JP4910788B2 - 光モジュール及び光導波路の製造方法 - Google Patents
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Description
そして、導波路側位置合わせマーカーは、コアと同一平面にコアと同一材料で作製される。
図1は、本実施の形態の光モジュールの構成の一例を示す分解斜視図、図2は、本実施の形態の光モジュールの構成の一例を示す正面図、図3は、本実施の形態の光モジュールの構成の一例を示す側断面図である。
図4は、本実施の形態の光モジュールにおける位置合わせマーカーを使用した位置合わせ動作の詳細を示す動作説明図である。光導波路3の導波路側位置合わせマーカー33は、十字形状で構成される。一方、レンズアレイ2のレンズ側位置合わせマーカー21は、導波路側位置合わせマーカー33の十字形状を囲う4個の四角形状で構成される。
上述したように構成された光モジュール1Aは、例えば一対の光モジュール1Aをレンズ20を対向させて配置して、光コネクタを構成する。
本実施の形態の光導波路3は、例えばフォトリソグラフィプロセスによってコア30、導波路側位置合わせマーカー33及びファイバガイド溝34を形成して作製される。
以上説明した光モジュール1Aでは、光導波路3を構成する導波路材料は、アクリル系高分子材料に限らず、エポキシ系高分子材料、その他無機高分子材料でも良い。また、光導波路3の形状は上述した例に限らず、どのような形状のものでも良い。
Claims (5)
- 少なくとも1個のレンズが形成されると共に、前記レンズの裏面側にレンズ側接合面が形成され、所定の波長の光が透過されるレンズ部材と、
前記レンズ部材の前記レンズ側接合面に形成され、前記レンズ部材の前記レンズが形成された表面側から視認されるレンズ側位置合わせマーカーと、
光が伝搬される少なくとも1本のコアを有すると共に、前記コアの伸びる方向に沿った一方の端部に、前記レンズの配置に合わせて前記コアの端面が露出され、前記レンズ部材の前記レンズ側接合面と当接される導波路側接合面が形成された光導波路と、
前記光導波路の前記導波路側接合面に形成されて、前記導波路側接合面に前記レンズ側接合面が当接された前記レンズ部材の前記レンズが形成された表面側から視認され、前記レンズ部材の前記レンズ側位置合わせマーカーに位置が合わせられると、前記レンズ部材の前記レンズと前記光導波路の前記コアの位置が合わせられる導波路側位置合わせマーカーと、を備え、
前記導波路側位置合わせマーカーは、前記コアと同一平面に前記コアと同一材料で作製される
光モジュール。 - 前記レンズ部材と前記光導波路は、前記レンズ側接合面と前記導波路側接合面が当接され、前記レンズ側位置合わせマーカーと前記導波路側位置合わせマーカーの位置が合わせられて、接着固定される
請求項1記載の光モジュール。 - 前記導波路側位置合わせマーカーは、前記光導波路の前記コアの伸びる方向に沿った他方の端部に到達する長さを有し、前記光導波路の他方の端部側から入射された光で、前記導波路側接合面で前記導波路側位置合わせマーカーが照射される
請求項1または2に記載の光モジュール。 - 基板上にクラッドを形成する導波路材料及びコアを形成する導波路材料を成膜して、アンダークラッド、少なくとも1本のコア及び前記コアを覆うオーバークラッドを作製すると共に、
前記コアを作製するプロセスで、マーカー形成薄膜を成膜して導波路シートを作製し、
前記コア及び前記マーカー形成薄膜を横切る所定の位置で前記導波路シートを切断して、前記コアの端面が露出すると共に、前記マーカー形成薄膜の端面が露出して導波路側位置合わせマーカーが形成された導波路側接合面を備えた光導波路を作製する
光導波路の製造方法。 - 前記導波路シートはフォトリソグラフィプロセスで前記コアが作製され、前記コアを作製するプロセスで、前記コアのパターンと前記導波路側位置合わせマーカーのパターンが一体に形成されたフォトマスクを使用して、前記コアと前記マーカー形成薄膜を作製する
請求項4記載の光導波路の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007057616A JP4910788B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | 光モジュール及び光導波路の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007057616A JP4910788B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | 光モジュール及び光導波路の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008216905A JP2008216905A (ja) | 2008-09-18 |
JP4910788B2 true JP4910788B2 (ja) | 2012-04-04 |
Family
ID=39836973
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007057616A Expired - Fee Related JP4910788B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | 光モジュール及び光導波路の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4910788B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9366832B2 (en) | 2014-04-08 | 2016-06-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical connection structure |
CN107430221A (zh) * | 2015-03-11 | 2017-12-01 | 纳卢克斯株式会社 | 具备位置测定部的部件及测定方法 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8983252B2 (en) | 2007-11-15 | 2015-03-17 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical circuit and optical signal processing apparatus using the same |
JP5686015B2 (ja) * | 2011-03-26 | 2015-03-18 | 富士通株式会社 | 光コネクタ及び光コネクタの製造方法 |
JP2014194473A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-09 | Hitachi Chemical Co Ltd | 光導波路及び光導波路の検査方法 |
JP6029115B2 (ja) * | 2014-03-26 | 2016-11-24 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーションInternational Business Machines Corporation | 光デバイス、光コネクタ・アセンブリおよび光接続方法 |
JP6446335B2 (ja) * | 2015-06-17 | 2018-12-26 | コニカミノルタ株式会社 | 結像光学素子およびその製造方法 |
JP6248244B1 (ja) | 2016-08-09 | 2017-12-20 | ナルックス株式会社 | 位置測定部を備えた部品 |
WO2018207310A1 (ja) * | 2017-05-11 | 2018-11-15 | ナルックス株式会社 | 位置測定方法及び部品 |
US10295754B2 (en) * | 2017-05-11 | 2019-05-21 | Nalux Co., Ltd. | Position determination method and element |
JP6813680B2 (ja) * | 2017-06-07 | 2021-01-13 | 日本電信電話株式会社 | 光導波路チップの接続構造 |
WO2022163481A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | 京セラ株式会社 | 光回路基板およびそれを用いた電子部品実装構造体 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06102437A (ja) * | 1992-09-24 | 1994-04-15 | Fujitsu Ltd | 光連結部材及びこれを用いた多チャンネルアレイモジュール |
JP2001174672A (ja) * | 1999-12-16 | 2001-06-29 | Mitsubishi Electric Corp | 光素子モジュール |
KR100526505B1 (ko) * | 2003-06-24 | 2005-11-08 | 삼성전자주식회사 | 광도파로와 광학소자의 결합 구조 및 이를 이용한 광학정렬 방법 |
-
2007
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9366832B2 (en) | 2014-04-08 | 2016-06-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Optical connection structure |
CN107430221A (zh) * | 2015-03-11 | 2017-12-01 | 纳卢克斯株式会社 | 具备位置测定部的部件及测定方法 |
CN107430221B (zh) * | 2015-03-11 | 2020-05-19 | 纳卢克斯株式会社 | 具备位置测定部的部件及测定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008216905A (ja) | 2008-09-18 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111220 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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