JP4565076B2 - 光路変換デバイス及び光伝送デバイスの製造方法並びにそれらの製造具 - Google Patents
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Description
また、本発明は、光ファイバ等の光配線部材によってそのような短尺光ピン、短尺光ピンアレイ、プリズム等と光学的に接続される光伝送路を形成するための光伝送デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
さらに、本発明は、上記短尺光ピン、短尺光ピンアレイ、プリズム等を有する光路変換デバイス及びそれらと光学的に接続される光伝送路を形成するための光伝送デバイスを製造するための製造具を提供することを目的とする。
また、本発明は、面倒な調芯を行うことなく短尺光ピンアレイ、プリズム等と光学的に接続される光伝送路を形成することができ、さらに、Mチャネル×Nチャネルの光伝送路を形成することが可能な光接続デバイスの製造具を提供することを目的とする。
また、別途形成された光路変換デバイスを後から光素子に取り付けるものではないので光路変換デバイスの設置時に直接光素子と接触するということがなく、光素子の破損を回避することができ、従来の光路変換デバイスを用いるよりも性能をより高く保持することができるという効果がある。
図6(a)に示すように、基板60上には発光素子又は受光素子等の光素子20が実装されており、この光素子20上に自己形成光導波路である光ピン50の配設を行う。
初めに、図示しない移動装置に保持体17を取り付け、光素子20の位置を確認しながら所定位置に移動する(ステップS1)。そして、光路変換デバイスの製造具1を徐々に降下させて光ピン形成体10の最先端部15aを光素子20近傍に当接させる(ステップS2)。この時、最先端部15aを光素子20近傍に当接させずに光素子20と光ピン形成体10との間隔を大きく取ることでより長尺な光ピン50を形成することもできる。また、傾斜面15を含む光ピン形成体10に予め離型剤を塗布しておけば後述の光感光性媒質70との剥離性が良くなり、光ピン50に形成される反射面55との剥離を容易に行わせることができ、反射面55の精度も向上する。
図7(a)に示すように、光デバイスウエハ65上には所定間隔を隔てて複数の光素子20が配置されている。そして、それぞれの光素子20上に行きわたるようにして光デバイスウエハ65上に光感光性媒質70を塗布する(図7(a))。そして、第1の実施形態の場合と同様に、図示しない移動装置に取り付けた保持体17を光素子20の位置を確認しつつ所定位置に移動させた後、徐々に降下させ、光ピン形成体10の最先端部15aを光素子20近傍に当接させる(図7(b))。そして、光ピン形成体10を介して光感光性媒質70に光(例えば、紫外線硬化樹脂を満たした場合には紫外線)を照射して光感光性媒質70を硬化させる。光感光性媒質70が硬化したら光路変換デバイスの製造具2を移動させ、未硬化の光感光性媒質70を除去すれば各光素子20の上部に45°の反射面55を備えた自己形成光導波路からなる光ピン50が形成される(図7(c))。
図示された光伝送デバイスの製造具3は、基板60等の上に光ファイバ等の光配線部材によって構成される光伝送路を形成するための製造具である。図11(a)に示されているように、光伝送デバイスの製造具3は、概略として、直方体形状をした支持部形成体30の底面部31に所定の間隔を隔てて設けられた一対のV字状の凹部35、35が設けられて形成されている。支持部形成体30は、光透過性の素材、例えば、ガラスやアクリル等の合成樹脂等によって形成されており、底面部31に設けられた凹部35、35はそれぞれ長手方向に且つ平行に穿設されている。尚、凹部35、35の形状、間隔、深さ等を変えることで、種々の大きさ及び形状の支持部を形成することができ、それによって光配線に対する様々な設置要求に対応することが可能となる。
初めに、光伝送路を配置すべき取付面となる基板60上の所定位置に光感光性媒質70を塗布する(ステップS11)。そして、その上に光伝送デバイスの製造具3を底面部31を下にして光伝送経路を形成すべき基板60上の所定位置に配置する(ステップS12)。すると光感光性媒質70は凹部35、35内に取り込まれると共に、余分な光感光性媒質70四方から流れ出るので、流れ出た余分の光感光性媒質70を適宜取り除く(ステップS13)。そして、支持部形成体30の上方から光を照射して凹部35、35内に保持された光感光性媒質70を硬化する(ステップS14)。凹部35、35内の光感光性媒質70が硬化したら光接続デバイスの製造具3を取り外すと共に余分の光感光性媒質70を除去すると基板60上には一対の凸状の支持部61、61が形成される。この支持部61、61はいわゆるV溝として機能し、これに、図12(d)、(e)に示すように、光ファイバ等の光配線63を支持させることによって光伝送経路が形成される。尚、光感光性媒質70と照射する光の種類や離型剤等については上述した実施形態と同様であり、ここでの説明は省略する。
初めに、光素子20が実装された取付面である基板60上の光伝送経路を形成すべき所定位置に光感光性媒質70を塗布する。そして、図示しない移動装置に保持体17を取り付け、光素子20の位置を確認しながら所定位置に移動し、光接続デバイスの製造具5を徐々に降下させて光ピン形成体10の最先端部15aを光素子20近傍に当接させる。尚、最先端部15aが光素子20近傍に完全に当接しなくとも最先端部15aが光素子20の近傍に位置した状態で支持部形成体30の底面部31が基板60上に載置されているようにしても良い。
3、4 光伝送デバイスの製造具
5 光接続デバイスの製造具
7 光デバイス
8 光デバイスアレイ
9 プリズム状の光ピンを備えた光デバイス
10 光ピン形成体
11 コア部
13 クラッド部
15 傾斜面
15a 最先端部
16 導波断面
17 保持体
20 光素子
30 支持部形成体
31 底面部
35 凹部
36 凹部
50 光ピン
55 反射面
60 基板
61 支持部
63 光配線
65 光デバイスウエハ
70 光感光性媒質
80 カッタ
Claims (12)
- 光素子上に、その先端部に所定の傾斜角を有する反射面によって光路の変換を行う光路変換手段を備えた光路変換デバイスの製造方法であって、
入射された光を伝搬させて出射する機能を有し、その先端が所定の傾斜角を有する傾斜面とされた自己形成光導波路形成体の最先端部を前記光素子近傍に当接させると共に、前記光素子と前記自己形成光導波路形成体との間に塗布された光の照射によって硬化する光感光性媒質に当該自己形成光導波路形成体を介して光を照射することにより前記光素子上に先端部に所定の傾斜角を有する反射面を備えた自己形成光導波路を形成することを特徴とする光路変換デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の光路変換デバイスの製造方法において、
前記自己形成光導波路形成体を所定の間隔を隔てて複数連設し、それによって多数の光素子上に自己形成光導波路を形成するようにしたことを特徴とする光路変換デバイスの製造方法。 - 光配線部材によって構成される光伝送路を形成する光伝送デバイスの製造方法であって、
光透過性の素材によって形成され、その底面部に所定の間隔を隔てて設けられた一対の凹部を備えた支持部形成体の前記底面部を光伝送路が取り付けられる取付面上の所定位置に配置すると共に、前記凹部に充填された光の照射によって硬化する光感光性媒質に当該支持部形成体を介して光を照射することにより前記取付面上に凸状の支持部を形成し、当該支持部によって前記光配線部材を支持させることにより前記取付面上に光伝送路を形成することを特徴とする光伝送デバイスの製造方法。 - 請求項3に記載の光伝送デバイスの製造方法において、
前記支持部形成体の底面部に複数対の凹部を連設し、それによって前記取付面上に多数の光伝送路を形成するようにしたことを特徴とする光伝送デバイスの製造方法。 - 請求項1又は2に記載の光路変換デバイスの製造方法と、請求項3又は4に記載の光伝送デバイスの製造方法とを並行して実施することにより、光素子上に、先端部に所定の傾斜角を有する反射面を備えた自己形成光導波路と、前記光配線部材によって構成される光伝送路を支持する前記支持部とを、前記自己形成光導波路との光軸が一致するような位置に同時に形成することを特徴とする光接続デバイスの製造方法。
- 請求項1又は2に記載の光路変換デバイス及び請求項3又は4に記載の光伝送デバイス並びに請求項5に記載の光接続デバイスの製造方法において、
前記光感光性媒質が紫外線硬化樹脂であり、照射される光が紫外光であることを特徴とする光路変換デバイス及び光接続デバイス並びに光接続デバイスの製造方法。 - 請求項1又は2に記載の光路変換デバイスの製造方法に使用するための光路変換デバイスの製造具であって、
入射された光を伝搬させて出射する機能を有し、前記光路変換デバイスの自己形成光導波路からなる光路変換手段に形成すべき反射面の先端部の角度と同じ角度をその先端部の内角に有する前記自己形成光導波路形成体と、
前記光導波路形成体を保持する保持体と、
を備えてなること特徴とする光路変換デバイスの製造具。 - 請求項7に記載の光路変換デバイスの製造具において、
前記自己形成光導波路形成体が所定の間隔を有して複数連設され、それによって多数の光素子上にそれぞれ自己形成光導波路を形成可能としたことを特徴とする光路変換デバイスの製造具。 - 請求項3又は4に記載の光伝送デバイスの製造方法に使用するための光伝送デバイスの製造具であって、
光透過性の素材によって形成され、その底面部に前記光配線部材を支持させる支持部を形成するために所定の間隔を隔てて設けられた一対の凹部を備えた支持部形成体を備えてなることを特徴とする光伝送デバイスの製造具。 - 請求項9に記載の光伝送デバイスの製造具において、
前記支持部形成体の底面部には複数対の凹部が連設され、それによって光伝送路が取り付けられる取付面上に多数の前記支持部を形成可能としたことを特徴とする光伝送デバイスの製造具。 - 請求項7に記載の前記自己形成光導波路形成体と、
請求項9に記載の前記支持部形成体と、
を備え、
前記自己形成光導波路形成体と前記支持部形成体とは、当該自己形成光導波路形成体によって形成される自己形成光導波路の光軸と、前記支持部形成体によって形成される支持部に支持される光配線部材によって形成される光伝送路の光軸とが一致するように位置合わせされた状態で一体とされていることを特徴とする光接続デバイスの製造具。 - 請求項11に記載の光接続デバイスの製造具において、
前記光導波路形成体は一又は複数設けられていると共に、前記支持部形成体には凹部が一対又は複数対設けられていることを特徴とする光接続デバイスの製造具。
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