JP7294777B2 - 被加工物の乾燥方法及び切削装置 - Google Patents
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Description
制御手段90は、加工送り手段30により保持テーブル10を切削ユニット20の下方の切削領域15に向かって移動させる。そして、撮像ユニットに被加工物200を撮影させて、撮像ユニットが撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。制御手段90は、被加工物200と切削ユニット20とを相対的に移動させて、切削ブレード21を被加工物200に切り込ませて被加工物200を切削して分割する。この際、切削ブレード21と被加工物200の加工点には、給水ノズル24から切削液が供給されるため、切削後の被加工物200は切削液が付着した状態となる。本実施形態では、被加工物200は、所定ピッチ(例えば1mm以下)でX軸方向に沿って切削された後、被加工物200が保持された保持テーブル10を90度回転させる。そして、再び被加工物200を所定ピッチ(例えば1mm以下)でX軸方向に沿って切削する。これにより、被加工物200は、X軸方向及びY軸方向にそれぞれ沿って切削されてチップ化される。
図4は、被加工物と該被加工物が保持されるアンロードテーブルとを示す平面図である。次に、制御手段90は、吸引溝71aを保持面71に有するアンロードテーブル70を準備する。アンロードテーブル70の保持面71には吸引溝71aが形成されている。本実施形態では、吸引溝71aは、図4に示すように、切削装置100(図2)におけるX軸方向及びY軸方向とは異なる方向に延びており、X軸方向及びY軸方向のいずれとも非平行となっている。これに対して、被加工物200は、X軸方向及びY軸方向に沿って切削された切削溝203を有し、この切削溝203によってチップ204に分割されている。
図5は、アンロードテーブルに保持された被加工物を示す平面図である。次に、制御手段90は、ダイシングテープ202を介して被加工物200をアンロードテーブル70の保持面71で吸引保持する。具体的には、制御手段90は、搬送ユニット80を下降させ、図5に示すように、ダイシングテープ202を介して、被加工物200をアンロードテーブル70の保持面71に載置させる。制御手段90は、アンロードテーブル70の吸引源112を動作させて、保持面71にダイシングテープ202を介して被加工物200を吸引する。そして、吸引パッド84の吸引を解除して、搬送ユニット80を上昇させてから、アンロードテーブル70をアンロード領域76に移動させる。これらの一連のステップにより、切削装置100は、被加工物200を保持テーブル10から搬出する。
図6は、アンロードテーブルに保持された被加工物に向けてエアを吹き付けた状態を示す模式図である。制御手段90は、アンロードテーブル70を直上領域75からアンロード領域76に移動させる際に、図3に示すように、アンロードテーブル70に吸引保持された被加工物200に向けて乾燥ノズル78からエア79を吹き付け、被加工物200に付着した切削液を除去する。本実施形態では、アンロードテーブル70の保持面71に形成される吸引溝71aは、図5に示すように、被加工物200の切削溝203と平面視で交差する方向に延在する。すなわち、被加工物200の切削溝203とアンロードテーブル70の吸引溝71aとは平面視で交差して切削溝203と吸引溝71aとの向きが非平行に調整される。これにより、ダイシングテープ202が吸引溝71aに引き込まれる事態を防止することができる。このため、図6に示すように、ダイシングテープ202とチップ204との貼着状態を保持することができ、エア79を吹き付け(エアブロー)によるチップ204飛びを抑制できる。また、チップ204間が狭まることを抑制することにより、チップ204同士が接触してチップ204の損傷や、チップ204間の乾燥不良を抑制することができる。本実施形態のように、例えば1mm以下の所定ピッチで切削された微小なチップ204であっても、吸引溝71aを有する保持面71に十分に保持することができるため、ダイシングテープ202が吸引溝71aに引き込まれる事態を防止することができ、チップ204飛びや乾燥不良を効果的に抑制することができる。
11 保持面
20 切削ユニット
21 切削ブレード
24 給水ノズル
60 ロードテーブル
61 保持面
61a 吸引溝
62 ロードテーブル移動機構
63 ガイドレール
64 ベース板
65 直上領域
66 ロード領域
70 アンロードテーブル(チャックテーブル)
71 保持面
71a 吸引溝
72 アンロードテーブル移動機構(移動ユニット)
74 ベース板
75 直上領域
76 アンロード領域
77 土手部
78 乾燥ノズル
79 エア
80 搬送ユニット
84 吸引パッド
90 制御手段
95 乾燥ユニット
100 切削装置
110 吸引路
111 吸引電磁弁
112 吸引源
200 被加工物
201 裏面
202 ダイシングテープ
203 切削溝
204 チップ
711 平坦面
Claims (4)
- 裏面にダイシングテープが貼着され、切削ブレードによるダイシングで分割された被加工物から、ダイシング時に供給された切削液を除去する被加工物の乾燥方法であって、
バキューム用の吸引溝を保持面に有するチャックテーブルを準備するテーブル準備ステップと、
ダイシングで形成された該被加工物の互いに平行に複数設けられた直線状の切削溝と、該チャックテーブルの互いに平行に複数設けられた直線状の該吸引溝の向きを非平行に調整し、該ダイシングテープを介して該被加工物を該チャックテーブルの該保持面で吸引保持する保持ステップと、
該チャックテーブルで吸引保持した該被加工物にエアを吹き付け、該被加工物に付着した該切削液を除去するエアブローステップと、を備え、
該チャックテーブルは、該保持面の周縁の少なくとも一部に該保持面よりも高さ方向に突出し、乾燥ノズルから供給されるエアの直撃から該ダイシングテープと該保持面との間を遮蔽する土手部を備える被加工物の乾燥方法。 - 該エアブローステップでは、エアを供給するノズルと該チャックテーブルとを該保持面と平行な方向に相対的に移動させることを特徴とする請求項1に記載の被加工物の乾燥方法。
- 裏面にダイシングテープが貼着された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながらダイシングする切削ユニットと、該切削ユニットでダイシングした被加工物を乾燥させる乾燥ユニットと、を備える切削装置であって、
該乾燥ユニットは、
ダイシング後の被加工物をダイシングテープを介して吸引する吸引溝が形成された保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルの上方に配置されて、該チャックテーブルで保持した該被加工物にエアを吹き付け、該被加工物に付着した切削液を除去して乾燥させる乾燥ノズルと、
該乾燥ノズルと該チャックテーブルとを該保持面と平行な方向に相対的に移動させる移動ユニットと、を備え、
該保持面に形成された互いに平行に複数設けられた直線状の吸引溝は、ダイシングにより形成された該被加工物の互いに平行に複数設けられた直線状の該被加工物を分割した切削溝と平面視で交差する方向に延在し、
該チャックテーブルは、該保持面の周縁の少なくとも一部に該保持面よりも高さ方向に突出し、該乾燥ノズルから供給されるエアの直撃から該ダイシングテープと該保持面との間を遮蔽する土手部を備える切削装置。 - 裏面にダイシングテープが貼着された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながらダイシングする切削ユニットと、該切削ユニットでダイシングした被加工物を乾燥させる乾燥ユニットと、を備える切削装置であって、
該乾燥ユニットは、
ダイシング後の被加工物をダイシングテープを介して吸引する吸引溝が形成された保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルの上方に配置されて、該チャックテーブルで保持した該被加工物にエアを吹き付け、該被加工物に付着した切削液を除去して乾燥させる乾燥ノズルと、
該乾燥ノズルと該チャックテーブルとを該保持面と平行な方向に相対的に移動させる移動ユニットと、を備え、
該保持面に形成される吸引溝は、ダイシングにより形成された該被加工物の切削溝と平面視で交差する方向に延在するとともに、
該チャックテーブルは、該保持面の周縁の少なくとも一部に該保持面よりも高さ方向に突出し、該乾燥ノズルから供給されるエアの直撃から該ダイシングテープと該保持面との間を遮蔽する土手部を備えることを特徴とする切削装置。
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