JP6495054B2 - パッケージ基板の研削方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 92
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 52
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 50
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 50
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 43
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
図2に示すように、チャックテーブル14の保持面141にパッケージ基板1を載置する。具体的には、保持部140の保持面141にパッケージ基板1を電極板3側から載置して、樹脂封止層2を上向きに露出させる。このとき、パッケージ基板1は、外周側が上方に反るように湾曲しているため、パッケージ基板1の電極板3の中央部分は、保持面141に接触するが、電極板3の外周縁3cは保持面141に対して非接触の状態となる。
図3及び図4に示すように、シート治具4によって、パッケージ基板1の電極板3の外周縁3cをシールする。具体的には、シート5の開口部5aを保持面141の中央に位置づけてシート5を保持面141に載置するとともに、リングフレーム6をフレーム保持部142の上に載置する。リングフレーム6は、磁力によってフレーム保持部142に保持される。
図5に示すように、シート5及びパッケージ基板1をチャックテーブル14の保持面141で吸引保持する。具体的には、図示しないバルブを開いて保持面141を吸引源15に連通させて吸引源15の吸引力を保持面141に作用させ、シート5と電極板3とを保持面141で吸引する。シート5が吸引力によって下方に引っ張られることにともない、シート5の内周部5bが電極板3の外周縁3cを押し付けて外周縁3cの反りを矯正する。
保持工程の後、図1に示した研削手段16を用いて、チャックテーブル14に保持されたパッケージ基板1を研削する。具体的には、図1に示したチャックテーブル14を研削手段16の下方に移動させる。研削手段16が研削ホイール164を回転させつつ、研削送り手段17によって研削手段16をチャックテーブル14の保持面141に接近する方向に下降させながら、回転する研削砥石165でパッケージ基板1の樹脂封止層2を研削してパッケージ基板1の仕上げ厚みに至るまで研削する。研削加工を実施した後は、チャックテーブル14の保持面141から図示しない搬送手段を用いてパッケージ基板1を搬出する。
また、保持工程を実施するときは、パッケージ基板1の形状及び大きさに応じたシート5の開口部5aから樹脂封止層2のみを露出させて保持面141で電極板3及びシート5を吸引することにより、シート5の内周部5bが電極板3の外周縁3cを押さえつけるため、電極板3の反りを矯正しつつ保持面141から吸引力がリークするのを防止することができ、チャックテーブル14で確実にパッケージ基板1を吸引保持することができる。
ることが可能となっている。
また、板状部材23を備えたことにより、シート21の内周部21bの捲れ上がりを防止できる。つまり、電極板3と同じ厚みの板状部材23を備える事でパッケージ基板1を吸引保持したときでもシート21を平面な状態にする事ができ、内周部21bの内側の吸引力が及ばない部分に研削水が噴き付けられて、シート21が捲れ上げられる可能性がなくなる。
なお、板状部材23とリングフレーム22とはシート21の同一面に貼着していても良い。また、開口部23は、複数の板状部材23をシート21に貼着して形成しても良い。
つまり、シート5は、電極板3を押さえつけることができるための、ある程度の硬さを備えていて、電極板に接触してエアーのリークが防止できる材質であれば良い。
3c:外周縁 4:シート治具 5:シート 5a:開口部 5b:内周部
6:リングフレーム
10:加工装置 11:装置ベース 11a:上面 12:コラム 13:移動基台
14:チャックテーブル 140:保持部 141:保持面 142:フレーム保持部
15:吸引源
16:研削手段 160:スピンドルユニット 161:ホルダ
162:モータ 163:マウント 164:研削ホイール 165:研削砥石
17:研削送り手段 170:ボールネジ 171:モータ 172:ガイドレール
20:シート治具 21:シート 210:接触面 21a:開口部 21b:内周部
22:リングフレーム 23:板状部材 23a:開口部
30:シート治具 31:シート 310:接触面 31a:開口部 31b:内周部
32:板状部材 32a:開口部
40:シート治具 41:板状部材
42:小開口部 43:大開口部 44:突出部 45:開口部 46:段差
Claims (5)
- 表面に複数の分割予定ラインが形成された電極板と、該分割予定ラインによって区画された各領域の裏面にデバイスが形成され外周側に該電極板の一部を露出させ該複数のデバイスを樹脂によって被覆した封止樹脂層とから構成され、反りを有するパッケージ基板の該封止樹脂層を所望の厚さに研削するパッケージ基板の研削方法であって、
チャックテーブルに該パッケージ基板を載置する載置工程と、
該電極板よりも小さく該封止樹脂層よりも大きい開口部を有するシートによって、該封止樹脂層が露出するように該電極板の外周側を覆う保持面シール工程と、
該チャックテーブルに該シートと該パッケージ基板とを吸引保持することにより、該外周側を該シートで押さえつける保持工程と、
砥石を備えた研削手段によって該封止樹脂層を研削することにより、該パッケージ基板を仕上げ厚みまで薄化する研削工程と、
を具備することを特徴とする研削方法。 - 請求項1記載の研削方法に用いられるシート治具であって、
リングと、
該リングに貼着され前記パッケージ基板の前記電極板よりも小さく前記封止樹脂層よりも大きい開口部を有するシートと、からなることを特徴とするシート治具。 - 前記シートの前記チャックテーブルと対面する側の面に、前記電極板と同等の厚みを有しかつ、少なくとも該電極板と同等の大きさの開口部を有する板状部材が貼着される請求項2記載のシート治具。
- 請求項1記載の研削方法に用いられるシート治具であって、
少なくとも前記チャックテーブルの保持面の外径と同等の外径を有するとともに前記電極板と同等の厚みを有し、少なくとも該電極板と同等の大きさの開口部を有する板状部材と、
該板状部材に貼着され、該電極板よりも小さく前記封止樹脂層よりも大きい開口部を有するシートと、からなることを特徴とするシート治具。 - 請求項1記載の研削方法に用いられるシート治具であって、
少なくとも前記チャックテーブルの保持面の外径と同等の外径を有するとともに、前記電極板より厚く前記パッケージ基板の仕上げ厚みより薄く形成された板状部材により構成され、
中央部に開口部を有し、
該開口部は、該電極板よりも小さく前記封止樹脂層よりも大きく形成された小開口部と、該小開口部より大きく該電極板と同等の大きさに形成され該電極板と同等の厚みを有する大開口部とからなり、
該開口部の内周には、該小開口部と該大開口部との間に段差が形成されている
シート治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015042290A JP6495054B2 (ja) | 2015-03-04 | 2015-03-04 | パッケージ基板の研削方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015042290A JP6495054B2 (ja) | 2015-03-04 | 2015-03-04 | パッケージ基板の研削方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016159412A JP2016159412A (ja) | 2016-09-05 |
JP6495054B2 true JP6495054B2 (ja) | 2019-04-03 |
Family
ID=56845879
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015042290A Active JP6495054B2 (ja) | 2015-03-04 | 2015-03-04 | パッケージ基板の研削方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6495054B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7216476B2 (ja) * | 2018-01-15 | 2023-02-01 | 株式会社ディスコ | 板状ワークの研削方法 |
JP2019123047A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 株式会社ディスコ | 治具及び板状ワークの研削方法 |
JP7055557B2 (ja) * | 2018-02-26 | 2022-04-18 | 株式会社ディスコ | パッケージ基板用フレーム及びパッケージ基板の研削方法 |
JP7114176B2 (ja) * | 2018-06-01 | 2022-08-08 | 株式会社ディスコ | 樹脂パッケージ基板の加工方法 |
JP7034845B2 (ja) * | 2018-06-15 | 2022-03-14 | Towa株式会社 | チャックテーブル、研削装置および研削品の製造方法 |
JP2020092162A (ja) * | 2018-12-05 | 2020-06-11 | 株式会社ディスコ | 被加工物の研削方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004283962A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Noritake Co Ltd | 板状ワークの平面研磨方法および平面研磨盤 |
US20040206304A1 (en) * | 2003-04-15 | 2004-10-21 | Menear John Edgar | Pressurized chuck for controlling backside wafer contamination |
JP4795802B2 (ja) * | 2006-02-01 | 2011-10-19 | ニッタ・ハース株式会社 | 加工装置の定盤および当該定盤に固定されて被加工物の外周を保持する被加工物保持枠材およびそれを用いた被加工物保持具 |
JP4740886B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2011-08-03 | 株式会社ディスコ | 基板の吸着方法 |
JP5230982B2 (ja) * | 2007-09-10 | 2013-07-10 | 株式会社ディスコ | 板状物加工用トレイおよび加工装置 |
JP5465042B2 (ja) * | 2010-03-01 | 2014-04-09 | 株式会社ディスコ | パッケージ基板の加工方法 |
JP2011192781A (ja) * | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Disco Corp | パッケージ基板の加工方法 |
JP2012039039A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工方法 |
JP2013093383A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の保持方法及び板状物の加工方法 |
-
2015
- 2015-03-04 JP JP2015042290A patent/JP6495054B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016159412A (ja) | 2016-09-05 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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