JP2021176667A - 取り外しジグ - Google Patents

Abstract

【課題】後ろフランジから取り外せなくなることを抑制することができる取り外しジグを提供すること。【解決手段】取り外しジグ６０は、スピンドルのテーパー状の先端部に装着された後ろフランジを取り外す取り外しジグである。後ろフランジは、円筒ボス部と、円筒ボス部の後端から径方向外側に突出したフランジ部と、を有し、円筒ボス部の内周には雌ネジが形成されている。取り外しジグ６０は、取っ手６１と、取っ手６１に固定され、外周に後ろフランジの雌ネジに螺合する雄ネジ６３１が形成された円筒係合部６３と、円筒係合部６３の先端から突出しスピンドルの先端面を押圧する突起部６４と、を備え、円筒係合部６３には、雄ネジ６３１のピッチ方向に伸長する切り欠き６５が形成される。【選択図】図１

Description

本発明は、スピンドルのテーパー状先端部に装着された後ろフランジを取り外す取り外しジグに関する。

シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）、サファイアなどからなる半導体基板や樹脂パッケージ基板、セラミックス基板など各種板状の被加工物をワッシャーブレードで切削する切削装置である切削装置が知られている（例えば、特許文献１）。

特許文献１に示された切削装置は、前フランジと後ろフランジで挟持された状態で、ワッシャーブレードをスピンドルの先端に着脱自在に装着する。特許文献１に示された切削装置は、ワッシャーブレードの刃先出し量を変更する場合等には、両フランジを交換する。

両フランジの交換時には、前フランジを締結する締結ナットを取り外し、前フランジを取り外した後、ワッシャーブレードを取り外す。そして、後ろフランジを締結する締結ボルトを取り外し、後ろフランジをスピンドルから取り外す。スピンドルの先端部は、テーパー状となっているため、後ろフランジは、特許文献１に示された取り外しジグを利用して取り外されていた。

特開２０１４−７９８４３号公報

しかしながら、特許文献１に示された切削装置は、後ろフランジの円筒ボス部の内周側が加工中、露出しており、切削屑を含んだ切削液が円筒ボス部の内周側の雌ネジに滲入する。切削屑を含んだ切削液が乾燥すると、切削屑が、後ろフランジの円筒ボス部の内周側に固着してしまう。

この状態で取り外しジグを無理矢理螺合させると、切削屑が後ろフランジの雌ネジと取り外しジグの雄ネジ間にかみ込み、後ろフランジから取り外しジグを取り外せなくなってしまう。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、後ろフランジから取り外せなくなることを抑制することができる取り外しジグを提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の取り外しジグは、スピンドルのテーパー状先端部に装着された後ろフランジを取り外す取り外しジグであって、該後ろフランジは円筒ボス部と、該円筒ボス部の後端から径方向外側に突出したフランジ部と、を有し、該円筒ボス部の内周には雌ネジが形成されており、該取り外しジグは、取っ手と、該取っ手に固定され、外周に該後ろフランジの該雌ネジに螺合する雄ネジが形成された円筒係合部と、該円筒係合部の先端から突出しスピンドルの先端を押圧する突起部と、を備え、該円筒係合部には、該雄ネジのピッチ方向に伸長する切り欠きが形成されることを特徴とする。

本発明は、後ろフランジから取り外せなくなることを抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る取り外しジグの構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された取り外しジグが用いられる切削装置の構成例を示す斜視図である。 図３は、図２に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。 図４は、図３に示された切削ユニットの要部の断面図である。 図５は、図１に示された取り外しジグの正面図である。 図６は、図１に示された取り外しジグの係合突起部の正面図である。 図７は、図４に示された切削ユニットの固定用ナット及び固定用ボルトを外して、スピンドルから前フランジ及び切削ブレードを取り外した状態の斜視図である。 図８は、図７に示された後ろフランジ及びスピンドルの正面図である。 図９は、図８に示された後ろフランジの雌ネジに取り外しジグの雄ネジを螺合させる状態を一部断面で示す側面図である。 図１０は、図９に示された雌ネジに雄ネジが螺合した取り外しジグ及び後ろフランジの断面図である。 図１１は、図１０に示された雌ネジに雄ネジが螺合した取り外しジグの突起部がスピンドルの先端面に当接した状態を一部断面で示す側面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る取り外しジグを図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る取り外しジグの構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された取り外しジグが用いられる切削装置の構成例を示す斜視図である。図３は、図２に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図４は、図３に示された切削ユニットの要部の断面図である。

（切削装置）
実施形態１に係る図１に示す取り外しジグ６０は、図２に示された切削装置１で用いられる。切削装置１は、図２に示す被加工物２００を切削加工する加工装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）又はサファイア、などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって区画された複数の領域それぞれにデバイス２０３が形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状の樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図２に示された切削装置１は、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削加工（加工に相当）する加工装置である。切削装置１は、図２に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、切削ブレード２１でチャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット３０と、制御ユニット１００とを備える。

また、切削装置１は、図２に示すように、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的に移動させる移動ユニット４０を備える。移動ユニット４０は、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする加工送りユニットであるＸ軸移動ユニット４１と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットであるＹ軸移動ユニット４２と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りする切り込み送りユニットであるＺ軸移動ユニット４３と、チャックテーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転移動ユニット４４とを少なくとも備える。

Ｘ軸移動ユニット４１は、チャックテーブル１０を回転移動ユニット４４とともに加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット４２は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット４３は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット４１、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールネジ、ボールネジを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット４１により回転移動ユニット４４とともに切削ユニット２０の下方の加工領域２と、切削ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域３とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転移動ユニット４４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図２に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

切削ユニット２０は、図２に示すように、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３などを介して、装置本体４から立設した支持フレーム５に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４２及びＺ軸移動ユニット４３により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、図３に示すように、切削ブレード２１と、スピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル２３と、フランジ機構２４と、切削加工中に切削ブレード２１に切削液を供給する切削液ノズル２９（図２に示す）を備える。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、切り刃２１１のみからなる所謂ワッシャ―ブレードである。切り刃２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定の厚みに形成されている。切削ブレード２１は、切り刃２１１の中央に装着穴２１２を有する円盤状に形成されている。

スピンドルハウジング２２は、Ｚ軸移動ユニット４３によりＺ軸方向に移動自在に支持され、Ｚ軸移動ユニット４３を介してＹ軸移動ユニット４２によりＹ軸方向に移動自在に支持されている。スピンドルハウジング２２は、スピンドル２３の先端部を除く部分及び図示しないスピンドルモータ等を収容し、スピンドル２３を軸心回りに回転可能に支持する。

スピンドル２３は、図示しないスピンドルモータにより回転されるとともに、図３に示すように、先端部２３１がスピンドルハウジング２２の先端面より突出している。スピンドル２３の先端部２３１は、スピンドル２３の先端である先端面２３２に向かうにしたがって徐々に細くなるテーパー状の円柱に形成されており、先端面２３２に開口したネジ孔２３３が設けられている。スピンドル２３の先端部２３１は、先端面２３２に向かうにしたがって徐々に細くなるテーパー状先端部である。

フランジ機構２４は、スピンドル２３に固定され、切削ブレード２１をスピンドル２３の先端部２３１に装着するためのものである。フランジ機構２４は、図３及び図４に示すように、後ろフランジ２５と、前フランジ２６と、固定用ナット２７と、固定用ボルト２８と、を備える。

後ろフランジ２５は、円筒状の円筒ボス部２５１と、円筒ボス部２５１の軸心方向の後端（中央部でもある）から径方向外側に突出したフランジ部２５２とを有している。円筒ボス部２５１は、スピンドル２３の先端部２３１に装着、固定される。円筒ボス部２５１は、図４に示すように、内周面に段差部２５３と、テーパー部２５４とを備える。段差部２５３は、フランジ部２５２よりもスピンドルハウジング２２から離れた先端側に設けられ、円筒ボス部２５１の内径をスピンドルハウジング２２から離れた先端からスピンドルハウジング２２よりの基端側に向かうにしたがって段階的に小さくしている。段差部２５３の表面は、円筒ボス部２５１即ち後ろフランジ２５の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。

テーパー部２５４は、円筒ボス部２５１の軸心方向の中央から基端に亘って形成され、円筒ボス部２５１の内径を軸心方向の中央から基端側に向かって徐々に拡大させている。後ろフランジ２５は、円筒ボス部２５１の基端側にスピンドル２３の先端部２３１が挿入され、段差部２５３の表面に頭部２８１が重ねられた固定用ボルト２８のネジ部２８２がスピンドル２３の先端面２３２に設けられたネジ孔２３３と螺合してスピンドル２３の先端部２３１に装着され、固定される。後ろフランジ２５がスピンドル２３の先端部２３１に装着され、固定されると、テーパー部２５４がスピンドル２３の先端部２３１に密に接触する。

後ろフランジ２５がスピンドル２３の先端部２３１に固定されると円筒ボス部２５１のスピンドル２３から離れた側の先端部の外周面には、雄ネジ２５５が形成され、円筒ボス部２５１の先端部の内周面には、雌ネジ２５６が形成されている。

フランジ部２５２は、後ろフランジ２５がスピンドル２３の先端部２３１に固定されると円筒ボス部２５１のスピンドル２３寄りの後端から径方向の外周側に突出した円環状の部材である。フランジ部２５２の外径は、切削ブレード２１の外径よりも小径である。フランジ部２５２は、フランジ部２５２から先端側に突出しかつ外径が切削ブレード２１の装着穴２１２の内径と等しく装着穴２１２の内周面を支持する円環状のブレード支持用ボス部２５７と、フランジ部２５２の外縁部から先端側に突出して切削ブレード２１を支持する支持突起２５８とを有している。フランジ部２５２は、ブレード支持用ボス部２５７の外周面に装着穴２１２の内周面を密着させ、支持突起２５８に切削ブレード２１を密着させて、切削ブレード２１を支持する。

前フランジ２６は、中央に後ろフランジ２５の円筒ボス部２５１に装着される装着穴２６１を有した円環状に形成されている。前フランジ２６は、外径が切削ブレード２１の外径よりも小径である。前フランジ２６は、装着穴２６１内に後ろフランジ２５の円筒ボス部２５１の先端側を通して、後ろフランジ２５の支持突起２５８との間に切削ブレード２１を挟持する挟持面２６２を外縁部の全周に有している。挟持面２６２は、前フランジ２６の軸心に対して直交する方向に沿って平坦に形成されている。前フランジ２６は、挟持面２６２が切削ブレード２１を後ろフランジ２５の支持突起２５８との間に挟持する。

固定用ナット２７は、円環状に形成され、円筒ボス部２５１の雄ネジ２５５と螺合する雌ネジ２７１が内周面に形成されている。固定用ナット２７は、前フランジ２６の装着穴２６１内に後ろフランジ２５の円筒ボス部２５１が通され、支持突起２５８が挟持面２６２との間に切削ブレード２１を挟持した後ろフランジ２５の円筒ボス部２５１の雄ネジ２５５に雌ネジ２７１が螺合して、円筒ボス部２５１に締結する。固定用ナット２７は、円筒ボス部２５１に締結することで、前フランジ２６を介して後ろフランジ２５と前フランジ２６との間に切削ブレード２１を固定する。

このように構成された切削ユニット２０は、後ろフランジ２５が円筒ボス部２５１の基端側の内側にスピンドル２３の先端部２３１を通して、固定用ボルト２８によりスピンドル２３の先端部２３１に装着、固定され、切削ブレード２１の装着穴２１２の内周面をブレード支持用ボス部２５７の外周面上に支持する。切削ユニット２０は、後ろフランジ２５の円筒ボス部２５１の先端側を前フランジ２６の装着穴２６１の内側に通して、雄ネジ２５５に雌ネジ２７１を螺合させて、固定用ナット２７で前フランジ２６及び切削ブレード２１をスピンドル２３の先端部２３１に固定する。

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、後ろフランジ２５、切削ブレード２１、前フランジ２６及び固定用ナット２７の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。また、切削ユニット２０は、切削ブレード２１の刃先出し量２１３を変更する場合、又はメンテナンス時等にフランジ２５，２６がスピンドル２３から取り外される。なお、刃先出し量とは、フランジ２５，２６の外縁から切削ブレード２１の切り刃２１１の刃先までの距離を示している。切削ユニット２０は、刃先出し量２１３が変更される際に、フランジ２５，２６が交換される。

また、切削ユニット２０は、切削加工中に切削加工中に発生した切削屑２９１（図１０に示す）を含んだ切削液が円筒ボス部２５１の内周面に形成された雌ネジ２５６に滲入する。切削液が乾燥すると、雌ネジ２５６に滲入した切削屑２９１が雌ネジ２５６に固着することがある。

また、切削ユニット２０は、スピンドルハウジング２２に対するスピンドル２３の回転を規制することが可能なロック機構を備えている。

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

また、切削装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、切削装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。

また、切削装置１は、切削加工前後の被加工物２００を複数枚収容するカセット５０が載置されかつカセット５０をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ５１と、切削加工後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット５２と、カセット５０に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００をカセット５０、チャックテーブル１０及び洗浄ユニット５２との間で搬送する図示しない搬送ユニットとを備える。

制御ユニット１００は、切削装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を切削装置１に実施させるものでもある。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。また、制御ユニット１００は、フランジ２５，２６等をスピンドル２３に着脱する際には、ロック機構を制御して、ロック機構でスピンドルハウジング２２に対するスピンドル２３の回転を規制する、即ち、スピンドル２３をロックする。

（取り外しジグ）
次に、取り外しジグ６０を説明する。図５は、図１に示された取り外しジグの正面図である。図６は、図１に示された取り外しジグの係合突起部の正面図である。取り外しジグ６０は、前述した刃先出し量２１３を変更する場合、又はメンテナンス時等に、スピンドル２３の先端部２３１に装着された後ろフランジ２５を取り外すジグである。

取り外しジグ６０は、図１及び図５に示すように、取っ手６１と、係合突起部６２とを備える。取っ手６１は、外周面に起伏が形成された円柱状に形成され、実施形態１では、硬質ゴムにより構成されている。取っ手６１は、取り外しジグ６０を用いて後ろフランジ２５をスピンドル２３の先端部２３１から取り外すオペレータが把持するものである。

係合突起部６２は、円柱状に形成され、一端部が取っ手６１内に埋設されて固定され、他端部が取っ手６１から突出している。係合突起部６２は、取っ手６１よりも小径に形成され、取っ手６１と同軸となる位置に配置されている。実施形態１では、係合突起部６２は、ステンレス鋼などの金属により構成されている。

係合突起部６２は、円筒係合部６３と、突起部６４とを一体に備えている。円筒係合部６３と、突起部６４とは、係合突起部６２の取っ手６１から突出した他端部に設けられている。即ち、円筒係合部６３は、取っ手６１に固定されている。円筒係合部６３は、突起部６４よりも取っ手６１寄りに配置され、外観が円柱状に形成されている。円筒係合部６３は、外径が、後ろフランジ２５の円筒ボス部２５１の先端側の内径と同等に形成され、外周面に後ろフランジ２５の雌ネジ２５６に螺合する雄ネジ６３１が形成されている。

突起部６４は、円筒係合部６３の先端から突出している。実施形態１では、突起部６４は、図５に示すように、正面からみた平面形状が小判状に形成され、最大の寸法が円筒係合部６３の外径よりも小さい。なお、最大の寸法は、正面からみた突起部６４の平面形状において中心を通る最も長い寸法である。また、突起部６４の軸心方向の雄ネジ６３１から先端面６４１までの距離６４２（図１に示す）は、スピンドル２３の先端部２３１に装着された後ろフランジ２５の円筒ボス部２５１の雌ネジ２５６からスピンドル２３の先端面２３２までの距離２５９（図４に示す）よりも長い。このために、突起部６４は、雄ネジ６３１を雌ネジ２５６に螺合して、取り外しジグ６０をスピンドル２３の先端部２３１に装着された後ろフランジ２５の円筒ボス部２５１の奥に向かって螺合していくと、スピンドル２３の先端面２３２に当接して、先端面２３２を押圧することとなる。

また、取り外しジグ６０は、円筒係合部６３には、図１、図５及び図６に示すように、切り欠き６５が複数形成されている。切り欠き６５は、雄ネジ６３１のピッチ方向である係合突起部６２の軸心の全長に亘って、円筒係合部６３の外縁部の一部分を切り欠いて形成され、係合突起部６２の軸心と平行に伸長している。切り欠き６５は、円筒係合部６３の周方向に間隔をあけて複数配置され、実施形態１では、円筒係合部６３の周方向に等間隔に８つ設けられている。実施形態１において、切り欠き６５は、係合突起部６２の正面視において、半円状に形成されている。

なお、本発明では、切り欠き６５の数及び形状は、実施形態１に記載されたものに限定されない。また、実施形態１において、切り欠き６５と円筒係合部６３の外周面との交点において、外周面の接線６５１（図６中に二点鎖線で示す）と、切り欠き６５の接線６５２（図６中に一点鎖線で示す）とのなす角度６５３が、９０度であるが、本発明では、角度６５３は、９０度に限定されない。

（取り外しジグを用いた後ろフランジの取り外し方法）
次に、取り外しジグ６０を用いたスピンドル２３の先端部２３１から後ろフランジ２５を取り外す後ろフランジ２５の取り外し方法を説明する。図７は、図４に示された切削ユニットの固定用ナット及び固定用ボルトを外して、スピンドルから前フランジ及び切削ブレードを取り外した状態の斜視図である。図８は、図７に示された後ろフランジ及びスピンドルの正面図である。図９は、図８に示された後ろフランジの雌ネジに取り外しジグの雄ネジを螺合させる状態を一部断面で示す側面図である。図１０は、図９に示された雌ネジに雄ネジが螺合した取り外しジグ及び後ろフランジの断面図である。図１１は、図１０に示された雌ネジに雄ネジが螺合した取り外しジグの突起部がスピンドルの先端面に当接した状態を一部断面で示す側面図である。

まず、オペレータが入力装置を操作するなどして、スピンドル２３をロックする指示を入力し、制御ユニット１００がスピンドル２３をロックする指示を受け付けると、ロック機構にスピンドル２３をロックさせる。その後、オペレータが固定用ナット２７を後ろフランジ２５の雄ネジ２５５から取り外して、図７に示すように、前フランジ２６及び切削ブレード２１を後ろフランジ２５から順に取り外すとともに、固定用ボルト２８をネジ孔２３３から取り外す。すると、図８に示すように、スピンドル２３の正面視において、後ろフランジ２５の内周にスピンドル２３の先端面２３２及びネジ孔２３３が露出する。

オペレータが、図９に示すように、係合突起部６２の他端部をスピンドル２３の先端面２３２に対向させて、取り外しジグ６０をスピンドル２３と後ろフランジ２５とに対して同軸となる位置に位置付けて、雌ネジ２５６に雄ネジ６３１を螺合させていく。すると、取っ手６１の図１０に矢印６６方向の回転に伴い、雄ネジ６３１で円筒ボス部２５１の内周面に固着した切削屑２９１を削り取り、図１０に示すように、削られた切削屑２９１が切り欠き６５内へと切り欠き６５の内周面により掻き出されて切り欠き６５内に排出される。その後、図１１に示すように、突起部６４がスピンドル２３の先端面２３２に当接すると、後ろフランジ２５がスピンドル２３の先端側に移動して、取り外しジグ６０とともに後ろフランジ２５をスピンドル２３の先端部２３１から取り外す。

以上説明したように、実施形態１に係る取り外しジグ６０は、円筒係合部６３の雄ネジ６３１のピッチ方向である係合突起部６２の軸心と平行に伸長する切り欠き６５が円筒係合部６３に形成されている。このために、取り外しジグ６０は、後ろフランジ２５の雌ネジ２５６に雄ネジ６３１を螺合する際、雌ネジ２５６に固着した切削屑２９１を雄ネジ６３１で削りとり切り欠き６５内へと掻き出して、雌ネジ２５６内から切り欠き６５内に排出する。その結果、取り外しジグ６０は、後ろフランジ２５をスピンドル２３から取り外し際に、切削屑２９１を雄ネジ６３１と雌ネジ２５６との間に噛み込むことを抑制でき、後ろフランジ２５から取り外せなくなることを抑制することができるという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

２３ スピンドル
２５ 後ろフランジ
６０ 取り外しジグ
６１ 取っ手
６３ 円筒係合部
６４ 突起部
６５ 切り欠き
２３１ 先端部（テーパー状先端部）
２３２ 先端面（先端）
２５１ 円筒ボス部
２５２ フランジ部
２５６ 雌ネジ
６３１ 雄ネジ

Claims (1)

1. スピンドルのテーパー状先端部に装着された後ろフランジを取り外す取り外しジグであって、
   該後ろフランジは円筒ボス部と、該円筒ボス部の後端から径方向外側に突出したフランジ部と、を有し、該円筒ボス部の内周には雌ネジが形成されており、
   該取り外しジグは、
   取っ手と、
   該取っ手に固定され、外周に該後ろフランジの該雌ネジに螺合する雄ネジが形成された円筒係合部と、
   該円筒係合部の先端から突出しスピンドルの先端を押圧する突起部と、を備え、
   該円筒係合部には、該雄ネジのピッチ方向に伸長する切り欠きが形成される、取り外しジグ。

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