JP6973931B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
3 切削溝
2 切削装置
4 装置基台
6 チャックテーブル
6a 保持面
8 切削ユニット
8a 切削ブレード
8b ノズル
10 カメラユニット
16 開口
18 X軸移動テーブル
20 防塵防滴カバー
22 支持構造
24,32 ガイドレール
26,34 移動プレート
28,36 ボールねじ
30,38 パルスモータ
40 載置領域
42 アーム
44 搬送パッド
46 被係合部
48 係合部
50 搬出ユニット
52 搬出テーブル
54 洗浄ノズル
56 乾燥ノズル
58 待機領域
60 搬入出領域
62 加工領域
64,66,68 吸引路
70 搬出領域
Claims (5)
- チャックテーブルの保持面に保持された被加工物をスピンドルに装着した切削ブレードで切削する切削ユニットと、
被加工物が切削される加工領域と、被加工物が搬入出される搬入出領域と、の間で該チャックテーブルを該保持面に平行な加工送り方向へ移動させる加工送りユニットと、
該切削ユニットを該保持面に平行で該加工送り方向に垂直な割り出し送り方向と、該保持面に垂直な方向と、に移動させる移動ユニットと、
該搬入出領域に隣接し切削前の被加工物が載せられる載置領域と、
切削後の被加工物を搬出する搬出ユニットと、
該載置領域に載せられた切削前の被加工物を該搬入出領域に位置する該チャックテーブルに搬送し、該チャックテーブルに載る切削後の被加工物を該搬出ユニットに搬送する搬送パッドと、を備え、
該搬送パッドは、該搬入出領域に隣接する待機領域で該移動ユニットに着脱され、該移動ユニットに装着された状態で被加工物を吸引保持し、被加工物を吸引保持したまま該移動ユニットにより移動されることで被加工物を搬送することを特徴とする切削装置。 - 該搬送パッドは、上部に被係合部を備え、
該移動ユニットは、該切削ユニットが固定される移動プレートと、該移動プレートから該加工送り方向に伸長し該被係合部に係合される係合部を備えるアームと、を有し、
該移動プレートを該保持面に垂直な方向に移動させることで該待機領域に置かれた該搬送パッドの該被係合部に該アームの係合部を係合させ該移動プレートに該搬送パッドを連結することを特徴とする請求項1記載の切削装置。 - 該搬出ユニットは、該被加工物が載せられる搬出テーブルを備え、
該搬出テーブルは、該搬入出領域の直上の領域と、該加工送りユニットの側方の搬出領域と、の間を移動でき、
該搬出ユニットは、該直上の領域に位置付けられているときに該搬送パッドにより被加工物が載せられた該搬出テーブルを該搬出領域に移動させることで該被加工物を搬出することを特徴とする請求項1又は2記載の切削装置。 - 該搬出テーブルの移動経路上に設置され、該搬出テーブルに載置された該被加工物の表面に気体を噴射し、切削中に付着した液体を該被加工物から除去する乾燥ノズルを備えることを特徴とする請求項3記載の切削装置。
- 該加工送りユニットにより移動する該チャックテーブルの移動経路上に設置され、該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された被加工物に液体を噴射して該保持面又は該被加工物を洗浄する洗浄ノズルを備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一に記載の切削装置。
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