JP2017084950A - 加工装置の搬送機構 - Google Patents
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Abstract
Description
4 基台
4a 開口
6 X軸移動テーブル
8 防塵防滴カバー
10 チャックテーブル
10a 保持面
12 切削ユニット(加工手段)
14 支持構造
16 切削ユニット移動機構(割り出し送り手段)
18 Y軸ガイドレール
20 Y軸移動プレート
22 Y軸ボールネジ
24 Y軸パルスモータ
26 Z軸ガイドレール
28 Z軸移動プレート
30 Z軸ボールネジ
32 Z軸パルスモータ
34 切削ブレード
36 カメラ
42 ロードテーブル
42a 保持面
44 アンロードテーブル
44a 保持面
46 ロードテーブル移動機構(ロードテーブル移動手段、搬送手段)
48 アンロードテーブル移動機構(アンロードテーブル移動手段、搬送手段)
50 ガイドレール
52 載せ替え機構(載せ替え手段、搬送手段)
54 吸引部
56 ノズル(乾燥手段)
11 被加工物
13 テープ
15 フレーム
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、被加工物を加工する加工領域と被加工物を搬出入する搬出入領域との間で該チャックテーブルを加工送り方向へ移動する加工送り手段と、該加工手段を該加工送り方向に垂直な割り出し送り方向へ移動する割り出し送り手段と、を備える加工装置に設置され、被加工物を該チャックテーブルに搬出入する加工装置の搬送機構であって、
該搬出入領域に隣接する該加工送り手段の一方側の領域で加工前の被加工物を支持するロードテーブルと、
該搬出入領域に隣接する該加工送り手段の他方側の領域で加工後の被加工物を支持するアンロードテーブルと、
該チャックテーブルと該ロードテーブル又は該アンロードテーブルとの間で被加工物を搬送する搬送手段と、を備えることを特徴とする加工装置の搬送機構。 - 該搬送手段は、
該加工送り手段の一方側で該搬出入領域に隣接するロード領域と、該搬出入領域に位置付けられた該チャックテーブルの直上の直上領域と、の間で該ロードテーブルを移動させるロードテーブル移動手段と、
該加工送り手段の他方側で該搬出入領域に隣接するアンロード領域と、該直上領域と、の間で該アンロードテーブルを移動させるアンロードテーブル移動手段と、
直動機構によって鉛直方向に移動し、該搬出入領域に位置付けられた該チャックテーブルと、該直上領域に位置付けられた該ロードテーブル又は該アンロードテーブルとの間で被加工物を搬送する載せ替え手段と、を備えることを特徴とする請求項1記載の加工装置の搬送機構。 - 該アンロードテーブルの移動経路上に設置され、該アンロードテーブルが支持する被加工物の露出面にエアーを噴射し、加工時に付着した加工液を被加工物から除去する乾燥手段を更に備えることを特徴とする請求項2記載の加工装置の搬送機構。
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