JP2020121370A - ブレード交換ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】切削ブレードを取り付けるマウントの位置を容易に求めることができるブレード交換ユニットを提供すること。【解決手段】ブレード交換ユニット７は、切削ブレード２１を保持するブレードチャック８２と、ブレードチャック８２を移動させる移動ユニット８４と、各ユニットを制御する制御ユニット１００とを備える。ブレードチャック８２は、切削ブレード２１を保持する複数の導電性の爪８２５を備える。制御ユニット１００は、爪８２５とボス部との導通を検出する。制御ユニット１００は、移動ユニット８４を制御して、爪８２５をマウントの少なくとも３点に接触させて導通を検出した座標からマウントの軸心の位置を算出する算出部１０２と、算出部１０２が算出したマウントの軸心にブレードチャック８２の軸心８２１を合わせて切削ブレード２１の着脱を行う着脱制御部１０３と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、切削ブレードを自動交換する機構を備えた加工装置において、ブレード交換ユニットとマウントとの中心を一致させるために、マウントの中心を検出するブレード交換ユニットに関する。

半導体ウエーハなどの被加工物の切削を行う際は、加工装置として、切削ブレードを備えた切削装置が用いられる（例えば、特許文献１参照）。前述した切削装置は、連続して稼働するためには、消耗品である切削ブレードが自動的に供給されることが必要である。

そこで、特許文献１に示された切削装置は、切削ブレードを複数保持するブレードラックと、切削ユニットの切削ブレードを交換するブレード交換ユニットとを備える。

特開２０１６−１４４８３８号公報

特許文献１に示された切削装置のブレード交換ユニットは、切削ブレードを適切に着脱するために、マウントの中心とブレード交換ユニットの切削ブレードを保持する保持部の中心とを合わせるという作業が必要になる。

また、特許文献１に示された切削装置は、上記の位置合わせを一度行った後も熱影響や部品同士の衝突等によって、マウントの中心とブレード交換ユニットの保持部の中心との位置関係がずれる場合があり、再度、中心同士を調整する必要がある。

しかしながら、特許文献１に示されたブレード交換ユニットは、マウントの中心の位置を求めるために、オペレータの目視と触覚による作業を要し、煩雑であった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削ブレードを取り付けるマウントの位置を容易に求めることができるブレード交換ユニットを提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のブレード交換ユニットは、中央に挿入口を有する円形基台と、該円形基台の外周縁に配される切刃部と、を備える切削ブレードを加工装置のスピンドル先端に固定されるマウントの軸心方向に延在するボス部に着脱するブレード交換ユニットであって、該ブレード交換ユニットは、該切削ブレードを保持する導電性の保持部と、該ブレード交換ユニットを移動させる移動ユニットと、各ユニットを制御するとともに該保持部と該ボス部との導通を検出する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該移動ユニットを制御して、該保持部を該マウントの少なくとも３点に接触させて導通を検出した座標から該マウントの中心を算出する算出部と、該算出部が算出した該マウントの中心に該保持部の中心を合わせて該切削ブレードの着脱を行う着脱制御部と、を備えることを特徴とする。

前記ブレード交換ユニットにおいて、該マウントは、該ボス部の軸方向後端から径方向に突出して該切削ブレードを支持する受けフランジ部と、を更に有し、該制御ユニットは、該スピンドルの軸心方向をＹ軸方向としたとき、前記算出部が、該保持部を該ボス部または該受けフランジ部の先端の少なくとも１点に接触させて導通を検出した座標から該ボス部の該Ｙ軸方向の座標を算出し、該着脱制御部が、該算出部が算出した該ボス部の該Ｙ軸方向の座標に合わせて該切削ブレードの着脱を行っても良い。

本発明のブレード交換ユニットは、中央に挿入口を有する円形基台と、該円形基台の外周縁に配される切刃部と、を備える切削ブレードを加工装置のスピンドル先端に固定されるマウントの軸心方向に延在するボス部に着脱するブレード交換ユニットであって、該ブレード交換ユニットは、該ボス部よりも大きい開口を有する導電性の治具を保持する導電性の保持部と、該ブレード交換ユニットを移動させる移動ユニットと、各ユニットを制御するとともに該保持部と該ボス部との導通を検出する制御ユニットと、を備え、該制御ユニットは、該移動ユニットを制御して、該保持部に保持された該治具を該マウントの少なくとも３点に接触させて導通を検出した座標から該マウントの中心を算出する算出部と、該算出部が算出した該マウントの中心に該保持部の中心を合わせて該切削ブレードの着脱を行う着脱制御部と、を備えることを特徴とする。

前記ブレード交換ユニットにおいて、該マウントは、該ボス部の軸方向後端から径方向に突出して該切削ブレードを支持する受けフランジ部と、を更に有し、該制御ユニットは、該スピンドルの軸心方向をＹ軸方向としたとき、該算出部が、該治具を該ボス部または該受けフランジ部の先端の少なくとも１点に接触させて導通を検出した座標から該ボス部の該Ｙ軸方向の座標を算出し、該着脱制御部が、該算出部が算出した該ボス部の該Ｙ軸方向の座標に合わせて該切削ブレードの着脱を行っても良い。

前記ブレード交換ユニットにおいて、該治具は、該切削ブレードでも良い。

本発明は、切削ブレードを取り付けるマウントの中心の位置を容易に求めることができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係るブレード交換ユニットを備える切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。 図３は、図１に示された切削装置のブレード交換ユニットの構成例を示す図である。 図４は、図３に示されたブレード交換ユニットのブレードストッカの構成例を示す斜視図である。 図５は、図４に示されたブレードストッカが複数の切削ブレードを保持した状態を示す斜視図である。 図６は、図３に示されたブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。 図７は、図６に示されたブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。 図８は、図６に示されたブレード着脱ユニットのナットホルダの構成例を示す斜視図である。 図９は、図６に示されたブレード着脱ユニットの導通位置検出ユニットの構成例を示す図である。 図１０は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを接触させた状態を示す斜視図である。 図１１は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを接触させた状態を示す他の斜視図である。 図１２は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第１の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図１３は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第２の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図１４は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第３の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図１５は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の先端面とを接触させた状態を示す斜視図である。 図１６は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの位置算出動作により算出されたマウントの軸心の位置に基づいて着脱動作を行う際のブレードチャックの爪とボス部との位置関係を模式的に示す図である。 図１７は、実施形態１の変形例に係るブレード交換ユニットのマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とマウントの受けフランジ部とを接触させた状態を示す側面図である。 図１８は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの位置算出動作において、ブレードチャックの爪で導電性の治具を保持した状態を示す斜視図である。 図１９は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口内にボス部を挿入した状態を示す斜視図である。 図２０は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口内にボス部を挿入した状態を示す他の斜視図である。 図２１は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第１の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図２２は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第２の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図２３は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第３の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図２４は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの先端面の位置算出動作において、治具とボス部の先端面とを接触させた状態を示す斜視図である。 図２５は、実施形態２の変形例１に係るブレード交換ユニットのマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックで把持した治具とマウントの受けフランジ部とを接触させた状態を示す側面図である。 図２６は、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの位置検出ユニットの構成例を示す図である。 図２７は、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットを備える切削装置のマウントの側面図である。 図２８は、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットを備える切削装置の切削ブレードの側面図である。 図２９は、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットを備える切削装置のマウントのボス部を切削ブレードの挿入口内に挿入した状態を示す側面図である。 図３０は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係るブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係るブレード交換ユニットを図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係るブレード交換ユニットを備える切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図３は、図１に示された切削装置のブレード交換ユニットの構成例を示す図である。

（切削装置）
実施形態１に係るブレード交換ユニット７は、加工装置である図１に示す切削装置１を構成する。切削装置１は、図１に示す被加工物２００を切削（加工）する装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図１に示された切削装置１は、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削（加工に相当）する装置である。切削装置 は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０が保持する被加工物２００を切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット３０と、ブレード交換ユニット７とを備える。

また、切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする図示しないＸ軸移動ユニットと、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット４０と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット５０とを少なくとも備える。切削装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニットにより切削ユニット２０の下方の加工領域６３と、切削ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域６４とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット４０によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット５０によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

一方の切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット４０、Ｚ軸移動ユニット５０などを介して、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３の一方の柱部４に設けられている。他方の切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット４０、Ｚ軸移動ユニット５０などを介して、支持フレーム３の他方の柱部５に設けられている。なお、支持フレーム３は、柱部４，５の上端同士を水平梁６により連結している。

切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット４０及びＺ軸移動ユニット５０により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、図２に示すように、Ｙ軸移動ユニット４０及びＺ軸移動ユニット５０によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられかつ図示しないモータにより回転されるスピンドル２３と、スピンドル２３の先端部に装着されたマウント２４とを備える。また、切削ユニット２０は、ワッシャ２５内及びマウント２４の中央に設けられた貫通孔２４１を通ってスピンドル２３の先端面に設けられたねじ孔２３１と螺合してマウント２４をスピンドル２３の先端部に固定する固定ねじ２６と、マウント２４に装着される切削ブレード２１と、切削ブレード２１をマウント２４との間で挟んで固定する締結ナット２７とを備える。

マウント２４は、スピンドル２３の先端部に固定される。マウント２４は、円筒状のボス部２４２と、ボス部２４２のスピンドルハウジング２２寄りの一端部（軸方向後端に相当する）に設けられた受けフランジ部２４３とを備えている。ボス部２４２は、マウント２４の軸心方向に沿って延在し、外径が全長に亘って切削ブレード２１の挿入口２１１の内径と略等しく形成されている。なお、ボス部２４２の外径が切削ブレード２１の挿入口２１１の内径と略等しいとは、ボス部２４２の外周面と挿入口２１１の内周面とが少なくとも複数個所で互いに接触することが可能な程度に外径と内径とが等しいことを示している。

受けフランジ部２４３は、ボス部２４２のスピンドルハウジング２２寄りの一端部から径方向に沿って外周方向に突出してボス部２４２の外径よりの大径な円環状に形成されている。受けフランジ部２４３は、切削ブレード２１を先端である外縁部２４４で支持する。ボス部２４２と受けフランジ部２４３とは、同軸に配置されている。また、マウント２４は、ボス部２４２の他端部の外周に雄ネジ２４５が形成されている。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードであり、導電性の金属で構成されかつ中央に挿入口２１１を有する円環状の円形基台２１２と、円形基台２１２の外周縁に配設される被加工物２００を切削する円環状の切刃部２１３を備える。円形基台２１２の挿入口２１１は、ボス部２４２の一端部を内側に通して、マウント２４に切削ブレード２１を装着するための孔である。切刃部２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切刃部２１３のみで構成されたワッシャーブレードでもよい。

このように構成された切削ブレード２１は、円形基台２１２の挿入口２１１がマウント２４の円筒状のボス部２４２の外周に嵌合される。切削ブレード２１は、締結ナット２７を円筒状のボス部２４２に形成された雄ネジ２４５に螺合することにより、マウント２４の受けフランジ部２４３と締結ナット２７とによって挟持固定される。

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、マウント２４及び切削ブレード２１の中心である軸心２４６は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。また、実施形態１では、少なくともスピンドル２３及びマウント２４は、導電性の材料（実施形態１では、金属）により構成されている。即ち、実施形態１において、スピンドル２３、マウント２４及び切削ブレード２１の軸心２４６が延在する方向は、Ｙ軸方向である。

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像をブレード交換ユニット７の制御ユニット１００に出力する。

Ｘ軸移動ユニットは、チャックテーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット４０は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット５０は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット、Ｙ軸移動ユニット４０及びＺ軸移動ユニット５０は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

また、切削装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、切削装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。

また、切削装置１は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット６１が載置されかつカセット６１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ６０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット６２と、カセット６１に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する図示しない搬送ユニットを備える。

（ブレード交換ユニット）
ブレード交換ユニット７は、切削ブレード２１を着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０のスピンドル２３の先端部に固定されるマウント２４のボス部２４２に着脱するものである。なお、着脱位置とは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置が予め定められた位置であり、各切削ユニット２０がブレード交換ユニット７により切削ブレード２１が着脱される際に位置付けられる位置である。

ブレード交換ユニット７は、図１に示すように、支持フレーム３の図１中の背面側でかつ加工領域６３よりも搬入出領域６４から離れた位置に設置されている。ブレード交換ユニット７は、図３に示すように、交換前後の切削ブレード２１を保持するブレードストッカ７０と、切削ユニット２０のスピンドル２３に切削ブレード２１を着脱するとともにブレードストッカ７０と切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送するブレード着脱ユニット８０と、制御ユニット１００とを備える。

実施形態１では、ブレードストッカ７０とブレード着脱ユニット８０とは、１対１で対応し、さらに切削ユニット２０とも１対１で対応して設けられている。即ち、実施形態１では、ブレード交換ユニット７は、ブレードストッカ７０とブレード着脱ユニット８０とをそれぞれ一対備えている。

また、実施形態１では、一方のブレードストッカ７０は、一方の切削ユニット２０のスピンドル２３の着脱前後の切削ブレード２１を複数保持し、一方のブレード着脱ユニット８０は、一方の切削ユニット２０に切削ブレード２１を着脱するとともに、一方のブレードストッカ７０と一方の切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送する。実施形態１では、他方のブレードストッカ７０は、他方の切削ユニット２０のスピンドル２３の着脱前後の切削ブレード２１を複数保持し、他方のブレード着脱ユニット８０は、他方の切削ユニット２０に切削ブレード２１を着脱するとともに、他方のブレードストッカ７０と一方の切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送する。

なお、各ブレードストッカ７０が保持する切削ブレード２１は、未使用のものの他、既使用であるが寿命に達しておらず使用可能なもの、同種類および／または異種類のものを含む。

次に、本明細書は、ブレード交換ユニットの各構成要素を説明する。

（ブレードストッカ）
図４は、図３に示されたブレード交換ユニットのブレードストッカの構成例を示す斜視図である。図５は、図４に示されたブレードストッカが複数の切削ブレードを保持した状態を示す斜視図である。

ブレードストッカ７０は、対応する切削ユニット２０に装着される前の交換用の切削ブレード２１を保持するとともに、対応する切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を保持するものである。なお、本明細書は、一対のブレードストッカ７０のうちこれらの構成が等しいので、図３中奥側のブレードストッカ７０を代表して説明し、一対のブレードストッカ７０の同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

ブレードストッカ７０は、図３及び図４に示すように、装置本体２に配設された支柱７１と、支柱７１の上端に回転軸７２を介して取り付けられた支持部材７３とを備える。支持部材７３は、対応するブレード着脱ユニット８０とＹ軸方向に対向して配置され、対応するブレード着脱ユニット８０に対向する表面側に複数（実施形態１では、４つ）のブレード保持部７４が同心円状に配設されており、対応する切削ユニット２０に着脱される切削ブレード２１を複数個（実施形態１では、４つ）保持可能である。

ブレード保持部７４は、切削ブレード２１を保持するものである。ブレード保持部７４は、切削ブレード２１の挿入口２１１内に通される円筒状のブレード嵌合部７４１と、このブレード嵌合部７４１の外周面に設けられかつ挿入口２１１内にブレード嵌合部７４１が通された切削ブレード２１を位置決めする位置決め部７４２とを備える。位置決め部７４２は、ブレード嵌合部７４１の外周面から突没自在に設けられたボールと、ボールを径方向外側に押圧するスプリングとを含み、ボールに作用する径方向内側の力が所定の値になるまでボールが円形基台２１２の内縁に嵌合して位置決め機能が働く。

このように構成されたブレードストッカ７０は、図５に示すように、切削ブレード２１を保持する。具体的には、ブレード保持部７４は、ブレード嵌合部７４１が円形基台２１２の挿入口２１１内に通される際に、位置決め部７４２のボールが一旦ブレード嵌合部７４１内に没し、ボールを切削ブレード２１が乗り越えた後に復帰した位置決め部７４２のボールが円形基台２１２の内縁に嵌合して、図５に示すように、切削ブレード２１を保持する。また、実施形態１では、ブレード嵌合部７４１の中心である軸心７４３は、Ｙ軸方向と平行である。

支持部材７３を支柱７１の上端に取り付けている回転軸７２は、一端が支柱７１の上端に配設され、他端が支持部材７３の裏面中央に連結されている。そして、回転軸７２の一端側は、支柱７１の内部に配設されたモータ７５の駆動軸に連結されており、支持部材７３は、回転軸７２を軸中心とした間欠的な回転が可能に構成されている。そして、支持部材７３は、回転軸７２の間欠的な回転によって各ブレード保持部７１５をその移動経路上の予め設定された所定の受け渡し位置７４４に選択的に位置付ける。

（ブレード着脱ユニット）
図６は、図３に示されたブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。図７は、図６に示されたブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。図８は、図６に示されたブレード着脱ユニットのナットホルダの構成例を示す斜視図である。

ブレード着脱ユニット８０は、図６に示すように、ユニット本体８１と、ブレードチャック８２と、ナットホルダ８３と、ユニット本体８１を移動自在に支持する移動ユニット８４とを備える。実施形態１において、ブレード着脱ユニット８０は、ブレードチャック８２を二つ備え、ナットホルダ８３を一つ備える。

ブレードチャック８２とナットホルダ８３とは、ユニット本体８１に取り付けられ、かつ中心である軸心８２１，８３１が互いに間隔をあけて平行に配置されている。実施形態１では、ブレードチャック８２の軸心８２１とナットホルダ８３の軸心８３１とは、Ｙ軸方向と平行に配置されている。

ブレードチャック８２は、切削ブレード２１を保持するものである。ブレードチャック８２は、図７に示すように、ユニット本体８１に固定されかつ外観が円筒状に形成された筐体８２２と、筐体８２２の先端にアーム８２３を介して取り付けられた円盤状の支持基台８２４と、支持基台８２４に取り付けられた爪８２５と、を備える。

爪８２５は、支持基台８２４の対応するブレードストッカ７０のブレード保持部７４と対向する端面の外縁に周方向に間隔をあけて複数配置されている。実施形態１では、爪８２５は、支持基台８２４の端面の外縁に周方向に等間隔に三つ設けられている。複数の爪８２５は、支持基台８２４内等に設けられた図示しない駆動機構により、端面の径方向に移動自在に設けられ、互いに近付くことで切削ブレード２１の円形基台２１２の外周面を把持し、互いに離れることで切削ブレード２１の把持を解除する。爪８２５は、導電性の材料（実施形態１では、金属）により構成されている。複数の爪８２５は、切削ブレード２１を保持する導電性の保持部である。

ナットホルダ８３は、締結ナット２７をボス部２４２に着脱するものである。ナットホルダ８３は、図８に示すように、ユニット本体８１に固定され且つ外観が円筒状に形成された筐体８３２、筐体８３２に収容されＹ軸方向と平行な軸心８３１回りに回転するスピンドル８３３と、スピンドル８３３の一端に固定された円盤状の支持基台８３４と、支持基台８３４に取り付けられた爪８３５とを備える。

スピンドル８３３の一端は、筐体８３２から対応するブレードストッカ７０に向かって突出している。スピンドル８３３の他端は、スピンドル８３３を軸心回りに回転させるための図示しないモータが連結されている。

爪８３５は、支持基台８３４の対応するブレードストッカ７０のブレード保持部７４と対向する端面に周方向に間隔をあけて複数配置されている。実施形態１では、爪８３５は、支持基台８３４の端面に周方向に等間隔に四つ設けられている。複数の爪８３５は、支持基台８３４内等に設けられた図示しない駆動機構により、端面の径方向に移動自在に設けられ、互いに近付くことで締結ナット２７の外周面を把持し、互いに離れることで締結ナット２７の把持を解除する。爪８３５は、導電性の材料（実施形態１では、金属）により構成されている。複数の爪８３５は、締結ナット２７を保持する導電性の保持部である。

移動ユニット８４は、ユニット本体８１即ちブレードチャック８２及びナットホルダ８３を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させる。また、移動ユニット８４は、一対のブレードチャック８２をそれぞれ対応するブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４にあるブレード保持部７４に切削ブレード２１を着脱可能とする位置と、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に切削ブレード２１を着脱可能とする位置とに亘って移動させる。また、移動ユニット８４は、ナットホルダ８３を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に締結ナット２７を着脱可能とする位置まで移動させる。なお、移動ユニット８４は、少なくとも一つのボールねじ、モータ及びガイドレールにより構成される。

また、ブレード交換ユニット７は、少なくとも各ブレードチャック８２，８２及びナットホルダ８３の軸心のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を検出するとともに、各ブレードチャック８２，８２の爪８２５の切削ブレード２１の円形基台２１２の端面に接触する平坦面８２７及びナットホルダ８３の爪８３５のＹ軸方向の位置を検出する図示しない交換ユニット側位置検出ユニットを備える。

（導通位置検出ユニット）
また、ブレード交換ユニット７のブレード着脱ユニット８０は、それぞれ、前述した着脱位置に位置付けられた各切削ユニット２０のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置、Ｚ軸方向の位置、及びボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を検出する図９に示す導通位置検出ユニット９０を備える。なお、図９は、図６に示されたブレード着脱ユニットの導通位置検出ユニットの構成例を示す図である。

導通位置検出ユニット９０は、図９に示すように、図示しない電源と、導通検出ユニット９２と、切換えスイッチ９３とを備える。電源は、直流電圧を対応する切削ユニット２０のスピンドル２３を介してマウント２４と、二つのブレードチャック８２のうちいずれかの爪８２５とに電力を供給する。切換えスイッチ９３は、電源が電力を供給する先を二つのブレードチャック８２の爪８２５の間で切換える。導通検出ユニット９２は、電源が電力を供給したブレードチャック８２とスピンドル２３のマウント２４とが接触した際に流れる電流を検出して、電流を検出したことを示す信号を制御ユニット１００に出力する。

導通位置検出ユニット９０は、電源が電力を供給したブレードチャック８２の爪８２５とスピンドル２３のマウント２４とが接触した際に流れる電流を導通検出ユニット９２が検出することで、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置及びＺ軸方向の位置、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を検出可能とする。

なお、実施形態１では、導通位置検出ユニット９０は、切換えスイッチ９３を備えて、二つのブレードチャック８２の双方の爪８２５をマウント２４に接触させて、マウント２４の前述した位置を検出可能としているが、本発明では、切換えスイッチ９３を設けずに電源が電力を供給するいずれか一方のブレードチャック８２の爪８２５をマウント２４に接触させて、マウント２４の前述した位置を検出可能としても良い。また、本発明では、図示しない電源から電力を供給して、導通位置検出ユニット９０は、ナットホルダ８３の爪８３５をマウント２４に接触させて、マウント２４の前述した位置を検出可能としても良い。

制御ユニット１００は、ブレード交換ユニット７の各ユニットを制御して、切削ユニット２０に対する切削ブレード２１の着脱動作をブレード交換ユニット７に実施されるものである。また、制御ユニット１００は、ブレード交換ユニット７の導通位置検出ユニット９０の導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて爪８２５，８３５とボス部２４２との導通を検出する。また、制御ユニット１００は、切削装置１の上述した各ユニットをそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を切削装置１に実施させるものでもある。なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１及びブレード交換ユニット７を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１及びブレード交換ユニット７の上述した各ユニットに出力する。

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１０１（図１に示す）と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニット１０１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

また、制御ユニット１００は、図１などに示すように、算出部１０２と、着脱制御部１０３とを備える。算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、ブレードチャック８２の爪８２５をマウント２４の少なくとも３点に接触させて、導通検出ユニット９２が導通を検出した時の各位置検出ユニットが検出した結果からマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出するものである。また、算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、ブレードチャック８２の爪８２５をボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させて、導通検出ユニット９２が導通を検出した時の各位置検出ユニットが検出した結果からマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出するものである。

着脱制御部１０３は、算出部１０２が算出したマウント２４の軸心２４６とブレードチャック８２の軸心８２１とを同軸となる位置に合わせて、切削ユニット２０のボス部２４２に対する切削ブレード２１の着脱を行うものである。また、着脱制御部１０３は、算出部１０２が算出したボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置に合わせて、切削ユニット２０のボス部２４２に対する切削ブレード２１の着脱を行うものである。

算出部１０２及び着脱制御部１０３の機能は、制御ユニット１００の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理装置が演算処理を実施することにより実現される。また、制御ユニット１００の記憶装置は、各ブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４にあるブレード保持部７４の軸心７４５のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を記憶しているとともに、各ブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４のブレード嵌合部７４１のＹ軸方向の位置を記憶している。また、制御ユニット１００の記憶装置は、着脱位置に位置付けられた各切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を記憶しているとともに、着脱位置に位置付けられた各切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を記憶している。

（切削装置の加工動作）
本明細書は、前述した構成の切削装置１の加工動作を説明する。加工動作では、オペレータが、加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、切削加工前の被加工物２００をカセット６１に収容して、カセット６１をカセットエレベータ６０の上面に設置する。また、加工動作では、オペレータが、ブレード交換ユニット７の各ブレードストッカ７０のブレード保持部７４に切削ブレード２１を取り付ける。

その後、切削装置１は、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に加工動作を開始する。切削装置１は、加工動作を開始すると、制御ユニット１００が、搬送ユニットにカセット６１内から被加工物２００を搬入出領域６４のチャックテーブル１０まで搬送させ、粘着テープ２０６を介して裏面２０４側をチャックテーブル１０の保持面１１に吸引保持させるとともに、クランプ部１２に環状フレーム２０５をクランプさせる。

切削装置１の制御ユニット１００は、Ｘ軸移動ユニットにチャックテーブル１０を加工領域６３に向かって移動させて、撮像ユニット３０に被加工物２００を撮影させて、撮像ユニット３０が撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。切削装置１の制御ユニット１００は、分割予定ライン２０２に沿って被加工物２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませて被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割する。切削装置１の制御ユニット１００は、個々のデバイス２０３に分割された被加工物２００を洗浄ユニット６２に洗浄させた後、搬送ユニットにカセット６１に収容させる。切削装置１の制御ユニット１００は、切削ユニット２０等にカセット６１内に収容した被加工物２００を順に切削加工させて、カセット６１内の全ての被加工物２００の切削加工が完了すると加工動作を終了する。

（切削ブレードの着脱動作）
次に、本明細書は、前述した構成の切削装置１のブレード交換ユニット７の切削ブレード２１の着脱動作を説明する。実施形態１では、制御ユニット１００が、切削装置１の加工動作中に、少なくとも一方の切削ユニット２０の切削ブレード２１がブレード交換タイミングであると判定すると切削ブレード２１の着脱動作を実施する。ブレード交換タイミングは、各切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換するタイミングであることをいう。ブレード交換タイミングは、例えば、予め設定された数の被加工物２００を切削する毎や、測定された切削ブレード２１の外径が事前に設定した数値を下回ったとき等であり、加工内容情報の一部として制御ユニット１００に登録される。また、本発明のブレード交換タイミングは、まさに１枚の被加工物２００を加工している途中でも良く、複数の被加工物２００を連続して加工する際に、被加工物２００を交換するタイミングでも良い。

切削装置１のブレード交換ユニット７の切削ブレード２１の着脱動作は、切削ユニット２０の切削ブレード２１を取り外し、ブレードストッカ７０に保持された切削ブレード２１を切削ユニット２０に取り付ける動作である。即ち、切削ブレード２１の着脱動作は、ブレードストッカ７０に保持された切削ブレード２１と、切削ユニット２０に装着された切削ブレード２１とを交換する動作である。

切削ブレード２１の着脱動作では、制御ユニット１００の着脱制御部１０３は、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３の回転を停止し、移動ユニット８４を制御してブレード交換タイミングの切削ユニット２０を着脱位置に位置付ける。また、切削ブレード２１の着脱動作では、着脱制御部１０３は、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に対応するブレードストッカ７０のモータ７５を制御して、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に装着すべき切削ブレード２１を受け渡し位置７４４に位置付ける。

着脱制御部１０３は、切削ブレード２１の着脱動作では、記憶装置に記憶した着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の先端面２４７のＹ軸方向の位置、及び各位置検出ユニットの検出結果に基づいてブレード着脱ユニット８０の移動ユニット８４の動作を制御する。

切削ブレード２１の着脱動作では、着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２の爪８２５でブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に保持された切削ブレード２１を把持可能となる位置に一方のブレードチャック８２を位置付ける。着脱制御部１０３は、一方のブレードチャック８２を制御して、爪８２５でブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に保持された切削ブレード２１を把持する。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０を着脱位置の切削ユニット２０に向かって移動させて、ナットホルダ８３の爪８３５で着脱位置の切削ユニット２０の締結ナット２７を把持可能となる位置にナットホルダ８３を位置付ける。着脱制御部１０３は、ナットホルダ８３を制御して、爪８３５で締結ナット２７を把持して、ナットホルダ８３のスピンドル８３３を締結ナット２７が雄ネジ２４５から外れる方向に軸心８３１回りに回転させる。着脱制御部１０３は、ナットホルダ８３を制御して、スピンドル８３３を締結ナット２７が雄ネジ２４５から外れるまで回転させた後、スピンドル８３３の回転を停止する。着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、他方のブレードチャック８２を着脱位置の切削ユニット２０に向かって移動させて、他方のブレードチャック８２の爪８２５で締結ナット２７が取り外された切削ユニット２０に装着された切削ブレード２１を把持可能となる位置に他方のブレードチャック８２を位置付ける。

着脱制御部１０３は、他方のブレードチャック８２を制御して、爪８２５で締結ナット２７が取り外された切削ユニット２０の切削ブレード２１を把持する。着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、他方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１を締結ナット２７が取り外された切削ユニット２０のマウント２４からＹ軸方向に沿って遠ざけて、他方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の挿入口２１１内から締結ナット２７が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２を抜き取る。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２を締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０に向かって移動させて、締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４と、把持した切削ブレード２１がＹ軸方向に間隔をあけて並ぶ位置に一方のブレードチャック８２を位置付ける。このとき、着脱制御部１０３は、一方のブレードチャック８２を軸心８２１が締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６と同軸となる位置即ち同一直線上に位置付ける。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２を締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０にＹ軸方向に沿って近付けて、一方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の挿入口２１１内に締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２を挿入する。着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の円形基台２１２がマウント２４の受けフランジ部２４３の外縁部２４４に接触する位置に、一方のブレードチャック８２を位置付け、一方のブレードチャック８２の爪８２５の切削ブレード２１の把持を解除する。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２を切削ブレード２１が装着された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２から遠ざけて、ナットホルダ８３が把持したナットホルダ８３を切削ブレード２１が装着された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の雄ネジ２４５に螺合させることが可能となる位置にナットホルダ８３を位置付ける。着脱制御部１０３は、ナットホルダ８３を制御して、爪８３５で締結ナット２７を把持したままナットホルダ８３のスピンドル８３３を締結ナット２７が雄ネジ２４５に取り付けられる方向に軸心８３１回りに回転させる。着脱制御部１０３は、ナットホルダ８３のスピンドル８３３を締結ナット２７が雄ネジ２４５に取り付けられるまで回転させた後、スピンドル８３３の回転を停止して、ナットホルダ８３の爪８３５の締結ナット２７の把持を解除する。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０をブレードストッカ７０に向かって移動させて、受け渡し位置７４４のブレード保持部７４と、把持した切削ブレード２１がＹ軸方向に間隔をあけて並ぶ位置に他方のブレードチャック８２を位置付ける。このとき、着脱制御部１０３は、他方のブレードチャック８２を軸心８２１が受け渡し位置７４４のブレード保持部７４のブレード嵌合部７４１の軸心７４５と同軸となる位置即ち同一直線上に位置付ける。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、他方のブレードチャック８２を受け渡し位置７４４のブレード保持部７４にＹ軸方向に沿って近付けて、他方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の挿入口２１１内にブレード嵌合部７４１を挿入する。着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、他方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の円形基台２１２が受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に接触する位置に、他方のブレードチャック８２を位置付け、他方のブレードチャック８２の爪８２５の切削ブレード２１の把持を解除する。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０を待機位置まで移動させた後、切削ブレード２１の着脱動作を終了する。このように、制御ユニット１００の着脱制御部１０３は、マウント２４のボス部２４２の軸心２４６とブレードチャック８２，８２の軸心８２１，８２１とを合わせて、切削ブレード２１のマウント２４に対する着脱を行う。

（マウントの位置算出動作）
次に、本明細書は、前述した構成の切削装置１のブレード交換ユニット７のマウント２４のボス部２４２の位置算出動作を説明する。実施形態１では、制御ユニット１００が、少なくとも一方の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の位置算出タイミングであると判定するとマウント２４の位置算出動作を実施する。位置算出タイミングは、各切削ユニット２０の着脱位置におけるマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置、Ｚ軸方向の位置及びボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出するタイミングであることをいう。位置算出タイミングは、例えば、予め設定された数の被加工物２００を切削する毎であり、各切削ブレード２１の交換直前であることが望ましく、加工内容情報の一部として制御ユニット１００に登録される。また、本発明では、マウントの位置算出動作は、オペレータが入力ユニットを制御するなどして、任意のタイミングで実施されても良い。

まず、マウントの位置算出動作では、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６の位置算出動作を実施する。図１０は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを接触させた状態を示す斜視図である。図１１は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを接触させた状態を示す他の斜視図である。図１２は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第１の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図１３は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第２の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図１４は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第３の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。

制御ユニット１００の算出部１０２は、マウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、位置算出タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３の回転を停止し、移動ユニット８４を制御して位置算出タイミングの切削ユニット２０を着脱位置に位置付ける。制御ユニット１００の算出部１０２は、マウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、まず、切削ブレード２１の着脱動作と同様に、位置算出タイミングの切削ユニット２０から締結ナット２７及び切削ブレード２１を取り外して、図１０及び図１１に示すように、電源から電力が供給されたブレードチャック８２の爪８２５を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に接触させて、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心のＸ軸方向の位置及びＺ軸方向の位置を算出する。

なお、算出部１０２は、マウント２４の位置算出動作では、記憶装置に記憶した着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の先端面２４７のＹ軸方向の位置、及び各位置検出ユニットの検出結果に基づいてブレード着脱ユニット８０の移動ユニット８４の動作を制御する。

着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心のＸ軸方向の位置及びＺ軸方向の位置を算出する際には、算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０を移動させて、切削ブレード２１を把持していないいずれか一方のブレードチャック８２の爪８２５を互いに離した状態で、爪８２５が締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の外周面とブレードチャック８２とを微調整で接触できるように近くに位置付ける。算出部１０２は、前述したいずれか一方のブレードチャック８２の爪８２５に電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、いずれか一方のブレードチャック８２を軸心８２１に対して直交する第１の方向１１１に移動させる。実施形態１では、第１の方向１１１は、Ｚ軸方向に沿って上方に向かう方向であるが、本発明では、この方向に限定されない。

すると、図１２に示すように、爪８２５が、ボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触して、算出部１０２は、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触したことを認識して、移動ユニット８４のブレード着脱ユニット８０の移動を停止する。算出部１０２は、各位置検出ユニットの検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触した時の軸心８２１（以下、符号８２１−１で示す）のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。なお、図１２、図１３、図１４は、ボス部２４２の外周面を実線の円で模式的に示し、複数の爪８２５の内接円を二点鎖線の円で模式的に示している。

算出部１０２は、前述したいずれか一方のブレードチャック８２の爪８２５に電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、いずれか一方のブレードチャック８２を軸心８２１に対して直交しかつ第１の方向１１１と異なる第２の方向１１２に移動させる。実施形態１では、第２の方向１１２は、Ｚ軸方向に沿って下方に向かう方向であるが、本発明では、この方向に限定されない。

すると、図１３に示すように、爪８２５が、ボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１と異なる位置の第２の接触点１２２で接触して、算出部１０２は、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第２の接触点１２２で接触したことを認識して、移動ユニット８４のブレード着脱ユニット８０の移動を停止する。算出部１０２は、各位置検出ユニットの検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第２の接触点１２２で接触した時の軸心８２１（以下、符号８２１−２で示す）のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。

算出部１０２は、前述したいずれか一方のブレードチャック８２の爪８２５に電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、いずれか一方のブレードチャック８２を軸心８２１に対して直交しかつ第１の方向１１１及び第２の方向１１２の双方と異なる第３の方向１１３に移動させる。実施形態１では、第３の方向１１３は、Ｘ軸方向と平行な方向であるが、本発明では、この方向に限定されない。

すると、図１４に示すように、爪８２５が、ボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触して、算出部１０２は、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触したことを認識して、移動ユニット８４のブレード着脱ユニット８０の移動を停止する。なお、第３の接触点１２３は、第１の接触点１２１及び第２の接触点１２２の双方と異なる位置である。算出部１０２は、各位置検出ユニットの検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触した時の軸心８２１（以下、符号８２１−３で示す）のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。

算出部１０２は、軸心８２１−１，８２１−２，８２１−３の各Ｘ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とに基づいて、これら軸心８２１−１，８２１−２，８２１−３を通る円の中心のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を、切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置として算出して、記憶装置に新たな切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置として記憶する。

こうして、算出部１０２は、マウント２４の軸心の位置算出動作では、図１３、図１４、図１５に示すように爪８２５でマウント２４のボス部２４２の外周面の３点１２１，１２２，１２３に接触させて導通検出ユニット９２が導通を検出した座標である軸心８２１−１，８２１−２，８２１−３のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出する。なお、実施形態１において、算出部１０２は、マウント２４の軸心の位置算出動作では、爪８２５でマウント２４のボス部２４２の外周面の３点１２１，１２２，１２３に接触させたが、本発明では、爪８２５でマウント２４のボス部２４２の外周面の少なくとも３点１２１，１２２，１２３に接触させればよい。

実施形態１において、次に、マウントの位置算出動作では、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作を実施する。図１５は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の先端面とを接触させた状態を示す斜視図である。図１６は、図３に示されたブレード交換ユニットのマウントの位置算出動作により算出されたマウントの軸心の位置に基づいて着脱動作を行う際のブレードチャックの爪とボス部との位置関係を模式的に示す図である。

制御ユニット１００の算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０を移動させて、爪８２５の平坦面８２７が締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７とＹ軸方向に並ぶ位置に前述したいずれか一方のブレードチャック８２を位置付ける。算出部１０２は、前述したいずれか一方のブレードチャック８２の爪８２５を互いに離しかつ電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、いずれか一方のブレードチャック８２をＹ軸方向に沿って、締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７に近付ける。

すると、図１５に示すように、爪８２５の平坦面８２７が、ボス部２４２の先端面２４７と接触して、算出部１０２は、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５の平坦面８２７がボス部２４２の先端面２４７と接触したことを認識して、移動ユニット８４のブレード着脱ユニット８０の移動を停止する。算出部１０２は、各位置検出ユニットの検出結果に基づいて、爪８２５の平坦面８２７がボス部２４２の先端面２４７と接触した時の平坦面８２７のＹ軸方向の位置を算出して、記憶装置に新たな切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置として記憶する。

こうして、算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、爪８２５をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の１点に接触させて導通検出ユニット９２が導通を検出した座標である平坦面８２７のＹ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。なお、実施形態１において、算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、爪８２５をマウント２４のボス部２４２の先端面の１点に接触させたが、本発明では、爪８２５をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させればよい。そして、制御ユニット１００の着脱制御部１０３は、ブレード着脱ユニット８０を制御して、算出した軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置に基づいて、図１６に示すように、マウント２４の軸心２４６にブレードチャック８２の軸心８２１を合わせて、切削ブレード２１の着脱を行う。なお、図１６は、ボス部２４２の外周面を実線の円で模式的に示し、複数の爪８２５の内接円を二点鎖線の円で模式的に示している。

実施形態１に係るブレード交換ユニット７は、ブレードチャック８２の爪８２５と、スピンドル２３を介してマウント２４に電源から電力を供給して、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５とマウント２４とが接触した位置を容易に把握することができる。その結果、実施形態１に係るブレード交換ユニット７は、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

また、実施形態１に係るブレード交換ユニット７は、ブレードチャック８２の爪８２５を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の外周面の少なくとも３点１２１，１２２，１２３に接触させるので、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を容易に求めることができる。

また、実施形態１に係るブレード交換ユニット７は、ブレードチャック８２の爪８２５を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させるので、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を容易に求めることができる。

〔変形例〕
本発明の実施形態１の変形例に係るブレード交換ユニットを図面に基いて説明する。図１７は、実施形態１の変形例に係るブレード交換ユニットのマウントの位置算出動作のマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とマウントの受けフランジ部とを接触させた状態を示す側面図である。なお、図１７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１の変形例に係るブレード交換ユニット７は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作が、実施形態１と異なること以外、実施形態１と同じである。実施形態１の変形例に係るブレード交換ユニット７は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、図１７に示すように、ブレードチャック８２の爪８２５の平坦面８２７を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の受けフランジ部２４３の先端である外縁部２４４に接触させて、受けフランジ部２４３の外縁部２４４のＹ軸方向の位置を算出して、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

実施形態１の変形例に係るブレード交換ユニット７は、実施形態１と同様に、ブレードチャック８２の爪８２５と、スピンドル２３を介してマウント２４に電源から電力を供給して、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５とマウント２４とが接触した位置を容易に把握することができる。その結果、実施形態１の変形例に係るブレード交換ユニット７は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。また、本発明は、ナットホルダ８３の爪８３５をマウント２４に実施形態１及び変形例と同様に接触させて、マウント２４の前述した位置を算出しても良い。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係るブレード交換ユニットを図面に基いて説明する。図１８は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの位置算出動作において、ブレードチャックの爪で導電性の治具を保持した状態を示す斜視図である。図１９は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口内にボス部を挿入した状態を示す斜視図である。図２０は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口内にボス部を挿入した状態を示す他の斜視図である。図２１は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第１の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図２２は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第２の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図２３は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第３の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図２４は、実施形態２に係るブレード交換ユニットのマウントの先端面の位置算出動作において、治具とボス部の先端面とを接触させた状態を示す斜視図である。なお、図１８から図２４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係るブレード交換ユニット７は、マウント２４の位置算出動作において、図１８に示すように、ブレードチャック８２の爪８２５が導電性の治具３００を保持して、治具３００をボス部２４２の外周面及び先端面２４７に接触させること以外、実施形態１と同じである。

実施形態２に係るブレード交換ユニット７は、マウント２４の位置算出動作において、図１８に示すように、切削ユニット２０から取り外された切削ブレード２１を把持していない方のブレードチャック８２に治具３００を保持させる。なお、治具３００は、導電性の材料（実施形態２では、金属）により構成され、中央の開口３０１が形成された円環状に形成されている。開口３０１の内径は、ボス部２４２の外径よりも大きい。

実施形態２において、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０を移動させて、治具３００を把持したブレードチャック８２を、締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２とＹ軸方向に並ぶ位置に位置付ける。このとき、算出部１０２は、記憶装置に記憶した着脱位置の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置に基づいて、切削ユニット２０とブレードチャック８２とを同軸となる位置に位置付ける。算出部１０２は、治具３００を把持したブレードチャック８２の爪８２５に電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、治具３００を把持したブレードチャック８２をＹ軸方向に沿って切削ユニット２０に近付けて、図１９に示すように、治具３００の開口３０１内にボス部２４２を挿入して、マウント２４と治具３００とが間隔をあけて非接触の位置でブレードチャック８２を停止させる。

算出部１０２は、治具３００を把持したブレードチャック８２の爪８２５に電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、図２０に示すように、実施形態１と同様に、治具３００を把持したブレードチャック８２を軸心８２１に対して直交する第１の方向１１１、第２の方向１１２及び第３の方向１１３に順に移動させる。

移動ユニット８４がブレードチャック８２を第１の方向１１１に移動させると、図２１に示すように、治具３００の開口３０１が、ボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触して、算出部１０２は、実施形態１と同様に、治具３００の開口３０１がボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触した時の軸心８２１−１のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。なお、図２１、図２２、図２３は、ボス部２４２の外周面を実線の円で模式的に示し、治具３００の外形を二点鎖線の円で模式的に示している。

算出部１０２は、治具３００を把持したブレードチャック８２の爪８２５に電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、治具３００を把持したブレードチャック８２を第２の方向１１２に移動させる。すると、図２２に示すように、治具３００の開口３０１が、ボス部２４２の外周面と第２の接触点１２２で接触して、算出部１０２は、実施形態１と同様に、治具３００の開口３０１がボス部２４２の外周面と第２の接触点１２２で接触した時の軸心８２１−２のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。

算出部１０２は、治具３００を把持したブレードチャック８２の爪８２５に電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、治具３００を把持したブレードチャック８２を第３の方向１１３に移動させる。すると、図２３に示すように、治具３００の開口３０１が、ボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触して、算出部１０２は、実施形態１と同様に、治具３００の開口３０１がボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触した時の軸心８２１−３のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。

算出部１０２は、実施形態１と同様に、軸心８２１−１，８２１−２，８２１−３の中心のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を、切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置として算出して、記憶装置に新たな切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置として記憶する。こうして、算出部１０２は、図２４、図２５、図２６に示すようにマウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、治具３００でマウント２４のボス部２４２の外周面の３点１２１，１２２，１２３に接触させて導通検出ユニット９２が導通を検出した座標である軸心８２１−１，８２１−２，８２１−３のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出する。なお、実施形態２において、算出部１０２は、マウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、治具３００でマウント２４のボス部２４２の外周面の３点１２１，１２２，１２３に接触させたが、本発明では、治具３００でマウント２４のボス部２４２の外周面の少なくとも３点に接触させればよい。

実施形態２において、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０を移動させて、治具３００が締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７とＹ軸方向に並ぶ位置に治具３００を把持したブレードチャック８２を位置付ける。

算出部１０２は、ブレードチャック８２の爪８２５に電源から電力を供給した状態で、移動ユニット８４を制御して、治具３００を把持したブレードチャック８２をＹ軸方向に沿って、締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７に近付ける。

すると、図２４に示すように、治具３００が、ボス部２４２の先端面２４７と接触して、算出部１０２は、実施形態１と同様に、新たな切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出して、記憶装置に記憶する。こうして、算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、治具３００をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の１点に接触させて導通検出ユニット９２が導通を検出した座標であるＹ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

なお、実施形態２において、算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、治具３００をマウント２４のボス部２４２の先端面の１点に接触させたが、本発明では、治具３００をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させればよい。そして、制御ユニット１００の着脱制御部１０３は、ブレード着脱ユニット８０を制御して、算出した軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置に基づいて、マウント２４の軸心２４６にブレードチャック８２の軸心８２１を合わせて、切削ブレード２１の着脱を行う。

実施形態２に係るブレード交換ユニット７は、治具３００とブレードチャック８２の爪８２５と、スピンドル２３を介してマウント２４に電源から電力を供給して、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５で把持した治具３００とマウント２４とが接触した位置を容易に把握することができる。その結果、実施形態２に係るブレード交換ユニット７は、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

〔変形例１〕
本発明の実施形態２の変形例１に係るブレード交換ユニットを図面に基いて説明する。図２５は、実施形態２の変形例１に係るブレード交換ユニットのマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックで把持した治具とマウントの受けフランジ部とを接触させた状態を示す側面図である。なお、図２５は、実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２の変形例１に係るブレード交換ユニット７は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作が、実施形態２と異なること以外、実施形態２と同じである。実施形態２の変形例に係るブレード交換ユニット７は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、図２５に示すように、ブレードチャック８２の爪８２５で把持した治具３００を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の受けフランジ部２４３の外縁部２４４に接触させて、受けフランジ部２４３の外縁部２４４のＹ軸方向の位置を算出して、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

実施形態２の変形例１に係るブレード交換ユニット７は、実施形態２と同様に、治具３００とブレードチャック８２の爪８２５と、スピンドル２３を介してマウント２４に電源から電力を供給して、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５で把持した治具３００とマウント２４とが接触した位置を容易に把握することができる。その結果、実施形態２の変形例１に係るブレード交換ユニット７は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

〔変形例２〕
本発明の実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットを図面に基いて説明する。図２６は、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの位置検出ユニットの構成例を示す図である。図２７は、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットを備える切削装置のマウントの側面図である。図２８は、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットを備える切削装置の切削ブレードの側面図である。図２９は、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニットを備える切削装置のマウントのボス部を切削ブレードの挿入口内に挿入した状態を示す側面図である。なお、図２６、図２７、図２８及び図２９は、実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニット７は、図２６に示すように、治具３００として、切削ブレード２１をブレードチャック８２で把持して、マウント２４の位置検出動作を実施することと、図２７に示すように、マウント２４のボス部２４２の雄ネジ２４５の外径２４５−１がボス部２４２の一端部の外径２４２−１よりも小さく形成されていることが異なること以外、実施形態２と同じである。なお、図２６は、ブレードチャック８２を一つのみ示し、切換えスイッチ９３を省略している。

なお、実施形態２の変形例２では、図２８に示す切削ブレード２１の挿入口２１１の内径は、マウント２４のボス部２４２の一端部の外径２４２−１と略等しく、ボス部２４２の雄ネジ２４５の外径２４５−１よりも大きい。実施形態２の変形例２では、マウント２４の位置検出動作のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６の位置検出動作において、図２９に示すように、切削ブレード２１の挿入口２１１内に、挿入口２１１の内周面に接触しないようにマウント２４のボス部２４２の雄ネジ２４５を挿入した後、実施形態２と同様に、切削ブレード２１を第１の方向１１１と第２の方向１１２と第３の方向１１３に順に移動させて、ボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出する。

また、実施形態２の変形例２では、マウント２４の位置検出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置検出動作において、切削ブレード２１の円形基台２１２等をボス部２４２の先端面２４７又は受けフランジ部２４３の外縁部２４４に接触させて、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニット７は、実施形態２と同様に、切削ブレード２１と、ブレードチャック８２の爪８２５と、スピンドル２３を介してマウント２４に図示しない電源から電力を供給して、導通検出ユニット９２の検出結果に基づいて、爪８２５で把持した切削ブレード２１とマウント２４とが接触した位置を容易に把握することができる。その結果、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニット７は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

また、実施形態２の変形例２に係るブレード交換ユニット７は、爪８２５で把持した切削ブレード２１をマウント２４に接触させてマウント２４の位置を求めるので、専用の治具を用いることなく、マウント２４の位置を求めることができ、切削ブレード２１の着脱動作中でもマウント２４の位置を求めることができる。また、本発明は、ナットホルダ８３の爪８３５に保持された治具３００をマウント２４に実施形態２、変形例１及び２と同様に接触させて、マウント２４の前述した位置を算出しても良い。

〔変形例〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例に係るブレード交換ユニットを図面に基いて説明する。図３０は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係るブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。なお、図３０は、実施形態１と実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

変形例に係るブレード交換ユニット７は、ブレードチャック８２の構成が異なること以外、実施形態１及び実施形態２と同じである。変形例に係るブレード交換ユニット７のブレード着脱ユニット８０のブレードチャック８２は、図３０に示すように、支持基台８２４のブレード保持部７４及び切削ユニット２０のマウント２４に対向する端面に吸引源に連結された吸引溝８２８を設け、切削ユニット２０に切削ユニット２０を着脱する際にボス部２４２が侵入する侵入用穴８２９を設けている。吸引溝８２８及び侵入用穴８２９は、端面から凹に形成されている。

変形例では、吸引溝８２８は、円環状に形成され、端面と同軸となる位置に二つ設けられている。吸引溝８２８は、吸引源から作用する負圧により端面に切削ブレード２１を吸引保持する。侵入用穴８２９は、端面の中心に設けられている。

変形例に係るブレード交換ユニット７は、ブレードチャック８２の爪８２５と、スピンドル２３を介してマウント２４に電源から電力を供給しているので、実施形態１及び実施形態２と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１ 切削装置（加工装置）
７ ブレード交換ユニット
２１ 切削ブレード
２３ スピンドル
２４ マウント
８４ 移動ユニット
１００ 制御ユニット
１０２ 算出部
１０３ 着脱制御部
２１１ 挿入口
２１２ 円形基台
２１３ 切刃部
２４２ ボス部
２４３ 受けフランジ部
２４４ 外縁部（先端）
２４６ 軸心（中心）
３００ 治具
３０１ 開口
８２１ 軸心（中心）
８２５ 爪（保持部）

Claims (5)

1. 中央に挿入口を有する円形基台と、該円形基台の外周縁に配される切刃部と、を備える切削ブレードを加工装置のスピンドル先端に固定されるマウントの軸心方向に延在するボス部に着脱するブレード交換ユニットであって、
   該ブレード交換ユニットは、
   該切削ブレードを保持する導電性の保持部と、
   該ブレード交換ユニットを移動させる移動ユニットと、
   各ユニットを制御するとともに該保持部と該ボス部との導通を検出する制御ユニットと、
   を備え、
   該制御ユニットは、
   該移動ユニットを制御して、該保持部を該マウントの少なくとも３点に接触させて導通を検出した座標から該マウントの中心を算出する算出部と、
   該算出部が算出した該マウントの中心に該保持部の中心を合わせて該切削ブレードの着脱を行う着脱制御部と、を備えることを特徴とするブレード交換ユニット。
2. 該マウントは、該ボス部の軸方向後端から径方向に突出して該切削ブレードを支持する受けフランジ部と、を更に有し、
   該制御ユニットは、
   該スピンドルの軸心方向をＹ軸方向としたとき、
   前記算出部が、該保持部を該ボス部または該受けフランジ部の先端の少なくとも１点に接触させて導通を検出した座標から該ボス部の該Ｙ軸方向の座標を算出し、
   該着脱制御部が、該算出部が算出した該ボス部の該Ｙ軸方向の座標に合わせて該切削ブレードの着脱を行うことを特徴とする請求項１に記載のブレード交換ユニット。
3. 中央に挿入口を有する円形基台と、該円形基台の外周縁に配される切刃部と、を備える切削ブレードを加工装置のスピンドル先端に固定されるマウントの軸心方向に延在するボス部に着脱するブレード交換ユニットであって、
   該ブレード交換ユニットは、
   該ボス部よりも大きい開口を有する導電性の治具を保持する導電性の保持部と、
   該ブレード交換ユニットを移動させる移動ユニットと、
   各ユニットを制御するとともに該保持部と該ボス部との導通を検出する制御ユニットと、
   を備え、
   該制御ユニットは、
   該移動ユニットを制御して、該保持部に保持された該治具を該マウントの少なくとも３点に接触させて導通を検出した座標から該マウントの中心を算出する算出部と、
   該算出部が算出した該マウントの中心に該保持部の中心を合わせて該切削ブレードの着脱を行う着脱制御部と、を備えることを特徴とする、ブレード交換ユニット。
4. 該マウントは、該ボス部の軸方向後端から径方向に突出して該切削ブレードを支持する受けフランジ部と、を更に有し、
   該制御ユニットは、
   該スピンドルの軸心方向をＹ軸方向としたとき、
   該算出部が、該治具を該ボス部または該受けフランジ部の先端の少なくとも１点に接触させて導通を検出した座標から該ボス部の該Ｙ軸方向の座標を算出し、
   該着脱制御部が、該算出部が算出した該ボス部の該Ｙ軸方向の座標に合わせて該切削ブレードの着脱を行うことを特徴とする、請求項３に記載のブレード交換ユニット。
5. 該治具は、該切削ブレードであることを特徴とする、
   請求項３又は請求項４に記載のブレード交換ユニット。

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