JP6397270B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
該保持手段は、ウエーハユニットのウエーハが貼着された領域のダイシングテープを吸引保持する保持面を備え、該保持によって外周に沿ってダイシングテープに折癖を形成する第1の保持テーブルと、該第1の保持テーブルの外周側方に配設され該第1の保持テーブルの保持面より低い位置でウエーハユニットの環状のフレームを保持する第1のフレーム保持手段とから構成され、
該洗浄手段は、ウエーハユニットのウエーハが貼着された領域のダイシングテープを吸引保持する保持面を備えた第2の保持テーブルと、該第2の保持テーブルの外周側方に配設され該第2の保持テーブルの保持面より低い位置でウエーハユニットの環状のフレームを保持する第2のフレーム保持手段と、該第2の保持テーブルに保持されたウエーハに洗浄水を供給する洗浄水供給手段とから構成されており、
該第2の保持テーブルの外径は、該第1の保持テーブルの外周に沿ってダイシングテープに形成された折癖が第2の保持テーブルの外側に位置付けられるように、該第1の保持テーブルの外径と同等以下に設定されている、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
ダイシングテープが“への字状”に折れ曲がった状態で折癖が付いていても、折癖が第2の保持テーブルの上面である保持面に位置付けられることなく第2の保持テーブルの外側に位置付けられる。従って、第2の保持テーブルの上面である保持面とダイシングテープとの間からエアーのリークが生ずることはなく、ウエーハユニットのウエーハが貼着された領域のダイシングテープは第2の保持テーブルに確実に吸引保持される。
図示の実施形態における切削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2内には、図11に示すウエーハユニットを保持する保持手段3が加工送り方向である矢印Xで示す方向(X軸方向)に移動可能に配設されている。ここで、図11に示すウエーハユニットについて説明する。図11に示すウエーハユニット10は、ステンレス鋼等の金属材によって形成され中央部に開口111を備えた環状のフレーム110と、該環状のフレーム110の開口111を覆うように装着されたポリエチレンテレフタレート(PET)等の比較的硬い合成樹脂シートからなるダイシングテープ120と、該ダイシングテープ120の表面120aに貼着された半導体ウエーハ130とからなっている。なお、半導体ウエーハ130は、図示の実施形態においてはシリコンウエーハからなり表面130aに格子状に形成された複数の分割予定ライン131によって区画された複数の領域にデバイス132が形成されている。このように構成された半導体ウエーハ130は、裏面130bがダイシングテープ120の表面120aに貼着されるとともにダイシングテープ120の外周部が環状のフレーム110に装着されることによって、ダイシングテープ120を介して環状のフレーム110に支持される。
図示の実施形態における洗浄手段7は、スピンナーテーブル機構71と、該スピンナーテーブル機構71を包囲して配設された洗浄水受け手段72を具備している。スピンナーテーブル機構71は、上記ウエーハユニット10の半導体ウエーハ130が貼着された領域のダイシングテープ120を吸引保持する第2の保持テーブル710と、該第2の保持テーブル710の外周側方に配設され第2の保持テーブル710の保持面より低い位置でウエーハユニット10の環状のフレーム110を保持する第2のフレーム保持手段713と、第2の保持テーブル710を回転駆動する電動モータ718と、該電動モータ718を上下方向に移動可能に支持する支持機構719を具備している。第2の保持テーブル710は、図7に示すようにステンレス鋼等の金属材によって円盤状に形成されたテーブル本体711と、該テーブル本体711の上面に装着され上面が保持面として機能する多孔性材料から形成された吸着チャック712とからなっており、この吸着チャック712が図示しない吸引手段に連通されている。従って、図示しない吸引手段を作動することにより、吸着チャック712の上面である保持面に負圧が作用せしめられる。このように構成された第2の保持テーブル711の外径は、上記保持手段3の第1の保持テーブル31の外径と同等以下でウエーハの外径以上に設定されている。
洗浄水供給手段74は、第2の保持テーブル711に保持されたウエーハユニット10の半導体ウエーハ130に向けて洗浄水を供給する洗浄水噴射ノズル741と、該洗浄水噴射ノズル741を揺動せしめる正転・逆転可能な電動モータ742を備えている。洗浄水噴射ノズル741は、水平に延び先端部が下方に屈曲されたノズル部741aと、該ノズル部741aの基端から下方に延びる支持部741bとからなっており、支持部741bが上記洗浄水受け容器721を構成する底壁721bに設けられた図示しない挿通穴を挿通して配設されている。洗浄水噴射ノズル741のノズル部741aは、洗浄水通路とエアー通路を備えており、洗浄水通路が洗浄水供給源に接続されており、エアー通路がエアー供給源に接続されている。このように構成された洗浄水噴射ノズル741の支持部741bが挿通する図示しない挿通穴の周縁には、支持部741bとの間をシールするシール部材(図示せず)が装着されている。
カセット載置テーブル11上に載置されたカセット12の所定位置に収容されているウエーハユニット10は、図示しない昇降手段によってカセット載置テーブル11が上下動することにより搬出位置に位置付けられる。次に、搬出手段14が進退作動して搬出位置に位置付けられたウエーハユニット10を仮置きテーブル13上に搬出する。このようにして仮置きテーブル13に搬出されたウエーハユニット10は、第1の搬送手段15の旋回動作によって図9に示すように上記保持手段3の第1の保持テーブル31上に搬送される。保持テーブル31上にウエーハユニット10の半導体ウエーハ130が貼着された領域のダイシングテープ120が載置されたならば、図示しない吸引手段が作動して半導体ウエーハ130が貼着された領域のダイシングテープ120を第1の保持テーブル31上に吸引保持する。また、ウエーハユニット10の環状のフレーム110は、第1のフレーム保持手段32のクランプ322によって固定される。このようにして環状のフレーム110をクランプ322によって固定すると、クランプ322は第1の保持テーブル31の上面である保持面より低い位置に配設されているので、図9に示すように環状のフレーム110に装着されたダイシングテープ120は第1の保持テーブル31を構成するテーブル本体311の外周縁との接触部において“への字状”に折れ曲がった状態となる。このようにダイシングテープ120がテーブル本体311の外周縁との接触部において“への字状”に折れ曲がった状態で後述する切削工程が実施されると、ダイシングテープ120には折癖が残存してしまう。
3:保持手段
31:第1の保持テーブル
311:テーブル本体
312:吸着チャック
32:第1のフレーム保持手段
322:クランプ
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:回転スピンドル
43:切削ブレード
44:切削水供給ノズル
5:撮像手段
6:表示手段
7:洗浄手段
71:スピンナーテーブル機構
710:第2の保持テーブル
713:第2のフレーム保持手段
718:電動モータ
72:洗浄水受け手段
721:洗浄水受け容器
74:洗浄水供給手段
741:洗浄水噴射ノズル
75:エアー供給手段
751:エアーノズル
10:ウエーハユニット
110:環状のフレーム
120:ダイシングテープ
130:半導体ウエーハ
11:カセット載置テーブル
12:カセット
13:仮置きテーブル
14:搬出手段
15:第1の搬送手段
16:第2の搬送手段
Claims (1)
- ウエーハがポリエチレンテレフタレート(PET)からなるダイシングテープの表面に貼着されるとともにダイシングテープの外周が環状のフレームに装着されたウエーハユニットを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハユニットのウエーハを切削する切削手段と、該切削手段によって切削加工されたウエーハを洗浄する洗浄手段と、を具備する切削装置において、
該保持手段は、ウエーハユニットのウエーハが貼着された領域のダイシングテープを吸引保持する保持面を備え、該保持によって外周に沿ってダイシングテープに折癖を形成する第1の保持テーブルと、該第1の保持テーブルの外周側方に配設され該第1の保持テーブルの保持面より低い位置でウエーハユニットの環状のフレームを保持する第1のフレーム保持手段とから構成され、
該洗浄手段は、ウエーハユニットのウエーハが貼着された領域のダイシングテープを吸引保持する保持面を備えた第2の保持テーブルと、該第2の保持テーブルの外周側方に配設され該第2の保持テーブルの保持面より低い位置でウエーハユニットの環状のフレームを保持する第2のフレーム保持手段と、該第2の保持テーブルに保持されたウエーハに洗浄水を供給する洗浄水供給手段とから構成されており、
該第2の保持テーブルの外径は、該第1の保持テーブルの外周に沿ってダイシングテープに形成された折癖が第2の保持テーブルの外側に位置付けられるように、該第1の保持テーブルの外径と同等以下に設定されている、
ことを特徴とする切削装置。
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