JP6987450B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
3,3a 被加工物
5,5a フレーム
7,7a テープ
2 切削装置
4 装置基台
6 チャックテーブル
6a 保持面
8 切削ユニット
8a 切削ブレード
8b ノズル
10 カメラユニット
16,40 開口
18 X軸移動テーブル
20 防塵防滴カバー
22 支持構造
24,30,46 ガイドレール
26,32 移動プレート
28,34,48 ボールねじ
28a,36,50 パルスモータ
38 乾燥ユニット
42 乾燥領域
44 ブローノズル
Claims (2)
- 被加工物を保持面上に保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながら切削ブレードで被加工物を切削する切削ユニットと、
該チャックテーブルを該保持面と平行な加工送り方向へ移動する加工送りユニットと、
該切削ユニットで切削され該切削液が付着した被加工物の表面を乾燥する乾燥ユニットと、を備え、
該乾燥ユニットは、
被加工物が置かれる乾燥領域と、
該加工送りユニットに連結され、該乾燥領域に置かれた被加工物に対して気体を噴射するブローノズルと、を有し、
該加工送りユニットにより該チャックテーブルとともに該加工送り方向に移動する該ブローノズルから該気体を噴射して、該乾燥領域に置かれた被加工物の表面を乾燥させることを特徴とする切削装置。 - 該ブローノズルは、該気体を間欠的に噴射することを特徴とする請求項1記載の切削装置。
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JP2017240874A JP6987450B2 (ja) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017240874A JP6987450B2 (ja) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | 切削装置 |
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JP2019110165A JP2019110165A (ja) | 2019-07-04 |
JP6987450B2 true JP6987450B2 (ja) | 2022-01-05 |
Family
ID=67180122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017240874A Active JP6987450B2 (ja) | 2017-12-15 | 2017-12-15 | 切削装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP6987450B2 (ja) |
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-
2017
- 2017-12-15 JP JP2017240874A patent/JP6987450B2/ja active Active
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