JP7285754B2 - 加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、ブレード交換ユニットを有する加工装置に関する。

加工装置である切削装置は、切削ブレードを適切に着脱するために、マウントの中心とブレード交換ユニットの切削ブレードを保持する保持部の中心とを位置合わせするという作業が必要となる（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１６－１４４８３８号公報

特許文献１に示された切削装置は、上記位置合わせを一度行った後も熱影響や部品同士の衝突等によって、マウントの中心とブレード交換ユニットの保持部の中心との位置関係がずれることがあり、再度、中心同士の位置合わせを行う必要がある。

しかしながら、特許文献１に示された切削装置のブレード交換ユニットは、マウントの中心の位置を求めるために、オペレータの目視と触覚による作業を要し、煩雑であった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、切削ブレードを取り付けるマウントの位置を容易に求めることができる加工装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の加工装置は、被加工物を保持しスピンドルに対して相対的にＸ軸方向に加工送りされる保持テーブルと、該スピンドルと、該スピンドルの先端に固定されたマウントと、を含む切削ユニットと、該Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に延在する該マウントのボス部に切削ブレードを着脱するブレード交換ユニットと、各機構を制御する制御部と、を備え、該マウントは、該ボス部の軸方向後端から径方向に突出して該切削ブレードを支持する受けフランジ部と、を更に有し、該ブレード交換ユニットは、該切削ブレードを保持する保持部と、該保持部を移動させる移動部と、を備え、該切削ユニットまたは該ブレード交換ユニットの少なくとも一方は、振動を検知する振動検知センサを有し、該制御部は、該ボス部または該受けフランジ部と、該保持部と、をＸ軸方向及びＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向に相対的に動かして３箇所以上で接触させ、接触による振動を該振動検知センサが検知したＸ座標及びＺ座標から該マウントの中心を算出する算出部と、該算出部が算出した該マウントの中心に該保持部の中心を合わせて該切削ブレードの着脱を行う着脱制御部と、を備えることを特徴とする。

本発明の加工装置は、被加工物を保持しスピンドルに対して相対的にＸ軸方向に加工送りされる保持テーブルと、該スピンドルと、該スピンドルの先端に固定されたマウントと、を含む切削ユニットと、該Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に延在する該マウントのボス部に切削ブレードを着脱するブレード交換ユニットと、各機構を制御する制御部と、を備え、該マウントは、該ボス部の軸方向後端から径方向に突出して該切削ブレードを支持する受けフランジ部と、を更に有し、該ブレード交換ユニットは、該ボス部よりも大きい開口を有する治具を保持する保持部と、該保持部を移動させる移動部と、を備え、該切削ユニットまたは該ブレード交換ユニットの少なくとも一方は、振動を検知する振動検知センサを有し、該制御部は、該ボス部または該受けフランジ部と、該治具と、をＸ軸方向及びＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向に相対的に動かして３箇所以上で接触させ、接触による振動を該振動検知センサが検知したＸ座標及びＺ座標から該マウントの中心を算出する算出部と、該算出部が算出した該マウントの中心に該保持部の中心を合わせて該切削ブレードの着脱を行う着脱制御部と、を備えることを特徴とする。

前記加工装置において、該治具は、該切削ブレードでも良い。

前記加工装置において、該振動検知センサは、ＡＥセンサまたは加速度センサのいずれかでも良い。

前記加工装置において、該制御部は、該スピンドルの軸心方向をＹ軸方向としたとき、該保持部を該ボス部又は該受けフランジ部の先端に接触させ、前記算出部は、接触による振動を該振動検知センサが検知したＹ座標から該ボス部の該Ｙ軸方向の座標を算出し、該着脱制御部は、該算出部が算出した該ボス部の該Ｙ軸方向の座標に合わせて該切削ブレードの着脱を行っても良い。

前記加工装置において、該制御部は、該スピンドルの軸心方向をＹ軸方向としたとき、該治具を該ボス部又は該受けフランジ部の先端に接触させ、前記算出部は、接触による振動を該振動検知センサが検知したＹ座標から該ボス部の該Ｙ軸方向の座標を算出し、該着脱制御部は、該算出部が算出した該ボス部の該Ｙ軸方向の座標に合わせて該切削ブレードの着脱を行っても良い。

本発明は、切削ブレードを取り付けるマウントの中心の位置を容易に求めることができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された加工装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。 図３は、図２に示された切削ユニットが有する振動検知センサの出力信号を示す図である。 図４は、図１に示された加工装置のブレード交換ユニットの構成例を示す図である。 図５は、図４に示されたブレード交換ユニットのブレードストッカの構成例を示す斜視図である。 図６は、図５に示されたブレードストッカが複数の切削ブレードを保持した状態を示す斜視図である。 図７は、図４に示されたブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。 図８は、図７に示されたブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。 図９は、図７に示されたブレード着脱ユニットのナットホルダの構成例を示す斜視図である。 図１０は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを接触させた状態を示す斜視図である。 図１１は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを接触させた状態を示す他の斜視図である。 図１２は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第１の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図１３は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第２の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図１４は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第３の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図１５は、図１に示された加工装置のマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の先端面とを接触させた状態を示す斜視図である。 図１６は、図１に示された加工装置のマウントの位置算出動作により算出されたマウントの軸心の位置に基づいて着脱動作を行う際のブレードチャックの爪とボス部との位置関係を模式的に示す図である。 図１７は、実施形態１の変形例１に係る加工装置のマウントの位置算出動作のマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とマウントの受けフランジ部とを接触させた状態を示す側面図である。 図１８は、実施形態１の変形例２に係る加工装置のブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。 図１９は、実施形態１の変形例３に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とマウントの受けフランジ部の外縁とを接触させた状態を模式的に示す図である。 図２０は、実施形態２に係る加工装置のマウントの位置算出動作において、ブレードチャックの爪で治具を保持した状態を示す斜視図である。 図２１は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口内にボス部を挿入した状態を示す斜視図である。 図２２は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口内にボス部を挿入した状態を示す他の斜視図である。 図２３は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第１の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図２４は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第２の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図２５は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第３の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。 図２６は、実施形態２に係る加工装置のマウントの先端面の位置算出動作において、治具とボス部の先端面とを接触させた状態を示す斜視図である。 図２７は、実施形態２の変形例１に係る加工装置のマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックで把持した治具とマウントの受けフランジ部とを接触させた状態を示す側面図である。 図２８は、実施形態２の変形例２に係る切削装置のマウントの側面図である。 図２９は、実施形態２の変形例２に係る切削装置の切削ブレードの側面図である。 図３０は、実施形態２の変形例２に係る切削装置のマウントのボス部を切削ブレードの挿入口内に挿入した状態を示す側面図である。 図３１は、実施形態２の変形例３に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具とマウントの受けフランジ部の外縁とを接触させた状態を模式的に示す図である。 図３２は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置のブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。 図３３は、実施形態３に係る加工装置のブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。 図３４は、図３３に示されたブレード着脱ユニットのブレード保持ユニットを示す斜視図である。 図３５は、図３４に示されたブレード保持ユニットの正面図である。 図３６は、実施形態１、実施形態２及び実施形態３の変形例に係る加工装置の振動検知センサの検知した加速度を示す図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る加工装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された加工装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図３は、図２に示された切削ユニットが有する振動検知センサの出力信号を示す図である。図４は、図１に示された加工装置のブレード交換ユニットの構成例を示す図である。

（切削装置）
実施形態１に係る加工装置１は、図１に示す被加工物２００を切削加工する切削装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図１に示された加工装置１は、被加工物２００を保持テーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削加工する装置である。加工装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持する保持テーブル１０と、保持テーブル１０が保持する被加工物２００を切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット３０と、ブレード交換ユニット７と、制御部である制御ユニット１００とを備える。

また、加工装置１は、図１に示すように、保持テーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りするＸ軸移動ユニット３１と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸移動ユニット３２と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りするＺ軸移動ユニット３３と、Ｘ軸移動ユニット３１によりＸ軸方向に加工送りされかつ保持テーブル１０をＺ軸方向と平行な軸心回りに回転する回転駆動源３４とを少なくとも備える。加工装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備えた、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。

保持テーブル１０は、被加工物２００を保持し切削ユニット２０のスピンドル２３に対して相対的にＸ軸方向に加工送りされるものである。保持テーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。保持テーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット３１により切削ユニット２０の下方の加工領域６３と、切削ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域６４とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源３４によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。保持テーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、保持テーブル１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、保持テーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

切削ユニット２０は、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、それぞれ、保持テーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット３３によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

一方の切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット３２、Ｚ軸移動ユニット３３などを介して、装置本体２から立設した門型の支持フレーム３の一方の柱部に設けられている。他方の切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット３２、Ｚ軸移動ユニット３３などを介して、支持フレーム３の他方の柱部に設けられている。なお、支持フレーム３は、柱部の上端同士を水平梁により連結している。

切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３により、保持テーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、図２に示すように、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられたスピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられかつ図示しないスピンドルモータにより回転されるスピンドル２３と、スピンドル２３の先端に固定されたマウント２４とを含む。また、切削ユニット２０は、ワッシャ２５内及びマウント２４の中央に設けられた貫通孔２４１を通ってスピンドル２３の先端面に設けられたねじ孔２３１と螺合してマウント２４をスピンドル２３の先端に固定する固定ねじ２６と、マウント２４に装着される切削ブレード２１をマウント２４との間で挟んで固定する締結ナット２７とを備える。

マウント２４は、スピンドル２３の先端に固定される。マウント２４は、Ｙ軸方向に延在する円筒状のボス部２４２と、ボス部２４２のスピンドルハウジング２２寄りの一端部（軸方向後端に相当する）に設けられた受けフランジ部２４３とを備えている。ボス部２４２は、Ｙ軸方向に延在し、外径が全長に亘って切削ブレード２１の挿入口２１１の内径と略等しく形成されている。なお、ボス部２４２の外径が切削ブレード２１の挿入口２１１の内径と略等しいとは、ボス部２４２の外周面と挿入口２１１の内周面とが少なくとも複数個所で互いに接触することが可能な程度に外径と内径とが等しいことを示している。

受けフランジ部２４３は、ボス部２４２のスピンドルハウジング２２寄りの軸方向後端から径方向に沿って外周方向に突出してボス部２４２の外径よりの大径な円環状に形成されている。受けフランジ部２４３は、切削ブレード２１を先端である外縁部２４４で支持する。ボス部２４２と受けフランジ部２４３とは、同軸に配置されている。また、マウント２４は、ボス部２４２の他端部の外周に雄ネジ２４５が形成されている。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードであり、中央に挿入口２１１を有する円環状の円形基台２１２と、円形基台２１２の外周縁に配設される被加工物２００を切削する円環状の切刃部２１３を備える。円形基台２１２の挿入口２１１は、ボス部２４２の一端部を内側に通して、マウント２４に切削ブレード２１を装着するための孔である。切刃部２１３は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、本発明では、切削ブレード２１は、切刃部２１３のみで構成されたワッシャーブレードでもよい。

このように構成された切削ブレード２１は、円形基台２１２の挿入口２１１がマウント２４の円筒状のボス部２４２の外周に嵌合される。切削ブレード２１は、締結ナット２７を円筒状のボス部２４２に形成された雄ネジ２４５に螺合することにより、マウント２４の受けフランジ部２４３と締結ナット２７とによって挟持固定される。なお、締結ナット２７は、図２に示すように、端面に４つのピン嵌合穴２７１を周方向に等間隔に設けている。

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、マウント２４、切削ブレード２１及び締結ナット２７は、互いに同軸となる位置に配置されている。切削ユニット２０のスピンドル２３、マウント２４、切削ブレード２１及び締結ナット２７の中心である軸心２４６は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。即ち、スピンドル２３の軸心方法は、Ｙ軸方向である。

また、実施形態１において、切削ユニット２０は、図２に示すように、振動を検知する振動検知センサ２８を有している。実施形態１では、振動検知センサ２８は、ＡＥ（Acoustic Emission）センサであり、切削ユニット２０のスピンドル２３及びマウント２４を伝搬する弾性波（周波数が数１０ｋＨｚ以上でかつ数ＭＨｚ程度）による振動を検知する。実施形態１では、振動検知センサ２８は、マウント２４の受けフランジ部２４３に埋設され、制御ユニット１００に接続している。

実施形態１は、振動検知センサ２８は、受けフランジ部２４３の軸心に関して対象となる位置（軸心を互いの間に挟む位置でかつ軸心からの距離が互いに等しい位置）に２つ設けられている。また、本発明では、振動検知センサ２８は、受けフランジ部２４３の軸心に関して対象となる位置のうち一方に設けられ、他方には振動検知センサ２８と同じ質量及び大きさの重りが設けられても良い。

このために、振動検知センサ２８は、スピンドルモータにより回転するスピンドル２３及びマウント２４が偏心することを抑制できる。振動検知センサ２８は、制御ユニット１００に接続され、図３に示すように、振動の大きさに応じた電圧値の出力信号を制御ユニット１００に出力する。振動検知センサ２８が出力する出力信号の電圧値は、振動検知センサ２８が検知した振動が大きくなるにしたがって高くなる。

撮像ユニット３０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット３０は、保持テーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

Ｘ軸移動ユニット３１は、保持テーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット３２は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット３３は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、保持テーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット３１、Ｙ軸移動ユニット３２及びＺ軸移動ユニット３３は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及び保持テーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

また、加工装置１は、保持テーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、保持テーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。なお、実施形態１では、加工装置１の各構成要素のＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置は、予め定められた図示しない基準位置を基準とした位置で定められる。

また、加工装置１は、切削前後の被加工物２００を収容するカセット６１が載置されかつカセット６１をＺ軸方向に移動させるカセットエレベータ６０と、切削後の被加工物２００を洗浄する洗浄ユニット６２と、カセット６１に被加工物２００を出し入れするとともに被加工物２００を搬送する図示しない搬送ユニットを備える。

（ブレード交換ユニット）
ブレード交換ユニット７は、着脱位置に位置付けられた切削ユニット２０のスピンドル２３の先端に固定されたマウント２４のボス部２４２に切削ブレード２１を着脱するものである。なお、着脱位置とは、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向の位置が予め定められた位置であり、各切削ユニット２０がブレード交換ユニット７により切削ブレード２１が着脱される際に位置付けられる位置である。

ブレード交換ユニット７は、図１に示すように、支持フレーム３の図１中の背面側でかつ加工領域６３よりも搬入出領域６４から離れた位置に設置されている。ブレード交換ユニット７は、図４に示すように、交換前後の切削ブレード２１を保持するブレードストッカ７０と、切削ユニット２０のスピンドル２３に切削ブレード２１を着脱するとともにブレードストッカ７０と切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送するブレード着脱ユニット８０とを備える。

実施形態１では、ブレードストッカ７０とブレード着脱ユニット８０とは、１対１で対応し、さらに切削ユニット２０とも１対１で対応して設けられている。即ち、実施形態１では、ブレード交換ユニット７は、ブレードストッカ７０とブレード着脱ユニット８０とをそれぞれ一対備えている。

また、実施形態１では、一方のブレードストッカ７０は、一方の切削ユニット２０のスピンドル２３の着脱前後の切削ブレード２１を複数保持し、一方のブレード着脱ユニット８０は、一方の切削ユニット２０に切削ブレード２１を着脱するとともに、一方のブレードストッカ７０と一方の切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送する。実施形態１では、他方のブレードストッカ７０は、他方の切削ユニット２０のスピンドル２３の着脱前後の切削ブレード２１を複数保持し、他方のブレード着脱ユニット８０は、他方の切削ユニット２０に切削ブレード２１を着脱するとともに、他方のブレードストッカ７０と一方の切削ユニット２０との間で切削ブレード２１を搬送する。

なお、各ブレードストッカ７０が保持する切削ブレード２１は、未使用のものの他、既使用であるが寿命に達しておらず使用可能なもの、同種類および／または異種類のものを含む。

次に、本明細書は、ブレード交換ユニット７の各構成要素を説明する。

（ブレードストッカ）
図５は、図４に示されたブレード交換ユニットのブレードストッカの構成例を示す斜視図である。図６は、図５に示されたブレードストッカが複数の切削ブレードを保持した状態を示す斜視図である。

ブレードストッカ７０は、対応する切削ユニット２０に装着される前の交換用の切削ブレード２１を保持するとともに、対応する切削ユニット２０から取り外された交換後の切削ブレード２１を保持するものである。なお、本明細書は、一対のブレードストッカ７０のうちこれらの構成が等しいので、図４中奥側のブレードストッカ７０を代表して説明し、一対のブレードストッカ７０の同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

ブレードストッカ７０は、図４及び図５に示すように、装置本体２に配設された支柱７１と、支柱７１の上端に回転軸７２を介して取り付けられた支持部材７３とを備える。支持部材７３は、対応するブレード着脱ユニット８０とＹ軸方向に対向して配置され、対応するブレード着脱ユニット８０に対向する表面側に複数（実施形態１では、４つ）のブレード保持部７４が同心円状に配設されており、対応する切削ユニット２０に着脱される切削ブレード２１を複数個（実施形態１では、４つ）保持可能である。

ブレード保持部７４は、切削ブレード２１を保持するものである。ブレード保持部７４は、切削ブレード２１の挿入口２１１内に通される円筒状のブレード嵌合部７４１と、このブレード嵌合部７４１の外周面に設けられかつ挿入口２１１内にブレード嵌合部７４１が通された切削ブレード２１を位置決めする位置決め部７４２とを備える。位置決め部７４２は、ブレード嵌合部７４１の外周面から突没自在に設けられたボールと、ボールを径方向外側に押圧するスプリングとを含み、ボールに作用する径方向内側の力が所定の値になるまでボールが円形基台２１２の内縁に嵌合して位置決め機能が働く。

このように構成されたブレードストッカ７０は、図６に示すように、切削ブレード２１を保持する。具体的には、ブレード保持部７４は、ブレード嵌合部７４１が円形基台２１２の挿入口２１１内に通される際に、位置決め部７４２のボールが一旦ブレード嵌合部７４１内に没し、ボールを切削ブレード２１が乗り越えた後に復帰した位置決め部７４２のボールが円形基台２１２の内縁に嵌合して、図６に示すように、切削ブレード２１を保持する。また、実施形態１では、ブレード嵌合部７４１の中心である軸心７４３は、Ｙ軸方向と平行である。

支持部材７３を支柱７１の上端に取り付けている回転軸７２は、一端が支柱７１の上端に配設され、他端が支持部材７３の裏面中央に連結されている。そして、回転軸７２の一端側は、支柱７１の内部に配設されたモータ７５の駆動軸に連結されており、支持部材７３は、回転軸７２を軸中心とした間欠的な回転が可能に構成されている。そして、支持部材７３は、回転軸７２の間欠的な回転によって各ブレード保持部７１５をその移動経路上の予め設定された所定の受け渡し位置７４４に選択的に位置付ける。

（ブレード着脱ユニット）
図７は、図４に示されたブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。図８は、図７に示されたブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。図９は、図７に示されたブレード着脱ユニットのナットホルダの構成例を示す斜視図である。

ブレード着脱ユニット８０は、図７に示すように、ユニット本体８１と、保持部であるブレードチャック８２と、ナット保持部であるナットホルダ８３と、ユニット本体８１を移動自在に支持する移動部である移動ユニット８４とを備える。実施形態１において、ブレード着脱ユニット８０は、ブレードチャック８２を二つ備え、ナットホルダ８３を一つ備える。

ブレードチャック８２とナットホルダ８３とは、ユニット本体８１に取り付けられ、かつ中心である軸心８２１，８３１が互いに間隔をあけて平行に配置されている。実施形態１では、ブレードチャック８２の軸心８２１とナットホルダ８３の軸心８３１とは、Ｙ軸方向と平行に配置されている。

ブレードチャック８２は、切削ブレード２１を保持するものである。ブレードチャック８２は、図８に示すように、ユニット本体８１に固定されかつ外観が円筒状に形成された筐体８２２と、筐体８２２の先端にアーム８２３を介して取り付けられた円盤状の支持基台８２４と、支持基台８２４に取り付けられた爪８２５と、を備える。

爪８２５は、支持基台８２４の対応するブレードストッカ７０のブレード保持部７４と対向する端面の外縁に周方向に間隔をあけて複数配置されている。実施形態１では、爪８２５は、支持基台８２４の端面の外縁に周方向に等間隔に三つ設けられている。複数の爪８２５は、支持基台８２４内等に設けられた図示しない駆動機構により、端面の径方向に移動自在に設けられ、互いに近付くことで切削ブレード２１の円形基台２１２の外周面を把持し、互いに離れることで切削ブレード２１の把持を解除する。

ナットホルダ８３は、締結ナット２７をボス部２４２に着脱するものである。ナットホルダ８３は、図９に示すように、ユニット本体８１に固定され且つ外観が円筒状に形成された筐体８３２、筐体８３２に収容されＹ軸方向と平行な軸心８３１回りに回転するスピンドル８３３と、スピンドル８３３の一端に固定された円盤状の支持基台８３４と、支持基台８３４に取り付けられた爪８３５と、支持基台８３４の切削ユニット２０の締結ナット２７に対面する端面に設けられた複数の嵌合ピン８３６とを備える。

スピンドル８３３の一端は、筐体８３２から対応するブレードストッカ７０に向かって突出している。スピンドル８３３の他端は、スピンドル８３３を軸心回りに回転させるための図示しないモータが連結されている。

爪８３５は、支持基台８３４の対応するブレードストッカ７０のブレード保持部７４と対向する端面に周方向に間隔をあけて複数配置されている。実施形態１では、爪８３５は、支持基台８３４の端面に周方向に等間隔に四つ設けられている。複数の爪８３５は、支持基台８３４内等に設けられた図示しない駆動機構により、端面の径方向に移動自在に設けられ、互いに近付くことで締結ナット２７の外周面を把持し、互いに離れることで締結ナット２７の把持を解除する。

嵌合ピン８３６は、端面から突没自在に支持基台８３４に支持され、実施形態１では、端面に周方向に等間隔に４つ設けられている。嵌合ピン８３６は、端面から突出すると締結ナット２７のピン嵌合穴２７１に嵌合可能である。

移動ユニット８４は、ユニット本体８１即ちブレードチャック８２及びナットホルダ８３を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させるものである。また、移動ユニット８４は、一対のブレードチャック８２をそれぞれ対応するブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４にあるブレード保持部７４に切削ブレード２１を着脱可能とする位置と、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に切削ブレード２１を着脱可能とする位置とに亘って移動させる。また、移動ユニット８４は、ナットホルダ８３を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に締結ナット２７を着脱可能とする位置まで移動させる。なお、移動ユニット８４は、少なくとも一つのボールねじ、モータ及びガイドレールにより構成される。

また、ブレード交換ユニット７は、少なくとも各ブレードチャック８２及びナットホルダ８３の軸心のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を検出するとともに、各ブレードチャック８２の爪８２５の切削ブレード２１の円形基台２１２の端面に接触する平坦面８２７及びナットホルダ８３の爪８３５のＹ軸方向の位置を検出する図示しない交換ユニット側位置検出ユニットを備える。

前述した構成の加工装置１は、振動検知センサ２８が着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４にブレードチャック８２の爪８２５が接触した際に生じる振動を検知し、振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００（図３に示す）を超えることで、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置及びＺ軸方向の位置、マウント２４のボス部２４２の先端である先端面２４７のＹ軸方向の位置を検出可能とする。なお、閾値４００は、マウント２４にブレードチャック８２の爪８２５が接触した際に生じる振動を振動検知センサ２８が検知した際の出力信号よりも低い値である。

制御ユニット１００は、加工装置１を構成する上述した各機構をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を加工装置１に実施させるものである。また、制御ユニット１００は、振動検知センサ２８の検知結果に基づいて爪８２５，８３５とボス部２４２との接触を検出する。

なお、制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、加工装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して加工装置１の上述した各ユニットに出力する。

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット１０１（図１に示す）と、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットとに接続されている。入力ユニットは、表示ユニット１０１に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。

また、制御ユニット１００は、図１などに示すように、算出部１０２と、着脱制御部１０３とを備える。算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、マウント２４とブレードチャック８２とをＸ軸方向及びＺ軸方向に相対的に動かして、ブレードチャック８２の爪８２５をマウント２４の３箇所以上で接触させて、接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時の各位置検出ユニットが検出したＸ座標であるＸ軸方向の位置とＺ座標であるＺ軸方向の位置からマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出するものである。

また、算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、ブレードチャック８２の爪８２５をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させて、振動検知センサ２８が接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時の各位置検出ユニットが検出したＹ座標であるＹ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出するものである。

なお、実施形態１では、算出部１０２は、各ブレードチャック８２の爪８２５をマウント２４の各位置に接触させた際に、２つの振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時の各位置検出ユニットが検知したＸ軸方向の位置、Ｚ軸方向の位置及びＹ軸方向の位置を算出した後、マウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置及びマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

着脱制御部１０３は、算出部１０２が算出したマウント２４の軸心２４６にブレードチャック８２の軸心８２１を同軸となる位置に合わせて、切削ユニット２０のボス部２４２に対する切削ブレード２１の着脱を行うものである。また、着脱制御部１０３は、算出部１０２が算出したボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置に合わせて、切削ユニット２０のボス部２４２に対する切削ブレード２１の着脱を行うものである。

算出部１０２及び着脱制御部１０３の機能は、制御ユニット１００の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理装置が演算処理を実施することにより実現される。また、制御ユニット１００の記憶装置は、各ブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４にあるブレード保持部７４の軸心７４５のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を記憶しているとともに、各ブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４のブレード嵌合部７４１のＹ軸方向の位置を記憶している。また、制御ユニット１００の記憶装置は、着脱位置に位置付けられた各切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を記憶しているとともに、着脱位置に位置付けられた各切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を記憶している。

（切削装置の加工動作）
本明細書は、前述した構成の加工装置１の加工動作を説明する。加工動作では、オペレータが、加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、切削加工前の被加工物２００をカセット６１に収容して、カセット６１をカセットエレベータ６０の上面に設置する。また、加工動作では、オペレータが、ブレード交換ユニット７の各ブレードストッカ７０のブレード保持部７４に切削ブレード２１を取り付ける。

その後、加工装置１は、オペレータから加工動作の開始指示があった場合に加工動作を開始する。加工装置１は、加工動作を開始すると、制御ユニット１００が、搬送ユニットにカセット６１内から被加工物２００を搬入出領域６４の保持テーブル１０まで搬送させ、粘着テープ２０６を介して裏面２０４側を保持テーブル１０の保持面１１に吸引保持させるとともに、クランプ部１２に環状フレーム２０５をクランプさせる。

加工装置１の制御ユニット１００は、Ｘ軸移動ユニットに保持テーブル１０を加工領域６３に向かって移動させて、撮像ユニット３０に被加工物２００を撮影させて、撮像ユニット３０が撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。加工装置１の制御ユニット１００は、分割予定ライン２０２に沿って被加工物２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に切り込ませて被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割する。加工装置１の制御ユニット１００は、個々のデバイス２０３に分割された被加工物２００を洗浄ユニット６２に洗浄させた後、搬送ユニットにカセット６１に収容させる。加工装置１の制御ユニット１００は、切削ユニット２０等にカセット６１内に収容した被加工物２００を順に切削加工させて、カセット６１内の全ての被加工物２００の切削加工が完了すると加工動作を終了する。

（切削ブレードの着脱動作）
次に、本明細書は、前述した構成の加工装置１のブレード交換ユニット７の切削ブレード２１の着脱動作を説明する。実施形態１では、制御ユニット１００が、加工装置１の加工動作中に、少なくとも一方の切削ユニット２０の切削ブレード２１がブレード交換タイミングであると判定すると切削ブレード２１の着脱動作を実施する。ブレード交換タイミングは、各切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換するタイミングであることをいう。ブレード交換タイミングは、例えば、予め設定された数の被加工物２００を切削する毎や、測定された切削ブレード２１の外径が事前に設定した数値を下回ったとき等であり、加工内容情報の一部として制御ユニット１００に登録される。また、本発明のブレード交換タイミングは、まさに１枚の被加工物２００を加工している途中でも良く、複数の被加工物２００を連続して加工する際に、被加工物２００を交換するタイミングでも良い。

加工装置１のブレード交換ユニット７の切削ブレード２１の着脱動作は、切削ユニット２０の切削ブレード２１を取り外し、ブレードストッカ７０に保持された切削ブレード２１を切削ユニット２０に取り付ける動作である。即ち、切削ブレード２１の着脱動作は、ブレードストッカ７０に保持された切削ブレード２１と、切削ユニット２０に装着された切削ブレード２１とを交換する動作である。

切削ブレード２１の着脱動作では、制御ユニット１００の着脱制御部１０３は、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３の回転を停止し、移動ユニット８４を制御してブレード交換タイミングの切削ユニット２０を着脱位置に位置付ける。また、切削ブレード２１の着脱動作では、着脱制御部１０３は、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に対応するブレードストッカ７０のモータ７５を制御して、ブレード交換タイミングの切削ユニット２０に装着すべき切削ブレード２１を受け渡し位置７４４に位置付ける。

着脱制御部１０３は、切削ブレード２１の着脱動作では、記憶装置に記憶した着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の先端面２４７のＹ軸方向の位置、及び各位置検出ユニットの検出結果に基づいてブレード着脱ユニット８０の移動ユニット８４の動作を制御する。

切削ブレード２１の着脱動作では、着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２の爪８２５でブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に保持された切削ブレード２１を把持可能となる位置に一方のブレードチャック８２を位置付ける。着脱制御部１０３は、一方のブレードチャック８２を制御して、爪８２５でブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に保持された切削ブレード２１を把持する。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０を着脱位置の切削ユニット２０に向かって移動させて、ナットホルダ８３の爪８３５で着脱位置の切削ユニット２０の締結ナット２７を把持可能となる位置にナットホルダ８３を位置付ける。着脱制御部１０３は、ナットホルダ８３を制御して、爪８３５で締結ナット２７を把持して、ナットホルダ８３のスピンドル８３３を締結ナット２７が雄ネジ２４５から外れる方向に軸心８３１回りに回転させる。すると、嵌合ピン８３６がピン嵌合穴２７１に嵌合して、ナットホルダ８３の支持基台８３４とともに締結ナット２７が回転する。着脱制御部１０３は、ナットホルダ８３を制御して、スピンドル８３３を締結ナット２７が雄ネジ２４５から外れるまで回転させた後、スピンドル８３３の回転を停止する。着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、他方のブレードチャック８２を着脱位置の切削ユニット２０に向かって移動させて、他方のブレードチャック８２の爪８２５で締結ナット２７が取り外された切削ユニット２０に装着された切削ブレード２１を把持可能となる位置に他方のブレードチャック８２を位置付ける。

着脱制御部１０３は、他方のブレードチャック８２を制御して、爪８２５で締結ナット２７が取り外された切削ユニット２０の切削ブレード２１を把持する。着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、他方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１を締結ナット２７が取り外された切削ユニット２０のマウント２４からＹ軸方向に沿って遠ざけて、他方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の挿入口２１１内から締結ナット２７が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２を抜き取る。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２を締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０に向かって移動させて、締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４と、把持した切削ブレード２１がＹ軸方向に間隔をあけて並ぶ位置に一方のブレードチャック８２を位置付ける。このとき、着脱制御部１０３は、一方のブレードチャック８２を軸心８２１が締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６と同軸となる位置即ち同一直線上に位置付ける。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２を締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０にＹ軸方向に沿って近付けて、一方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の挿入口２１１内に締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２を挿入する。着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の円形基台２１２がマウント２４の受けフランジ部２４３の外縁部２４４に接触する位置に、一方のブレードチャック８２を位置付け、一方のブレードチャック８２の爪８２５の切削ブレード２１の把持を解除する。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、一方のブレードチャック８２を切削ブレード２１が装着された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２から遠ざけて、締結ナット２７を切削ブレード２１が装着された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の雄ネジ２４５に螺合させることが可能となる位置にナットホルダ８３を位置付ける。着脱制御部１０３は、ナットホルダ８３を制御して、爪８３５で締結ナット２７を把持したままナットホルダ８３のスピンドル８３３を締結ナット２７が雄ネジ２４５に取り付けられる方向に軸心８３１回りに回転させる。着脱制御部１０３は、ナットホルダ８３のスピンドル８３３を締結ナット２７が雄ネジ２４５に取り付けられるまで回転させた後、スピンドル８３３の回転を停止して、ナットホルダ８３の爪８３５の締結ナット２７の把持を解除する。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０をブレードストッカ７０に向かって移動させて、受け渡し位置７４４のブレード保持部７４と、把持した切削ブレード２１がＹ軸方向に間隔をあけて並ぶ位置に他方のブレードチャック８２を位置付ける。このとき、着脱制御部１０３は、他方のブレードチャック８２を軸心８２１が受け渡し位置７４４のブレード保持部７４のブレード嵌合部７４１の軸心７４５と同軸となる位置即ち同一直線上に位置付ける。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、他方のブレードチャック８２を受け渡し位置７４４のブレード保持部７４にＹ軸方向に沿って近付けて、他方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の挿入口２１１内にブレード嵌合部７４１を挿入する。着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、他方のブレードチャック８２が把持した切削ブレード２１の円形基台２１２が受け渡し位置７４４のブレード保持部７４に接触する位置に、他方のブレードチャック８２を位置付け、他方のブレードチャック８２の爪８２５の切削ブレード２１の把持を解除する。

着脱制御部１０３は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０を待機位置まで移動させた後、切削ブレード２１の着脱動作を終了する。このように、制御ユニット１００の着脱制御部１０３は、マウント２４のボス部２４２の軸心２４６とブレードチャック８２の軸心８２１とを合わせて、切削ブレード２１のマウント２４に対する着脱を行う。

（マウントの位置算出動作）
次に、本明細書は、前述した構成の加工装置１のブレード交換ユニット７のマウント２４のボス部２４２の位置算出動作を説明する。図１０は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを接触させた状態を示す斜視図である。図１１は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを接触させた状態を示す他の斜視図である。図１２は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第１の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図１３は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第２の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図１４は、図１に示された加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の外周面とを第３の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。

実施形態１では、制御ユニット１００が、少なくとも一方の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の位置算出タイミングであると判定するとマウント２４の位置算出動作を実施する。位置算出タイミングは、各切削ユニット２０の着脱位置におけるマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置、Ｚ軸方向の位置及びボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出するタイミングであることをいう。位置算出タイミングは、例えば、予め設定された数の被加工物２００を切削する毎であり、各切削ブレード２１の交換直前であることが望ましく、加工内容情報の一部として制御ユニット１００に登録される。また、本発明では、マウントの位置算出動作は、オペレータが入力ユニットを制御するなどして、任意のタイミングで実施されても良い。

まず、マウントの位置算出動作では、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６の位置算出動作を実施する。制御ユニット１００の算出部１０２は、マウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、位置算出タイミングの切削ユニット２０のスピンドル２３の回転を停止し、移動ユニット８４を制御して位置算出タイミングの切削ユニット２０を着脱位置に位置付ける。制御ユニット１００の算出部１０２は、マウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、まず、切削ブレード２１の着脱動作と同様に、位置算出タイミングの切削ユニット２０から締結ナット２７及び切削ブレード２１を取り外して、図１０及び図１１に示すように、ブレードチャック８２の爪８２５を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に接触させて、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心のＸ軸方向の位置及びＺ軸方向の位置を算出する。

なお、算出部１０２は、マウント２４の位置算出動作では、記憶装置に記憶した着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の先端面２４７のＹ軸方向の位置、及び各位置検出ユニットの検出結果に基づいてブレード着脱ユニット８０の移動ユニット８４の動作を制御する。

着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心のＸ軸方向の位置及びＺ軸方向の位置を算出する際には、算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０のユニット本体８１を移動させて、切削ブレード２１を把持していないいずれか一方のブレードチャック８２の爪８２５を互いに離した状態で、爪８２５が締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の外周面とブレードチャック８２とを微調整で接触できるように近くに位置付ける。算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、いずれか一方のブレードチャック８２を軸心８２１に対して直交する第１の方向１１１（図１２に示す）に移動させる。実施形態１では、第１の方向１１１は、Ｚ軸方向に沿って上方に向かう方向であるが、本発明では、この方向に限定されない。

すると、図１２に示すように、爪８２５が、ボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触して、算出部１０２は、図３中の時間４０１において振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えたことを認識して、爪８２５がボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触したことを認識し、移動ユニット８４のブレード着脱ユニット８０の移動を停止する。算出部１０２は、振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時間４０１における各位置検出ユニットの検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触した時の軸心８２１（以下、符号８２１－１で示す）のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。なお、図１２、図１３、図１４は、ボス部２４２の外周面を実線の円で模式的に示し、複数の爪８２５の内接円を二点鎖線の円で模式的に示している。また、図３中の横軸は、マウント２４の軸心２４６の位置算出動作を開始後の経過時間を示し、図３中の縦軸は、振動検知センサ２８が出力した出力信号を示す。

算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、いずれか一方のブレードチャック８２を軸心８２１に対して直交しかつ第１の方向１１１と異なる第２の方向１１２（図１３に示す）に移動させる。実施形態１では、第２の方向１１２は、Ｚ軸方向に沿って下方に向かう方向であるが、本発明では、この方向に限定されない。

すると、図１３に示すように、爪８２５が、ボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１と異なる位置の第２の接触点１２２で接触して、算出部１０２は、図３中の時間４０２において振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えたことを認識して、爪８２５がボス部２４２の外周面と第２の接触点１２２で接触したことを認識し、移動ユニット８４のブレード着脱ユニット８０の移動を停止する。算出部１０２は、振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時間４０２における各位置検出ユニットの検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第２の接触点１２２で接触した時の軸心８２１（以下、符号８２１－２で示す）のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。

算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、いずれか一方のブレードチャック８２を軸心８２１に対して直交しかつ第１の方向１１１及び第２の方向１１２の双方と異なる第３の方向１１３（図１４に示す）に移動させる。実施形態１では、第３の方向１１３は、Ｘ軸方向と平行な方向であるが、本発明では、この方向に限定されない。

すると、図１４に示すように、爪８２５が、ボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触して、算出部１０２は、図３中の時間４０３において振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えたことを認識して、爪８２５がボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触したことを認識し、移動ユニット８４のブレード着脱ユニット８０の移動を停止する。なお、第３の接触点１２３は、第１の接触点１２１及び第２の接触点１２２の双方と異なる位置である。算出部１０２は、振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時間４０３における各位置検出ユニットの検出結果に基づいて、爪８２５がボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触した時の軸心８２１（以下、符号８２１－３で示す）のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。

算出部１０２は、軸心８２１－１，８２１－２，８２１－３の各Ｘ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とに基づいて、これら軸心８２１－１，８２１－２，８２１－３を通る円の中心のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を、切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置として算出して、記憶装置に新たな切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置として記憶する。

こうして、算出部１０２は、マウント２４の軸心の位置算出動作では、図１２、図１３、図１４に示すように、爪８２５でマウント２４のボス部２４２の外周面の３点１２１，１２２，１２３に接触させて、爪８２５とマウント２４のボス部２４２との接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時のＸ座標及びＺ座標である軸心８２１－１，８２１－２，８２１－３のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出する。なお、実施形態１において、算出部１０２は、マウント２４の軸心の位置算出動作では、爪８２５でマウント２４のボス部２４２の外周面の３点１２１，１２２，１２３に接触させたが、本発明では、爪８２５でマウント２４のボス部２４２の外周面の少なくとも３点１２１，１２２，１２３に接触させればよい。

実施形態１において、次に、マウントの位置算出動作では、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作を実施する。図１５は、図１に示された加工装置のマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とボス部の先端面とを接触させた状態を示す斜視図である。図１６は、図１に示された加工装置のマウントの位置算出動作により算出されたマウントの軸心の位置に基づいて着脱動作を行う際のブレードチャックの爪とボス部との位置関係を模式的に示す図である。

制御ユニット１００の算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０のユニット本体８１を移動させて、爪８２５の平坦面８２７が締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７とＹ軸方向に並ぶ位置に前述したいずれか一方のブレードチャック８２を位置付ける。算出部１０２は、前述したいずれか一方のブレードチャック８２の爪８２５を互いに離した状態で、移動ユニット８４を制御して、いずれか一方のブレードチャック８２をＹ軸方向に沿って、締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７に近付ける。

すると、図１５に示すように、爪８２５の平坦面８２７が、ボス部２４２の先端面２４７と接触して、算出部１０２は、振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えたことを認識して、爪８２５の平坦面８２７がボス部２４２の先端面２４７と接触したことを認識し、移動ユニット８４のブレード着脱ユニット８０の移動を停止する。算出部１０２は、振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時間における各位置検出ユニットの検出結果に基づいて、爪８２５の平坦面８２７がボス部２４２の先端面２４７と接触した時の平坦面８２７のＹ軸方向の位置を算出して、記憶装置に新たな切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置として記憶する。

こうして、算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、爪８２５をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の１点に接触させて、爪８２５とマウント２４のボス部２４２の先端面２４７との接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時のＹ座標である平坦面８２７のＹ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。なお、実施形態１において、算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、爪８２５をマウント２４のボス部２４２の先端面の１点に接触させたが、本発明では、爪８２５をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させればよい。そして、制御ユニット１００の着脱制御部１０３は、ブレード着脱ユニット８０を制御して、算出した軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置に基づいて、図１６に示すように、マウント２４の軸心２４６にブレードチャック８２の軸心８２１を合わせて、切削ブレード２１の着脱を行う。なお、図１６は、ボス部２４２の外周面を実線の円で模式的に示し、複数の爪８２５の内接円を二点鎖線の円で模式的に示している。

以上説明した実施形態１に係る加工装置１は、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果からブレードチャック８２の爪８２５とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態１に係るブレード交換ユニット７は、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

また、実施形態１に係る加工装置１は、ブレードチャック８２の爪８２５を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の外周面の少なくとも３点１２１，１２２，１２３に接触させるので、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を容易に求めることができる。

また、実施形態１に係る加工装置１は、ブレードチャック８２の爪８２５を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させるので、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を容易に求めることができる。

また、実施形態１に係る加工装置１は、スピンドル２３のマウント２４が有する振動検知センサ２８の出力信号等からブレードチャック８２の爪８２５とマウント２４とが接触したことを認識するので、従来のように接触による導通で検知しないため爪８２５を導電性の素材で形成することなく、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

〔変形例１〕
本発明の実施形態１の変形例１に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１７は、実施形態１の変形例１に係る加工装置のマウントの位置算出動作のマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とマウントの受けフランジ部とを接触させた状態を示す側面図である。なお、図１７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１の変形例１に係る加工装置１は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作が、実施形態１と異なること以外、実施形態１と同じである。実施形態１の変形例１に係る加工装置１は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、図１７に示すように、ブレードチャック８２の爪８２５の平坦面８２７を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の受けフランジ部２４３の外縁部２４４に接触させて、受けフランジ部２４３の外縁部２４４のＹ軸方向の位置を算出して、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

実施形態１の変形例１に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果からブレードチャック８２の爪８２５とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態１の変形例１に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

〔変形例２〕
本発明の実施形態１の変形例２に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１８は、実施形態１の変形例２に係る加工装置のブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。なお、図１８は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１の変形例２に係る加工装置１は、図１８に示すように、ブレード交換ユニット７のブレード着脱ユニット８０のブレードチャック８２が振動検知センサ２８を有すること以外、実施形態１と同じである。変形例２では、振動検知センサ２８は、支持基台８２４の中心に埋設されている。

実施形態１の変形例２に係る加工装置１は、ブレード着脱ユニット８０のブレードチャック８２が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果からブレードチャック８２の爪８２５とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態１の変形例２に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

また、本発明は、ナットホルダ８３の爪８３５をマウント２４に実施形態１、変形例１及び変形例２と同様に接触させて、マウント２４の前述した位置を算出しても良い。なお、この場合、ナットホルダ８３が振動検知センサ２８を有するのが望ましい。

〔変形例３〕
本発明の実施形態１の変形例３に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図１９は、実施形態１の変形例３に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、ブレードチャックの爪とマウントの受けフランジ部の外縁とを接触させた状態を模式的に示す図である。なお、図１９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１の変形例３に係る加工装置１は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、移動ユニット８４を制御して、図１９に示すように、マウント２４とブレードチャック８２とをＸ軸方向及びＺ軸方向に相対的に動かして、マウント２４の受けフランジ部２４３の外縁とブレードチャック８２の爪８２５とを３箇所以上で接触させ、接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時の各位置検出ユニットが検出したＸ座標であるＸ軸方向の位置とＺ座標であるＺ軸方向の位置からマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出すること以外、実施形態１と同じである。

実施形態１の変形例３に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、マウント２４の受けフランジ部２４３にブレードチャック８２の爪８２５を接触させて、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果から受けフランジ部２４３とブレードチャック８２の爪８２５とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態１の変形例３に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４のＸ軸方向及びＺ軸方向の中心位置を検出することができる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図２０は、実施形態２に係る加工装置のマウントの位置算出動作において、ブレードチャックの爪で治具を保持した状態を示す斜視図である。図２１は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口内にボス部を挿入した状態を示す斜視図である。図２２は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口内にボス部を挿入した状態を示す他の斜視図である。図２３は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第１の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図２４は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第２の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図２５は、実施形態２に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具の開口とボス部の外周面とを第３の接触点で接触させた状態を模式的に示す図である。図２６は、実施形態２に係る加工装置のマウントの先端面の位置算出動作において、治具とボス部の先端面とを接触させた状態を示す斜視図である。なお、図２０から図２６は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る加工装置１は、マウント２４の位置算出動作において、図２０に示すように、ブレードチャック８２の爪８２５が治具３００を保持して、治具３００をボス部２４２の外周面及び先端面２４７に接触させること以外、実施形態１と同じである。

実施形態２に係る加工装置１は、マウント２４の位置算出動作において、図２０に示すように、切削ユニット２０から取り外された切削ブレード２１を把持していない方のブレードチャック８２に治具３００を保持させる。なお、治具３００は、ボス部２４２よりも大きな開口３０１を中央に有する円環状に形成されている。実施形態２では、開口３０１の内径は、ボス部２４２の外径よりも大きい。

実施形態２において、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、移動ユニット８４を制御して、マウント２４とブレードチャック８２に保持された治具３００とをＸ軸方向及びＺ軸方向に相対的に動かして３箇所以上で接触させ、接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時の各位置検出ユニットが検出したＸ座標であるＸ軸方向の位置とＺ座標であるＺ軸方向の位置からマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出する。

また、算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、ブレードチャック８２の爪８２５に保持された治具３００をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させて、振動検知センサ２８が接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時の各位置検出ユニットが検出したＹ座標であるＹ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

実施形態２において、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０のユニット本体８１を移動させて、治具３００を保持したブレードチャック８２を、締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２とＹ軸方向に並ぶ位置に位置付ける。このとき、算出部１０２は、記憶装置に記憶した着脱位置の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置に基づいて、切削ユニット２０とブレードチャック８２とを同軸となる位置に位置付ける。算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、治具３００を把持したブレードチャック８２をＹ軸方向に沿って切削ユニット２０に近付けて、図２１に示すように、治具３００の開口３０１内にボス部２４２を挿入して、マウント２４と治具３００とが間隔をあけて非接触の位置でブレードチャック８２を停止させる。

算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、図２２に示すように、実施形態１と同様に、治具３００を把持したブレードチャック８２を軸心８２１に対して直交する第１の方向１１１、第２の方向１１２及び第３の方向１１３に順に移動させる。

算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、ブレードチャック８２を第１の方向１１１に移動させると、図２３に示すように、治具３００の開口３０１が、ボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触して、実施形態１と同様に、治具３００の開口３０１がボス部２４２の外周面と第１の接触点１２１で接触した時の軸心８２１－１のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。なお、図２３、図２４、図２５は、ボス部２４２の外周面を実線の円で模式的に示し、治具３００の外形を二点鎖線の円で模式的に示している。

算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、治具３００を把持したブレードチャック８２を第２の方向１１２に移動させると、図２４に示すように、治具３００の開口３０１が、ボス部２４２の外周面と第２の接触点１２２で接触して、実施形態１と同様に、治具３００の開口３０１がボス部２４２の外周面と第２の接触点１２２で接触した時の軸心８２１－２のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。

算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、治具３００を把持したブレードチャック８２を第３の方向１１３に移動させると、図２５に示すように、治具３００の開口３０１が、ボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触して、実施形態１と同様に、治具３００の開口３０１がボス部２４２の外周面と第３の接触点１２３で接触した時の軸心８２１－３のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置とを算出して記憶装置に一旦記憶する。

算出部１０２は、実施形態１と同様に、軸心８２１－１，８２１－２，８２１－３の中心のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を、切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置として算出して、記憶装置に新たな切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置として記憶する。こうして、算出部１０２は、図２３、図２４、図２５に示すようにマウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、治具３００でマウント２４のボス部２４２の外周面の３点１２１，１２２，１２３に接触させて、治具３００とマウント２４のボス部２４２との接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時のＸ座標及びＺ座標である軸心８２１－１，８２１－２，８２１－３のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出する。なお、実施形態２において、算出部１０２は、マウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、治具３００でマウント２４のボス部２４２の外周面の３点１２１，１２２，１２３に接触させたが、本発明では、治具３００でマウント２４のボス部２４２の外周面の少なくとも３点に接触させればよい。

実施形態２において、制御ユニット１００の算出部１０２は、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、移動ユニット８４を制御して、ブレード着脱ユニット８０のユニット本体８１を移動させて、治具３００が締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７とＹ軸方向に並ぶ位置に治具３００を把持したブレードチャック８２を位置付ける。

算出部１０２は、移動ユニット８４を制御して、治具３００を把持したブレードチャック８２をＹ軸方向に沿って、締結ナット２７及び切削ブレード２１が取り外された切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７に近付ける。

すると、図２６に示すように、治具３００が、ボス部２４２の先端面２４７と接触して、算出部１０２は、実施形態１と同様に、新たな切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出して、記憶装置に記憶する。こうして、算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、治具３００をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の１点に接触させて、治具３００とマウント２４のボス部２４２との接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時のＹ座標であるＹ軸方向の位置からマウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

なお、実施形態２において、算出部１０２は、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、治具３００をマウント２４のボス部２４２の先端面の１点に接触させたが、本発明では、治具３００をマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の少なくとも１点に接触させればよい。そして、制御ユニット１００の着脱制御部１０３は、ブレード着脱ユニット８０を制御して、算出した軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置に基づいて、マウント２４の軸心２４６にブレードチャック８２の軸心８２１を合わせて、切削ブレード２１の着脱を行う。

実施形態２に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果からブレードチャック８２の爪８２５で保持した治具３００とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態２に係る加工装置１は、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

〔変形例１〕
本発明の実施形態２の変形例１に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図２７は、実施形態２の変形例１に係る加工装置のマウントの先端面の位置算出動作において、ブレードチャックで把持した治具とマウントの受けフランジ部とを接触させた状態を示す側面図である。なお、図２７は、実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２の変形例１に係る加工装置１は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作が、実施形態２と異なること以外、実施形態２と同じである。実施形態２の変形例１に係る加工装置１は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置算出動作では、制御ユニット１００が、図２７に示すように、ブレードチャック８２の爪８２５に保持された治具３００を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の受けフランジ部２４３の外縁部２４４の少なくとも一点に接触させて、受けフランジ部２４３の外縁部２４４のＹ軸方向の位置を算出して、ボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を算出する。

実施形態２の変形例１に係る加工装置１は、実施形態２と同様に、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果からブレードチャック８２の爪８２５で保持した治具３００とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態２の変形例１に係るブレード交換ユニット７は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

〔変形例２〕
本発明の実施形態２の変形例２に係る加工装置１を図面に基づいて説明する。図２８は、実施形態２の変形例２に係る切削装置のマウントの側面図である。図２９は、実施形態２の変形例２に係る切削装置の切削ブレードの側面図である。図３０は、実施形態２の変形例２に係る切削装置のマウントのボス部を切削ブレードの挿入口内に挿入した状態を示す側面図である。なお、図２８、図２９及び図３０は、実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２の変形例２に係る加工装置１は、治具３００である切削ブレード２１をブレードチャック８２で把持して、マウント２４の位置検出動作を実施することと、図２８に示すように、マウント２４のボス部２４２の雄ネジ２４５の外径２４５－１がボス部２４２の一端部の外径２４２－１よりも小さく形成されていることが異なること以外、実施形態２と同じである。

なお、実施形態２の変形例２では、図２９に示す切削ブレード２１の挿入口２１１の内径は、マウント２４のボス部２４２の一端部の外径２４２－１と略等しく、ボス部２４２の雄ネジ２４５の外径２４５－１よりも大きい。実施形態２の変形例２では、マウント２４の位置検出動作のマウント２４のボス部２４２の軸心２４６の位置検出動作において、図３０に示すように、切削ブレード２１の挿入口２１１内に、挿入口２１１の内周面に接触しないようにマウント２４のボス部２４２の雄ネジ２４５を挿入した後、実施形態２と同様に、切削ブレード２１を第１の方向１１１と第２の方向１１２と第３の方向１１３に順に移動させて、ボス部２４２の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出する。

また、実施形態２の変形例２では、マウント２４の位置検出動作のマウント２４のボス部２４２の先端面２４７の位置検出動作において、切削ブレード２１の円形基台２１２等をボス部２４２の先端面２４７又は受けフランジ部２４３の外縁部２４４に接触させて、ボス部２４２の先端面２４７のＸ、Ｚ、Ｙ軸方向の位置を算出する。

実施形態２の変形例２に係る加工装置１は、実施形態２と同様に、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果からブレードチャック８２の爪８２５で保持した切削ブレード２１とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態２の変形例２に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

また、実施形態２の変形例２に係る加工装置１は、爪８２５で把持した切削ブレード２１をマウント２４に接触させてマウント２４の位置を求めるので、専用の治具３００を用いることなく、マウント２４の位置を求めることができ、切削ブレード２１の着脱動作中でもマウント２４の位置を求めることができる。

また、実施形態２の変形例２に係る加工装置１は、爪８２５で把持した切削加工に用いられる切削ブレード２１をマウント２４に接触させてマウント２４の位置を求めるので、より精度が高くマウント２４の位置を求めることができる。

〔変形例３〕
本発明の実施形態２の変形例３に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図３１は、実施形態２の変形例３に係る加工装置のマウントの軸心の位置算出動作において、治具とマウントの受けフランジ部の外縁とを接触させた状態を模式的に示す図である。なお、図３１は、実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２の変形例３に係る加工装置１は、マウント２４の位置算出動作のマウント２４の軸心２４６の位置算出動作では、移動ユニット８４を制御して、図３１に示すように、マウント２４とブレードチャック８２とをＸ軸方向及びＺ軸方向に相対的に動かして、マウント２４の受けフランジ部２４３の外縁と治具３００とを３箇所以上で接触させ、接触による振動を検知した振動検知センサ２８が出力した出力信号が閾値４００を超えた時の各位置検出ユニットが検出したＸ座標であるＸ軸方向の位置とＺ座標であるＺ軸方向の位置からマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置とＺ軸方向の位置を算出すること以外、実施形態２と同じである。

実施形態２の変形例３に係る加工装置１は、実施形態２と同様に、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、マウント２４の受けフランジ部２４３に治具３００を接触させて、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果から受けフランジ部２４３と治具３００とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態２の変形例３に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４のＸ軸方向及びＺ軸方向の中心位置を検出することができる。

また、本発明は、実施形態２において、実施形態１と同様に、ブレードチャック８２が振動検知センサ２８を備えても良い。

〔変形例〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図３２は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る加工装置のブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットのブレードチャックの構成例を示す斜視図である。なお、図３２は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

変形例に係る加工装置１は、ブレードチャック８２の構成が異なること以外、実施形態１及び実施形態２と同じである。変形例に係る加工装置１のブレード交換ユニット７のブレード着脱ユニット８０のブレードチャック８２は、図３２に示すように、支持基台８２４のブレード保持部７４及び切削ユニット２０のマウント２４に対向する先端面８３０に吸引源に連結された吸引溝８２８を設け、切削ユニット２０に切削ブレード２１を着脱する際にボス部２４２が侵入する侵入用穴８２９を設けている。吸引溝８２８及び侵入用穴８２９は、先端面８３０から凹に形成されている。

変形例では、吸引溝８２８は、円環状に形成され、支持基台８２４の先端面８３０と同軸となる位置に二つ設けられている。吸引溝８２８は、吸引源から作用する負圧により先端面８３０に切削ブレード２１を吸引保持する。侵入用穴８２９は、先端面８３０の中心に設けられている。

変形例に係る加工装置１は、スピンドル２３のマウント２４又はブレードチャック８２が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果からブレードチャック８２、治具３００又は切削ブレード２１とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、変形例に係る加工装置１は、実施形態１及び実施形態２と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図３３は、実施形態３に係る加工装置のブレード交換ユニットのブレード着脱ユニットの構成例を示す斜視図である。図３４は、図３３に示されたブレード着脱ユニットのブレード保持ユニットを示す斜視図である。図３５は、図３４に示されたブレード保持ユニットの正面図である。なお、図３３、図３４及び図３５は、実施形態１及び実施形態２と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態３に係る加工装置１は、図３３に示すブレード着脱ユニット８０－３の構成が実施形態１及び実施形態２と異なること以外、実施形態１及び実施形態２と同じである。なお、実施形態３では、加工装置１は、図３３に示すブレード着脱ユニット８０を一つのみ備えている。

実施形態３に係る加工装置１のブレード着脱ユニット８０－３は、図３３に示すように、ユニット本体８１－３と、ユニット本体８１－３を移動自在に支持する移動部である移動ユニット８４－３と、ブレード保持ユニット８５と、ナット保持ユニット８６とを備える。ユニット本体８１－３は、長手方向が水平方向と平行な直方体状に形成され、長手方向の一端部にブレード保持ユニット８５を支持し、他端部にナット保持ユニット８６を支持している。

移動ユニット８４－３は、ユニット本体８１即ちブレード保持ユニット８５のブレードチャック８２及びナット保持ユニット８６のナットホルダ８３－３を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させるものである。また、移動ユニット８４－３は、ブレード保持ユニット８５のブレードチャック８２－３をブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４にあるブレード保持部７４に切削ブレード２１を着脱可能とする位置と、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に切削ブレード２１を着脱可能とする位置とに亘って移動させる。また、移動ユニット８４－３は、ナット保持ユニット８６のナットホルダ８３を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に締結ナット２７を着脱可能とする位置まで移動させる。

実施形態３では、移動ユニット８４－３は、装置本体２等に固定されたベース部４１と、昇降部材４２と、第１回転アーム４３と、第２回転アーム４４と、昇降機構４５と、第１回転機構４６と、第２回転機構４７と、第３回転機構４８とを備える。ベース部４１は、Ｚ軸方向と平行な直線状に形成され、実施形態１では、装置本体２の上面から上方に延びている。昇降部材４２は、ベース部４１にＺ軸方向に移動自在に設けられている。

第１回転アーム４３及び第２回転アーム４４は、直線状に延在している。第１回転アーム４３は、一端部がＺ軸方向と平行な第１回転軸４９１回りに昇降部材４２に回転自在に支持されている。第１回転アーム４３の他端部と第２回転アーム４４の一端部とは、Ｚ軸方向と平行な第２回転軸４９２回りに互いに回転自在に支持されている。第２回転アーム４４は、他端部がＺ軸方向と平行な第３回転軸４９３回りにユニット本体８１－３の中央部を回転自在に支持している。

昇降機構４５は、ベース部４１に対して昇降部材４２をＺ軸方向に移動させる。第１回転機構４６は、昇降部材４２に対して第１回転アーム４３の一端部を第１回転軸４９１回りに回転させる。第２回転機構４７は、第１回転アーム４３の他端部と第２回転アーム４４の一端部とを互いに第２回転軸４９２回りに回転させる。第３回転機構４８は、第２回転アーム４４の他端部に対してユニット本体８１－３を第３回転軸４９３回りに回転させる。

ブレード保持ユニット８５は、図３４及び図３５に示すユニット本体８１－３の長手方向の一端部に支持された回転軸５１と、支持部材５２と、回転軸５１の大部分及び支持部材５２を覆う円筒状のカバー部材５３（図３３に示す）と、切削ブレード２１を保持する保持部である複数のブレードチャック８２－３とを備える。回転軸５１は、軸心５１１が水平方向と平行な円柱状に形成され、モータにより軸心５１１回りに回転される。

支持部材５２は、回転軸５１を通す通し孔５２１が中央に設けられ、中央から外周方向に延びた複数の外周延在部５２２が設けられている。通し孔５２１の内径は、回転軸５１の外径よりも大きい。実施形態３では、外周延在部５２２は、四つ設けられているが、本発明では、少なくとも２つ設けられていれば良い。複数の外周延在部５２２は、支持部材５２の周方向に間隔をあけて配置され、実施形態１では、支持部材５２の周方向に等間隔に配置されている。

また、支持部材５２は、通し孔５２１に回転軸５１を通した状態で連結部５４により回転軸５１に連結される。連結部５４は、各外周延在部５２２に設けられた延在固定部５４１と、回転軸５１の外周面に設けられた軸固定部５４２と、各延在固定部５４１に対応して設けられた弾性体対５４３とを備えている。延在固定部５４１は、各外周延在部５２２の両表面それぞれの幅方向及び長手方向の中央から凸に設けられている。即ち、延在固定部５４１は、各外周延在部５２２に二つ設けられ、実施形態３では、合計８つ設けられている。

軸固定部５４２は、回転軸５１の外周面より凸に設けられ、延在固定部５４１と同数即ち複数設けられている。即ち、実施形態３では、軸固定部５４２は、合計８つ設けられている。複数の軸固定部５４２のうち半数の軸固定部５４２即ち４つの軸固定部５４２が回転軸５１の外周面に周方向に等間隔に配置されている。回転軸５１の外周面に周方向に等間隔に配置された半数即ち実施形態３では４つの軸固定部５４２同士は、回転軸５１の軸心５１１方向に間隔をあけて配置されている。回転軸５１の外周面に周方向に等間隔に配置された半数即ち実施形態１では４つの軸固定部５４２同士は、回転軸５１が通し孔５２１に通されると、軸心５１１方向に支持部材５２を挟む位置に配置される。

弾性体対５４３は、延在固定部５４１及び軸固定部５４２と同数、即ち、実施形態１では、８つ設けられている。各弾性体対５４３は、弾性体であるコイルばね５４４を一対備えて構成されている。なお、実施形態３では、弾性体としてコイルばね５４４を用いているが、本発明では、弾性体は、コイルばね５４４に限定されない。各弾性体対５４３の一対のコイルばね５４４は、一端が対応する延在固定部５４１に取り付けられ、他端が通し孔５２１に回転軸５１が通された状態で複数の軸固定部５４２のうち一端が取り付けられた延在固定部５４１に最も隣接しかつ周方向に互いに隣り合う２つの軸固定部５４２に取り付けられている。このため、各延在固定部５４１には、２つのコイルばね５４４の一端が取り付けられ、各軸固定部５４２には、２つのコイルばね５４４の他端が取り付けられている。

また、各コイルばね５４４は、取り付けられた延在固定部５４１と軸固定部５４２とを互いに近づく方向に付勢している。実施形態３では、複数のコイルばね５４４の付勢力は、互いに等しい。このように、外周延在部５２２が周方向に等間隔に設けられ、延在固定部５４１が外周延在部５２２の両表面に設けられ、半数の軸固定部５４２同士が軸心５１１方向に間隔をあけかつ各半数の軸固定部５４２が周方向に等間隔に設けられているとともに、各弾性体対５４３の一対のコイルばね５４４の一端が対応する延在固定部５４１に取り付けられ、他端が取り付けられた延在固定部５４１に最も隣接しかつ周方向に互いに隣り合う２つの軸固定部５４２に取り付けられていることにより、連結部５４は、コイルばね５４４の付勢力により、回転軸５１と通し孔５２１とが同軸となりかつ軸心５１１に対して外周延在部５２２の延在方向が直交するように、回転軸５１と支持部材５２とを付勢する。連結部５４は、回転軸５１と支持部材５２との相対的な位置を回転軸５１と通し孔５２１とが同軸となりかつ軸心５１１に対して外周延在部５２２の延在方向が直交する位置に維持する。

複数のブレードチャック８２－３は、各外周延在部５２２の先端に取り付けられている。実施形態３に係るブレード着脱ユニット８０－３では、ブレードチャック８２－３は、四つ設けられている。各ブレードチャック８２－３は、各外周延在部５２２の先端に取り付けられた支持基台８２４と、実施形態１及び実施形態２の変形例と同様に、支持基台８２４のブレード保持部７４及び切削ユニット２０のマウント２４に対向する先端面８３０に吸引源に連結された吸引溝８２８を設け、切削ユニット２０に切削ブレード２１を着脱する際にボス部２４２が侵入する侵入用穴８２９を設けている。ブレードチャック８２は、吸引溝８２８内に吸引源から作用する負圧により先端面８３０に切削ブレード２１又は治具３００を吸引保持する。実施形態３では、各ブレードチャック８２－３は、切削ブレード２１又は治具３００を吸引保持するが、本発明では、各ブレードチャック８２－２に対する切削ブレード２１又は治具３００の固定方法はこれに限定されない。

実施形態３では、回転軸５１を中心した周方向に互いに隣り合うブレードチャック８２－３の先端面８３０は、互いに直交し、回転軸５１を挟んで互いに対向するブレードチャック８２－３の先端面８３０は、互いに平行である。また、複数のブレードチャック８２－３は、連結部５４により支持部材５２と回転軸５１とが連結されているので、コイルばね５４４を有した連結部５４を介して先端面８３０が揺動自在に回転軸５１に連結されている。

ブレード保持ユニット８５は、連結部５４により支持部材５２と回転軸５１とが連結された状態で、各ブレードチャック８２－３の軸心８２１と回転軸５１の軸心５１１とを結ぶ線のうち互いに隣り合うもの同士のなす角度が同じ角度であり、実施形態では、９０度である。このために、連結部５４により支持部材５２と回転軸５１とが連結された状態で、複数のブレードチャック８２－３は、回転軸５１の軸心５１１回りに互いに９０度離れた位置に配設されている。

ナット保持ユニット８６は、ユニット本体８１－３の長手方向の他端部に支持され、ナットホルダ８３－３を２つ備える。変形例２では、ナット保持ユニット８６は、軸心８３１が同一線上に位置して水平方向と平行であるとともに、爪８３５が互いに逆向きとなる位置に２つのナットホルダ８３－３の支持基台８３４を設けている。

実施形態３に係る前述した構成のブレード交換ユニット７は、各切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する際には、移動ユニット８４－３が、ユニット本体８１－３に支持されたブレード保持ユニット８５のブレードチャック８２－３をブレードストッカ７０の受け渡し位置７４４にあるブレード保持部７４及び着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に対向させ、ユニット本体８１－３に支持されたナット保持ユニット８６のナットホルダ８３－３を着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４のボス部２４２に対向させる。

また、実施形態３に係る前述した構成のブレード交換ユニット７は、各切削ユニット２０のマウント２４の前述した各位置を算出する際には、ブレード保持ユニット８５の何れかのブレードチャック８２－３が切削ブレード２１又は治具３００を吸引保持し、移動ユニット８４－３が、ユニット本体８１－３に支持されたブレード保持ユニット８５の何れかのブレードチャック８２－３を実施形態２と同様に移動させる。

実施形態３に係る加工装置１は、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果から切削ブレード２１又は治具３００とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、実施形態３に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。

また、本発明は、実施形態３において、実施形態１と同様に、ブレードチャック８２が振動検知センサ２８を備えても良い。

〔変形例〕
本発明の実施形態１、実施形態２及び実施形態３の変形例に係る加工装置を図面に基づいて説明する。図３６は、実施形態１、実施形態２及び実施形態３の変形例に係る加工装置の振動検知センサの検知した加速度を示す図である。なお、図３６は、実施形態１、実施形態２及び実施形態３と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１、実施形態２及び実施形態３の変形例に係る加工装置１は、振動を検知する振動検知センサ２８が図３６に示す加速度を検出する加速度センサであること以外、実施形態１、実施形態２及び実施形態３と同じである。実施形態１、実施形態２及び実施形態３の変形例に係る加工装置１の振動検知センサ２８は、マウント２４又はブレードチャック８２－１，８２－３が有する。実施形態１、実施形態２及び実施形態３の変形例に係る加工装置１の振動検知センサ２８は、切削ユニット２０のスピンドル２３及びマウント２４を伝搬する振動の加速度を検知し、検知した加速度を示す信号を制御ユニット１００に出力する。また、図３６中の横軸は、マウント２４の軸心２４６の位置算出動作を開始後の経過時間を示し、図３６中の縦軸は、振動検知センサ２８が出力した信号が示す加速度を示す。

実施形態１、実施形態２及び実施形態３の変形例に係る加工装置１は、振動検知センサ２８が着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４にブレードチャック８２の爪８２５、治具３００又は切削ブレード２１が接触した際に生じる振動の加速度を検知し、振動検知センサ２８が出力した信号が示す加速度が閾値４００－１（図３６に示す）を超えることで、実施形態１等と同様に、着脱位置の切削ユニット２０のマウント２４の軸心２４６のＸ軸方向の位置及びＺ軸方向の位置、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を検出可能とする。なお、閾値４００－１は、マウント２４にブレードチャック８２の爪８２５、治具３００又は切削ブレード２１が接触した際に生じる振動の加速度を振動検知センサ２８が検知した際の信号が示す加速度よりも低い値である。

変形例に係る加工装置１は、スピンドル２３のマウント２４が振動検知センサ２８を有し、振動検知センサ２８の出力信号と各位置検出ユニットの検出結果からブレードチャック８２の爪８２５、治具３００又は切削ブレード２１とマウント２４とが接触した位置を把握する。その結果、変形例に係る加工装置１は、実施形態１と同様に、切削ブレード２１を取り付けるマウント２４の位置を容易に求めることができる。また、変形例に係る加工装置１は、ブレードチャック８２，８２－１，８２－３が振動検知センサ２８を備えても良い。

なお、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。前述した各実施形態では、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を検出したが、本発明では、マウント２４のボス部２４２の先端面２４７のＹ軸方向の位置を検出しなくても良い。

１ 加工装置
７ ブレード交換ユニット
１０ 保持テーブル
２０ 切削ユニット
２１ 切削ブレード
２３ スピンドル
２４ マウント
２８ 振動検知センサ
８２，８２－１，８２－３ ブレードチャック（保持部）
８４，８４－３ 移動ユニット（移動部）
１００ 制御ユニット（制御部）
１０２ 算出部
１０３ 着脱制御部
２００ 被加工物
２４２ ボス部
２４３ 受けフランジ部
２４４ 外縁部（先端）
２４６ 軸心（中心）
２４７ 先端面（先端）
３００ 治具
３０１ 開口
８２１ 軸心（中心）

Claims (6)

1. 加工装置であって、
   加工装置は、
   被加工物を保持しスピンドルに対して相対的にＸ軸方向に加工送りされる保持テーブルと、
   該スピンドルと、該スピンドルの先端に固定されたマウントと、を含む切削ユニットと、
   該Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に延在する該マウントのボス部に切削ブレードを着脱するブレード交換ユニットと、
   各機構を制御する制御部と、を備え、
   該マウントは、該ボス部の軸方向後端から径方向に突出して該切削ブレードを支持する受けフランジ部と、を更に有し、
   該ブレード交換ユニットは、
   該切削ブレードを保持する保持部と、
   該保持部を移動させる移動部と、を備え、
   該切削ユニットまたは該ブレード交換ユニットの少なくとも一方は、振動を検知する振動検知センサを有し、
   該制御部は、
   該ボス部または該受けフランジ部と、該保持部と、をＸ軸方向及びＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向に相対的に動かして３箇所以上で接触させ、接触による振動を該振動検知センサが検知したＸ座標及びＺ座標から該マウントの中心を算出する算出部と、
   該算出部が算出した該マウントの中心に該保持部の中心を合わせて該切削ブレードの着脱を行う着脱制御部と、
   を備えることを特徴とする加工装置。
2. 加工装置であって、
   加工装置は、
   被加工物を保持しスピンドルに対して相対的にＸ軸方向に加工送りされる保持テーブルと、
   該スピンドルと、該スピンドルの先端に固定されたマウントと、を含む切削ユニットと、
   該Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に延在する該マウントのボス部に切削ブレードを着脱するブレード交換ユニットと、
   各機構を制御する制御部と、を備え、
   該マウントは、該ボス部の軸方向後端から径方向に突出して該切削ブレードを支持する受けフランジ部と、を更に有し、
   該ブレード交換ユニットは、
   該ボス部よりも大きい開口を有する治具を保持する保持部と、
   該保持部を移動させる移動部と、を備え、
   該切削ユニットまたは該ブレード交換ユニットの少なくとも一方は、振動を検知する振動検知センサを有し、
   該制御部は、
   該ボス部または該受けフランジ部と、該治具と、をＸ軸方向及びＸ軸方向とＹ軸方向とに直交するＺ軸方向に相対的に動かして３箇所以上で接触させ、接触による振動を該振動検知センサが検知したＸ座標及びＺ座標から該マウントの中心を算出する算出部と、
   該算出部が算出した該マウントの中心に該保持部の中心を合わせて該切削ブレードの着脱を行う着脱制御部と、
   を備えることを特徴とする加工装置。
3. 該治具は、該切削ブレードであることを特徴とする、
   請求項２に記載の加工装置。
4. 該振動検知センサは、ＡＥセンサまたは加速度センサのいずれかであることを特徴とする請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の加工装置。
5. 該制御部は、
   該スピンドルの軸心方向をＹ軸方向としたとき、
   該保持部を該ボス部又は該受けフランジ部の先端に接触させ、
   前記算出部は、
   接触による振動を該振動検知センサが検知したＹ座標から該ボス部の該Ｙ軸方向の座標を算出し、
   該着脱制御部は、
   該算出部が算出した該ボス部の該Ｙ軸方向の座標に合わせて該切削ブレードの着脱を行うことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
6. 該制御部は、
   該スピンドルの軸心方向をＹ軸方向としたとき、
   該治具を該ボス部又は該受けフランジ部の先端に接触させ、
   前記算出部は、
   接触による振動を該振動検知センサが検知したＹ座標から該ボス部の該Ｙ軸方向の座標を算出し、
   該着脱制御部は、
   該算出部が算出した該ボス部の該Ｙ軸方向の座標に合わせて該切削ブレードの着脱を行うことを特徴とする請求項２に記載の加工装置。

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