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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schneidvorrichtung, die mit einer Klingenabdeckung für eine Schneidklinge bereitgestellt ist.
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Beschreibung des Stands der Technik
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Werkstücke, die Halbleiter-Wafer mit Bauelementen wie integrierte Schaltungen (ICs), die an ihren Oberflächen ausgebildet sind, beinhalten, und verpackte Substrate mit Bauelementstäuben, die daran durch Kunststoffschichten versiegelt sind, werden in einzelne Teile durch die ringförmige Schneidklinge einer Schneidvorrichtung geschnitten. Normalerweise ist der äußere Umfang der ringförmigen Schneidklinge der Schneidvorrichtung mit einer Klingenabdeckung abgedeckt, die Düsen zum Ausstoßen von Schneidwasser aufweist. Während die Schneidvorrichtung dieses Typs ein Werkstück schneidet, führen die Düsen Schneidwasser zu der Schneidklinge und dem Werkstück zu, um die Reibungswärme, die an dem Punkt generiert wird, an dem das Werkstück geschnitten wird, zu kühlen und die Oberfläche der Werkstücke zu reinigen (siehe zum Beispiel
japanische Offenlegungsschrift Nr. 2015-145046 ).
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DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
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Einige Werkstücke, die aus Kunststoffen hergestellt sind, die Wasser absorbieren und grüne Keramiken, bevor sie gesintert werden, sollten nicht mit Wasser in Kontakt kommen. Solche Werkstücke müssen durch eine Schneidklinge geschnitten werden, während diese trocken gehalten werden, ohne das Schneidwasser zugeführt wird. Jedoch, wenn ein trockenes Werkstück durch eine Schneidklinge geschnitten wird, werden Schneidstäube nach hinten als Verunreinigung aufgrund der Drehung der Schneidklinge gestreut und werden in einem breiten Bereich verteilt. Die Verunreinigungen werden wahrscheinlich auf der oberen Oberfläche des zu schneidenden Werkstücks abgelagert, wodurch das Werkstück verunreinigt wird, und auf verschiedenen Teilen der Schneidvorrichtung aufgebracht, wodurch es für den Bediener schwierig wird, Wartungsarbeiten durchzuführen.
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Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung eine Schneidvorrichtung bereitzustellen, die dazu in der Lage ist, die Kontaminierung eines Werkstücks zu reduzieren, wenn es in einem trockenen Zustand geschnitten wird, und Wartungsarbeiten einfach und effizient zu gestalten.
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In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Schneidvorrichtung bereitgestellt, die einen Einspanntisch zum Halten eines Werkstücks, eine Schneidklinge zum Schneiden des Werkstücks, das durch den Einspanntisch gehalten wird, und eine Klingenabdeckung, die in einer abdeckenden Beziehung zu einem äußeren Umfang der Schneidklinge angeordnet ist und eine Öffnung aufweist, die einer Unterseite davon gebildet ist, durch welche ein unterer Spitzenendabschnitt der Schneidklinge hervorsteht, beinhaltet, wobei die Klingenabdeckung einen Aufnahmemittel für Schneidstäube zum Aufnehmen von Schneidstäuben, die von dem Werkstück produziert werden, beinhaltet, wobei das Aufnahmemittel für Schneidstäube an einer Seite der Klingenabdeckung bereitgestellt ist, zu welcher die Schneidstäube durch eine Drehung der Schneidklinge gestreut werden, wenn das Werkstück durch die Schneidklinge geschnitten wird, wobei das Aufnahmemittel für Schneidstäube ein rohrförmiges Element, das ein Ende mit einer Seitenwand der Klingenabdeckung, in welcher eine Auslassöffnung für Schneidstäube gebildet ist, verbunden ist, aufweist und eine Saugquelle beinhaltet, die mit dem anderen Ende des rohrförmigen Elements verbunden ist, und das Werkstück in einem trockenen Zustand durch die Schneidklinge geschnitten wird, während Schneidstäube, die mit der Schneidklinge in der Klingenabdeckung gedreht werden, von dem Werkstück durch das rohrförmige Element durch eine Wirkung der Saugquelle entfernt werden.
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Durch die obige Anordnung, wenn das Werkstück in einem trockenen Zustand durch die Schneidklinge geschnitten wird, werden die Schneidstäube von dem Werkstück in die Klingenabdeckung gezogen und mit der Schneidklinge in der Klingenabdeckung gedreht. Wenn diese in der Klingenabdeckung sind, werden die Schneidstäube aus der Klingenabdeckung durch das rohrförmige Element unter einem Saugen der Saugquelle ausgelassen. Folglich, da die Schneidstäube weniger anfällig sind, gestreut zu werden, während das Werkstück durch die Schneidklinge geschnitten wird, ist das Ablagern von Schneidstäuben als Verunreinigung an der oberen Oberfläche des Werkstücks, das geschnitten wird, und an verschiedenen Teilen der Schneidvorrichtung reduziert, sodass die Verunreinigung des Werkstücks minimiert wird und eine Wartung der Schneidvorrichtung einfach und effizient wird.
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Es ist bevorzugt, dass die Klingenabdeckung Lufteinlassöffnung aufweist, die in einer Unterseite davon zwischen der Öffnung und der Auslassöffnung für Schneidstäube ausgebildet ist und zu der Auslassöffnung für Schneidstäube orientiert ist, wodurch Schneidstäube, die nicht in die Öffnung eingezogen wurde, mit der umgebenden Luft durch die Lufteinlassöffnung zu der Auslassöffnung Schneidstäube angesaugt wird.
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Entsprechend der vorliegenden Erfindung, da die Schneidstäube, die sich mit der Schneidklinge drehen, aus der Klingenabdeckung durch die Saugquelle herausgesaugt werden, wird die Kontaminierung des Werkstücks mit Schneidstäuben, die hergestellt wird, wenn das Werkstück durch die Schneidklinge geschnitten wird, minimiert und die Wartung der Schneidvorrichtung wird einfach und effizient.
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Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren verstanden, die eine bevorzugte Ausführung von der Erfindung zeigen.
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KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
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1 ist eine perspektivische Ansicht einer Schneidvorrichtung entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
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2 seine perspektivische Ansicht einer Klingenabdeckung entsprechend der Ausführungsform;
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3A ist eine horizontale Teilansicht im Querschnitt der Klingenabdeckung;
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3B ist eine vertikale Ansicht im Querschnitt der Klingenabdeckung;
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4A und 4B sind Querschnittsansicht, die eine Beziehung zwischen Aufnahmeräumen in Klingenabdeckungen und Schneidklingen entsprechend den Vergleichsbeispielen darstellen; und
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5A und 5B sind Querschnittsansicht, die eine Weise darstellen, in welcher die Schneidvorrichtung entsprechend der Ausführungsform eine Schneidverarbeitung durchführt.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
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Eine Schneidvorrichtung entsprechend einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden mit Bezug zu den begleitenden Figuren beschrieben. 1 zeigt eine Schneidvorrichtung perspektivisch, die durch 1 gekennzeichnet ist, entsprechend der vorliegenden Ausführungsform. Die Prinzipien der vorliegenden Erfindung sind nicht auf die Schneidvorrichtung 1, die in 1 dargestellt ist, beschränkt, sondern sind auch auf andere Schneidvorrichtung insoweit anwendbar, als diese mit einer Klingenabdeckung entsprechend der vorliegenden Erfindung ausgestattet sind.
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Wie in 1 gezeigt, ist die Schneidvorrichtung 1 angeordnet, um in einem trockenen Zustand ein plattenförmiges Werkstück W, das an einem Einspanntisch 21 gehalten wird, mit einer Schneidklinge 51 zu schneiden und Schneidstäube, die von dem Werkstück W produziert wird, wenn dieses durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird, zu empfangen. Das Werkstück W weist eine obere Oberfläche aufgeteilt in mehrere Bereiche durch ein Gitter aus Teilungslinien L auf. Das Werkstück W wird in die Schneidvorrichtung 1 geladen, während es an einem ringförmigen Rahmen 11 durch ein Teilungsband T gehalten wird. Das Werkstück W sollte vorzugsweise aus einem Material hergestellt sein, dass in einem trockenen Zustand geschnitten werden kann, ohne dass Schneidwasser zugeführt wird, zum Beispiel einem Kunststoff, der Wasser absorbiert, oder einer grünen Keramik, bevor diese gesintert wird, die in einer flachen Plattenform ausgebildet ist.
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Die Schneidvorrichtung 1 beinhaltet ein Gehäuse 10, dass eine rechteckige Öffnung aufweist, die an ihrer oberen Wand ausgebildet ist und sich in X-Achsen-Richtungen erstreckt. Die rechteckige Öffnung ist mit einer beweglichen Platte 22 abgedeckt, die mit dem Einspanntisch 21 bewegt werden kann, und eine balgähnliche wasserfeste Abdeckung 23 ist benachbart zu der beweglichen Platte 22 angeordnet. Die wasserfeste Abdeckung 23 ist über einem Kugelrollspindel-Bewegungsmechanismus, der nicht dargestellt ist, angeordnet, der in dem Gehäuse 10 zum Bewegen des Einspanntischs 21 entlang der X-Achsen-Richtungen positioniert ist. Der Einspanntisch 21 weist eine Halteoberfläche 24 an seiner oberen Oberfläche zum daran Halten des Werkstücks W daran unter einem Ansaugen auf und ist durch mehrere Klemmen 25 zum sicheren Greifen des Ringrahmens 11, der um das Werkstück W angeordnet ist, umgeben.
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Der Einspanntisch 21 wird vorwärts und rückwärts zwischen einer Transferposition an dem Zentrum der Schneidvorrichtung 1 und einer Schneidposition, die der Schneidklinge 51 zugewandt ist, bewegt. In 1 ist der Einspanntisch 21 bereitstehend in der Transferposition dargestellt. Das Gehäuse 10 weist eine vertiefte Ecke benachbart zu der Transferposition auf und ein Platzierungstisch 27 ist vertikal beweglich an dem Boden der vertieften Ecke angeordnet. Der Platzierungstisch 27 trägt daran eine Kassette C, die Werkstücke W darin einhaust. Der Platzierungstisch 27 wird mit der Kassette C, die daran getragen wird, vertikal bewegt, um eine vertikale Position anzupassen, in welcher das Werkstück W aus der Kassette heraus und in die Kassette hineingedrückt werden kann.
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Hinter dem Platzierungstisch 27 sind ein Paar Zentrierungsführungen 31, die sich parallel zu den Y-Achse-Richtungen erstrecken, die senkrecht zu den X-Achsen-Richtungen sind, und ein Druck-Zug-Mechanismus 32 zum Bewegen eines Werkstücks W zwischen den Zentrierungsführungen 31 und der Kassette C angeordnet. Die Zentrierungsführungen 31 führen ein Werkstück W, während es durch den Druck-Zug-Mechanismus 32 gezogen und gedrückt wird, und positionieren das Werkstück W bezüglich den X-Achsen-Richtungen. Der Druck-Zug-Mechanismus 32 zieht ein Werkstück W, das geschnitten wird, aus der Kassette C auf die Zentrierungsführungen 31 und drückt ein Werkstück W von den Zentrierungsführungen 31 in die Kassette C.
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Ein erster Zufuhrarm 35 zum Zuführen eines Werkstücks W zwischen den Zentrierungsführungen 31 und dem Einspanntisch 21 ist in der Nähe der Zentrierungsführungen 31 bereitgestellt. Der erste Zufuhrarm 35 beinhaltet ein L-förmiges Armelement 36, das Zufuhrpads 37 an seinem distalen Endabschnitt zum Halten des Werkstücks W aufweist. Wenn der erste Zufuhrarm 35 um eines seiner Enden gedreht wird, führen die Zufuhrpads 37 ein Werkstück W, das durch diese gehalten wird, zu dem Einspanntisch 21 oder den Zentrierungsführungen 31. Ein Dreh-Reinigungsmechanismus 41 ist an einer Position an dem Gehäuse 10 hinter dem Einspanntisch 21 in der Transferposition angeordnet. Der Dreh-Reinigungsmechanismus 41 beinhaltet einen Drehtisch 42, der um seine eigene Achse drehbar ist. Der Drehtisch 42 trägt daran ein Werkstück W, das von dem ersten Zufuhrarm 35 übertragen wurde. Der Dreh-Reinigungsmechanismus 41 wird betätigt, indem Reinigungswasser auf den Drehtisch 42 ausgestoßen wird, der gedreht wird, um das Werkstück W, das an dem Drehtisch 42 getragen wird, zu reinigen, und danach Trocknungsluft auf das Werkstück W an dem Drehtisch 42 aufgebracht wird, um dadurch das Werkstück W zu trocknen.
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Eine Trägerbasis 15, die das Schneidmittel 50 trägt, das mit der Schneidklinge 51 bereitgestellt ist, ist an dem Gehäuse 10 entfernt von dem Platzierungstisch 27, den Zentrierungsführungen 31 und dem Druck-Zug-Mechanismus 32 angeordnet. Das Schneidmittel 50 weist eine Spindel (nicht dargestellt), die durch die Trägerbasis 15 getragen wird, auf. Die Schneidklinge 51 ist an einem distalen Ende der Spindel montiert. Die Schneidklinge 51 ist aus abrasiven Körnern aus Diamant hergestellt, die zusammen in einer Scheibenform durch einen Haftvermittler verklebt werden. Ein Bewegungsmechanismus (nicht dargestellt) zum Bewegen der Schneidklinge 51 in den Y-Achsen-Richtungen und den Z-Achsen-Richtungen, die senkrecht zu den X-Achsen-Richtungen und den Y-Achsen-Richtungen jeweils sind, ist mit dem Schneidmittel 50 gekoppelt. Das Schneidmittel 50 beinhaltet eine kastenförmige Klingenabdeckung 55, die einen äußeren Umfang der Schneidklinge 51 abdeckt, dessen unterer Spitzenendabschnitt nach unten aus der Klingenabdeckung 55 hervorsteht.
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Ein zweiter Zufuhrarm 45 zum Zuführen eines Werkstücks W zwischen dem Einspanntisch 21 und dem Dreh-Reinigungsmechanismus 41 ist an einer Seitenoberfläche 16 der Trägerbasis 15 bereitgestellt. Der zweite Zufuhrarm 45 beinhaltet ein Armelement 46, das sich nach vorne geneigt von der Seitenoberfläche 16 der Trägerbasis 15 erstreckt, und ein Zufuhrpad 47 an einem distalen Ende davon zum Halten eines Werkstücks W. Wenn der zweite Zufuhrarm 45 nach vorne und hinten bewegt wird, führt das Zufuhrpad 47 ein Werkstück W, das daran gehalten wird, zwischen dem Einspanntisch 21 und dem Dreh-Reinigungsmechanismus 41 zu. Die Trägerbasis 15 beinhaltet einen ausladenden Träger 19, der sich über und quer zu dem Pfad erstreckt, entlang dem der Einspanntisch 21 zwischen der Transferposition und der Schneidposition bewegt wird. Der ausladenden Träger 19 trägt eine Bildgebungseinheit 48 zum Aufnehmen eines Bildes eines Werkstücks W an dem Einspanntisch 21. Ein durch die Bildgebungseinheit 48 aufgenommenes Bild eines Werkstücks W an dem Einspanntisch 21 wird zum Erreichen einer Ausrichtung zwischen dem Schneidmittel 50 und dem Einspanntisch 21 verwendet. Die Trägerbasis 15 trägt an ihrer oberen Oberfläche eine Monitoranzeige 49 zum Anzeigen von Schneidzuständen des Werkstücks W.
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Da das Werkstück W vorzugsweise aus einem Material hergestellt sein sollte, das nicht mit Wasser in Kontakt kommen sollte, wird das Werkstück in einem Zustand durch die Schneidklinge 51 geschnitten, ohne mit ausgestoßenen Schneidwasser versorgt zu werden. Im Allgemeinen, wenn Werkstücke in einem trockenen Zustand geschnitten werden, da Schneidstäube von dem Werkstück nicht durch Schneidwasser weggewaschen werden, das auf diese ausgestoßen wird, tendiert die Schneidstäube dazu, Räume in der Schneidvorrichtung zu füllen, während die Anzahl der Werkstücke, die durch diese geschnitten werden, sich erhöht. Darum ist es wahrscheinlich, dass die Schneidstäube, die in der Schneidvorrichtung schweben, sich an der oberen Oberfläche der Werkstücke W, die geschnitten werden, als eine Kontaminierung der Werkstücke absetzt, und eine Ansammlung auf verschiedenen Teilen der Schneidvorrichtung macht es für den Bediener schwierig, Wartungsaufgaben durchzuführen.
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Bei der Schneidvorrichtung 1 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform ist das Schneidmittel 50 angeordnet, sodass es die Schneidstäube dazu bringt, sich mit der Schneidklinge 51 in der Klingenabdeckung 55 zu drehen und die Schneidstäube von der Klingenabdeckung 55 mit Aufnahmemittel 56 für Schneidstäube, das an der Klingenabdeckung 55 bereitgestellt ist, aufzunehmen. Folglich, da die Schneidstäube von der Klingenabdeckung 55 durch das Aufnahmemittel 56 für Schneidstäube ausgelassen werden, wird der Raum in der Schneidvorrichtung 1 daran gehindert, sich mit Schneidstäuben zu füllen, sogar falls die Anzahl der Werkstücke W, die durch diese geschnitten werden, sich erhöht. Als ein Ergebnis ist die Ablagerung von Schneidstäuben als Kontaminierung an den oberen Oberflächen der Werkstücke W, die geschnitten werden, und an verschiedenen Teilen der Schneidvorrichtung 1 reduziert, sodass die Kontaminierung der Werkstücke W, die in einem trockenen Zustand geschnitten werden, reduziert wird und die Wartung der Schneidvorrichtung 1 einfach und effizient wird.
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Die Klingenabdeckung 55 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform wird im Folgenden mit Bezug zu 2, 3A und 3B beschrieben. 2 zeigt die Klingenabdeckung 55 perspektivisch und 3A und 3B zeigen die Klingenabdeckung 55 im Querschnitt.
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Wie in 2, 3A und 3B dargestellt, ist die Klingenabdeckung 55 in einer abdeckenden Beziehung zu einem äußeren Umfang der Schneidklinge 51 ausgebildet. Das Aufnahmemittel 56 für Schneidstäube, das an der Klingenabdeckung 55 bereitgestellt ist, ist an einer Seite oder hinter der Schneidklinge 51, wohin Schneidstäube bei der Drehung der Schneidklinge 51 streuen, wenn das Werkstück W durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird, angeordnet.
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Insbesondere weist die Klingenabdeckung 55 einen Aufnahmeraum 61 auf, der darin gebildet ist, der die Schneidklinge 51 einhaust, und eine Öffnung 62, die in einer Unterseite hiervon ausgebildet ist, durch welche ein unterer Spitzenendabschnitt der Schneidklinge 51 nach unten hervorsteht. Mit anderen Worten, die Klingenabdeckung 55 ist in einer abdeckenden Relation/Beziehung zu einem äußeren Umfang und beiden Seiten der Schneidklinge 51 mit Ausnahme des unteren Spitzenendabschnitts der Schneidklinge 51 ausgebildet.
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Die Klingenabdeckung 55 weist auch eine Auslassöffnung 63 für Schneidstäube auf, die in einer hinteren Seitenwand davon zum Auslassen von Schneidstäuben gebildet ist, die in den Aufnahmeraum 61 zu dem Aufnahmemittel 56 für Schneidstäube eingetreten sind. Die Unterseite der Klingenabdeckung 55 weist auch eine Lufteinlassöffnung 64 (siehe 2 und 3B) darin ausgebildet zwischen der Öffnung 62 und der Auslassöffnung 63 für Schneidstäube auf und ist zu der Auslassöffnung 63 für Schneidstäube orientiert, um Luft zu der Auslassöffnung 63 für Schneidstäube einzuführen. Das Aufnahmemittel 56 für Schneidstäube beinhaltet ein rohrförmiges Element 66, dass ein Ende mit der äußeren Oberfläche der hinteren Seitenwand der Klingenabdeckung 55 fluidverbunden mit der Auslassöffnung 63 für Schneidstäube aufweist, und eine Saugquelle 67 ist mit dem anderen Ende des rohrförmigen Elements 66 gekoppelt. Die Saugquelle 67 sollte vorzugsweise eine Saugquelle eines Zyklontyps sein. Jedoch können auch andere verwendet werden, solange sie in der Lage sind, Schneidstäube von der Klingenabdeckung 55 zu dem rohrförmigen Element 66 anzuziehen.
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Wenn das Werkstück W durch das Schneidmittel 50 geschnitten wird, wird die Saugquelle 67 betätigt und die Schneidklinge 51 wird um ihre eigene Achse gedreht. Schneidstäube, die von dem Werkstück W durch die Schneidklinge 51 produziert werden, werden durch die Öffnung 62 in den Aufnahmeraum 61 bezogen.
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Weil die Schneidklinge 51 im Wesentlichen in ihrer Gesamtheit durch die Klingenabdeckung 55 bedeckt ist, wie oben beschrieben, wird ein Luftfluss in dem Aufnahmeraum 61 durch die Drehung der Schneidklinge 61 bewirkt. Die Schneidstäube, die in den Aufnahmeraum 61 eintreten, werden durch den Luftfluss mitgerissen, dazu gebracht, sich mit der Schneidklinge 51 zu drehen, und durch das rohrförmige Element 66 zu der Saugquelle 67 angesaugt. Darum wird das Werkstück W in einem trockenen Zustand durch die Schneidklinge 51 geschnitten, während Schneidstäube von dem Werkstück W von den Werkstücken W entfernt werden.
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Andere Schneidstäube von dem Werkstück W, die nicht in die Öffnung 62 eingezogen wurden, werden in die Lufteinlassöffnung 64, die an der Unterseite der Klingenabdeckung 55 gebildet ist, eingezogen. Da die Schneidstäube, die nicht in die Öffnung 62 zu dem Zeitpunkt, zu dem das Werkstück durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird, eingezogen wurden, mit der umgebenden Luft in die Lufteinlassöffnung 64 gezogen werden, werden die Schneidstäube von dem Werkstück W in die zwei Öffnungen, d. h. die Öffnung 62 und die Lufteinlassöffnung 64, eingezogen, sodass die Menge der Schneidstäube, die von dem Werkstück W überbleiben, minimiert ist. Wenn das Werkstück W in einem trockenen Zustand durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird, können darum die Schneidstäube daran gehindert werden, in einem großen Bereich gestreut zu werden, und folglich wird die Ablage davon an der oberen Oberfläche des Werkstücks W in verschiedenen Teilen der Schneidvorrichtung 1 minimiert.
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Die Beziehung zwischen dem Aufnahmeraum 61 und der Schneidklinge 51 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform wird im Folgenden im Vergleich mit Vergleichsbeispielen mit Bezug zu 4A und 4B beschrieben. 4A und 4B sind Querschnittsansichten, die eine Beziehung zwischen Aufnahmeräumen in Klingenabdeckung und Schneidklingen entsprechend den Vergleichsbeispielen zeigen. 4A stellt die Klingenabdeckung entsprechend dem Vergleichsbeispiel 1 dar und 4B stellt die Klingenabdeckung entsprechend Vergleichsbeispiel 2 dar.
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Wie in 4A dargestellt, weist die Klingenabdeckung, die durch Bezugszeichen 71 gekennzeichnet ist, entsprechend dem Vergleichsbeispiel 1 einen Aufnahmeraum 73 auf, der darin gebildet ist und eine Schneidklinge 72 darin aufnimmt. Der Aufnahmeraum 73 ist komplementär zu der äußeren Form der Schneidklinge 72, die in dem Aufnahmeraum 73 eingehaust ist, geformt. Der Freiraum zwischen der inneren Oberfläche der Klingenabdeckung 71 und der äußeren Oberfläche der Schneidklinge 72 ist relativ klein. Obwohl ein Luftfluss in dem Aufnahmeraum 73 durch die Drehung der Schneidklinge 72 gebildet wird, ist es weniger wahrscheinlich, da der Aufnahmeraum 73 zu klein bezüglich der Schneidklinge 72 ist, dass Schneidstäube 90 von dem Werkstück in den Aufnahmeraum 73 durch die Öffnung 74 eintreten, die in dem Boden der Klingenabdeckung 71 ausgebildet ist. Darum ist es weniger wahrscheinlich, dass Schneidstäube 90, die von dem Werkstück generiert werden, wenn das Werkstück durch die Schneidklinge 72 geschnitten wird, in die Klingenabdeckung 71 angesaugt werden, stattdessen werden sie nach hinten unterhalb der Klingenabdeckung 71 gestreut.
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Wie in 4B dargestellt weist die Klingenabdeckung, gekennzeichnet durch 81, entsprechend dem Vergleichsbeispiel 2 einen Aufnahmeraum 83 auf, der darin ausgebildet ist und eine Schneidklinge 82 darin aufnimmt. Der Aufnahmeraum 83 ist relativ zu der äußeren Form der Schneidklinge 82, die in dem Aufnahmeraum 83 eingehaust ist, groß. Der Freiraum zwischen der inneren Oberfläche der Klingenabdeckung 81 und der äußeren Oberfläche der Schneidklinge 82 ist relativ groß. Da der Aufnahmeraum 83 bezüglich der Schneidklinge 82 groß ist, wird kein Luftfluss in dem Aufnahmeraum 83 durch die Drehung der Schneidklinge 82 verursacht. Da Schneidstäube 90 von dem Werkstück W nicht durch einen Luftfluss mitgerissen werden, werden Schneidstäube 90 weniger sicher in die Klingenabdeckung 81 eintreten. Darum ist es weniger wahrscheinlich, dass Schneidstäube 90, die von dem Werkstück W generiert werden, wenn das Werkstück W durch die Schneidklinge 82 geschnitten wird, in die Klingenabdeckung 81 angesaugt werden, stattdessen werden sie nach hinten unter die Klingenabdeckung 81 gestreut.
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Bei der Klingenabdeckung 71 entsprechend dem Vergleichsbeispiel 1, das in 4A dargestellt ist, ist es weniger wahrscheinlich, dass Schneidstäube 90 in den Aufnahmeraum 73 eintreten. In der Klingenabdeckung 81 entsprechend dem Vergleichsbeispiel 2, das in 4B dargestellt ist, ist es weniger wahrscheinlich, dass Schneidstäube 90 in den Aufnahmeraum 83 angesaugt werden. Die Erfinder der vorliegenden Erfindung haben die Weise, in welcher Schneidstäube bezüglich der Klingenabdeckungen und Schneidklingen aus in verschiedenen Größen angesaugt werden, bestätigt und haben herausgefunden, dass Schneidstäube 90 gut angesaugt werden, wenn diese sich mit der Schneidklinge drehen. Entsprechend der vorliegenden Ausführungsform ist der Freiraum zwischen der inneren Oberfläche der Klingenabdeckung 55 und der äußeren Oberfläche der Schneidklinge 51 angepasst, sodass die Schneidstäube 90 sich mit der Schneidklinge 51 in dem Aufnahmeraum 61 drehen (siehe 5B).
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Im Gegensatz zu allgemeinen Klingenabdeckung, die mit Düsen bereitgestellt sind, ist die Klingenabdeckung 55 für eine Schneidklinge 51 zum Schneiden des Werkstücks W in einem trockenen Zustand so angeordnet, dass der Freiraum zwischen der inneren Oberfläche der Klingenabdeckung 55 und der äußeren Oberfläche der Schneidklinge 51 wichtig ist. Entsprechend einer allgemeinen Abdeckung, da Düsen zum Ausstoßen von Schneidwasser lateral zu der Schneidklinge positioniert sind, liegen die Seiten der Schneidklinge nach außen frei. Darum kann die allgemeine Klingenabdeckung keinen Luftfluss in der Klingenabdeckung durch eine Drehung der Schneidklinge generieren und ist nicht in der Lage, Schneidstäube mit der Schneidklinge im Gegensatz zu der Klingenabdeckung 55 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform zu drehen.
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Ein Schneidprozess, der durch die Schneidvorrichtung 1 entsprechend der vorliegenden Ausführungsform durchgeführt wird, wird im Folgenden mit Bezug zu 5A und 5B beschrieben. 5A und 5B sind darstellend für die Weise, in welcher die Schneidvorrichtung 1 entsprechend der Ausführungsform einen Schneidprozess durchführt. Der Schneidprozess, der im Folgenden beschrieben wird, ist nur ein darstellendes Beispiel und kann geeignet geändert oder modifiziert werden.
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Wie in 5A dargestellt, wenn das Werkstück W an dem Einspanntisch 21 unter einem Saugen gehalten wird, wird der Einspanntisch 21 näher zu der Schneidklinge 51 bewegt. Zu diesem Zeitpunkt wird die Schneidklinge 51 um ihre eigene Achse mit hoher Geschwindigkeit gedreht und die Saugquelle 67 wird betätigt, um einen negativen Druck in der Klingenabdeckung 55 zu generieren. Radial außerhalb des Werkstücks W ist die Schneidklinge 51 in Ausrichtung mit einer der Teilungslinien L (siehe 1) ausgerichtet und zu einer Position abgesenkt, an welcher sie in das Werkstück W schneiden kann. Der Einspanntisch 21 wird dann entlang einer der X-Achsen-Richtungen zu der Schneidklinge 51 zugeführt, die dann das Werkstück W entlang der ausgerichteten Teilungslinie L schneidet.
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Wie in 5B dargestellt, wenn das Werkstück W durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird, die mit einer hohen Geschwindigkeit gedreht wird, werden Schneidstäube 90 von einem Punkt generiert, an dem das Werkstück W durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird. Zu diesem Zeitpunkt wird ein Luftfluss in dem Aufnahmeraum 61 in der Klingenabdeckung 55 durch die Drehung der Schneidklinge 51 generiert, was die Schneidstäube 90 dazu bringt, in den Aufnahmeraum 61 durch die Öffnung 62 in der Klingenabdeckung 55 einzutreten, sodass die Schneidstäube 90 durch den Luftfluss mitgerissen werden, der sich entlang der Richtung bewegt, in welcher die Schneidklinge 51 sich dreht. Wenn die Schneidstäube in dem Aufnahmeraum 61 sind, drehen sich diese mit der Schneidklinge 51 und werden danach von dem Aufnahmeraum 61 durch das rohrförmige Element 66 zu der Saugquelle 67 gezogen.
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Die Klingenabdeckung 55 weist eine Lufteinlassöffnung 64 auf, die darin hinter der Öffnung 62 gebildet ist. Andere Schneidstäube 90, die nicht durch die Öffnung 62 angesaugt wurden, werden zusammen mit der umgebenden Luft durch die Lufteinlassöffnung 64 zu der Saugquelle 67 gesaugt. In dieser Weise wird das Werkstück W in einem trockenen Zustand durch die Schneidklinge 51 geschnitten, während die Schneidstäube 90 von dem Werkstück W durch die Klingenabdeckung 55 aufgenommen werden. Da die Schneidstäube 90 weniger anfällig dafür sind, gestreut zu werden, wenn das Werkstück W durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird, wird der Raum in der Schneidvorrichtung 1 nicht mit Schneidstäuben gefüllt und die Ablagerung von Schneidstäuben auf dem Werkstück W und verschiedenen Teilen der Schneidvorrichtung 1 ist minimiert.
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Wie oben beschrieben entsprechend der vorliegenden Ausführungsform, wenn das Werkstück W in einem trockenen Zustand durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird, werden Schneidstäube 90 von dem Werkstück W in die Klingenabdeckung 55 gesaugt und drehen sich mit der Schneidklinge 51 in der Klingenabdeckung, während sich die Schneidklinge 51 dreht. Die Schneidstäube 90 in der Klingenabdeckung 55 werden dann aus der Klingenabdeckung 55 durch das ringförmige Element 66 unter einem Saugen der Saugquelle 67 ausgelassen. Folglich, da die Schneidstäube 90 weniger anfällig dafür sind, gestreut zu werden, wenn das Werkstück W durch die Schneidklinge 51 geschnitten wird, wird die Ablagerung von Schneidstäuben als Verunreinigung an der oberen Oberfläche des Werkstücks W, das geschnitten wird, und an verschiedenen Teilen der Schneidvorrichtung 1 reduziert, sodass die Kontaminierung des Werkstücks W minimiert wird und eine Wartung der Schneidvorrichtung 1 einfach und effizient ist.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform beschränkt, sondern verschiedene Änderungen und Modifikationen können in dieser Ausführungsform gemacht werden. Die vorliegende Erfindung sollte nicht als auf die Größen und Formen, die in den begleitenden Figuren gezeigt sind, beschränkt ausgelegt werden, sondern die dargestellten Größen und Formen können innerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung modifiziert werden. Andere strukturelle Details, die in der Ausführungsform dargestellt sind, können auch geändert oder in dem Umfang der vorliegenden Erfindung modifiziert werden.
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Zum Beispiel entsprechend der obigen Ausführungsform ist der Aufnahmeraum 61, der in der Klingenabdeckung 55 gebildet wird, im Wesentlichen aus einer flachen kreisförmigen Form. Jedoch ist der Aufnahmeraum 61 nicht auf eine solche flache kreisförmige Form beschränkt, sondern kann jede Form aufweisen, solange sie einen äußeren Umfang der Schneidklinge 61 mit Ausnahme eines unteren Spitzenendabschnitts davon umgibt und dazu geeignet ist, Schneidstäube 90 mit der Schneidklinge 51 zu drehen.
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In der obigen Ausführungsform weist die Klingenabdeckung 55 die Lufteinlassöffnung 64 zum Einführen von Schneidstäuben 90 auf, die nicht in die Öffnung 62 angesaugt wurden. Jedoch muss die Klingenabdeckung 55 die Lufteinlassöffnung 64 nicht aufweisen.
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In der obigen Ausführungsform ist das rohrförmige Element 66, das mit der Klingenabdeckung 55 verbunden ist, nicht durch einen Winkel bezüglich der Klingenabdeckung 55 beschränkt.
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Jedoch sollte das rohrförmige Element 66 vorzugsweise zu der Halteroberfläche 24 des Einspanntischs 21 geneigt sein, sodass es sich entlang der Richtung erstreckt, in welcher die Schneidstäube 90 von dem Werkstück W angehoben werden.
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In der obigen Ausführungsform sollte die Saugquelle 67 vorzugsweise eine Saugquelle eines Zyklontyps zum Entwickeln eines negativen Drucks sein, um Schneidstäube 90 unter einem Saugen einzuziehen. Jedoch ist die Saugquelle 67 nicht auf einen Zyklontyp beschränkt, sondern es kann zum Beispiel jede allgemeine Saugpumpe oder Saugstrahlpumpe verwendet werden.
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Wie oben beschrieben bietet die vorliegende Erfindung dahingehend Vorteile, dass die Schneidvorrichtung dazu in der Lage ist, ein Werkstück zu schneiden, ohne dass Schneidstäube, die dadurch produziert werden, an verschiedenen Teilen der Schneidvorrichtung und dem Werkstück abgelagert werden. Das Prinzip der vorliegenden Erfindung ist insbesondere vorteilhaft, wenn dieses in einer Schneidvorrichtung zum Schneiden eines Werkstücks verwendet wird, das aus einer grünen Keramik oder dergleichen hergestellt ist.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird die beigefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das äquivalente des Umfangs der Ansprüche fallen, werden dadurch durch die Erfindung umfasst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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