JP2023059022A

JP2023059022A - フランジ機構

Info

Publication number: JP2023059022A
Application number: JP2021168889A
Authority: JP
Inventors: 謙介古田; Kensuke Furuta
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2021-10-14
Filing date: 2021-10-14
Publication date: 2023-04-26

Abstract

【課題】切削ブレードを容易に着脱自在とすることができるフランジ機構を提供すること。【解決手段】フランジ機構１は、切削ブレード１２１の中央孔１２６に挿通するボス部３１と、ボス部３１から径方向外側に突出するフランジ部３２と、ボス部３１の先端側の押圧部５２が径方向外側へ移動して切削ブレード１２１をフランジ部３２側へ押圧する押圧位置と、押圧部５２がボス部３１の径方向内側へ移動する退避位置とに位置付けられる固定機構４と、を有し、固定機構４は、先端に押圧部５２を有しスピンドル１２２の軸心方向と直交する回転軸５１で回動可能であり、後端側がボス部３１の径方向中心向きにバネ部材５４で付勢されるブレード押さえ部材５と、ボス部３１の中央に軸心方向に移動可能に配置され、ボス部３１の先端方向に付勢されたシャフト部材６とを備える。【選択図】図４

Description

本発明は、フランジ機構に関する。

デバイスの製造工程において、半導体ウエーハ等の板状の被加工物を切削ブレードで切削して分割する切削装置が使用される。切削ブレードは、ボス部を有するフランジ機構を用いてスピンドルに装着される（例えば、特許文献１参照）。

特許第４９１３３４６号公報

フランジ機構は、スピンドルに固定されるボス部とボス部後端に拡径するフランジ部と、ボス部先端の雌ネジに螺合し、ボス部が中央孔に挿通した切削ブレードをフランジ部と挟持するナット部と、を有する。

切削ブレードをフランジ機構に着脱する際は、ナットの螺合が必要になり、工数がかかっている。また、自動的にフランジ機構に切削ブレードを着脱するブレード交換機構を形成する際、ナットの螺合を実施させるユニットが必要になり、機械が複雑かつ大型化するという課題が有る。

本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、切削ブレードを容易に着脱自在とすることができるフランジ機構を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のフランジ機構は、スピンドルの先端に着脱可能に装着され、環状の切削ブレードを支持して固定するフランジ機構であって、該切削ブレードの中央孔に挿通し切削ブレードの内周面を支持するボス部と、該ボス部の軸方向後端から径方向外側に突出して該切削ブレードを支持するフランジ部と、該ボス部の軸方向先端から径方向外側へ向かって延在する押圧部が、該ボス部の径方向外側へ移動して装着された該切削ブレードを該フランジ部側へ押圧する押圧位置と、該押圧部が該ボス部の径方向内側へ移動し該切削ブレードから退避する退避位置とに選択的に位置付けられ、該切削ブレードを固定する固定機構と、を有し、該固定機構は、先端に該押圧部を有し該ボス部の軸心方向に延在する長尺部材で、該スピンドルの軸心方向と直交する回転軸で回動可能であり、後端側が該ボス部の径方向中心向きにバネ部材で付勢されることで該押圧部が該押圧位置に位置付けられるブレード押さえ部材と、該ボス部の中央に該ボス部の軸心方向に移動可能に配置され、該ボス部の先端方向に付勢されたシャフト部と、を備え、該シャフト部は、該フランジ部側へ押圧されると、該シャフト部の後端側が該ブレード押さえ部材の後端部を該バネ部材に抗して径方向外側に移動することで該ブレード押さえ部材が回動し、該押圧部が該退避位置へ移動することを特徴とする。

前記フランジ機構において、該ブレード押さえ部材は、該スピンドルが回転によって、該押圧位置に位置付けられた先端部が該ボス部の径方向外側に更に付勢されても良い。

本発明は、切削ブレードを容易に着脱自在とすることができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係るフランジ機構を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットの要部の斜視図である。図３は、図２に示された切削ユニットの正面図である。図４は、図３中のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。図５は、図４に示された切削ユニットに切削ブレードを着脱する状態を示す断面図である。

本発明を実施するための形態につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
実施形態１に係るフランジ機構を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係るフランジ機構を備える切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットの要部の斜視図である。図３は、図２に示された切削ユニットの正面図である。図４は、図３中のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。図５は、図４に示された切削ユニットに切削ブレードを着脱する状態を示す断面図である。

実施形態１に係るフランジ機構１は、図１に示す切削装置１００を構成する。切削装置１００は、被加工物２００を切削する加工装置である。実施形態１において、切削装置１００が切削する加工対象の被加工物２００は、シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）又はサファイア、などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって格子状に区画された領域にデバイスが形成されている。

デバイスは、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）又はＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）又はＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）又は各種のメモリ（半導体記憶装置）である。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のＱＦＮ（Quad Flat No leaded）パッケージ基板等の樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は表面の裏側の裏面に外周縁に環状フレームが装着された粘着テープが貼着されて、環状フレームに支持されている。

（切削装置）
図１に示された切削装置１００は、被加工物２００をチャックテーブル１１０で保持し分割予定ラインに沿って切削ブレード１２１で切削する加工装置である。切削装置１００は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１１で吸引保持するチャックテーブル１１０と、切削水を供給しながら切削ブレード１２１によってチャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を切削する切削ユニット１２０と、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット１５０と、制御ユニット１９０とを備える。

また、切削装置１００は、図１に示すように、チャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを相対移動させる移動ユニット１４０を備える。移動ユニット１４０は、チャックテーブル１１０を水平方向と平行な切削方向であるＸ軸方向に加工送りする加工送りユニットであるＸ軸移動ユニット１４１と、切削ユニット１２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットであるＹ軸移動ユニット１４２と、切削ユニット１２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りする切り込み送りユニットであるＺ軸移動ユニット１４３と、チャックテーブル１１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット１４４とを少なくとも備える。

Ｘ軸移動ユニット１４１は、チャックテーブル１１０及び回転移動ユニット１４４を支持した移動プレート１０３を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。また、Ｘ軸移動ユニット１４１は、装置本体１０１上に設置され、チャックテーブル１１０を切削方向であるＸ軸方向に往復移動させる切削送りユニットでもある。

Ｙ軸移動ユニット１４２は、装置本体１０１から立設した門型の支持フレーム１０２に設置され、切削ユニット１２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット１４３は、装置本体１０１から立設した支持フレーム１０２に設置され、切削ユニット１２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１１０と切削ユニット１２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。回転移動ユニット１４４は、Ｘ軸移動ユニット１４１によりＸ軸方向に往復移動される移動プレート１０３上に配設され、チャックテーブル１１０を支持している。

Ｘ軸移動ユニット１４１、Ｙ軸移動ユニット１４２及びＺ軸移動ユニット１４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１１０又は切削ユニット１２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。回転移動ユニット１４４は、チャックテーブル１１０を軸心回りに回転するモータを備えている。

チャックテーブル１１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１１０は、Ｘ軸移動ユニット１４１により移動プレート１０３が切削ユニット１２０の下方の加工領域と、切削ユニット１２０の下方から離れ被加工物２００が搬入出される搬入出領域とに亘って移動自在に設けられることで、Ｘ軸方向に移動自在に設けられている。チャックテーブル１１０は、回転移動ユニット１４４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。

チャックテーブル１１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源より吸引されることで、保持面１１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１１０は、粘着テープを介して被加工物２００の裏面側を吸引、保持する。また、チャックテーブル１１０の周囲には、図１に示すように、環状フレームをクランプするクランプ部１１２が複数設けられている。なお、本発明では、被加工物２００に粘着テープが貼り付けられておらず、直接チャックテーブル１１０に保持されてもよく、チャックテーブル１１０が円盤形状でなくてもよい。

切削ユニット１２０は、切削ブレード１２１がスピンドル１２２に装着され、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を切削する切削手段である。切削装置１００は、図１に示すように、切削ユニット１２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

切削ユニット１２０は、図２に示すように、筒状に形成されかつＹ軸移動ユニット１４２及びＺ軸移動ユニット１４３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング１２３と、スピンドルハウジング１２３内にＹ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル１２２と、スピンドル１２２の先端１２４に固定される切削ブレード１２１と、切削ブレード１２１をスピンドル１２２の先端１２４に固定するフランジ機構１とを備える。

スピンドル１２２は、スピンドルハウジング１２３に回転可能に支持されている。スピンドル１２２の先端１２４は、スピンドルハウジング１２３の一端部から外部に突出している。スピンドル１２２の基端部には、スピンドル１２２を回転させるためのモータ（不図示）が連結されている。スピンドル１２２の先端１２４は、先端に向かうにしたがって徐々に外径が縮小するようにテーパ状に形成されている。スピンドル１２２は、先端１２４を露出させた状態でスピンドルハウジング１２３内に軸心回りに回転自在に収容されている。

切削ブレード１２１は、フランジ機構１を介してスピンドル１２２の先端１２４に固定されて、スピンドル１２２により回転されることで被加工物２００を切削する。切削ブレード１２１は、アルミニウム合金などの金属から構成されかつ中央孔１２６を有し環状に形成された環状基台１２５と、環状基台１２５の外周から突出する環状の切り刃１２７とを有している。

中央孔１２６は、切削ブレード１２１をフランジ機構１に固定するための孔である。切り刃１２７は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。切り刃１２７は、図４に示すように、環状基台１２５の平坦な一方の側面１２５－１の外周縁に固定されて、環状基台１２５の外縁より外周方向に突出している。

また、切削ブレード１２１は、中央孔１２６と環状基台１２５の他方の側面１２５－２とに亘って切削ブレード１２１の環状基台１２５の軸心方向に傾斜する傾斜面１２８が全周に亘って形成されている。傾斜面１２８は、中央孔１２６の奥から他方の側面１２５－２に向かうにしたがって中央孔１２６の内径を徐々に拡大する方向に傾斜している。

また、切削ユニット１２０は、切削ブレード１２１の切り刃１２７に切削水を供給する切削水供給ノズル１２９（図１に示す）を備えている。

フランジ機構１は、スピンドル１２２の先端１２４に着脱可能に装着され、環状の切削ブレード１２１を支持して固定するものである。フランジ機構１は、図２、図３及び図４に示すように、第１フランジ部材２（図２及び図４に示す）と、第２フランジ部材３（図２及び図４に示す）と、固定機構４とを備える。

第１フランジ部材２は、スピンドル１２２の先端１２４に固定されるものであり、金属製である。第１フランジ部材２は、厚手でかつ外径が切削ブレード１２１の環状基台１２５の外径よりも小径の円環状のフランジ部２１と、フランジ部２１からスピンドルハウジング１２３側に突出し、フランジ部２１と同軸に配置された円筒部２２とを一体に備えている。円筒部２２は、内外径がフランジ部２１の外径よりも小径である。第１フランジ部材２は、フランジ部２１の内周に段差部２３が形成されている。段差部２３は、フランジ部２１側よりも円筒部２２側の内径を小径にしている。円筒部２２の内径は、スピンドルハウジング１２３側に向かうにしたがって徐々に大きく形成されている。

第１フランジ部材２は、円筒部２２内にスピンドル１２２の先端１２４が嵌め込まれ、段差部２３に重ねられたワッシャ２４内を通ったボルト２５がスピンドル１２２の先端１２４に設けられたねじ孔１３０にねじ込まれることにより、スピンドル１２２の先端１２４に固定される。第１フランジ部材２は、スピンドル１２２と同軸に配置される。

第２フランジ部材３は、第１フランジ部材２に固定されるとともに、切削ブレード１２１を支持するものであり、金属製である。第２フランジ部材３は、円筒状のボス部３１と、円環状のフランジ部３２とを一体に備える。ボス部３１と、フランジ部３２とは、同軸に配置されている。

ボス部３１は、外径が切削ブレード１２１の中央孔１２６の内径とほぼ等しい。ボス部３１は、切削ブレード１２１の中央孔１２６に挿通し、切削ブレード１２１の環状基台１２５の内周面を支持する。

フランジ部３２は、外径が切削ブレード１２１の外径よりも小径である。フランジ部３２は、ボス部３１のスピンドルハウジング１２３寄りの軸方向後端から径方向外側に突出して、外縁部の表面３３上に外周縁に沿って形成された環状の端面（不図示）で切削ブレード１２１の環状基台１２５を支持する。

第２フランジ部材３は、フランジ部３２がスピンドル１２２の先端１２４に固定された第１フランジ部材２のフランジ部２１に重ねられ、第１フランジ部材２に設けられたねじ孔２６に螺合するボルト３４により第１フランジ部材２に固定される。第２フランジ部材３は、第１フランジ部材２及びスピンドル１２２と同軸に配置される。第２フランジ部材３は、ボス部３１が中央孔１２６に挿通し、フランジ部３２に環状基台１２５が重ねられることで、切削ブレード１２１が装着される。

固定機構４は、第２フランジ部材３に切削ブレード１２１を固定するとともに、第２フランジ部材３に切削ブレード１２１を着脱自在にするものである。固定機構４は、ブレード押さえ部材５と、シャフト部であるシャフト部材６と、押さえ部材７とを備える。

ブレード押さえ部材５は、長手方向がボス部３１の軸心方向に延在する長尺部材である。ブレード押さえ部材５は、第２フランジ部材３のボス部３１に回転軸５１で回動可能に取り付けられている。回転軸５１は、スピンドル１２２の軸心方向と直交している。ブレード押さえ部材５は、スピンドルハウジング１２３から離れた軸方向先端に切削ブレード１２１の環状基台１２５の傾斜面１２８を外周方向に押圧する押圧部５２を有している。

押圧部５２は、ボス部３１のスピンドルハウジング１２３から離れた軸方向先端からボス部３１の径方向外側へ向かって延在している。押圧部５２は、ボス部３１のスピンドルハウジング１２３から離れた軸方向先端に向かうにしたがって徐々にボス部３１の径方向外側へ傾斜した傾斜面５３を有している。傾斜面５３は、ボス部３１のスピンドルハウジング１２３から離れた先端に向かうにしたがってボス部３１の径方向外側に徐々に向かってボス部３１の軸心方向に対して傾斜している。

ブレード押さえ部材５は、回転軸５１を中心に回動自在に第２フランジ部材３に取り付けられることで、押圧部５２がボス部３１の径方向外側へ移動して装着された切削ブレード１２１を軸心方向に沿ってフランジ部３２側に押圧する図４に示す押圧位置と、押圧部５２がボス部３１の径方向内側へ移動し押圧部５２が切削ブレード１２１から退避する図５に示す退避位置とに選択的に位置付けられる。押圧位置では、押圧部５２の傾斜面５３が切削ブレード１２１の傾斜面１２８に密に重なる。退避位置では、押圧部５２が切削ブレード１２１の中央孔１２６よりも内周側に位置して、切削ブレード１２１がボス部３１に着脱することを許容する。

また、ブレード押さえ部材５は、スピンドルハウジング１２３寄りの後端側がボス部３１の径方向中心向きにバネ部材５４で付勢されている。ブレード押さえ部材５は、バネ部材５４で付勢されることにより押圧部５２が押圧位置に位置づけられる。また、押圧位置では、ブレード押さえ部材５は、バネ部材５４で付勢されることにより傾斜面５３が傾斜面１２８に密に重なり、押圧部５２が傾斜面１２８を押圧する。このとき、傾斜面５３,１２８が前述した方向に軸心方向に対して傾斜しているので、押圧位置では、ブレード押さえ部材５は、押圧部５２が切削ブレード１２１を軸心方向に沿ってフランジ部３２側に押圧して、ボス部３１に切削ブレード１２１を固定する。ブレード押さえ部材５は、回転軸５１よりも後端側の質量よりも押圧部５２が設けられた先端側の質量が大きく形成されている。

シャフト部材６は、ボス部３１の中央にボス部３１の軸心方向に移動可能に配置されている。シャフト部材６は、円柱状に形成され、ボス部３１の内周に配置されて、ボス部３１の軸心方向に移動可能に配置されている。シャフト部材６は、ボス部３１の内径と外径が等しい円柱状の大径部６１と、大径部６１のスピンドルハウジング１２３寄りに連なりかつボス部３１の内径よりも外径が小さい円環状の小径部６２とを一体に備えている。大径部６１と、小径部６２とは、同軸に配置されている。また、シャフト部材６は、フランジ部３２との間にバネ部材６３が設けられ、バネ部材６３によりボス部３１の先端側に付勢されている。

押さえ部材７は、外縁が円形状の平板状に形成され、ボス部３１の先端面３５に重ねられ、ボス部３１の先端面３５設けられたねじ孔３６に螺合するボルト７１によってボス部３１の先端面３５に固定される。押さえ部材７は、外径がボス部３１の外径よりも小さく形成され、ボス部３１と同軸に配置されている。押さえ部材７は、シャフト部材６及びブレード押さえ部材５が第２フランジ部材３から脱落することを規制する。また、押さえ部材７は、ブレード押さえ部材５の押圧部５２及びシャフト部材６の大径部６１の中央を露出する露出孔７２，７３が設けられている。

また、固定機構４は、バネ部材５４の付勢力によりブレード押さえ部材５の押圧部５２が押圧位置に位置付けられると、押圧部５２の傾斜面５３と第２フランジ部材３のボス部３１に装着された切削ブレード１２１の傾斜面１２８とが密に重なるとともに、シャフト部材６の小径部６２がブレード押さえ部材５の後端部から間隔をあける。

実施形態１に係るフランジ機構１は、シャフト部材６がスピンドルハウジング１２３側へ押圧されると、シャフト部材６の後端側がブレード押さえ部材５の後端部をバネ部材５４の付勢力に抗して径方向外側へ押圧することで、ブレード押さえ部材５が回動し、図４に示すように押圧部５２が退避位置へ移動する。フランジ機構１は、ブレード押さえ部材５の押圧部５２を退避位置に位置づけることで、ボス部３１に切削ブレード１２１を着脱自在とする。

また、フランジ機構１は、切削ブレード１２１がスピンドル１２２とともに軸心回りに回転されると、シャフト部材６の小径部６２がブレード押さえ部材５の後端部から間隔をあけているとともに、ブレード押さえ部材５の回転軸５１よりも後端側の質量よりも先端側の質量が大きく形成されているので、スピンドル１２２の回転による遠心力によって、押圧部５２が径方向外側に向かって回転軸５１を中心に更に付勢される。フランジ機構１は、押圧位置に位置付けられた押圧部５２の傾斜面５３が切削ブレード１２１の傾斜面１２８をバネ部材５４の付勢力に加え遠心力により径方向外側に押圧して、切削ブレード１２１を軸心方向に沿ってフランジ部３２側に押圧する。

なお、切削ユニット１２０の切削ブレード１２１、スピンドル１２２及びフランジ機構１の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

撮像ユニット１５０は、一方の切削ユニット１２０と一体的に移動するように、一方の切削ユニット１２０に固定されている。撮像ユニット１５０は、チャックテーブル１１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット１５０は、チャックテーブル１１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード１２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１９０に出力する。

また、切削装置１００は、チャックテーブル１１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット１２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット１２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット１２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１１０のＸ軸方向、切削ユニット１２０の切削ユニット１２０の切り刃の下端のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１９０に出力する。

なお、実施形態１では、切削装置１００のチャックテーブル１１０及び切削ユニット１２０のＸ軸方向の位置、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置に基づいて定められる。また、実施形態１では、切削ユニット１２０のＺ軸方向の基準位置は、チャックテーブル１１０の保持面１１１と切削ブレード１２１の切り刃の下端が同一平面上に位置する位置である。

制御ユニット１９０は、切削装置１００の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を切削装置１００に実施させるものである。なお、制御ユニット１９０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１９０の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１００を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１００の各構成要素に出力する。

制御ユニット１９０は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

以上のように、実施形態１に係るフランジ機構１は、従来用いられてきたナットの螺合では無く、ボス部３１に設けられたシャフト部材６を押圧することで、ボス部３１に取り付けられたブレード押さえ部材５の先端に設けられた押圧部５２がボス部３１の中心側へ退避し、切削ブレード１２１の中央孔１２６にボス部が挿通可能となり、逆に、シャフト部材６の押圧を解除すると、ブレード押さえ部材５の押圧部５２が径方向の外側に位置し、ボス部３１が中央孔１２６に挿通した切削ブレード１２１をフランジ部３２側に押圧する。

このように、実施形態１に係るフランジ機構１は、シャフト部材６を軸心方向に移動させることで、切削ブレード１２１を着脱自在とする。その結果、実施形態１に係るフランジ機構１は、切削ブレード１２１を容易に着脱自在とすることができるという効果を奏する。

また、実施形態１に係るフランジ機構１は、ブレード押さえ部材５の押圧部５２がスピンドル１２２の回転により遠心力により径方向外側に更に付勢されることで、スピンドル１２２の回転中即ち切削中により強固に切削ブレード１２１を固定する効果も奏する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、切削装置１００は、フランジ機構１のシャフト部材６を押圧する押圧部と、フランジ機構１に固定された切削ブレード１２１を把持してフランジ機構１から離脱させ、新たに装着する切削ブレード１２１を把持してフランジ機構１に装着する切削ブレード把持部を備える切削ブレード交換機構を備えていても良い。

１フランジ機構
４固定機構
５ブレード押さえ部材
６シャフト部材（シャフト部）
３１ボス部
３２フランジ部
５１回転軸
５２押圧部
５４バネ部材
１２１切削ブレード
１２２スピンドル
１２６中央孔

Claims

スピンドルの先端に着脱可能に装着され、環状の切削ブレードを支持して固定するフランジ機構であって、
該切削ブレードの中央孔に挿通し切削ブレードの内周面を支持するボス部と、
該ボス部の軸方向後端から径方向外側に突出して該切削ブレードを支持するフランジ部と、
該ボス部の軸方向先端から径方向外側へ向かって延在する押圧部が、該ボス部の径方向外側へ移動して装着された該切削ブレードを該フランジ部側へ押圧する押圧位置と、該押圧部が該ボス部の径方向内側へ移動し該切削ブレードから退避する退避位置とに選択的に位置付けられ、該切削ブレードを固定する固定機構と、を有し、
該固定機構は、
先端に該押圧部を有し該ボス部の軸心方向に延在する長尺部材で、該スピンドルの軸心方向と直交する回転軸で回動可能であり、後端側が該ボス部の径方向中心向きにバネ部材で付勢されることで該押圧部が該押圧位置に位置付けられるブレード押さえ部材と、
該ボス部の中央に該ボス部の軸心方向に移動可能に配置され、該ボス部の先端方向に付勢されたシャフト部と、を備え、
該シャフト部は、
該フランジ部側へ押圧されると、該シャフト部の後端側が該ブレード押さえ部材の後端部を該バネ部材に抗して径方向外側に移動することで該ブレード押さえ部材が回動し、該押圧部が該退避位置へ移動することを特徴とするフランジ機構。
該ブレード押さえ部材は、該スピンドルが回転によって、該押圧位置に位置付けられた先端部が該ボス部の径方向外側に更に付勢される請求項１に記載のフランジ機構。