心と一致するように形成される請求項1又は2に記載の光配線基板。
- 請求項1〜3いずれかに記載の光配線基板を、サブマウントコネクタの挿入穴に挿入し、他方そのサブマウントコネクタ内に、光配線基板のポリマ導波路のコアと結合する光ファイバアレイを設けたことを特徴とする光モジュール。
- 請求項1〜3いずれかに記載の光配線基板を、サブマウントコネクタの挿入穴に挿入すると共にその挿入穴内に光路を垂直に変換するミラーを設け、サブマウントコネクタにそのミラーに位置して光素子を実装したことを特徴とする光モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005379101A JP2007178852A (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 光配線基板及びこれを用いた光モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005379101A JP2007178852A (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 光配線基板及びこれを用いた光モジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007178852A true JP2007178852A (ja) | 2007-07-12 |
Family
ID=38304084
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005379101A Pending JP2007178852A (ja) | 2005-12-28 | 2005-12-28 | 光配線基板及びこれを用いた光モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007178852A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009198803A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Sony Corp | 光モジュール及び光導波路 |
JP2012113031A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2012128271A (ja) * | 2010-12-16 | 2012-07-05 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ |
JP2012133235A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2012155192A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2012155191A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2012163714A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2016071256A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
WO2016180071A1 (zh) * | 2015-05-08 | 2016-11-17 | 中兴通讯股份有限公司 | 光波导板与光纤耦合连接方法、光波导板和通信传输系统 |
US11415753B2 (en) | 2020-04-30 | 2022-08-16 | Corning Research & Development Corporation | High-density FAUs and optical interconnection devices and related methods |
-
2005
- 2005-12-28 JP JP2005379101A patent/JP2007178852A/ja active Pending
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009198803A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Sony Corp | 光モジュール及び光導波路 |
JP4577376B2 (ja) * | 2008-02-21 | 2010-11-10 | ソニー株式会社 | 光導波路の製造方法 |
US8180189B2 (en) | 2008-02-21 | 2012-05-15 | Sony Corporation | Optical module and optical waveguide |
JP2012113031A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2012128271A (ja) * | 2010-12-16 | 2012-07-05 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ |
JP2012133235A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2012155192A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2012155191A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2012163714A (ja) * | 2011-02-04 | 2012-08-30 | Hitachi Chem Co Ltd | 光ファイバコネクタ及びその製造方法 |
JP2016071256A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 住友大阪セメント株式会社 | 光変調器 |
WO2016180071A1 (zh) * | 2015-05-08 | 2016-11-17 | 中兴通讯股份有限公司 | 光波导板与光纤耦合连接方法、光波导板和通信传输系统 |
US11415753B2 (en) | 2020-04-30 | 2022-08-16 | Corning Research & Development Corporation | High-density FAUs and optical interconnection devices and related methods |
US11567285B2 (en) | 2020-04-30 | 2023-01-31 | Corning Research & Development Corporation | High-density FAUs and optical interconnection devices including optimized arrays and related methods |
US11586000B2 (en) | 2020-04-30 | 2023-02-21 | Corning Research & Development Corporation | High-density FAUs and optical interconnection devices and related methods |
US11828998B2 (en) | 2020-04-30 | 2023-11-28 | Corning Research & Development Corporation | High-density FAUs and optical interconnection devices and related methods |
US11934025B2 (en) | 2020-04-30 | 2024-03-19 | Corning Research & Development Corporation | FAUs including passive alignment adhesive profiles and related methods |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4577376B2 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
US20190170945A1 (en) | Waveguide connector elements and optical assemblies incorporating the same | |
JP2007178852A (ja) | 光配線基板及びこれを用いた光モジュール | |
JP4730274B2 (ja) | 光結合器、光コネクタ及びレセプタクル型光伝送モジュール | |
US20060215963A1 (en) | Optical connecting device and connector | |
US7590315B2 (en) | Optical waveguide and optical module using the same | |
JP4910788B2 (ja) | 光モジュール及び光導波路の製造方法 | |
JP2009198804A (ja) | 光モジュール及び光導波路 | |
US20190121030A1 (en) | Optical coupler for coupling light in/out of an optical receiving/emitting structure | |
JP2007072007A (ja) | 光導波路モジュール | |
JP2016071137A (ja) | 導波路用のコネクタおよびアライメント方法 | |
JP2007199254A (ja) | 光モジュール及び光モジュールの製造方法 | |
US20140086532A1 (en) | Optical Coupling Device, Optical Communication System and Method of Manufacture | |
JP2007183467A (ja) | ミラー付光導波路及びその製造方法 | |
Palen | Low cost optical interconnects | |
JP2010066474A (ja) | 光学接続構造 | |
JP2005345708A (ja) | 光導波路フィルムおよびその作製方法と接続方法 | |
EP2031427B1 (en) | Optical terminal | |
JP4565076B2 (ja) | 光路変換デバイス及び光伝送デバイスの製造方法並びにそれらの製造具 | |
JP4524390B2 (ja) | 光接続装置の製造方法 | |
KR20210105974A (ko) | 광 커넥터 모듈 및 광 도파로 기판의 제조 방법 | |
JP4427646B2 (ja) | 光接続手段を備えた光デバイス及びその製造方法 | |
JP2015079061A (ja) | 光モジュール、これを用いた電子機器、及び光モジュールの組立方法 | |
JP5686015B2 (ja) | 光コネクタ及び光コネクタの製造方法 | |
JP4728857B2 (ja) | 光結合器 |