JP6446335B2 - 結像光学素子およびその製造方法 - Google Patents
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- 一方の面側に配置される被投影物の鏡映像を他方の面側の空間位置に結像させる結像光学素子の製造方法であって、
平面形状を有する光反射部が透明板材を介して積層されてなり、複数の前記光反射部が互いに平行に配置される第1積層ブロックおよび第2積層ブロックを準備する工程を備え、
前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックの各々は、複数の前記光反射部の端部が露出し、表裏に配置される第1面および第2面を有し、さらに、
前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロック間で対応する前記光反射部が同一平面に配置されるように、前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックを相互に位置決めする工程と、
相互に位置決めされた前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックを互いに接合する工程とを備え、
前記第1積層ブロックおよび第2積層ブロックを相互に位置決めする工程は、
前記第1面側から電気信号または光を入力し、前記第2面側で電気信号または光を検出することによって、前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロック内の特定の層を認識する工程と、
前記特定の層を指標にして前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックの位置を調整する工程とを含む、結像光学素子の製造方法。 - 前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロック内には、前記光反射部により複数の金属反射面が形成され、
前記第1積層ブロックおよび第2積層ブロック内の特定の層を認識する工程は、前記第1面側の前記金属反射面から電気信号を入力し、前記第2面側の前記金属反射面で電気信号を検出することによって、複数の前記金属反射面のうちの特定の前記金属反射面を認識する工程を含む、請求項1に記載の結像光学素子の製造方法。 - 前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックの各々は、導電性を有し、前記透明板材同士を接合するための複数の接着剤層を含み、
前記第1積層ブロックおよび第2積層ブロック内の特定の層を認識する工程は、前記第1面側の前記接着剤層から電気信号を入力し、前記第2面側の前記接着剤層で電気信号を検出することによって、複数の前記接着剤層のうちの特定の前記接着剤層を認識する工程を含む、請求項1または2に記載の結像光学素子の製造方法。 - 一方の面側に配置される被投影物の鏡映像を他方の面側の空間位置に結像させる結像光学素子の製造方法であって、
平面形状を有する光反射部が透明板材を介して積層されてなり、複数の前記光反射部が互いに平行に配置される第1積層ブロックおよび第2積層ブロックを準備する工程を備え、
前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックの各々は、複数の前記光反射部の端部が露出し、表裏に配置される第1面および第2面を有し、さらに、
前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロック間で対応する前記光反射部が同一平面に配置されるように、前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックを相互に位置決めする工程と、
相互に位置決めされた前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックを互いに接合する工程とを備え、
前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックの各々は、前記透明板材同士を接合するための複数の接着剤層を含み、
前記第1積層ブロックおよび第2積層ブロックを相互に位置決めする工程は、
複数の前記接着剤層のうちから、色素を含有する特定の前記接着剤層を認識する工程と、
特定の前記接着剤層を指標にして前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックの位置を調整する工程とを含む、結像光学素子の製造方法。 - 前記第1積層ブロックおよび第2積層ブロックを互いに接合する工程の後、前記第1積層ブロックおよび前記第2積層ブロックを、前記第1面および前記第2面に平行な面で切断することにより、第1光学素子および第2光学素子を含む複数の光学素子を形成する工程と、
前記第1光学素子に形成された前記光反射部と、前記第2光学素子に形成された前記光反射部とが直交するように、前記第1光学素子および前記第2光学素子を接合する工程とをさらに備える、請求項1から4のいずれか1項に記載の結像光学素子の製造方法。 - 一方の面側に配置される被投影物の鏡映像を他方の面側の空間位置に結像させる結像光学素子であって、
平面形状を有する光反射部が透明板材を介して積層されてなり、平板形状を有する光学素子を備え、
前記光学素子は、対応する前記光反射部が同一平面に配置されるように相互に位置決めされ、前記光学素子の面方向において互いに接合される第1分割光学素子および第2分割光学素子を含み、
前記第1分割光学素子および前記第2分割光学素子の各々は、前記透明板材同士を接合するための複数の接着剤層を含み、
前記複数の接着剤層は、色素を含有する特定の接着剤層を含む、結像光学素子。
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