KR20170135686A - 절삭 장치 - Google Patents

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다카아키 이노우에
마사오 노자키
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 드라이 상태로 절삭할 때에 피가공물의 오염을 저감시킴과 함께 메인터넌스 작업의 효율화를 도모하는 것.
(해결 수단) 절삭 장치 (1) 는, 피가공물 (W) 을 유지하는 척 테이블 (21) 과, 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드 (51) 와, 절삭 블레이드의 하부를 돌출시킨 상태로 절삭 블레이드의 외주를 덮는 블레이드 커버 (55) 를 구비한다. 블레이드 커버에 장착된 절삭 부스러기 회수 수단 (56) 으로 통체 (66) 를 통해 절삭 블레이드의 회전에 수반하여 따라 도는 절삭 부스러기를 흡인함으로써, 피가공물 상으로부터 절삭 부스러기를 배출하면서 피가공물의 드라이컷을 실시한다.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}
본 발명은 절삭 블레이드의 블레이드 커버를 구비한 절삭 장치에 관한 것이다.
표면에 IC 등의 디바이스가 형성된 반도체 웨이퍼나, 복수의 디바이스 칩을 수지로 봉지한 패키지 기판 등의 피가공물은, 절삭 장치의 원환상의 절삭 블레이드에 의해 절삭되어 개개의 칩으로 분할된다. 통상적으로 절삭 장치의 절삭 블레이드의 외주는 블레이드 커버에 의해 덮여 있고, 블레이드 커버에는 절삭수를 분사하는 노즐이 형성되어 있다. 이 종류의 절삭 장치에서는, 피가공물을 절삭할 때에 절삭 블레이드나 피가공물에 절삭수를 공급하여, 피가공물의 가공점에서 발생하는 마찰열을 냉각시킴과 함께 피가공물의 표면을 세정하고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).
일본 공개특허공보 2015-145046호
그런데, 피가공물 중에는 수분을 흡수하는 수지나 소결 전의 생(生)세라믹 등과 같이 수분을 꺼리는 것이 있다. 이와 같은 피가공물은, 절삭수를 공급하지 않고 드라이한 상태를 유지한 채로 절삭 블레이드에 의해 절삭할 필요가 있다. 그러나, 절삭 블레이드에 의해 드라이 상태로 피가공물을 절삭하면, 절삭 부스러기 (컨태미네이션) 가 절삭 블레이드의 회전에 의해 후방으로 비산되어 광범위하게 확산되어 버린다. 이 때문에, 피가공물의 상면에 절삭 부스러기가 부착되어 오염 원인이 되는 것 외에, 장치 각 부에 절삭 부스러기가 부착되어 메인터넌스 작업이 힘들어진다는 문제가 있었다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 드라이 상태로 절삭할 때에 피가공물의 오염을 저감시킴과 함께 메인터넌스 작업의 효율화를 도모할 수 있는 절삭 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 의하면, 절삭 장치로서, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드와, 그 절삭 블레이드의 외주를 덮도록 배치 형성되고, 바닥부에 그 절삭 블레이드의 선단이 돌출되는 개구를 갖는 블레이드 커버를 구비하고, 그 블레이드 커버는, 절삭 블레이드의 회전에 수반하여 피가공물의 절삭에 의해 발생하는 절삭 부스러기가 비산되는 측에 배치 형성된 절삭 부스러기 회수 수단을 갖고, 그 절삭 부스러기 회수 수단은, 일단측 (一端側) 이 그 블레이드 커버의 절삭 부스러기 배출용 개구부를 갖는 측벽에 연결된 통체와, 그 통체의 타단측에 접속된 흡인원을 포함하고, 그 절삭 블레이드의 회전에 수반하여 따라 도는 절삭 부스러기를 그 흡인원을 작동시킴으로써 그 통체를 통해 피가공물 상으로부터 배출하면서 피가공물의 드라이컷을 실시하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치가 제공된다.
이 구성에 의하면, 절삭 블레이드에 의해 피가공물을 드라이컷하면, 피가공물 상의 절삭 부스러기가 블레이드 커버의 내측으로 끌려들어가고, 절삭 블레이드의 회전에 수반하여 절삭 부스러기가 따라 돈다. 블레이드 커버의 내측의 절삭 부스러기는, 흡인원의 흡인력에 의해 블레이드 커버의 내측으로부터 통체를 통해 배출된다. 절삭 가공 중에 절삭 부스러기가 잘 비산되지 않게 되므로, 피가공물의 상면이나 장치 각 부에 대한 절삭 부스러기의 부착이 억제되어, 피가공물의 오염을 저감시킴과 함께 메인터넌스 작업의 효율화를 도모할 수 있다.
바람직하게는, 본 발명의 절삭 장치는, 그 블레이드 커버의 그 바닥부에는, 그 개구와 그 절삭 부스러기 배출용 개구부 사이에, 그 절삭 부스러기 배출용 개구부의 방향을 향하여 에어 유입구를 구비하고, 절삭 가공시에 그 개구로부터 새어나온 절삭 부스러기가 주위의 에어와 함께, 그 에어 유입구로부터 그 절삭 부스러기 배출용 개구부로 흡인된다.
본 발명에 의하면, 흡인원에 의해 블레이드 커버의 내측으로부터 절삭 블레이드에 따라 도는 절삭 부스러기를 배출함으로써, 드라이 상태로 절삭할 때에 피가공물의 오염을 저감시킴과 함께 메인터넌스 작업의 효율화를 도모할 수 있다.
도 1 은, 본 실시형태의 절삭 장치의 사시도이다.
도 2 는, 본 실시형태의 블레이드 커버의 사시도이다.
도 3 은, 본 실시형태의 블레이드 커버의 부분 단면도이다.
도 4 는, 비교예의 블레이드 커버의 수용 공간과 절삭 블레이드의 관계를 나타내는 단면도이다.
도 5 는, 본 실시형태의 절삭 장치에 의한 절삭 동작을 설명하는 단면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 실시형태의 절삭 장치에 대해 설명한다. 도 1 은, 본 실시형태의 절삭 장치 (1) 의 사시도이다. 또한, 절삭 장치는, 본 실시형태의 블레이드 커버를 구비한 구성이면 되고, 도 1 에 나타내는 구성에 한정되지 않는다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (1) 는, 척 테이블 (21) 에 유지된 피가공물 (W) 을 절삭 블레이드 (51) 에 의해 드라이컷함과 함께, 절삭 가공시에 발생한 절삭 부스러기를 회수하도록 구성되어 있다. 피가공물 (W) 의 표면은 격자상의 분할 예정 라인 (L) 에 의해 복수의 영역으로 구획되어 있다. 또, 피가공물 (W) 은, 다이싱 테이프 (T) 를 통해 링 프레임 (F) 에 지지된 상태로 절삭 장치 (1) 로 반입된다. 또한, 피가공물 (W) 은, 절삭수가 공급되지 않는 드라이 상태로 절삭 가공되는 재료이면 되고, 예를 들어 수분을 흡수하는 수지나 소결 전의 생세라믹을 판상으로 성형한 것을 피가공물 (W) 로 해도 된다.
절삭 장치 (1) 의 하우징 (10) 의 상면에는, X 축 방향으로 연장되는 사각형상의 개구가 형성되어 있고, 이 개구는 척 테이블 (21) 과 함께 이동 가능한 이동판 (22) 및 벨로우즈상의 방수 커버 (23) 에 의해 피복되어 있다. 방수 커버 (23) 의 하방에는, 척 테이블 (21) 을 X 축 방향으로 이동시키는 볼 나사식의 이동 기구 (도시 생략) 가 형성되어 있다. 또, 척 테이블 (21) 의 표면에는 피가공물 (W) 을 흡인 유지하는 유지면 (24) 이 형성되어 있고, 척 테이블 (21) 의 주위에는 피가공물 (W) 의 주위의 링 프레임 (F) 을 협지 (挾持) 고정시키는 복수의 클램프부 (25) 가 형성되어 있다.
척 테이블 (21) 은, 장치 중앙의 주고 받는 위치와 절삭 블레이드 (51) 에 면하는 가공 위치 사이에서 왕복 이동된다. 도 1 은, 척 테이블 (21) 이 주고 받는 위치에 대기한 상태를 나타내고 있다. 하우징 (10) 에 있어서, 이 주고 받는 위치에 인접한 한 모서리부가 한 단 내려가 있고, 내려간 지점에 재치 (載置) 테이블 (27) 이 승강 가능하게 형성되어 있다. 재치 테이블 (27) 에는, 피가공물 (W) 을 수용한 카세트 (C) 가 재치된다. 카세트 (C) 가 재치된 상태로 재치 테이블 (27) 이 승강됨으로써, 높이 방향에 있어서 피가공물 (W) 의 인출 위치 및 압입 위치가 조정된다.
재치 테이블 (27) 의 후방에는, Y 축 방향으로 평행한 1 쌍의 센터링 가이드 (31) 와, 1 쌍의 센터링 가이드 (31) 와 카세트 (C) 사이에서 피가공물 (W) 을 출납하는 푸시풀 기구 (32) 가 형성되어 있다. 1 쌍의 센터링 가이드 (31) 에 의해, 푸시풀 기구 (32) 에 의한 피가공물 (W) 의 출납이 가이드됨과 함께 피가공물 (W) 의 X 축 방향이 위치 결정된다. 또, 푸시풀 기구 (32) 에 의해, 카세트 (C) 로부터 1 쌍의 센터링 가이드 (31) 로 가공 전의 피가공물 (W) 이 인출되는 것 이외에, 1 쌍의 센터링 가이드 (31) 로부터 카세트 (C) 로 가공이 끝난 피가공물 (W) 이 압입된다.
1 쌍의 센터링 가이드 (31) 의 근방에는, 센터링 가이드 (31) 와 척 테이블 (21) 사이에서 피가공물 (W) 을 반송하는 제 1 반송 아암 (35) 이 형성되어 있다. 제 1 반송 아암 (35) 의 선회에 의해, L 자상의 아암부 (36) 의 선단의 반송 패드 (37) 에 의해 피가공물 (W) 이 반송된다. 또, 주고 받는 위치의 척 테이블 (21) 의 후방에는, 스피너 세정 기구 (41) 가 형성되어 있다. 스피너 세정 기구 (41) 에서는, 회전 중인 스피너 테이블 (42) 을 향하여 세정수가 분사되어 피가공물 (W) 이 세정된 후, 세정수 대신에 건조 에어가 분사되어 피가공물 (W) 이 건조된다.
하우징 (10) 상에는, 절삭 블레이드 (51) 를 구비한 절삭 수단 (50) 을 지지하는 지지대 (15) 가 형성되어 있다. 절삭 수단 (50) 은, 지지대 (15) 에 지지된 스핀들의 선단에 절삭 블레이드 (51) 를 장착하여 구성된다. 절삭 블레이드 (51) 는, 예를 들어, 다이아몬드 지립을 본드제로 굳혀서 원판상으로 성형되어 있다. 또, 절삭 수단 (50) 에는, 절삭 블레이드 (51) 를 Y 축 방향 및 Z 축 방향으로 이동시키는 이동 기구 (도시 생략) 가 연결되어 있다. 절삭 수단 (50) 에는 절삭 블레이드 (51) 의 하단측을 돌출시킨 상태로, 절삭 블레이드 (51) 의 외주를 덮는 상자형의 블레이드 커버 (55) 가 형성되어 있다.
지지대 (15) 의 측면 (16) 에는, 척 테이블 (21) 과 스피너 세정 기구 (41) 사이에서 피가공물 (W) 을 반송하는 제 2 반송 아암 (45) 이 형성되어 있다. 제 2 반송 아암 (45) 의 진퇴 이동에 의해, 지지대 (15) 의 측면 (16) 으로부터 경사 전방으로 연장된 아암부 (46) 의 선단의 반송 패드 (47) 에 의해 피가공물 (W) 이 반송된다. 또, 지지대 (15) 에는, 척 테이블 (21) 의 이동 경로의 상방을 가로지르는 캔틸레버 지지부 (19) 가 형성되고, 캔틸레버 지지부 (19) 에는 피가공물 (W) 을 촬상하는 촬상부 (48) 가 지지되어 있다. 촬상부 (48) 에 의한 촬상 화상은, 절삭 수단 (50) 과 척 테이블 (21) 의 얼라인먼트에 이용된다. 또, 지지대 (15) 상에는, 가공 조건 등을 표시하는 모니터 (49) 가 탑재되어 있다.
이와 같은 절삭 장치 (1) 에서는, 피가공물 (W) 이 수분을 꺼리는 재질로 형성되어 있기 때문에, 절삭수를 분사하지 않는 드라이 상태로 절삭 블레이드 (51) 에 의해 피가공물 (W) 이 절삭된다. 여기에서, 일반적으로 드라이 상태로 절삭하는 경우에는, 절삭수를 분사하면서 절삭하는 경우와 같이 절삭 부스러기가 절삭수에 의해 씻겨나가지 않기 때문에, 피가공물 (W) 의 가공 매수의 증가에 수반하여 절삭 부스러기가 장치 내에 쉽게 충만되도록 되어 있다. 이 때문에, 장치 내에서 떠다니는 절삭 부스러기가 피가공물 (W) 의 상면에 부착되어 오염 원인이 되는 것 외에, 장치 각 부에 퇴적되어 오퍼레이터의 메인터넌스 작업이 번거로운 것으로 되어 있었다.
그래서, 본 실시형태의 절삭 장치 (1) 에서는, 블레이드 커버 (55) 의 내측에서 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 절삭 부스러기를 따라 돌게 하고, 블레이드 커버 (55) 에 형성한 절삭 부스러기 회수 수단 (56) 에 의해 블레이드 커버 (55) 로부터 절삭 부스러기를 회수하도록 하고 있다. 절삭 부스러기 회수 수단 (56) 에 의해 블레이드 커버 (55) 로부터 절삭 부스러기를 배출함으로써, 피가공물 (W) 의 가공 매수의 증가에 수반하여 장치 내에 절삭 부스러기가 충만되는 일이 없다. 따라서, 절삭 부스러기가 피가공물 (W) 의 상면이나 장치 각 부에 대한 절삭 부스러기의 부착이 억제되어, 드라이 상태로 절삭할 때에 피가공물의 오염을 저감시킴과 함께 메인터넌스 작업의 효율화를 도모하는 것이 가능하게 되어 있다.
이하, 도 2 및 도 3 을 참조하여, 본 실시형태의 블레이드 커버에 대해 설명한다. 도 2 는, 본 실시형태의 블레이드 커버의 사시도이다. 도 3 은, 본 실시형태의 블레이드 커버의 부분 단면도이다.
도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이, 블레이드 커버 (55) 는, 절삭 블레이드 (51) 의 외주를 덮도록 형성되어 있고, 피가공물 (W) 의 절삭시에 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 수반하여 절삭 부스러기가 비산되는 측 (후측) 에 절삭 부스러기 회수 수단 (56) 을 구비하고 있다. 블레이드 커버 (55) 의 내측에는 절삭 블레이드 (51) 의 수용 공간 (61) 이 형성되어 있고, 블레이드 커버 (55) 의 바닥부에는 절삭 블레이드 (51) 의 선단을 돌출시키는 개구 (62) 가 형성되어 있다. 즉, 블레이드 커버 (55) 는, 절삭 블레이드 (51) 의 하부를 제외하고, 절삭 블레이드 (51) 의 외주 및 양 측방을 전체적으로 덮도록 형성되어 있다.
블레이드 커버 (55) 의 후측의 측벽에는, 수용 공간 (61) 내로 들어간 절삭 부스러기를 절삭 부스러기 회수 수단 (56) 을 향하여 배출하는 절삭 부스러기 배출용 개구부 (63) 가 형성되어 있다. 또한, 블레이드 커버 (55) 의 바닥부에는, 개구 (62) 와 절삭 부스러기 배출용 개구부 (63) 사이에, 절삭 부스러기 배출용 개구부 (63) 의 방향을 향하여 에어를 유입하는 에어 유입구 (64) (도 3B 참조) 가 형성되어 있다. 절삭 부스러기 회수 수단 (56) 은, 절삭 부스러기 배출용 개구부 (63) 를 갖는 측벽에 통체 (66) 의 일단측이 연결되고, 통체 (66) 의 타단측에 사이클론식의 흡인원 (67) 이 접속되어 있다. 또한, 흡인원 (67) 은 사이클론식에 한정되지 않고, 통체 (66) 를 통해 블레이드 커버 (55) 로부터 절삭 부스러기를 흡인 가능한 구성이면 된다.
절삭 가공시에는 흡인원 (67) 이 작동됨과 함께 절삭 블레이드 (51) 가 회전하여, 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 의해 비산된 절삭 부스러기가 개구 (62) 를 통해 수용 공간 (61) 으로 끌려들어간다. 상기한 바와 같이, 블레이드 커버 (55) 에 의해 절삭 블레이드 (51) 가 전체적으로 덮여 있기 때문에, 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 의해 수용 공간 (61) 내에 에어의 흐름이 만들어진다. 이 에어의 흐름에 절삭 부스러기가 말려들어가고, 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 수반하여 따라 도는 절삭 부스러기가 통체 (66) 를 통해 흡인원 (67) 으로 흡인된다. 이로써, 피가공물 (W) 상으로부터 절삭 부스러기를 배출하면서 절삭 블레이드 (51) 에 의해 피가공물 (W) 이 드라이컷된다.
또, 블레이드 커버 (55) 의 바닥부에는 개구 (62) 에 더하여 에어 유입구 (64) 가 형성되어 있기 때문에, 개구 (62) 로 끌려들어가지 않았던 절삭 부스러기가 에어 유입구 (64) 로 끌려들어간다. 절삭 가공시에 개구 (62) 로부터 새어나온 절삭 부스러기가 주위의 에어와 함께 에어 유입구 (64) 로부터 흡인됨으로써, 절삭 부스러기를 개구 (62) 와 에어 유입구 (64) 의 2 지점에서 흡인하여 피절삭 부스러기의 잔존을 줄이고 있다. 따라서, 절삭 블레이드 (51) 에 의해 드라이 상태로 피가공물 (W) 을 절삭하더라도, 절삭 부스러기가 광범위하게 비산되지 않아, 피가공물 (W) 의 상면이나 장치 각 부에 대한 절삭 부스러기의 부착이 억제되어 있다.
여기에서, 도 4 를 참조하여, 비교예와 비교하면서 본 실시형태의 블레이드 커버의 수용 공간과 절삭 블레이드의 관계에 대해 설명한다. 도 4 는, 비교예의 블레이드 커버의 수용 공간과 절삭 블레이드의 관계를 나타내는 도면이다. 또한, 도 4A 는 비교예 1 의 블레이드 커버, 도 4B 는 비교예 2 의 블레이드 커버를 각각 나타내고 있다.
도 4A 에 나타내는 바와 같이, 비교예 1 의 블레이드 커버 (71) 는, 절삭 블레이드 (72) 의 외경 형상을 따라 수용 공간 (73) 이 형성되어 있어, 블레이드 커버 (71) 의 내면과 절삭 블레이드 (72) 의 외면의 클리어런스가 좁아져 있다. 블레이드 커버 (71) 의 수용 공간 (73) 내에는 절삭 블레이드 (72) 의 회전에 의해 에어의 흐름이 만들어지는데, 절삭 블레이드 (72) 에 대하여 수용 공간 (73) 이 지나치게 좁기 때문에, 블레이드 커버 (71) 의 바닥부의 개구 (74) 로부터 절삭 부스러기 (90) 가 수용 공간 (73) 으로 들어가기 어렵게 되어 있다. 이 때문에, 피가공물 (W) 의 절삭 가공시에 발생한 절삭 부스러기 (90) 는 블레이드 커버 (71) 로 잘 끌려들어가지 않고, 블레이드 커버 (71) 의 하방을 지나 후방으로 비산된다.
도 4B 에 나타내는 바와 같이, 비교예 2 의 블레이드 커버 (81) 는, 절삭 블레이드 (82) 의 외경 형상에 대하여 수용 공간 (83) 이 넓게 형성되어 있고, 블레이드 커버 (81) 의 내면과 절삭 블레이드 (82) 의 외면의 클리어런스가 넓어져 있다. 절삭 블레이드 (82) 에 대하여 수용 공간 (83) 이 지나치게 넓기 때문에, 블레이드 커버 (81) 의 수용 공간 (83) 내에는 절삭 블레이드 (82) 의 회전에 의해 에어의 흐름이 만들어지지 않고, 에어의 흐름에 절삭 부스러기 (90) 가 말려들어가지 않기 때문에, 절삭 부스러기 (90) 가 블레이드 커버 (81) 에 들어가기 어렵게 되어 있다. 이 때문에, 피가공물 (W) 의 절삭 가공시에 발생한 절삭 부스러기 (90) 는 블레이드 커버 (81) 로 잘 끌려들어가지 않고, 블레이드 커버 (71) 의 하방을 지나 후방으로 비산된다.
도 4A 에 나타내는 비교예 1 의 블레이드 커버 (71) 에서는 수용 공간 (73) 에 절삭 부스러기 (90) 가 들어가기 어렵고, 도 4B 에 나타내는 비교예 2 의 블레이드 커버 (81) 에서는 수용 공간 (83) 으로부터 절삭 부스러기 (90) 가 잘 흡인되지 않도록 되어 있다. 본건 발명자들은, 블레이드 커버와 절삭 블레이드의 사이즈를 변경하면서 절삭 부스러기의 흡인 상태를 확인한 결과, 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 수반하여 절삭 부스러기가 따라 돎으로써 절삭 부스러기 (90) 가 양호하게 흡인되는 것을 발견하였다. 그래서, 본 실시형태에서는, 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 수반하여 절삭 부스러기 (90) 가 따라 돌도록, 블레이드 커버 (55) 의 내면과 절삭 블레이드 (51) 의 외면의 클리어런스가 조정되어 있다 (도 5B 참조).
이와 같이, 드라이컷용의 블레이드 커버 (55) 는, 노즐을 구비한 일반적인 블레이드 커버와는 달리, 블레이드 커버 (55) 의 내면과 절삭 블레이드 (51) 의 외면의 클리어런스가 중요하게 되어 있다. 또한, 일반적인 블레이드 커버는, 절삭 블레이드의 측방에 절삭수를 분사하는 노즐이 위치되어지므로, 절삭 블레이드의 측방이 외부로 노출되어 있다. 이 때문에, 일반적인 블레이드 커버에서는, 절삭 블레이드의 회전에 의해 에어의 흐름이 만들어지지 않아, 본 실시의 블레이드 커버 (55) 와 같이 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 수반하여 절삭 부스러기를 따라 돌릴 수 없다.
계속해서, 도 5 를 참조하여, 본 실시의 절삭 동작에 대해 설명한다. 도 5 는, 본 실시형태의 절삭 장치에 의한 절삭 동작의 설명도이다. 또한, 이하에 나타내는 절삭 동작은 일례를 나타내는 것이며, 적절히 변경이 가능하다.
도 5A 에 나타내는 바와 같이, 척 테이블 (21) 에 피가공물 (W) 이 흡인 유지되면, 절삭 블레이드 (51) 에 대하여 척 테이블 (21) 이 가까워진다. 이때, 절삭 블레이드 (51) 가 고속 회전됨과 함께, 흡인원 (67) 이 작동되어 블레이드 커버 (55) 내가 부압으로 조정된다. 피가공물 (W) 의 직경 방향 외측에서 절삭 블레이드 (51) 가 분할 예정 라인 (L) (도 1 참조) 에 위치 맞춰지고, 피가공물 (W) 을 절입 가능한 깊이까지 절삭 블레이드 (51) 가 내려진다. 이 절삭 블레이드 (51) 에 대하여 척 테이블 (21) 이 X 축 방향으로 절삭 이송됨으로써, 절삭 블레이드 (51) 에 의해 피가공물 (W) 이 분할 예정 라인 (L) 을 따라 절삭된다.
도 5B 에 나타내는 바와 같이, 피가공물 (W) 이 고속 회전한 절삭 블레이드 (51) 에 의해 절삭되면, 피가공물 (W) 과 절삭 블레이드 (51) 의 가공점으로부터 절삭 부스러기 (90) 가 발생한다. 이때, 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 의해 블레이드 커버 (55) 의 수용 공간 (61) 에 에어의 흐름이 만들어지고, 절삭 블레이드 (51) 의 회전 방향을 따른 에어의 흐름에 말려들어가도록 절삭 부스러기 (90) 가 블레이드 커버 (55) 의 개구 (62) 로부터 수용 공간 (61) 내로 들어간다. 수용 공간 (61) 내의 절삭 부스러기 (90) 는 절삭 블레이드 (51) 에 따라 돌고, 따라 돌던 절삭 부스러기 (90) 가 수용 공간 (61) 으로부터 통체 (66) 를 통해 흡인원 (67) 으로 끌려들어간다.
또, 블레이드 커버 (55) 에는 개구 (62) 보다 후측에 에어 유입구 (64) 가 형성되어 있고, 블레이드 커버 (55) 의 개구 (62) 에서 잔존된 절삭 부스러기 (90) 가 주위의 에어와 함께 에어 유입구 (64) 를 통해 흡인원 (67) 으로 끌려들어간다. 이와 같이 하여, 블레이드 커버 (55) 에 의해 피가공물 (W) 상으로부터 절삭 부스러기 (90) 가 배출되면서, 절삭 블레이드 (51) 에 의해 피가공물 (W) 이 드라이컷된다. 절삭 가공 중에 절삭 부스러기가 잘 비산되지 않기 때문에, 절삭 블레이드 (51) 에 의해 피가공물 (W) 에 대한 절삭이 반복 실시되어도, 장치 안이 절삭 부스러기로 충만되지 않아 피가공물 (W) 이나 장치 각 부에 대한 절삭 부스러기 (90) 의 부착이 억제되어 있다.
이상과 같이, 본 실시형태의 절삭 장치 (1) 는, 절삭 블레이드 (51) 에 의해 피가공물 (W) 을 드라이컷하면, 피가공물 (W) 상의 절삭 부스러기 (90) 가 블레이드 커버 (55) 의 내측으로 끌려들어가고, 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 수반하여 절삭 부스러기 (90) 가 따라 돈다. 블레이드 커버 (55) 의 내측의 절삭 부스러기 (90) 는, 흡인원 (67) 의 흡인력에 의해 블레이드 커버 (55) 의 내측으로부터 통체 (66) 를 통해 배출된다. 따라서, 절삭 가공 중에 절삭 부스러기 (90) 가 잘 비산되지 않기 때문에, 피가공물 (W) 의 상면이나 장치 각 부에 대한 절삭 부스러기의 부착이 억제되어, 피가공물 (W) 의 오염을 저감시킴과 함께 메인터넌스 작업의 효율화를 도모할 수 있다.
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고 여러 가지 변경하여 실시하는 것이 가능하다. 상기 실시형태에 있어서, 첨부 도면에 도시되어 있는 크기나 형상 등에 대해서는, 이것에 한정되지 않고 본 발명의 효과를 발휘하는 범위 내에서 적절히 변경하는 것이 가능하다. 그 외에, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시하는 것이 가능하다.
예를 들어, 상기한 실시형태에 있어서, 블레이드 커버 (55) 에 대략 원판상의 수용 공간 (61) 이 형성되는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 블레이드 커버 (55) 는, 절삭 블레이드 (51) 의 하부를 제외한 외주를 덮고, 절삭 블레이드 (51) 의 회전에 수반하여 절삭 부스러기 (90) 가 따라 돌 수 있게 형성되어 있으면, 어떻게 구성되어 있어도 된다.
또, 상기한 실시형태에 있어서, 블레이드 커버 (55) 에 개구 (62) 에서 잔존된 절삭 부스러기 (90) 를 끌어들이는 에어 유입구 (64) 가 형성되는 구성으로 하였으나 이 구성에 한정되지 않는다. 블레이드 커버 (55) 에는, 에어 유입구 (64) 가 형성되어 있지 않아도 된다.
또, 상기한 실시형태에 있어서, 블레이드 커버 (55) 에 연결된 통체 (66) 의 각도는 특별히 한정되지 않지만, 절삭 부스러기 (90) 가 말려 올라가는 방향을 따르도록 척 테이블 (21) 의 유지면 (24) 에 대하여 경사 방향으로 형성되는 것이 바람직하다.
또, 상기한 실시형태에 있어서, 사이클론식의 흡인원 (67) 에 의해 절삭 부스러기 (90) 를 흡인하는 구성으로 하였으나 이 구성에 한정되지 않는다. 흡인원으로서 통상의 흡인 펌프나 이젝터를 사용해도 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 절삭 부스러기를 장치 및 피가공물에 부착시키지 않고, 피가공물을 절삭할 수 있다는 효과를 갖고, 특히, 생세라믹 등의 피가공물을 절삭하는 절삭 장치에 유용하다.
1 : 절삭 장치
21 : 척 테이블
50 : 절삭 수단
51 : 절삭 블레이드
55 : 블레이드 커버
56 : 절삭 부스러기 회수 수단
61 : 블레이드 커버의 수용 공간
62 : 블레이드 커버의 개구
63 : 절삭 부스러기 배출용 개구부
64 : 블레이드 커버의 에어 유입구
66 : 통체
67 : 흡인원
90 : 절삭 부스러기

Claims (2)

  1. 절삭 장치로서,
    피가공물을 유지하는 척 테이블과,
    그 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드와,
    그 절삭 블레이드의 외주를 덮도록 배치 형성되고, 바닥부에 그 절삭 블레이드의 선단이 돌출되는 개구를 갖는 블레이드 커버를 구비하고,
    그 블레이드 커버는, 절삭 블레이드의 회전에 수반하여 피가공물의 절삭에 의해 발생하는 절삭 부스러기가 비산되는 측에 배치 형성된 절삭 부스러기 회수 수단을 갖고,
    그 절삭 부스러기 회수 수단은, 일단측이 그 블레이드 커버의 절삭 부스러기 배출용 개구부를 갖는 측벽에 연결된 통체와,
    그 통체의 타단측에 접속된 흡인원을 포함하고,
    그 절삭 블레이드의 회전에 수반하여 따라 도는 절삭 부스러기를 그 흡인원을 작동시킴으로써 그 통체를 통해 피가공물 상으로부터 배출하면서 피가공물의 드라이컷을 실시하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 블레이드 커버의 그 바닥부에는, 그 개구와 그 절삭 부스러기 배출용 개구부 사이에, 그 절삭 부스러기 배출용 개구부의 방향을 향하여 에어 유입구를 구비하고,
    절삭 가공시에 그 개구로부터 새어나온 절삭 부스러기가 주위의 에어와 함께, 그 에어 유입구로부터 그 절삭 부스러기 배출용 개구부로 흡인되는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
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