JP7165510B2 - 搬送用治具及び交換方法 - Google Patents

Description

本発明は、搬送用治具及び交換方法に関する。

半導体ウエーハなどの被加工物の切削を行う際は、加工装置として、切削ブレードを備えた切削装置が用いられる（例えば、特許文献１参照）。前述した切削装置は、連続して稼働するためには、消耗品である切削ブレードが自動的に供給されることが必要である。

そこで、特許文献１に示された切削装置は、切削ブレードを複数保持するブレードラックと、切削ユニットの切削ブレードをブレードラックの切削ブレードに交換するブレード着脱機構とを備える。

特開２００７－２０８１１４号公報

特許文献１に示された切削装置は、オペレータがブレードラックに保持した使用済みの切削ブレードを未使用の切削ブレードに交換していた。このために、特許文献１に示された切削装置は、切削ブレードの交換にかかる所要工数が増加する傾向であった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、消耗品の交換にかかる所要工数を抑制することができる搬送用治具及び交換方法を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の搬送用治具は、被加工物を保持するチャックテーブルを少なくとも備える加工ユニットと、消耗品を交換する交換ユニットと、該加工ユニットに被加工物を供給する搬送手段と、を具備する切削装置において、加工に使用する消耗品を該加工ユニットへと運搬するための搬送用治具であって、該搬送用治具は該被加工物と共通の該搬送手段によって搬送され、該消耗品を載置する載置部を備えることを特徴とする。
また、該被加工物は、外周縁に環状フレームが装着された粘着テープに貼着されて、該環状フレームに支持され、該搬送用治具は、外縁の平面形状が該環状フレームの外縁の平面形状と等しくても良い。
また、該加工ユニットは、切削ブレードを着脱可能に装着した切削手段を少なくとも備え、該消耗品は、切削ブレードであって、該交換ユニットは、該切削ブレードを交換するブレード交換ユニットでも良い。

本発明の交換方法は、前記搬送用治具を用いた交換方法であって、被加工物を保持するチャックテーブルを少なくとも備える加工ユニットと、消耗品を交換する交換ユニットと、該加工ユニットに被加工物を供給する搬送手段と、を具備する切削装置において、交換用の消耗品が載置された該搬送用治具を該搬送手段で該加工ユニットへと搬送する搬送ステップと、該搬送用治具を該チャックテーブルの上方に搬送治具保持手段によって保持する搬送治具保持ステップと、該交換ユニットによって、該加工ユニットに装着された消耗品を取り外す取り外しステップと、該搬送用治具に載置された該消耗品を該加工ユニットに装着する装着ステップと、該加工ユニットから取り外された消耗品を載置した該搬送用治具を該搬送手段によってカセットに戻す戻しステップとを備えることを特徴とする。

本願発明は、消耗品の交換にかかる所要工数を抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された切削装置の加工対象の被加工物を示す斜視図である。 図３は、図１に示された切削装置のチャックテーブルの要部を示す斜視図である。 図４は、図１に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。 図５は、図１に示された切削装置のカセットエレベータに設置されるカセットを示す斜視図である。 図６は、図１に示された切削装置の搬送ユニットの仮置きユニットを示す斜視図である。 図７は、図１に示された切削装置の搬送ユニットの搬送アームを示す斜視図である。 図８は、図１に示された切削装置のブレード交換ユニットの構成例を示す斜視図である。 図９は、図８に示されたブレード交換ユニットのナットホルダの断面図である。 図１０は、実施形態１に係る搬送用治具の構成例を示す斜視図である。 図１１は、図１０に示された搬送用治具の載置部を示す斜視図である。 図１２は、図１１に示された載置部が切削ブレードを載置した状態を示す斜視図である。 図１３は、図１０に示された搬送用治具が載置部に切削ブレードが載置された状態を示す斜視図である。 図１４は、図１３に示された搬送用治具がカセット内に収容される状態を示す斜視図である。 図１５は、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法を示すフローチャートである。 図１６は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の搬送ステップにおいて、カセットから搬送用治具を取り出し、レール上に載置した状態を示す斜視図である。 図１７は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の搬送ステップにおいて、カセットから取りだされた搬送用治具を搬送アームが吸引保持した状態を示す斜視図である。 図１８は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の搬送治具保持ステップ後の搬送用治具等を示す斜視図である。 図１９は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の取り外しステップにおいて、締結ナットを取り外した状態の一例を示す斜視図である。 図２０は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の取り外しステップにおいて、交換対象の切削ブレードを取り外した状態の一例を示す斜視図である。 図２１は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の取り外しステップにおいて、取り外した切削ブレードを搬送用治具の載置部に載置した状態の一例を示す斜視図である。 図２２は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の装着ステップにおいて、ブレードチャックに未使用の切削ブレードを吸引保持した状態の一例を示す斜視図である。 図２３は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の装着ステップにおいて、ブレードチャックに吸引保持した切削ブレードを切削ユニットに装着した状態の一例を示す斜視図である。 図２４は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の装着ステップにおいて、ナットホルダに保持した締結ナットを切削ユニットのブレード装着部材に取り付ける直前の状態の一例を示す斜視図である。 図２５は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の戻しステップにおいて、チャックテーブル上の搬送用治具を搬送アームが吸引保持した状態を示す斜視図である。 図２６は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の戻しステップにおいて、レール上に載置された搬送用治具をカセット内に収容する状態を示す斜視図である。 図２７は、実施形態１の変形例に係る搬送用治具の要部の断面図である。 図２８は、実施形態２に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置の構成例の要部を示す斜視図である。 図２９は、実施形態２に係る搬送用治具の構成例を示す斜視図である。 図３０は、実施形態１及び実施形態２の変形例１に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置を備える製造設備の構成例を示す平面図である。 図３１は、実施形態１及び実施形態２の変形例２に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置等の構成例を示す正面図である。 図３２は、実施形態１及び実施形態２の変形例３に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置のチャックテーブルの要部を示す斜視図である。 図３３は、図３２に示されたチャックテーブルが搬送用治具を吸引保持した状態を示す要部の斜視図である。 図３４は、実施形態１及び実施形態２の変形例４に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置のカセットエレベータの構成例を示す斜視図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る搬送用治具及び切削ブレードの交換方法を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された切削装置の加工対象の被加工物を示す斜視図である。図３は、図１に示された切削装置のチャックテーブルの要部を示す斜視図である。図４は、図１に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図５は、図１に示された切削装置のカセットエレベータに設置されるカセットを示す斜視図である。図６は、図１に示された切削装置の搬送ユニットの仮置きユニットを示す斜視図である。図７は、図１に示された切削装置の搬送ユニットの搬送アームを示す斜視図である。図８は、図１に示された切削装置のブレード交換ユニットの構成例を示す斜視図である。図９は、図８に示されたブレード交換ユニットのナットホルダの断面図である。

（切削装置）
実施形態１に係る切削ブレードの交換方法は、図１に示す切削装置１により実施される。切削装置１は、図２に示す被加工物２００を切削（加工）する装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２１１が装着された粘着テープ２１０に貼着されて、環状フレーム２１１に支持されている。

図１に示された切削装置１は、被加工物２００を切削する加工ユニット２と、加工ユニット２の切削ユニット２０の消耗品である切削ブレード２１を交換する切削ブレード交換手段であるブレード交換ユニット３と、制御ユニット４とを備えて、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削（加工に相当）する装置である。加工ユニット２は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０が保持する被加工物２００をスピンドル２３に装着した切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット３０とを備える。

また、切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする図示しないＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット４０と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット５０とを少なくとも備える。切削装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより切削ユニット２０の下方の加工領域９１と、切削ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域９２とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、図３に示すように、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１０は、粘着テープ２１０を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図１及び図３に示すように、環状フレーム２１１をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。なお、図３は、被加工物２００の表面２０１上のデバイス２０３を省略している。

クランプ部１２は、図３に示すように、環状フレーム２１１が載置されるクランプ本体部１３と、クランプ部材１４とを備える。クランプ部材１４は、クランプ本体部１３との間に環状フレーム２１１をクランプするクランプ位置と、クランプ本体部１３から間隔をあけて環状フレーム２１１のクランプを解除する図３に示すクランプ解除位置とに亘って回転自在に設けられている。クランプ部材１４は、クランプ位置からクランプ解除位置に向かってチャックテーブル１０の外周側の変位するように回転する。クランプ部材１４は、クランプ解除位置において環状フレーム２１１に接触することなく、保持面１１への被加工物２００の載置及び被加工物２００の保持面１１からの離脱を許容する。実施形態１では、クランプ部材１４は、図示しないエアシリンダ等の駆動源によりクランプ位置とクランプ解除位置とに亘って回転する。

クランプ部材１４は、搬送治具保持手段である搬送治具保持部材１５が取り付けられている。搬送治具保持部材１５は、クランプ位置に位置付けられた各クランプ部材１４の上面に取り付けられかつ上面が平坦な平坦部１６と、平坦部１６から凸に形成された段差部１７とを一体に備える。段差部１７は環状フレーム２１１の外縁に沿っているとより好ましい。

切削ユニット２０は、図４に示すように、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４０によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット５０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

一方の切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット４０、Ｚ軸移動ユニット５０などを介して、装置本体６から立設した門型の支持フレーム５の一方の柱部５－１に設けられている。他方の切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット４０、Ｚ軸移動ユニット５０などを介して、支持フレーム５の他方の柱部５－２に設けられている。なお、支持フレーム５は、柱部５－１，５－２の上端同士を水平梁５－３により連結している。

切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４０及びＺ軸移動ユニット５０により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、図４に示すように、Ｙ軸移動ユニット４０及びＺ軸移動ユニット５０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられかつ図示しないモータにより回転されるスピンドル２３と、スピンドル２３の先端部に装着されたブレード装着部材２４とを備える。また、切削ユニット２０は、スピンドル２３の先端部の外周に設けられた図示しない雄ねじと螺合しブレード装着部材２４をスピンドル２３の先端部に固定する固定ナット２５と、ブレード装着部材２４に装着される切削ブレード２１と、切削ブレード２１をブレード装着部材２４との間で挟んで固定する締結ナット２６とを備える。

ブレード装着部材２４は、円筒状の装着部２４１と、装着部２４１のスピンドルハウジング２２寄りの一端部に設けられたフランジ部２４２とを備えている。フランジ部２４２は、装着部２４１の外径よりの大径な円環状に形成されている。また、ブレード装着部材２４は、装着部２４１の他端部の外周に雄ネジ２４３が形成されている。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードであり、アルミニウム合金等の金属で構成された円環状の支持基台２１２と、支持基台２１２の外周に固定されて被加工物２００を切削する円環状の切り刃２１３を備える。支持基台２１２は、ブレード装着部材２４の装着部２４１に装着するための装着孔２１４が中央に設けられている。装着孔２１４は、内側にブレード装着部材２４の装着部２４１を通す。切り刃２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切り刃２１３のみで構成されたワッシャーブレードでもよい。

このように構成された切削ブレード２１は、支持基台２１２の装着孔２１４がブレード装着部材２４の円筒状の装着部２４１の外周に嵌合される。切削ブレード２１は、締結ナット２６を円筒状の装着部２４１に形成された雄ネジ２４３に螺合することにより、ブレード装着部材２４のフランジ部２４２と締結ナット２６とによって挟持固定される。なお、締結ナット２６は、端面に４個のピン嵌合穴２６１をそれぞれ９０度の位相をもって設けている。また、締結ナット２６は、外周面に全周に亘って環状溝２６２が形成されている。

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３及び切削ブレード２１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット４に出力する。

Ｘ軸移動ユニットは、チャックテーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット４０は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット５０は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット４０及びＺ軸移動ユニット５０は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

また、切削装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット４に出力する。

また、切削装置１は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット６１が載置されかつカセット６１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ６０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット７０と、カセット６１に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する搬送手段である搬送ユニット８０とを備える。

カセット６１は、図５に示すように、被加工物２００を収容するための箱状の収容器である。カセット６１は、図５に示すように、図５中の手前側の開口６２を通して被加工物２００を出し入れ可能にするとともに、被加工物２００をＺ軸方向に間隔をあけて保持するスロット６３を複数備えている。カセット６１は、開口６２が搬入出領域９２に対向する状態でカセットエレベータ６０の上面に載置される。

洗浄ユニット７０は、被加工物２００を吸引保持するとともに、Ｚ軸方向と平行な軸心回りに回転するスピンナーテーブル７１と、スピンナーテーブル７１に吸引保持された被加工物２００に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルとを備える。

搬送ユニット８０は、被加工物２００を加工ユニット２に供給するとともに、カセット６１、チャックテーブル１０、及び洗浄ユニット７０の間で被加工物２００を搬送するものである。搬送ユニット８０は、図６に示す仮置きユニット８１と、図７に示す搬送アーム８２とを備える。

仮置きユニット８１は、カセット６１から切削前の被加工物２００を一枚取り出すとともに、切削後の被加工物２００をカセット６１内に収容するものである。仮置きユニット８１は、図６に示すように、切削前の被加工物２００をカセット６１から取り出すとともに切削後の被加工物２００をカセット６１内に挿入する搬出入ユニット８１１と、切削前後の被加工物２００を一時的に載置する一対のレール８１２とを含んで構成されている。

搬送アーム８２は、図１に示すように、２つ設けられている。これら２つの搬送アーム８２は、レール８１２と、チャックテーブル１０と、スピンナーテーブル７１との間で被加工物２００を搬送するものである。搬送アーム８２は、支持フレーム５よりも搬入出領域９２側に配置されかつ装置本体６から立設した門型の第２支持フレーム７にＹ軸方向に移動自在に設けられている。

搬送アーム８２は、図７に示すように、Ｙ軸方向に移動自在に設けられたアーム部８２１と、アーム部８２１の下端部にＺ軸方向に昇降自在に設けられかつ被加工物２００を保持する保持部８２２とを備える。実施形態１において、搬送アーム８２の保持部８２２は、図７に示すように、環状フレーム２１１を吸引保持して、被加工物２００を保持する。搬送ユニット８０は、仮置きユニット８１がカセット６１から被加工物２００を取り出してレール８１２上に載置し、搬送アーム８２がレール８１２上の被加工物２００をチャックテーブル１０上に搬送することにより、被加工物２００をカセット６１から加工ユニット２に供給する。

ブレード交換ユニット３は、図１に示すように、支持フレーム５の図１中の背面側でかつ加工領域９１よりも搬入出領域９２から離れた位置に設置されている。ブレード交換ユニット３は、図８に示すように、ユニット本体３１と、ナットホルダ３２と、ブレードチャック３４とを備える。実施形態１において、ブレード交換ユニット３は、ナットホルダ３２とブレードチャック３４とをそれぞれ一つ備える。

ユニット本体３１は、支持フレーム５の図１中の背面側に設置され、Ｚ軸方向に昇降自在な支持テーブル３１１上に設けられている。また、支持テーブル３１１は、図示しない移動ユニットによりＸ軸方向に移動自在に設けられている。なお、支持テーブル３１１をＺ軸方向に昇降させる移動ユニットと、支持テーブル３１１をＸ軸方向に移動させる移動ユニットの構成は、図８では省略するが、前述した移動ユニット４０，５０と同様に、周知のボールねじ、周知のモータ及び周知のガイドレールにより構成される。ユニット本体３１は、支持テーブル３１１上に設けられた被支持部３１２と、被支持部３１２に周知のモータによりＸ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられた回転部３１３とを備える。

ナットホルダ３２とブレードチャック３４とは、回転部３１３に取り付けられ、かつ互いにＸ軸方向に間隔をあけて配置されている。実施形態１では、ナットホルダ３２は、ブレードチャック３４よりも搬入出領域９２寄りに配置されている。

ナットホルダ３２は、切削ユニット２０の締結ナット２６をブレード装着部材２４の装着部２４１から取り外し、取り外した締結ナット２６を保持するとともに、保持した締結ナット２６をブレード装着部材２４の装着部２４１に取り付けるものである。ナットホルダ３２は、回転部３１３に取り付けられたエアシリンダによりＸ軸方向に対して直交する方向に移動自在に設けられている。

ナットホルダ３２は、図９に示すように、前述したエアシリンダによりＸ軸方向に対して直交する方向に移動自在に設けられた円筒状のモータケース３２１と、モータケース３２１内に配設された電動モータ３２２と、電動モータ３２２の駆動軸に連結された円柱状の回動部材３２３と、回動部材３２３の外周を覆う作動リング３２４と、モータケース３２１と作動リング３２４とを連結した第２エアシリンダ３２５とを備える。なお、第２エアシリンダ３２５は、図９のみに図示され、他の図では省略されている。

電動モータ３２２は、駆動軸をＸ軸方向と直交する方向に配置し、駆動軸を軸心回りに回転することで、回動部材３２３を軸心回りに回転させる。回動部材３２３は、外径が段階的に変化する円柱状に形成され、かつ駆動軸に連結された小径部３２６と、小径部３２６と同軸に配置されて小径部３２６に連なるとともに小径部３２６よりも外径が大きな大径部３２７とを一体に備える。実施形態１では、小径部３２６の外径は、モータケース３２１の外径に等しい。実施形態１では、駆動軸と、モータケース３２１と、回動部材３２３とは同軸となる位置に配置されている。

作動リング３２４は、底部３２８を回転部３１３寄りに配置し、かつ駆動軸、モータケース３２１及び回動部材３２３と同軸に配置された有底筒状（円筒状）に形成されている。作動リング３２４は、底部３２８に回動部材３２３の小径部３２６を通す通し孔３２９を設けている。作動リング３２４は、第２エアシリンダ３２５のピストンロッドに連結しており、第２エアシリンダ３２５のピストンロッドが伸縮することで、図９中の実線で示す位置と二点鎖線で示す位置とに亘って、回動部材３２３と同じ軸方向にスライドする。なお、作動リング３２４の回転部３１３から離れた側の端には、後述する把持部材３３０を通す切欠き３３１が設けられている。

また、ナットホルダ３２は、回動部材３２３の大径部３２７の端面から突出した４つの回動ピン３３２をそれぞれ９０度の位相をもって配設している。回動ピン３３２は、基端（図９において左端）に円形状の係合部３３３を備えており、係合部３３３が回動部材３２３の端面に設けられたシリンダ穴３３４に摺動可能に配設されている。シリンダ穴３３４の底面と係合部３３３との間には、圧縮スプリング３３５が配設されている。圧縮スプリング３３５は、回動ピン８１４を端面から突出する方向に付勢している。なお、シリンダ穴３３４には、回動ピン３３２の係合部３３３と係合し回動ピン３３２の脱落を規制するストッパー部３３６が設けられている。上述した４つの回動ピン８１４は、締結ナット２６に設けられた４つのピン嵌合穴２６１に嵌合する位置に配設されている。

また、ナットホルダ３２は、回動部材３２３の外周にそれぞれ９０度の位相をもって配設された４つの把持部材３３０を備える。把持部材３３０は、アーム状に形成され、長手方向が回動部材３２３の軸方向に沿って配置されている。把持部材３３０は、先端部に締結ナット２６の外周に設けられた環状溝２６２に係合可能で大径部３２７の端面よりも回転部３１３から離れた把持爪３３７を備えており、回転部３１３寄りの基端部が回動部材３２３の小径部３２６の外周面に揺動可能に支持されている。把持部材３３０は、基端部を中心として揺動することにより、把持爪３３７同士が互いに近づいたり離れる。また、回動部材３２３の外周面と把持部材３３０の中央部との間には、圧縮スプリング３３８が配設されている。圧縮スプリング３３８は、把持爪３３７が常に径方向外側に向かうように把持部材３３０を付勢している。

このように構成されたナットホルダ３２は、図９中の実線で示す位置では、把持部材３３０の把持爪３３７同士が離れて、把持爪３３７の締結ナット２６の環状溝２６２への係合が解除される。また、ナットホルダ３２は、第２エアシリンダ３２５のピストンロッドが伸張して、作動リング３２４を図９中の２点鎖線で示す位置に移動すると、把持部材３３０の把持爪３３７同士が近付いて、把持爪３３７が締結ナット２６の環状溝２６２に係合する。

ブレードチャック３４は、切削ブレード２１の支持基台２１２の吸引保持するものである。ブレードチャック３４は、回転部３１３に取り付けられたエアシリンダによりＸ軸方向に対して直交する方向に移動自在に設けられている。

ブレードチャック３４は、前述したエアシリンダによりＸ軸方向に対して直交する方向に移動自在に設けられた円筒状のチャック本体３４１と、チャック本体３４１の先端に取り付けられ、図示しない真空吸引源から吸引されることで切削ブレード２１の支持基台２１２を吸引、保持する吸引保持部３４２とを備える。なお、ブレードチャック３４は、吸引保持部３４２とチャック本体３４１とに亘って、ブレード装着部材２４の装着部２４１を内側に通す装着用穴３４３を備える。

前述した構成のブレード交換ユニット３は、支持テーブル３１１をＺ軸方向に昇降させる移動ユニットと支持テーブル３１１をＸ軸方向に移動させる移動ユニットとにより、支持フレーム５の背面側の位置と、回転部３１３が軸心回りに回転することによりナットホルダ３２及びブレードチャック３４が切削ユニット２０の切削ブレード２１及びチャックテーブル１０と対向することが可能となる位置とに亘って移動自在となる。

制御ユニット４は、切削装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット４は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット４の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。

制御ユニット４は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

（搬送用治具）
次に、本明細書は、実施形態１に係る搬送用治具を説明する。図１０は、実施形態１に係る搬送用治具の構成例を示す斜視図である。図１１は、図１０に示された搬送用治具の載置部を示す斜視図である。図１２は、図１１に示された載置部が切削ブレードを載置した状態を示す斜視図である。

搬送用治具１００は、図１に示された切削装置１において、切削加工に使用する切削ブレード２１を加工ユニット２の切削ユニット２０へと運搬するための治具である。搬送用治具１００は、外縁の平面形状が環状フレーム２１１の外縁の平面形状と等しい板状に形成され、例えば、金属等の硬質な材料で一体に形成されている。

搬送用治具１００は、図１０、図１１及び図１２に示すように、切削ブレード２１を載置する載置部１０１を複数備える。各載置部１０１は、切削ブレード２１を一つ位置決めして載置する。載置部１０１は、搬送用治具１００の表面から立設した筒状の立設筒部１０２と、立設筒部１０２内に設けられ搬送用治具１００の表面から立設した位置決め凸部１０３とを備える。立設筒部１０２は、内周面の平面形状が切削ブレード２１の切り刃２１３の外縁の平面形状と等しく形成され、内側に切削ブレード２１を収容する。

実施形態１では、立設筒部１０２は、切削ブレード２１の切り刃２１３を搬送用治具１００の表面に重ねた状態で搬送用治具１００を収容する。位置決め凸部１０３は、立設筒部１０２内に収容された切削ブレード２１の装着孔２１４内に侵入して、切削ブレード２１を立設筒部１０２内で位置決めする。実施形態１において、位置決め凸部１０３は、搬送用治具１００から離れるのに従って徐々に外径が減少する先細の円柱状に形成されている。そのため切削ブレード２１を位置決め凸部１０３に装着していくと、切削ブレード２１の切り刃２１３が立設筒部１０２の底面に接触する前に切削ブレード２１の装着孔２１４が位置決め凸部１０３の外径に接触して固定され切り刃２１３が載置部１０１に直接接触することを防ぐことが出来る。

前述した構成の搬送用治具１００は、載置部１０１に切削ブレード２１を載置した状態で、カセット６１のスロット６３内に環状フレーム２１１と同様に収容されることが可能であるとともに、搬送ユニット８０により環状フレーム２１１と同様に搬送されることが可能である。即ち、搬送用治具１００は、被加工物２００と共通の搬送ユニット８０によって、カセット６１とチャックテーブル１０との間で搬送される。また、搬送用治具１００は、段差部１７に外縁を接触させて、搬送治具保持部材１５によりチャックテーブル１０上に位置決めされる。

（切削装置の加工動作）
本明細書は、前述した構成の切削装置１の加工動作を説明する。図１３は、図１０に示された搬送用治具が載置部に切削ブレードが載置された状態を示す斜視図である。図１４は、図１３に示された搬送用治具がカセット内に収容される状態を示す斜視図である。

加工動作では、オペレータが、図１３に示すように、載置部１０１に切削ブレード２１を載置し、加工内容情報を制御ユニット４に登録する。また、加工動作では、オペレータが、図１４に示すように、載置部１０１に切削ブレード２１が載置された搬送用治具１００をカセット６１に収容するとともに、切削加工前の被加工物２００をカセット６１に収容して、カセット６１をカセットエレベータ６０の上面に設置する。

なお、実施形態１では、オペレータは、載置部１０１に切削ブレード２１を載置する際に、複数の載置部１０１のうちの一つの載置部１０１以外の載置部１０１に切削ブレード２１を載置し、一つの載置部１０１には切削ブレード２１を載置しない。また、実施形態１では、オペレータが制御ユニット４に登録する加工内容情報は、カセット６１内の搬送用治具１００の位置を示す情報を含む。また、実施形態１では、オペレータが制御ユニット４に登録する加工内容情報は、搬送用治具１００の切削ブレード２１が載置された載置部１０１の位置を示す情報、又は搬送用治具１００の切削ブレード２１が載置されていない載置部１０１の位置を示す情報を含む。

その後、切削装置１は、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に加工動作を開始する。切削装置１は、加工動作を開始すると、制御ユニット４が、搬送ユニット８０にカセット６１内から被加工物２００を搬入出領域９２のチャックテーブル１０まで搬送させ、粘着テープ２１０を介して裏面２０４側をチャックテーブル１０の保持面１１に吸引保持させるとともに、クランプ部１２に環状フレーム２１１をクランプさせる。

切削装置１の制御ユニット４は、Ｘ軸移動ユニットにチャックテーブル１０を加工領域９１に向かって移動させて、撮像ユニット３０に被加工物２００を撮影させて、撮像ユニット３０が撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。切削装置１の制御ユニット４は、分割予定ライン２０２に沿って被加工物２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませて被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割する。切削装置１の制御ユニット４は、個々のデバイス２０３に分割された被加工物２００を洗浄ユニット７０に洗浄させた後、搬送ユニット８０にカセット６１に収容させる。切削装置１の制御ユニット４は、切削ユニット２０等にカセット６１内に収容した被加工物２００を順に切削加工させて、カセット６１内の全ての被加工物２００の切削加工が完了すると加工動作を終了する。

（切削ブレードの交換方法）
次に、本明細書は、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法を説明する。図１５は、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法を示すフローチャートである。実施形態１に係る切削ブレードの交換方法は、図１に示す切削装置１の加工動作中に、制御ユニット４が少なくとも一方の切削ユニット２０の切削ブレード２１がブレード交換タイミングであると判定すると図１５に示すフローチャートを実施する。ブレード交換タイミングは、各切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換するタイミングであることをいう。ブレード交換タイミングは、例えば、予め設定された数の被加工物２００を切削する毎であり、各切削ブレード２１毎に定められ、加工内容情報の一部として制御ユニット４に登録される。また、本発明のブレード交換タイミングは、まさに１枚の被加工物２００を加工している途中でも良く、複数の被加工物２００を連続して加工する際に、被加工物２００を交換するタイミングでも良い。

切削ブレードの交換方法は、図１に示す切削装置１において、搬送用治具１００を用いた切削ブレード２１の交換方法である。切削ブレードの交換方法は、図１５に示すように、搬送ステップＳＴ１と、搬送治具保持ステップＳＴ２と、取り外しステップＳＴ３と、装着ステップＳＴ４と、戻しステップＳＴ５とを備える。

（搬送ステップ）
図１６は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の搬送ステップにおいて、カセットから搬送用治具を取り出し、レール上に載置した状態を示す斜視図である。図１７は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の搬送ステップにおいて、カセットから取りだされた搬送用治具を搬送アームが吸引保持した状態を示す斜視図である。

搬送ステップＳＴ１は、交換用の切削ブレード２１が載置部１０１に載置された搬送用治具１００を搬送ユニット８０で加工ユニット２のチャックテーブル１０上へと搬送するステップである。搬送ステップＳＴ１では、制御ユニット４が、カセットエレベータ６０にカセット６１の搬送用治具１００を収容したスロット６３を仮置きユニット８１のレール８１２上と同一平面上に位置付けさせて、搬出入ユニット８１１に搬送用治具１００をカセット６１から取り出させて、図１６に示すように、レール８１２上に載置させる。

搬送ステップＳＴ１では、制御ユニット４が、図１７に示すように、一方の搬送アーム８２にレール８１２上に載置された搬送用治具１００を吸引保持させ、搬送アーム８２にチャックテーブル１０上まで搬送させて、搬送治具保持ステップＳＴ２に進む。

（搬送治具保持ステップ）
図１８は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の搬送治具保持ステップ後の搬送用治具等を示す斜視図である。搬送治具保持ステップＳＴ２は、搬送用治具１００をチャックテーブル１０の上方に搬送治具保持部材１５によって保持するステップである。

搬送治具保持ステップＳＴ２では、制御ユニット４が、チャックテーブル１０を搬入出領域９２に移動させ、搬送アーム８２に吸引保持させた搬送用治具１００を各搬送治具保持部材１５上でかつ、搬送用治具１００の外縁を複数の搬送治具保持部材１５の段差部１７間の上方に位置付けさせる。搬送治具保持ステップＳＴ２は、制御ユニット４が、搬送アーム８２に搬送用治具１００の外縁を複数の搬送治具保持部材１５の段差部１７に当接させるとともに、図１８に示すように、平坦部１６上に載置させた後、搬送アーム８２の搬送用治具１００の吸引保持を解除させ、搬送アーム８２をチャックテーブル１０上から退避させて、取り外しステップＳＴ３に進む。なお、図１８は、搬送用治具１００上の載置部１０１及び切削ブレード２１を省略している。

（取り外しステップ）
図１９は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の取り外しステップにおいて、締結ナットを取り外した状態の一例を示す斜視図である。図２０は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の取り外しステップにおいて、交換対象の切削ブレードを取り外した状態の一例を示す斜視図である。図２１は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の取り外しステップにおいて、取り外した切削ブレードを搬送用治具の載置部に載置した状態の一例を示す斜視図である。

取り外しステップＳＴ３は、ブレード交換ユニット３によって、切削ユニット２０に装着された旧切削ブレードである交換対象の切削ブレード２１（以下、符号２１－１で示す）をスピンドル２３から取り外すステップである。取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４がブレード交換ユニット３の移動ユニット及び回転部３１３にナットホルダ３２を、交換対象の切削ブレード２１－１をブレード装着部材２４に固定している締結ナット２６にＹ軸方向に沿って対向させる。取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、第２エアシリンダ３２５のピストンロッドを縮小させて、作動リング３２４を図９中の実線で示す位置に位置付けさせた状態で、ナットホルダ３２のエアシリンダのピストンロッドを伸張させて、回動部材３２３の端面を締結ナット２６に当接させる。

取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、第２エアシリンダ３２５のピストンロッドを伸張させて、作動リング３２４を図９中の二点鎖線で示す位置に位置付けさせて、把持部材３３０の把持爪３３７を締結ナット２６の環状溝２６２に係合させる。取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、電動モータ３２２に締結ナット２６が雄ネジ２４３との螺合から外れる方向に回動部材３２３を回転させる。そして、回動ピン３３２がピン嵌合穴２６１に嵌合すると、締結ナット２６は、回動部材３２３と一体に回転する。

取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、電動モータ３２２に予め定められた所定時間回動部材３２３を回転させる。すると、締結ナット２６は、ブレード装着部材２４の装着部２４１の雄ネジ２４３から外れる。取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、第２エアシリンダ３２５に作動リング３２４を図９中の二点鎖線で示す位置に位置付けさせた状態で、図１９に示すように、ナットホルダ３２のエアシリンダを縮小させる。

取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４がブレード交換ユニット３の移動ユニットにブレードチャック３４を、交換対象の切削ブレード２１－１の支持基台２１２にＹ軸方向に沿って対向させる。取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、ブレードチャック３４のエアシリンダのピストンロッドを伸張させて、図２０に示すように、吸引保持部３４２を交換対象の切削ブレード２１－１の支持基台２１２に当接させて、吸引保持部３４２に交換対象の切削ブレード２１－１の支持基台２１２を吸引保持させる。取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、吸引保持部３４２に切削ブレード２１－１の支持基台２１２を吸引保持させた状態で、ブレードチャック３４のエアシリンダのピストンロッドを縮小させる。

取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４がブレード交換ユニット３の移動ユニット、回転部３１３及びＸ軸移動ユニットに、ブレードチャック３４をチャックテーブル１０上に載置された搬送用治具１００の切削ブレード２１が載置されていない載置部１０１にＺ軸方向に対向させる。取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、ブレードチャック３４のエアシリンダのピストンロッドを伸張させて、図２１に示すように、吸引保持部３４２に吸引保持した切削ブレード２１－１を載置部１０１に載置させる。取り外しステップＳＴ３では、制御ユニット４が、吸引保持部３４２に切削ブレード２１－１の吸引保持を解除させて、装着ステップＳＴ４に進む。

（装着ステップ）
図２２は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の装着ステップにおいて、ブレードチャックに未使用の切削ブレードを吸引保持した状態の一例を示す斜視図である。図２３は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の装着ステップにおいて、ブレードチャックに吸引保持した切削ブレードを切削ユニットに装着した状態の一例を示す斜視図である。図２４は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の装着ステップにおいて、ナットホルダに保持した締結ナットを切削ユニットのブレード装着部材に取り付ける直前の状態の一例を示す斜視図である。

装着ステップＳＴ４は、搬送用治具１００に載置された交換用の切削ブレードである未使用の切削ブレード２１（以下、符号２１－２で示す）を切削ユニット２０に装着するステップである。装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、ブレード交換ユニット３の移動ユニット及びＸ軸移動ユニットに、ブレードチャック３４をチャックテーブル１０上に載置された搬送用治具１００の未使用の切削ブレード２１－２が載置された載置部１０１にＺ軸方向に対向させる。装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、ブレードチャック３４のエアシリンダのピストンロッドを伸張させて、図２２に示すように、吸引保持部３４２に切削ブレード２１－２の支持基台２１２を当接させて、吸引保持部３４２に切削ブレード２１の支持基台２１２を吸引保持させる。

装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、ブレードチャック３４のエアシリンダのピストンロッドを縮小させ、ブレード交換ユニット３の移動ユニット及び回転部３１３に、ブレードチャック３４を切削ブレード２１－１が取り外された切削ユニット２０にＹ軸方向に対向させる。装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、図２３に示すように、ブレードチャック３４のエアシリンダのピストンロッドを伸張させて、ブレードチャック３４に吸引保持した切削ブレード２１－２の支持基台２１２の装着孔２１４内にブレード装着部材２４の装着部２４１を通して、切削ブレード２１－２を切削ユニット２０に装着する。装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、図２４に示すように、ブレードチャック３４の切削ブレード２１－２の吸引保持を解除し、ブレードチャック３４のエアシリンダのピストンロッドを縮小させる。

装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、ブレード交換ユニット３の移動ユニットに、ナットホルダ３２を切削ブレード２１－２が装着された切削ユニット２０にＹ軸方向に対向させる。装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、ナットホルダ３２のエアシリンダのピストンロッドを伸張させ、電動モータ３２２に締結ナット２６が雄ネジ２４３に螺合する方向に回動部材３２３を回転させる。装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、電動モータ３２２に予め定められた所定時間回動部材３２３を回転させる。すると、締結ナット２６は、ブレード装着部材２４の装着部２４１の雄ネジ２４３に螺合する。

装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、第２エアシリンダ３２５に作動リング３２４を図９中の実線で示す位置に位置付けさせて、把持部材３３０の把持爪３３７の締結ナット２６の環状溝２６２の係合を解除させる。装着ステップＳＴ４では、制御ユニット４が、第２エアシリンダ３２５に作動リング３２４を図９中の実線で示す位置に位置させた状態で、ナットホルダ３２のエアシリンダを縮小させ、回転部３１３にナットホルダ３２及びブレードチャック３４を下方に対向させた後、移動ユニットにブレード交換ユニット３を支持フレーム５の背面側に位置付けさせて、戻しステップに進む。

（戻しステップ）
図２５は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の戻しステップにおいて、チャックテーブル上の搬送用治具を搬送アームが吸引保持した状態を示す斜視図である。図２６は、図１５に示された切削ブレードの交換方法の戻しステップにおいて、レール上に載置された搬送用治具をカセット内に収容する状態を示す斜視図である。

戻しステップＳＴ５は、切削ブレード２１－１を載置部１０１に載置した搬送用治具１００を搬送ユニット８０によってカセット６１に戻すステップである。戻しステップＳＴ５では、制御ユニット４が、チャックテーブル１０を搬入出領域９２に移動させ、図２５に示すように、搬送アーム８２にチャックテーブル１０上の搬送用治具１００を吸引保持させる。戻しステップＳＴ５では、制御ユニット４が、図２６に示すように、搬送アーム８２に搬送用治具１００をレール８１２上に載置させて、搬送用治具１００の吸引保持を解除させる。戻しステップＳＴ５では、制御ユニット４が、仮置きユニット８１にレール８１２上の搬送用治具１００をカセット６１内に収容させて、切削ブレードの交換方法を終了する。

以上のように、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００は、搬送ユニット８０が搬送用治具１００を加工ユニット２のチャックテーブル１０上まで搬送し、ブレード交換ユニット３が交換対象の切削ブレード２１－１を切削ユニット２０から取り外し、未使用の切削ブレード２１－２を切削ユニット２０に装着する。また、搬送用治具１００の外縁の平面形状が、環状フレーム２１１の外縁の平面形状と等しい。このために、切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００は、特殊な搬送機構を増やさずに、被加工物２００の搬送に用いられる搬送ユニット８０を利用して、加工ユニット２へ切削ブレード２１の自動供給を行うことができる。その結果、切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００は、切削ブレード２１の交換にかかる所要工数を抑制することができるという効果を奏する。

また、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法は、チャックテーブル１０のクランプ部１２に搬送治具保持部材１５を設けているので、チャックテーブル１０に被加工物２００を吸引した状態であっても、チャックテーブル１０上に搬送用治具１００を保持することができる。その結果、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法は、一つの被加工物２００の切削中であっても、搬送用治具１００をチャックテーブル１０上に保持して、切削ブレード２１を交換することができる。

また、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法は、搬送用治具１００をカセット６１内に収容可能であるので、搬送用治具１００の格納に係るスペースを最小限に抑制することができる。また、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法は、搬送用治具１００をカセット６１内に収容可能であるので、既存の装置にブレード交換ユニット３を設置することにより、未使用の切削ブレード２１の自動供給が可能となる。

〔変形例〕
本発明の実施形態１の変形例に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具を図面に基いて説明する。図２７は、実施形態１の変形例に係る搬送用治具の要部の断面図である。図２７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１の変形例に係る搬送用治具１００は、各載置部１０１の位置決め凸部１０３に切削ブレード２１の支持基台２１２の装着孔２１４の内縁に係合可能なボールプランジャ１０４を備える。ボールプランジャ１０４は、位置決め凸部１０３の周方向に等間隔に複数設けられ、位置決め凸部１０３を貫通した孔１０５内に挿入され、圧縮ばね１０６により位置決め凸部１０３の外周面から突出する方向に付勢されている。孔１０５は、位置決め凸部１０３の外周面側の直径がボールプランジャ１０４の直径よりも小さく形成されて、ボールプランジャ１０４の脱落を規制している。

ボールプランジャ１０４は、位置決め凸部１０３の外周面から突出することにより、装着孔２１４の内縁に係合し、搬送用治具１００の表面との間に切削ブレード２１の支持基台２１２を挟んで固定する。また、ボールプランジャ１０４は、ブレード交換ユニット３のブレードチャック３４の吸引保持部３４２に設けられた装着用穴３４３の内面から圧縮ばね１０６の付勢力に抗して押圧されることで、装着孔２１４の内縁への係合が解除されて、吸引保持部３４２が切削ブレード２１の支持基台２１２を吸引保持することを許容する。

実施形態１に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００は、実施形態１と同様に、特殊な搬送機構を増やさずに、被加工物２００の搬送に用いられる搬送ユニット８０を利用して、加工ユニット２へ切削ブレード２１の自動供給を行うことができ、切削ブレード２１の交換にかかる所要工数を抑制することができる。

また、実施形態１に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００は、位置決め凸部１０３に装着孔２１４の内縁に係合するボールプランジャ１０４を備えているので、搬送用治具１００の搬送中などにおいて、搬送用治具１００の装着部２４１からの切削ブレード２１の位置ずれを抑制することができる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具を図面に基いて説明する。図２８は、実施形態２に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置の構成例の要部を示す斜視図である。図２９は、実施形態２に係る搬送用治具の構成例を示す斜視図である。図２８及び図２９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置１－２の加工ユニット２－２が、サブチャックテーブル１１１を備え、搬送用治具１００－２が消耗品であるドレッシングボード１１０を加工ユニット２のサブチャックテーブル１１１に運搬するためのものであること以外、実施形態１と構成が同じである。

サブチャックテーブル１１１は、ドレッシングボード１１０が着脱自在であり、チャックテーブル１０と一体にＸ軸方向に沿って移動自在に設けられている。サブチャックテーブル１１１は、矩形状に形成され、上面がチャックテーブル１０の保持面１１と同一の高さとなる位置に配置されている。サブチャックテーブル１１１は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、上面に載置されたドレッシングボード１１０を吸引保持する。実施形態１において、サブチャックテーブル１１１は、切削ユニット２０と１体１で対応して、２つ設けられており、対応する切削ユニット２０の切削ブレード２１に適した種類のドレッシングボード１１０を保持する。

ドレッシングボード１１０は、目詰まりしたり目つぶれして切削能力が低下した切削ブレード２１を目立てして、切削ブレード２１の切削能力を回復させるものである。切削ブレード２１を目立てして、切削ブレード２１の切削能力を回復させることを、ドレッシングするという。

ドレッシングボード１１０は、平面形状がサブチャックテーブル１１１の上面と略同形状の矩形状の板状に形成されている。ドレッシングボード１１０は、樹脂やセラミックスのボンド材に、ＷＡ（ホワイトアランダム、アルミナ系）、ＧＣ（グリーンカーボナイト、炭化ケイ素系）などの砥粒が混ぜ込まれて構成されている。

実施形態２に係る搬送用治具１００－２の載置部１０１－２は、ドレッシングボード１１０を一つ位置決めして載置する。載置部１０１－２の立設筒部１０２－２は、内周面の平面形状がドレッシングボード１１０の平面形状と等しく形成され、内側にドレッシングボード１１０を収容する。実施形態２に係る搬送用治具１００－２は、載置部１０１－２にドレッシングボード１１０を載置した状態で、カセット６１のスロット６３内に環状フレーム２１１と同様に収容されることが可能であるとともに、搬送ユニット８０により環状フレーム２１１と同様に搬送されることが可能である。搬送用治具１００－２は、被加工物２００と共通の搬送ユニット８０によって、カセット６１とチャックテーブル１０との間で搬送される。

また、図２８に要部を示す切削装置１－２は、サブチャックテーブル１１１上のドレッシングボード１１０を交換する交換ユニットを備える。交換ユニットは、ナットホルダ３２を備えずに、ブレードチャック３４がドレッシングボード１１０を吸引、保持すること以外、ブレード交換ユニット３と構成が同じである。

実施形態２に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００－２は、実施形態１と同様に、特殊な搬送機構を増やさずに、被加工物２００の搬送に用いられる搬送ユニット８０を利用して、加工ユニット２へドレッシングボード１１０の自動供給を行うことができ、ドレッシングボード１１０の交換にかかる所要工数を抑制することができる。

〔変形例１〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例１に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具を図面に基いて説明する。図３０は、実施形態１及び実施形態２の変形例１に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置を備える製造設備の構成例を示す平面図である。図３０は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１及び実施形態２の変形例１に係る切削ブレードの交換方法は、複数の切削装置１，１－２を備えた図３０に示す製造設備３００のコンベア３０１により循環するトレー３０２に搬送用治具１００，１００－２及び被加工物２００が保持されていること以外、実施形態１及び実施形態２と同じ構成である。即ち、本発明では、搬送用治具１００，１００－２は、実施形態１及び実施形態２に示されたように、カセット６１から加工ユニット２，２－２に供給されても良く、コンベア３０１により循環するトレー３０２から加工ユニット２，２－２に供給されても良い。なお、図３０は、搬送用治具１００，１００－２が保持した切削ブレード２１及びドレッシングボード１１０等を省略している。

変形例１に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００，１００－２は、実施形態１と同様に、特殊な搬送機構を増やさずに、被加工物２００の搬送に用いられる搬送ユニット８０を利用して、加工ユニット２，２－２へ切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の自動供給を行うことができ、切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の交換にかかる所要工数を抑制することができる。

〔変形例２〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例２に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具を図面に基いて説明する。図３１は、実施形態１及び実施形態２の変形例２に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置等の構成例を示す正面図である。図３１は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１及び実施形態２の変形例１に係る切削ブレードの交換方法は、図３１に示す自動搬送システム４００が切削装置１，１－２にカセット６１を供給すること以外、実施形態１及び実施形態２と同じ構成である。自動搬送システム４００は、切削装置１，１－２のカセットエレベータ６０に搬送用治具１００，１００－２を収容したカセット６１を搬入、搬出するものである。なお、変形例２に係るカセット６１は、上面に突出部６４が設けられている。

変形例２では、自動搬送システム４００は、ＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）を採用した構成であり、生産設備内の天井に配設された搬送経路４０１と、搬送経路４０１に沿って走行自在であるとともにカセット６１の突出部６４を保持する保持部４０２と、保持部４０２の走行状況等を制御するコンピュータである図示しない制御ユニットとを備える。なお、変形例２では、切削装置１，１－２は、カセットエレベータ６０内にカセット６１を収容可能として、カセット６１をＺ軸方向に２つ間隔をあけて配置するが、本発明では、図３１に示す構成に限定されない。なお、図３１に示す下方のカセット６１は、側方からカセットエレベータ６０内に出し入れされる。なお、本発明では、自動搬送システムは、ＯＨＴに限らずＯＨＳ（Over Head Shuttle）、ＡＧＶ（Automatic Guided Vehicle）、ＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）といった無人搬送車を使用するシステムであればよい。

変形例２に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００，１００－２は、実施形態１と同様に、特殊な搬送機構を増やさずに、被加工物２００の搬送に用いられる搬送ユニット８０を利用して、加工ユニット２，２－２へ切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の自動供給を行うことができ、切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の交換にかかる所要工数を抑制することができる。

また、変形例２に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００は、搬送用治具１００，１００－２を収容したカセット６１が自動搬送システム４００により切削装置１，１－２に搬入、搬出されるので、消耗品である切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の供給を自動で行うことができる。

〔変形例３〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例３に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具を図面に基いて説明する。図３２は、実施形態１及び実施形態２の変形例３に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置のチャックテーブルの要部を示す斜視図である。図３３は、図３２に示されたチャックテーブルが搬送用治具を吸引保持した状態を示す要部の斜視図である。図３２及び図３３は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１及び実施形態２の変形例３に係る切削ブレードの交換方法は、切削装置１，１－２が、図３２に示すように、搬送治具保持部材１５を備えていないこと以外、実施形態１及び実施形態２と同じ構成である。図３２に示す切削装置１，１－２は、図３３に示すように、チャックテーブル１０の保持面１１上に搬送用治具１００，１００－２を吸引保持し、搬送用治具１００，１００－２の外縁部をクランプ部１２でクランプする。なお、図３２及び図３３は、搬送用治具１００，１００－２が保持した切削ブレード２１及びドレッシングボード１１０等を省略している。

変形例３に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００，１００－２は、実施形態１と同様に、特殊な搬送機構を増やさずに、被加工物２００の搬送に用いられる搬送ユニット８０を利用して、加工ユニット２，２－２へ切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の自動供給を行うことができ、切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の交換にかかる所要工数を抑制することができる。

〔変形例４〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例４に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具を図面に基いて説明する。図３４は、実施形態１及び実施形態２の変形例４に係る切削ブレードの交換方法を実施する切削装置のカセットエレベータの構成例を示す斜視図である。図３４は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１及び実施形態２の変形例４に係る切削ブレードの交換方法は、切削装置１，１－２のカセットエレベータ６０が、図３４に示すように、被加工物２００を収容して検査する検査ユニット６５を備え、検査ユニット６５内に搬送用治具１００，１００－２を収容すること以外、実施形態１及び実施形態２と同じ構成である。図３４に示す切削装置１，１－２は、カセットエレベータ６０の検査ユニット６５から搬送用治具１００，１００－２を出し入れする。図３４は、搬送用治具１００，１００－２が保持した切削ブレード２１及びドレッシングボード１１０等を省略している。

変形例４に係る切削ブレードの交換方法及び搬送用治具１００，１００－２は、実施形態１と同様に、特殊な搬送機構を増やさずに、被加工物２００の搬送に用いられる搬送ユニット８０を利用して、加工ユニット２，２－２へ切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の自動供給を行うことができ、切削ブレード２１又はドレッシングボード１１０の交換にかかる所要工数を抑制することができる。

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。なお、実施形態１では、切削ブレード２１を載置した搬送用治具１００を示し、実施形態２では、ドレッシングボード１１０を載置した搬送用治具１００－２を示しているが、本発明は、カセット６１内に、切削ブレード２１を載置した搬送用治具１００と、ドレッシングボード１１０を載置した搬送用治具１００－２との双方を収容しても良い。

また、本発明は、切削ブレード２１をバキュームによって吸着するバキュームスピンドルを備える切削ユニット２０の場合は、ナットホルダ３２を備えないブレード交換ユニット３を使用しても良い。また、実施形態等では、ナットホルダ３２は、把持部材３３０によって締結ナット２６を保持し、ブレードチャック３４は、バキュームによって切削ブレード２１を保持する構成を記載したが、本発明では、双方ともに把持部材とバキュームのどちらを利用しても良い。

１，１－２ 切削装置
２，２－２ 加工ユニット
３ ブレード交換ユニット（ブレード交換手段）
１０ チャックテーブル
１５ 搬送治具保持部材（搬送治具保持手段）
２０ 切削ユニット（切削手段）
２１ 切削ブレード（消耗品）
２１－１ 交換対象の切削ブレード（旧切削ブレード）
２１－２ 未使用の切削ブレード（交換用の切削ブレード）
６１ カセット
８０ 搬送ユニット（搬送手段）
１００，１００－２ 搬送用治具
１０１，１０１－２ 載置部
１１０ ドレッシングボード（消耗品）
２００ 被加工物
ＳＴ１ 搬送ステップ
ＳＴ２ 搬送治具保持ステップ
ＳＴ３ 取り外しステップ
ＳＴ４ 装着ステップ
ＳＴ５ 戻しステップ

Claims (4)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルを少なくとも備える加工ユニットと、
   消耗品を交換する交換ユニットと、
   該加工ユニットに被加工物を供給する搬送手段と、
   を具備する切削装置において、
   加工に使用する消耗品を該加工ユニットへと運搬するための搬送用治具であって、
   該搬送用治具は該被加工物と共通の該搬送手段によって搬送され、
   該消耗品を載置する載置部を備えることを特徴とする搬送用治具。
2. 該被加工物は、外周縁に環状フレームが装着された粘着テープに貼着されて、該環状フレームに支持され、
   該搬送用治具は、外縁の平面形状が該環状フレームの外縁の平面形状と等しい
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送用治具。
3. 該加工ユニットは、切削ブレードを着脱可能に装着した切削手段を少なくとも備え、
   該消耗品は、切削ブレードであって、
   該交換ユニットは、該切削ブレードを交換するブレード交換ユニットであることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の搬送用治具。
4. 請求項１又は請求項２に記載の搬送用治具を用いた交換方法であって、
   被加工物を保持するチャックテーブルを少なくとも備える加工ユニットと、
   消耗品を交換する交換ユニットと、
   該加工ユニットに被加工物を供給する搬送手段と、
   を具備する切削装置において、
   交換用の消耗品が載置された該搬送用治具を該搬送手段で該加工ユニットへと搬送する搬送ステップと、
   該搬送用治具を該チャックテーブルの上方に搬送治具保持手段によって保持する搬送治具保持ステップと、
   該交換ユニットによって、該加工ユニットに装着された消耗品を取り外す取り外しステップと、
   該搬送用治具に載置された該消耗品を該加工ユニットに装着する装着ステップと、
   該加工ユニットから取り外された消耗品を載置した該搬送用治具を該搬送手段によってカセットに戻す戻しステップと、
   を備えることを特徴とする交換方法。

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