JP7304787B2 - 切削方法及び切削装置 - Google Patents

Description

本発明は、切削方法及び切削装置に関する。

シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）、サファイアなどからなる半導体基板や樹脂パッケージ基板、セラミックス基板など各種板状の被加工物を切削ブレードで切削する切削装置では、交換時に、着脱治具を用いて切削ブレードを交換している（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１４－１００７７８号公報

しかしながら、特許文献１に示された切削装置では、切削ブレードを装着した後、着脱治具を取り外すのを忘れてしまうことがある。

切削装置は、着脱治具が装着されたままスピンドルを回転させたりスピンドルを移動させると、着脱治具が落下もしくは他の部品に衝突して望ましくない。

そこで、上記の特許文献１に記載されているように、着脱治具が装着された状態だとブレードカバーが閉じる際に検出阻止部材が着脱治具に当接して物理的に閉じることができないブレードカバーが提案されている。

しかし、上記の切削装置では、ブレードカバーの検出防止部材が衝突することで着脱治具が傷つくおそれもあり、更なる改善が切望されていた。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、着脱治具が他の部材に衝突することを抑制しながらもスピンドルに着脱治具が装着されていることを把握することができる切削方法及び切削装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削方法は、スピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、該スピンドルの先端に固定された切削ブレードと、を備えた切削装置で被加工物を切削する切削方法であって、該スピンドルの先端に着脱治具を用いて切削ブレードを固定するブレード取り付けステップと、該ブレード取り付けステップを実施した後、該スピンドルを所定の回転数で回転させて該切削ブレードで被加工物を切削する切削ステップと、該ブレード取り付けステップを実施した後、該切削ステップを実施する前に、停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する検出ステップと、を備え、該検出ステップで検出された回転数または電流値の変化に基づいて該着脱治具の取り外し忘れの有無を検出することを特徴とする。

前記切削方法では、該検出ステップは、該ブレード取り付けステップ後に、該切削ステップを実施するために、停止した該スピンドルの回転を開始し、該スピンドルの回転数が該所定の回転数になるまで実施しても良い。

前記切削方法では、該検出ステップは、該ブレード取り付けステップ後に、該切削ステップとは別に、停止した該スピンドルの回転を開始し、該スピンドルの回転数が該所定の回転数よりも低い第２の所定の回転数になるまで実施しても良い。

本発明の切削装置は、スピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、該スピンドルの先端に固定具を介して固定された切削ブレードと、を有し、該切削ブレードで被加工物を切削する切削手段と、少なくとも該モータを制御する制御手段と、を備え、該制御手段は、該切削手段の正常時に、停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶する正常状態記憶部と、該スピンドルが停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する検出部と、該検出部で検出された回転数の変化または電流値の変化を該正常状態記憶部で記憶された回転数の変化または電流値の変化と比較して着脱治具の取り外し忘れの有無を検出する判定部と、を有することを特徴とする。

前記切削装置では、該正常状態記憶部は、該切削ブレードが該被加工物を切削する所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶し、該検出部は、該所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出しても良い。

前記切削装置では、該正常状態記憶部は、停止した状態から該切削ブレードが該被加工物を切削する所定の回転数よりも低い第２の所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶し、該検出部は、該スピンドルが停止した状態から該第２の所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出しても良い。

本発明は、着脱治具が他の部材に衝突することを抑制しながらもスピンドルに着脱治具が装着されていることを把握することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。 図３は、図２に示された切削ユニットの要部の断面図である。 図４は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する際に用いられる着脱治具を示す斜視図である。 図５は、図４に示された着脱治具を回転するためのトルクレンチを示す斜視図である。 図６は、図１に示された切削装置が停止したスピンドルを所定の回転数まで回転する際のスピンドルの回転数の変化を示す図である。 図７は、図１に示された切削装置が停止したスピンドルを所定の回転数まで回転する際のスピンドルモータに流れる電流値の変化を示す図である。 図８は、実施形態１に係る切削方法の流れを示すフローチャートである。 図９は、図８に示された切削方法のブレード取り付けステップを示す切削ユニットの正面図である。 図１０は、図８に示された切削方法の検出ステップで検出したスピンドルの回転数の変化の一例を示す図である。 図１１は、実施形態１の変形例に係る切削方法の検出ステップで検出したスピンドルの回転数の変化の一例を示す図である。 図１２は、図８に示された切削方法の切削ステップを一部断面で示す側面図である。 図１３は、実施形態２に係る切削方法の検出ステップで検出したスピンドルモータの電流値の変化の一例を示す図である。 図１４は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る切削方法と切削装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図３は、図２に示された切削ユニットの要部の断面図である。図４は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する際に用いられる着脱治具を示す斜視図である。図５は、図４に示された着脱治具を回転するためのトルクレンチを示す斜視図である。図６は、図１に示された切削装置が停止したスピンドルを所定の回転数まで回転する際のスピンドルの回転数の変化を示す図である。図７は、図１に示された切削装置が停止したスピンドルを所定の回転数まで回転する際のスピンドルモータに流れる電流値の変化を示す図である。図８は、実施形態１に係る切削方法の流れを示すフローチャートである。

（切削装置）
実施形態１に係る切削装置１は、図１に示す被加工物２００を切削加工する切削装置である。実施形態１では、被加工物２００は、シリコン、ガリウムヒ素、ＳｉＣ（炭化ケイ素）又はサファイア、などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物２００は、表面２０１に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０２によって格子状に区画された領域にデバイス２０３が形成されている。

また、本発明の被加工物２００は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯ（登録商標）ウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状の樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、フェライト基板、又はニッケル及び鉄の少なくとも一方を含む基板、ガラス基板等でも良い。実施形態１において、被加工物２００は、裏面２０４が外周縁に環状フレーム２０５が装着された粘着テープ２０６に貼着されて、環状フレーム２０５に支持されている。

図１に示された切削装置１は、被加工物２００をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０２に沿って切削ブレード２１で切削加工する装置である。切削装置１は、図１に示すように、被加工物２００を保持面１１で吸引保持するチャックテーブル１０と、切削ブレード２１でチャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ユニット２０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影する撮像ユニット９０と、制御ユニット１００とを備える。

また、切削装置１は、図１に示すように、チャックテーブル１０を水平方向と平行なＸ軸方向に加工送りする加工送りユニットであるＸ軸移動ユニット３０と、切削ユニット２０を水平方向と平行でかつＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送りユニットであるＹ軸移動ユニット３１と、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に切り込み送りする切り込み送りユニットであるＺ軸移動ユニット３２とを少なくとも備える。

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２００を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、Ｘ軸移動ユニット３０により切削ユニット２０の下方の加工領域４１と、切削ユニット２０の下方から離間して被加工物２００が搬入出される搬入出領域４２とに亘ってＸ軸方向に移動自在に設けられ、かつ回転駆動源によりＺ軸方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、保持面１１に載置された被加工物２００を吸引、保持する。実施形態１では、チャックテーブル１０は、粘着テープ２０６を介して被加工物２００の裏面２０４側を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、図１に示すように、環状フレーム２０５をクランプするクランプ部１２が複数設けられている。

切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を切削する切削ブレード２１を着脱自在に装着した切削手段である。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００に対して、Ｙ軸移動ユニット３１によりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、Ｚ軸移動ユニット３２によりＺ軸方向に移動自在に設けられている。

切削ユニット２０は、図１に示すように、Ｙ軸移動ユニット３１及びＺ軸移動ユニット３２などを介して、装置本体２から立設した支持フレーム３に設けられている。切削ユニット２０は、Ｙ軸移動ユニット３１及びＺ軸移動ユニット３２により、チャックテーブル１０の保持面１１の任意の位置に切削ブレード２１を位置付け可能となっている。

切削ユニット２０は、図２に示すように、スピンドルハウジング２２と、スピンドルハウジング２２に軸心回りに回転自在に設けられたスピンドル２３と、スピンドル２３の先端に固定具であるフランジ機構２９と、固定具であるフランジ機構２９を介して固定された切削ブレード２１と、を有している。

切削ブレード２１は、略リング形状を有する極薄の切削砥石である。実施形態１において、切削ブレード２１は、中央に装着孔２１１を有する円環状の切り刃２１２のみからなるワッシャブレードである。切り刃２１２は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。また、基台と、基台の外周縁に配設された切り刃とからなるハブブレードでも良い。

スピンドル２３は、図３に示すモータであるスピンドルモータ２８により軸心回りに回転される。即ち、切削ユニット２０は、スピンドル２３を軸心回りに回転させるスピンドルモータ２８を備えている。スピンドル２３は、先端がスピンドルハウジング２２の先端面２２１より突出している。スピンドル２３の先端は、先端に向かうにしたがって徐々に細く形成されており、先端面に開口したねじ孔２３１が設けられている。

スピンドルモータ２８は、図３に示すように、スピンドルハウジング２２内に収容され、スピンドル２３に連結されたロータ２８１と、ロータ２８１を回転させるステータ２８２とを備える。ステータ２８２には、制御ユニット１００により制御される電源１１０からスピンドル２３を回転させるための電力が供給される。また、ステータ２８２には、該ステータ２８２即ちスピンドルモータ２８に流れる電流値を検出する検出部である電流値検出手段１１１が接続している。電流値検出手段１１１は、ステータ２８２即ちスピンドルモータ２８に流れる電流値を検出し、検出した結果を制御ユニット１００に出力する。即ち、切削装置１は、電源１１０及び電流値検出手段１１１を備える。

また、切削装置１は、図３に示すように、スピンドル２３の回転数を検出する検出部である回転数検出手段１１２を備える。回転数検出手段１１２は、スピンドル２３の回転数を検出し、検出した結果を制御ユニット１００に出力する。なお、制御ユニット１００、回転数検出手段１１２及び電流値検出手段１１１とは、特許請求の範囲に記載された少なくともスピンドルモータ２８を制御する制御手段を構成する。

スピンドルハウジング２２は、Ｙ軸移動ユニット３１及びＺ軸移動ユニット３２によりＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられている。スピンドルハウジング２２は、スピンドル２３の先端を除く部分及びスピンドルモータ等を収容し、スピンドル２３を軸心回りに回転可能に支持する。

フランジ機構２９は、図２に示すように、支持フランジ２４と、押さえフランジ２５と、ナット２７とを備える。

支持フランジ２４は、固定ねじ２６が中央に設けられた貫通孔２４１を通ってスピンドル２３の先端面に設けられたねじ孔２３１と螺合してスピンドル２３の先端に固定される。支持フランジ２４は、円筒状のボス部２４２と、ボス部２４２のスピンドルハウジング２２寄りの一端部に設けられたフランジ部２４３とを備えている。ボス部２４２は、支持フランジ２４が取り付けられたスピンドル２３の軸心と同軸に配置される。

ボス部２４２は、装着孔２１１に挿通されて、外周面上に切削ブレード２１が装着される。ボス部２４２は、外径が全長に亘って切削ブレード２１の装着孔２１１の内径と略等しく形成されている。なお、ボス部２４２の外径が切削ブレード２１の装着孔２１１の内径と略等しいとは、ボス部２４２の外周面と装着孔２１１の内周面とが少なくとも複数個所で互いに接触することが可能な程度に外径と内径とが等しいことを示している。

また、ボス部２４２は、先端部の外周面に雄ネジ２４４が形成されている。ボス部２４２の内周面は、スピンドル２３の先端と密に接触するように、スピンドルハウジング２２に向かうにしたがって徐々に内径が大きく形成されている。

フランジ部２４３は、ボス部２４２のスピンドルハウジング２２寄りの一端部から径方向外向きに突出した鍔状の部材である。フランジ部２４３は、装着孔２１１内にボス部２４２が通された切削ブレード２１と対面して支持する支持面２４５を外縁の全周に設けている。支持面２４５は、切削ブレード２１と密に接触して、切削ブレード２１を支持する。

押さえフランジ２５は、円環状に形成され、中央に内側に支持フランジ２４のボス部２４２が通されてボス部２４２が挿通される装着孔２５１と、外周縁にフランジ部２４３の支持面２４５との間に切削ブレード２１を挟持する環状の挟持部２５２とを有している。

ナット２７は、スピンドル２３の先端に固定された支持フランジ２４のボス部２４２が切削ブレード２１の装着孔２１１と、押さえフランジ２５の装着孔２５１とが順に通された後、ボス部２４２の雄ネジ２４４の外周に螺合して、押さえフランジ２５及び切削ブレード２１を支持フランジ２４に固定する。また、ナット２７の切削ユニット２０の先端側に露出する端面には、複数の穴２７１が設けられている。実施形態１では、穴２７１は、周方向に等間隔に４つ設けられている。

このように構成されたフランジ機構２９は、支持フランジ２４がスピンドル２３の先端を内側に通し、固定ねじ２６等によりスピンドル２３の先端部に固定され、切削ブレード２１の装着孔２１１と押さえフランジ２５の装着孔２５１内に順に支持フランジ２４のボス部２４２が通される。フランジ機構２９は、ナット２７をボス部２４２の雄ネジ２４４に螺合して、支持フランジ２４に押さえフランジ２５及び切削ブレード２１を固定するとともに、切削ブレード２１を支持フランジ２４の支持面２４５と押さえフランジ２５の挟持部２５２との間に挟んで切削ブレード２１を固定する。

なお、切削ユニット２０のスピンドル２３、支持フランジ２４、押さえフランジ２５及びナット２７の軸心は、Ｙ軸方向と平行に設定されている。

また、前述した切削装置１では、加工領域４１が図示しない複数の外壁により覆われ、搬入出領域４２側に設けられた図示しない開口を通してオペレータにより切削ユニット２０の切削ブレード２１が交換即ち着脱される。なお、開口は、図示しないスプラッシュカバーにより開閉自在であり、切削装置１の加工動作中にはスプラッシュカバーにより塞がれ、切削ブレード２１の着脱作業中にはスプラッシュカバーにより開放される。

また、実施形態１に係る切削装置１は、切削ユニット２０の切削ブレード２１を着脱する際には、図４に示された着脱治具５０及び図５に示すトルクレンチ６０が用いられる。着脱治具５０は、外径がナット２７の外径よりも大きくかつ押さえフランジ２５及び切削ブレード２１の外径よりも小さな厚手の円盤状に形成されている。

着脱治具５０は、図４に示すように、円形凹部５１が形成されており、円形凹部５１の内周面に周方向に等間隔に４つのナット把持爪５２が配設されている。円形凹部５１は、切削ユニット２０のナット２７の外側に被さることができる。ナット把持爪５２は、半径方向に弾性変形可能に配設され、互いの間に円形凹部５１が被さったナット２７を外側から把持可能である。円形凹部５１の中央部には、トルクレンチ６０の先端の差し込み用の貫通孔５３が形成されているとともに、円形凹部５１の底面には、ナット２７の穴２７１に係合可能な係合ピン５４が周方向に等間隔に４つ設けられている。係合ピン５４は、ばね等の弾性部材により円形凹部５１の底面から突没自在に設けられている。

トルクレンチ６０は、着脱治具５０の貫通孔５３中に挿入されて係合する係合部６１と、トルクレンチ回転用のハンドル６２とを有している。トルクレンチ６０は、ナット２７の外側に被さった着脱治具５０の貫通孔５３に係合部６１が挿入されて係合し、ハンドル６２が回転されることにより、着脱治具５０を介してナット２７を支持フランジ２４に対して回転させる。

切削ブレード２１を交換（着脱）する際には、スプラッシュカバーにより開口を開いた状態で、切削装置１のオペレータが円形凹部５１をナット２７の外側に被せ、貫通孔５３内にトルクレンチ６０の係合部６１を挿入して係合させる。オペレータが、ハンドル６２を回転して着脱治具５０がハンドル６２とともに回転し、係合ピン５４が穴２７１に係合すると、ハンドル６２とともにナット２７が支持フランジ２４に対して回転する。ナット２７を支持フランジ２４のボス部２４２から取り外す。オペレータが押さえフランジ２５を一旦取り外した後、切削ブレード２１を交換し、その後、押さえフランジ２５を支持フランジ２４に取り付ける。

オペレータが、ナット２７を着脱治具５０の円形凹部５１内に収容し、支持フランジ２４のボス部２４２の雄ネジ２４４の外周に螺合し、貫通孔５３内にトルクレンチ６０の係合部６１を挿入して係合する。オペレータが、ハンドル６２を回転して、ナット２７を支持フランジ２４に対して回転して、ナット２７及び押さえフランジ２５を支持フランジ２４に固定して、フランジ２４，２５間に交換後の切削ブレード２１を挟持して固定する。

実施形態１において、切削ユニット２０は、図１に示すように、スピンドルハウジング２２の先端面２２１に固定され、切削ブレード２１の上方及びＸ軸方向の両側を覆って、切削加工中に加工液である切削水を切削ブレード２１に供給するブレードカバー７０を備える。実施形態１では、ブレードカバー７０は、スピンドルハウジング２２の先端面２２１に固定される固定部材７１と、固定部材７１に対してＸ軸方向に移動自在な可動部材７２とを備える。可動部材７２は、切削装置１の加工動作中に固定部材７１に接触する位置に位置付けられ、切削ブレード２１の着脱作業中に固定部材７１から離れた位置に位置付けられる。なお、実施形態１では、ブレードカバー７０の可動部材７２は、ナット２７の外周に着脱治具５０が取り付けられた状態であっても切削装置１の加工動作中に位置付けられる固定部材７１に接触する位置に位置することができる。

撮像ユニット９０は、切削ユニット２０と一体的に移動するように、切削ユニット２０に固定されている。撮像ユニット９０は、チャックテーブル１０に保持された切削前の被加工物２００の分割すべき領域を撮影する撮像素子を備えている。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）撮像素子又はＣＭＯＳ（Complementary MOS）撮像素子である。撮像ユニット９０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２００を撮影して、被加工物２００と切削ブレード２１との位置合わせを行なうアライメントを遂行するため等の画像を得、得た画像を制御ユニット１００に出力する。

Ｘ軸移動ユニット３０は、チャックテーブル１０を加工送り方向であるＸ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＸ軸方向に沿って加工送りするものである。Ｙ軸移動ユニット３１は、切削ユニット２０を割り出し送り方向であるＹ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＹ軸方向に沿って割り出し送りするものである。Ｚ軸移動ユニット３２は、切削ユニット２０を切り込み送り方向であるＺ軸方向に移動させることで、チャックテーブル１０と切削ユニット２０とを相対的にＺ軸方向に沿って切り込み送りするものである。

Ｘ軸移動ユニット３０、Ｙ軸移動ユニット３１及びＺ軸移動ユニット３２は、軸心回りに回転自在に設けられた周知のボールねじ、ボールねじを軸心回りに回転させる周知のモータ及びチャックテーブル１０又は切削ユニット２０をＸ軸方向、Ｙ軸方向又はＺ軸方向に移動自在に支持する周知のガイドレールを備える。

また、切削装置１は、チャックテーブル１０のＸ軸方向の位置を検出するため図示しないＸ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＹ軸方向の位置を検出するための図示しないＹ軸方向位置検出ユニットと、切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出するためのＺ軸方向位置検出ユニットとを備える。Ｘ軸方向位置検出ユニット及びＹ軸方向位置検出ユニットは、Ｘ軸方向、又はＹ軸方向と平行なリニアスケールと、読み取りヘッドとにより構成することができる。Ｚ軸方向位置検出ユニットは、モータのパルスで切削ユニット２０のＺ軸方向の位置を検出する。Ｘ軸方向位置検出ユニット、Ｙ軸方向位置検出ユニット及びＺ軸方向位置検出ユニットは、チャックテーブル１０のＸ軸方向、切削ユニット２０のＹ軸方向又はＺ軸方向の位置を制御ユニット１００に出力する。

制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の各構成要素に出力する。

制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される図示しない表示ユニットと、オペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる入力ユニットと、報知ユニット１１３とに接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。報知ユニット１１３は、音と光のうち少なくとも一方により切削装置１のオペレータに報知する。

制御ユニット１００は、入力ユニットから受け付けた加工内容情報を記憶し、切削装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２００に対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、加工内容情報には、切削ユニット２０の切削ブレード２１が被加工物２００を切削する時のスピンドル２３の所定の回転数４０２（図６に示す）が含まれる。

制御ユニット１００は、加工動作を開始する際、即ち、スピンドルモータ２８を制御して、停止したスピンドル２３の回転を開始する際に、回転開始からスピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２よりも低い第２の所定の回転数４０１（図６に示す）になるまでの間、電源１１０からスピンドルモータ２８に一定の所定の電流値５０１（図７に示す）の電力を供給する。その後、制御ユニット１００は、回転数検出手段１１２の検出結果に基づいて、図６に示すように、スピンドル２３の回転開始から第２の所定の回転数４０１になったことを検出する。すると、制御ユニット１００は、図６に示すように、回転開始から所定の時間３０２経過した時に、スピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２になるように、図７に示すように、第２の所定の回転数４０１になったことを検出した時間３０１からスピンドルモータ２８に流れる電流値を所定の電流値５０１よりも徐々に大きくする。制御ユニット１００は、所定の時間３０２経過し、スピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２に到達し、以降はスピンドル２３の回転数及びスピンドルモータ２８に流れる電流値を一定に維持して、被加工物２００を切削する加工動作を実施する。

なお、スピンドル２３の回転開始からスピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になる時間３０１、及びスピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２となる時間３０２のスピンドルモータ２８に流れる電流値５０２は、スピンドル２３に固定されるフランジ機構２９、切削ブレード２１等の物品の質量により変化する。

また、制御ユニット１００は、図１に示すように、正常状態記憶部１０１と、判定部１０２とを備える。正常状態記憶部１０１は、切削ユニット２０の正常時に、スピンドル２３が停止した状態から回転が開始されたスピンドル２３の一定時間におけるスピンドル２３の回転数の変化を記憶するものである。実施形態１では、切削ユニット２０の正常時とは、スピンドル２３に切削加工に不要なものが取り付けられていない状態をいい、スピンドル２３に切削加工に必要なフランジ機構２９と切削ブレード２１が取り付けられて、着脱治具５０が取り付けられていない状態をいう。また、実施形態１では、一定時間とは、スピンドル２３の回転開始から第２の所定の回転数４０１になるまでの時間３０１である。

実施形態１では、正常状態記憶部１０１は、回転数の変化として、スピンドル２３が停止した状態からスピンドルモータ２８に所定の電流値５０１の電力を供給してスピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になるまでの時間３０１を記憶している。

判定部１０２は、回転数検出手段１１２で検出されたスピンドル２３の回転数の変化を、正常状態記憶部１０１で記憶された回転数の変化と比較して着脱治具５０の取り外し忘れの有無を検出するものである。

なお、正常状態記憶部１０１の機能は、前述した記憶装置により実現される。判定部１０２の機能は、記憶装置に記憶されたコンピュータプログラムを演算処理装置が実行することで実現される。

実施形態１に係る切削方法は、前述した構成の切削装置１で被加工物２００を切削する方法である。切削方法は、図８に示すように、ブレード取り付けステップＳＴ１と、検出ステップＳＴ２と、切削ステップＳＴ５等を備える。

（ブレード取り付けステップ）
図９は、図８に示された切削方法のブレード取り付けステップを示す切削ユニットの正面図である。ブレード取り付けステップＳＴ１は、スピンドル２３の先端に着脱治具５０を用いて切削ブレード２１を固定するステップである。

ブレード取り付けステップＳＴ１では、スプラッシュカバーを開いて前述した開口を開放し、図９に示すように、ブレードカバー７０の可動部材７２を固定部材７１から離れた位置に位置付けて、着脱治具５０及びトルクレンチ６０で切削ブレード２１をスピンドル２３の先端に固定する。ブレード取り付けステップＳＴ１では、ブレードカバー７０の可動部材７２を固定部材７１に接触する位置に位置付け、スプラッシュカバーで前述した開口が塞がれる。

ブレード取り付けステップＳＴ１では、オペレータが入力ユニットから入力した加工内容情報を制御ユニット１００が受け付け、切削加工前の被加工物２００が粘着テープ２０６を介してチャックテーブル１０の保持面１１に載置され、オペレータから加工動作の開始指示を入力ユニットを介して受け付けると、検出ステップＳＴ２に進む。

（検出ステップ）
図１０は、図８に示された切削方法の検出ステップで検出したスピンドルの回転数の変化の一例を示す図である。検出ステップＳＴ２は、ブレード取り付けステップＳＴ１を実施した後、切削ステップＳＴ５を実施する前に、停止した状態から回転が開始されたスピンドル２３の一定時間における回転数の変化を検出するステップである。

検出ステップＳＴ２では、制御ユニット１００が、スピンドルモータ２８等を図６及び図７に示すように制御して、スピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になるまでスピンドルモータ２８に所定の電流値５０１の電力を供給する。検出ステップＳＴ２では、制御ユニット１００が、時間３０１において、スピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になると、所定の時間３０２までにスピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２になるように、スピンドルモータ２８に流れる電流値を所定の電流値５０１よりも徐々に大きくする。

実施形態１において、検出ステップＳＴ２では、制御ユニット１００は、回転数検出手段１１２の検出結果に基づいて、スピンドル２３が停止した状態からスピンドルモータ２８に所定の電流値５０１の電力を供給してスピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１なるまでの時間３０１－１（図１０に示す）を検出する。こうして、実施形態１では、回転数検出手段１１２は、スピンドル２３が停止した状態から回転が開始されたスピンドル２３の一定時間における回転数の変化である時間３０１－１を検出する。なお、図１０は、正常状態記憶部１０１に記憶した時間３０１に対応した回転数の変化を実線で示し、検出ステップＳＴ２で検出した時間３０１－１に対応した回転数の変化を一点鎖線で示している。

切削方法では、判定部１０２が、検出ステップＳＴ２で検出されたスピンドル２３の回転数の変化である時間３０１－１に基づいて、着脱治具５０の取り外し忘れの有無、即ち切削ユニット２０が正常化かを判定する（ステップＳＴ３）。ステップＳＴ３では、判定部１０２は、正常状態記憶部１０１に記憶した時間３０１と、回転数検出手段１１２の検出結果に基づいて検出された時間３０１－１との時間差３０１－２を算出する。ステップＳＴ３では、判定部１０２は、時間差３０１－２が予め定められた閾値以上であると、着脱治具５０の取り外し忘れが有る、即ち切削ユニット２０が異常（ステップＳＴ３：Ｎｏ）と判定する。判定部１０２は、着脱治具５０の取り外し忘れを検出して、切削ステップＳＴ５を行うことなく報知ユニット１１３を作動させてオペレータに報知（ステップＳＴ４）して切削方法を終了する。

また、ステップＳＴ３では、判定部１０２は、時間差３０１－２が予め定められた閾値未満であると、着脱治具５０の取り外し忘れが無い、即ち切削ユニット２０が正常（ステップＳＴ３：Ｙｅｓ）と判定する。判定部１０２は、制御ユニット１００が真空吸引源等を制御して粘着テープ２０６を介して裏面２０４側をチャックテーブル１０の保持面１１に吸引保持し、クランプ部１２を制御して環状フレーム２０５をクランプし、スピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２になると、切削ステップＳＴ５に進む。こうして、判定部１０２は、回転数検出手段１１２で検出されたスピンドル２３の回転数の変化である時間３０１－１を、正常状態記憶部１０１で記憶された回転数の変化である時間３０１－１と比較して着脱治具５０の取り外し忘れの有無を検出する。

また、ステップＳＴ３では、判定部１０２は、時間差３０１－２が予め定められた閾値未満であり、着脱治具５０の取り外し忘れが無い、即ち切削ユニット２０が正常（ステップＳＴ３：Ｙｅｓ）と判定すると、回転数検出手段１１２の検出結果に基づいて検出された時間３０１－１を最新の切削ユニット２０の正常時の時間３０１として正常状態記憶部１０１に記憶して、次に、ステップＳＴ３を実施する際に使用する。こうして、実施形態１では、正常状態記憶部１０１に記憶する時間３０１を回転数検出手段１１２の検出結果に基づいて検出された時間３０１－１としたが、本発明では、切削装置１は、ブレード取り付けステップＳＴ１を実施する前、即ち、切削ブレード２１の交換前に加工動作を開始された時の時間３０１を測定して正常状態記憶部１０１に記憶しても良く、切削装置の出荷前に予め着脱治具５０が装着されていない状態で時間３０１を測定して正常状態記憶部１０１に記憶にしても良い。この場合、切削装置１は、正常状態記憶部１０１にスピンドル２３の先端に固定するフランジ機構２９の種類毎に時間３０１を測定して、フランジ機構２９の種類に対応付けて記憶しても良い。

実施形態１では、スピンドル２３の回転が開始してから第２の所定の回転数４０１に到達するまでの正常時の時間３０１と、検出された時間３０１－１との時間差３０１－２に基づいて着脱治具５０の取り外し忘れを判定したが、第２の所定の回転数４０１よりも低速の回転数４０４（図１１に示す）到達するまでの正常時の時間３０４と、検出された時間３０４－１との時間差３０４－２に基づいて判定してもよい。なお、図１１は、実施形態１の変形例に係る切削方法の検出ステップで検出したスピンドルの回転数の変化の一例を示す図である。なお、図１１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

（切削ステップ）
図１２は、図８に示された切削方法の切削ステップを一部断面で示す側面図である。切削ステップＳＴ５は、ブレード取り付けステップＳＴ１を実施した後、スピンドル２３を所定の回転数４０２で回転させて切削ブレード２１で被加工物２００を切削するステップである。

切削ステップＳＴ５では、制御ユニット１００が、Ｘ軸移動ユニット３０を制御してチャックテーブル１０を加工領域４１に向かって移動して、撮像ユニット９０で被加工物２００を撮影し、撮像ユニット９０が撮影して得た画像に基づいて、アライメントを遂行する。切削ステップＳＴ５では、制御ユニット１００が各移動ユニット３０，３１，３２を制御して、分割予定ライン２０２に沿って被加工物２００と切削ユニット２０とを相対的に移動させながら、図１２に示すように、切削ブレード２１を各分割予定ライン２０２に粘着テープ２０６に達するまで切り込ませて被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割する。制御ユニット１００は、切削装置１が被加工物２００を個々のデバイス２０３に分割すると、切削方法を終了する。

こうして、実施形態１に係る切削方法では、検出ステップＳＴ２は、ブレード取り付けステップＳＴ１後に、切削ステップＳＴ５を実施するために、停止したスピンドル２３の回転数を開始し、スピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２になるまで実施される。

以上説明したように、実施形態１に係る切削方法は、スピンドル２３の回転数がスピンドル２３とともに回転する物品の質量によって変化するものであり、検出ステップＳＴ２において停止した状態から回転が開始されたスピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になるまでの時間３０１－１を検出し、検出した時間３０１－１に基づいて着脱治具５０の取り外し忘れを検出する。

実施形態１に係る切削方法は、着脱治具５０がスピンドルに装着されたままの場合では、装着されていない正常時に比べて慣性モーメントが大きくなり、第２の所定の回転数４０１に到達するまでの時間３０１－１の正常時の時間３０１との時間差３０１－２が大きくなるため、着脱治具５０の取り外し忘れを検出することができる。また、実施形態１に係る切削方法は、着脱治具５０の取り外し忘れを検出すると、報知ユニット１１３を作動させて切削ステップＳＴ５を行うことなく終了する。

その結果、実施形態１に係る切削方法は、着脱治具５０をスピンドル２３に取り付けたまま回転させることを抑制でき、着脱治具５０が他の部材に衝突することを抑制できる。よって、実施形態１に係る切削方法は、着脱治具５０が他の部材に衝突することを抑制しながらもスピンドル２３に着脱治具５０が装着されていることを把握することができるという効果を奏する。

また、実施形態１に係る切削方法は、検出ステップＳＴ２が、切削ステップＳＴ５を実施するために、停止したスピンドル２３の回転を開始し、スピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２にまで実施するので、スピンドル２３の回転開始から切削ステップＳＴ５までの所要時間が長時間化することを抑制できる。

実施形態１に係る切削装置１は、制御ユニット１００が切削ユニット２０の正常時の停止した状態から第２の所定の回転数４０１になるまでの時間３０１を記憶する正常状態記憶部１０１を備え、スピンドル２３が停止した状態から回転が開始されたスピンドル２３の回転数を検出する回転数検出手段１１２を備え、制御ユニット１００が回転数検出手段１１２の検出結果に基づいて検出された第２の所定の回転数４０１になるまでの時間３０１－１と、正常状態記憶部１０１に記憶された時間３０１とを比較して着脱治具５０の取り外し忘れの有無を検出する判定部１０２を備えている。このために、切削装置１は、第２の所定の回転数４０１に到達するまでの時間３０１－１と正常時の時間３０１とを比較するため、着脱治具５０の取り外し忘れを検出することができる。また、実施形態１に係る切削装置１は、着脱治具５０の取り外し忘れを検出すると、報知ユニット１１３を作動させて切削ステップＳＴ５を行うことなく終了する。その結果、切削装置１は、着脱治具５０が他の部材に衝突することを抑制しながらもスピンドル２３に着脱治具５０が装着されていることを把握することができるという効果を奏する。

また、実施形態１に係る切削装置１は、正常状態記憶部１０１が切削ユニット２０の正常時の停止した状態から第２の所定の回転数４０１になるまでの時間３０１を記憶し、判定部１０２が回転数検出手段１１２の検出結果に基づいて検出された第２の所定の回転数４０１になるまでの時間３０１－１と、正常状態記憶部１０１に記憶された時間３０１とを比較して着脱治具５０の取り外し忘れの有無を検出するので、スピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２に到達する前に、着脱治具５０の外し忘れの有無を検出できる。その結果、切削装置１は、スピンドル２３に誤って取り外し忘れされた着脱治具５０がスピンドル２３の回転により飛散することを抑制でき、着脱治具５０が他の部材に衝突することを抑制することができるという効果を奏する。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る切削方法及び切削装置を図面に基づいて説明する。図１３は、実施形態２に係る切削方法の検出ステップで検出したスピンドルモータの電流値の変化の一例を示す図である。図１３は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。実施形態２に係る切削方法及び切削装置１は、正常状態記憶部１０１と、検出ステップＳＴ２及びステップＳＴ３が実施形態と異なること以外、実施形態１と同じである。

実施形態２に係る切削装置１の正常状態記憶部１０１は、切削ユニット２０の正常時に、スピンドル２３が停止した状態から回転が開始されたスピンドル２３の図１３に示す一定時間３０３におけるスピンドルモータ２８の電流値の変化を記憶するものである。なお、実施形態２では、一定時間３０３は、スピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になった時間３０１，３０１－１からの時間である。

実施形態２では、正常状態記憶部１０１は、電流値の変化として、スピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になった時間３０１以降、且つスピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２となる時間３０２までの間で所定の時間３０３経過する間の電流値を記憶している。即ち、実施形態２において、正常状態記憶部１０１は、スピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になった時間３０１から所定の回転数４０２になるまでの一定時間におけるスピンドルモータ２８の電流値の変化を記憶している。

実施形態２では、判定部１０２は、電流値検出手段１１１で検出されたスピンドルモータ２８の電流値の変化を、正常状態記憶部１０１で記憶された電流値の変化と比較して着脱治具５０の取り外し忘れの有無を検出するものである。

実施形態２に係る切削方法の検出ステップＳＴ２は、ブレード取り付けステップＳＴ１を実施した後、切削ステップＳＴ５を実施する前に、停止した状態から回転が開始されたスピンドル２３の一定時間における電流値の変化を検出するステップである。実施形態２に係る切削方法の検出ステップＳＴ２では、制御ユニット１００が、実施形態１と同様に、スピンドルモータ２８等を図６及び図７に示すように制御して、停止したスピンドル２３を所定の回転数４０２になるまで回転する。

実施形態２において、検出ステップＳＴ２では、制御ユニット１００は、回転数検出手段１１２の検出結果に基づいて、第２の所定の回転数４０１となった時間３０１－１（図１３に示す）を検出し、電流値検出手段１１１の検出結果に基づいて、時間３０１－１から所定の時間３０３経過した時の電流値５０３－１（図１３に示す）を検出する。こうして、実施形態２では、電流値検出手段１１１は、第２の所定の回転数４０１となった時から所定の回転数４０２になるまでの間でスピンドル２３の一定時間３０３におけるスピンドルモータ２８の電流値の変化である電流値５０３－１を検出する。なお、図１３は、正常状態記憶部１０１に記憶した電流値５０３に対応した電流値の変化を実線で示し、検出ステップＳＴ２で検出した電流値５０３－１に対応した電流値の変化を一点鎖線で示している。

実施形態２において、ステップＳＴ３では、判定部１０２が、検出ステップＳＴ２で検出されたスピンドルモータ２８の電流値の変化である電流値５０３－１に基づいて、着脱治具５０の取り外し忘れの有無、即ち切削ユニット２０が正常化かを判定する。実施形態２において、ステップＳＴ３では、判定部１０２は、正常状態記憶部１０１に記憶した電流値５０３と、電流値検出手段１１１の検出結果に基づいて検出された電流値５０３－１との電流値差５０３－２を算出する。実施形態２において、ステップＳＴ３では、判定部１０２は、電流値差５０３－２が予め定められた閾値以上であると、着脱治具５０の取り外し忘れが有る、即ち切削ユニット２０が異常（ステップＳＴ３：Ｎｏ）と判定して、実施形態１と同様に、オペレータに報知（ステップＳＴ４）して切削方法を終了する。

また、実施形態２において、ステップＳＴ３では、判定部１０２は、電流値差５０２－２が予め定められた閾値未満であると、着脱治具５０の取り外し忘れが無い、即ち切削ユニット２０が正常（ステップＳＴ３：Ｙｅｓ）と判定して、実施形態１と同様に、切削ステップＳＴ５に進む。こうして、判定部１０２は、電流値検出手段１１１で検出されたスピンドルモータ２８の電流値の変化である電流値５０３－１を、正常状態記憶部１０１で記憶された電流値の変化である電流値５０３と比較して着脱治具５０の取り外し忘れの有無を検出する。

また、実施形態２において、ステップＳＴ３では、判定部１０２は、電流値差５０３－２が予め定められた閾値未満であり、着脱治具５０の取り外し忘れが無い、即ち切削ユニット２０が正常（ステップＳＴ３：Ｙｅｓ）と判定すると、電流値検出手段１１１の検出結果に基づいて検出された電流値５０２－１を最新の切削ユニット２０の正常時の電流値５０３として正常状態記憶部１０１に記憶して、次に、ステップＳＴ３を実施する際に使用する。こうして、実施形態２では、正常状態記憶部１０１に記憶する電流値５０３を電流値検出手段１１１の検出結果に基づいて検出された電流値５０３－１としたが、本発明では、切削装置１は、ブレード取り付けステップＳＴ１を実施する前、即ち、切削ブレード２１の交換前に加工動作を開始された時の電流値５０３を測定して正常状態記憶部１０１に記憶しても良く、切削装置の出荷前に予め着脱治具５０が装着されていない状態で電流値５０３を測定して正常状態記憶部１０１に記憶にしても良い。この場合、切削装置１は、正常状態記憶部１０１にスピンドル２３の先端に固定するフランジ機構２９の種類毎に電流値５０３を測定して、フランジ機構２９の種類に対応付けて記憶しても良い。

こうして、実施形態２に係る切削方法では、検出ステップＳＴ２は、ブレード取り付けステップＳＴ１後に、切削ステップＳＴ５を実施するために、停止したスピンドル２３の回転数を開始し、スピンドル２３の回転数が所定の回転数４０２になるまでに実施される。

実施形態２に係る切削方法及び切削装置１は、検出ステップＳＴ２においてスピンドル２３の回転数が第２の所定の回転数４０１になった時間３０１－１から所定の時間３０３経過した時のスピンドルモータ２８の電流値５０３－１を検出し、電流値５０３－１に基づいて着脱治具５０の取り外し忘れを検出する。実施形態２に係る切削方法及び切削装置１は、着脱治具５０がスピンドル２３に装着されたままの場合では、装着されていない正常時に比べて慣性モーメントが大きくなり、一定時間３０３におけるスピンドルモータ２８の電流値５０３－１の正常時の電流値５０３との電流値差５０３－２が大きくなるため、着脱治具５０の取り外し忘れを検出することができる。また、実施形態２に係る切削方法は、着脱治具５０の取り外し忘れを検出すると、報知ユニット１１３を作動させて切削ステップＳＴ５を行うことなく終了する。

その結果、実施形態２に係る切削方法及び切削装置１は、着脱治具５０をスピンドル２３に取り付けたまま回転させることを抑制でき、着脱治具５０が他の部材に衝突することを抑制できる。よって、実施形態２に係る切削方法及び切削装置１は、着脱治具５０が他の部材に衝突することを抑制しながらもスピンドル２３に着脱治具５０が装着されていることを把握することができるという効果を奏する。

〔変形例〕
本発明の実施形態１及び実施形態２の変形例に係る切削方法及び切削装置を図面に基づいて説明する。図１４は、実施形態１及び実施形態２の変形例に係る切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。なお、図１４は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

変形例に係る切削装置１の切削ユニット２０－１は、切削ブレード２１－１がいわゆるハブブレードであり、導電性の金属で構成されかつ中央にボス部２４２を通る装着孔２１１－１を有する円環状の基台２１３と、基台２１３の外周縁に設けられかつ被加工物２００を切削する円環状の切り刃２１２－１を備えることと、フランジ機構２９－１が押さえフランジ２５を備えずに、ナット２７と支持フランジ２４とで切削ブレード２１－１を挟持してスピンドル２３の先端に固定すること以外、実施形態１及び実施形態２と同じである。

変形例に係る切削方法及び切削装置１は、検出ステップＳＴ２において停止した状態から回転が開始されたスピンドル２３の回転数の変化又はスピンドルモータ２８の電流値の変化を検出し、回転数の変化又は電流値の変化に基づいて着脱治具５０の取り外し忘れを検出する。その結果、変形例に係る切削方法及び切削装置１は、実施形態１及び実施形態２と同様に、着脱治具５０が他の部材に衝突することを抑制しながらもスピンドル２３に着脱治具５０が装着されていることを把握することができるという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本発明は、加工開始時に所定の回転数４０２に到達するまでの間に、検出ステップＳＴ２を実施する他、次のタイミングで検出してもよい。

例えば、切削ブレード２１，２１－１の交換後にスプラッシュカバーを閉じた後、自動的にスピンドル２３が１００００ｒｐｍ等と加工時の回転数よりも低速の回転数まで回転され、この１００００ｒｐｍに達するまでに実施形態１や２の検出ステップＳＴ２を実施しても良い。加工時の回転数に達するまでに検出ステップＳＴ２を実施すれば、特に検出ステップＳＴ２のために時間を取られることがない。また、本発明では、あえて検出ステップＳＴ２として時間を割いてでも、より低速で一度回転させて検出ステップＳＴ２を実施しても良い。

１ 切削装置
２０ 切削ユニット（切削手段）
２１，２１－１ 切削ブレード
２３ スピンドル
２８ スピンドルモータ（モータ）
２９，２９－１ フランジ機構（固定具）
５０ 着脱治具
１００ 制御ユニット（制御手段）
１０１ 正常状態記憶部
１０２ 判定部
１１１ 電流値検出手段（検出部、制御手段）
１１２ 回転数検出手段（検出部、制御手段）
２００ 被加工物
３０１，３０４ 時間（一定時間、回転数の変化）
３０１－１，３０４－１ 時間（回転数の変化）
３０３ 所定の時間（一定時間）
４０１ 第２の所定の回転数
４０２ 所定の回転数
４０４ 回転数（第２の所定の回転数）
５０３，５０３－１ 電流値（電流値の変化）
ＳＴ１ ブレード取り付けステップ
ＳＴ２ 検出ステップ
ＳＴ５ 切削ステップ

Claims (6)

1. スピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、該スピンドルの先端に固定された切削ブレードと、を備えた切削装置で被加工物を切削する切削方法であって、
   該スピンドルの先端に着脱治具を用いて切削ブレードを固定するブレード取り付けステップと、
   該ブレード取り付けステップを実施した後、該スピンドルを所定の回転数で回転させて該切削ブレードで被加工物を切削する切削ステップと、
   該ブレード取り付けステップを実施した後、該切削ステップを実施する前に、停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する検出ステップと、を備え、
   該検出ステップで検出された回転数または電流値の変化に基づいて該着脱治具の取り外し忘れの有無を検出する、切削方法。
2. 該検出ステップは、該ブレード取り付けステップ後に、該切削ステップを実施するために、停止した該スピンドルの回転を開始し、該スピンドルの回転数が該所定の回転数になるまで実施する、請求項１に記載の切削方法。
3. 該検出ステップは、該ブレード取り付けステップ後に、該切削ステップとは別に、停止した該スピンドルの回転を開始し、該スピンドルの回転数が該所定の回転数よりも低い第２の所定の回転数になるまで実施する、請求項１に記載の切削方法。
4. 切削装置であって、
   スピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、該スピンドルの先端に固定具を介して固定された切削ブレードと、を有し、該切削ブレードで被加工物を切削する切削手段と、
   少なくとも該モータを制御する制御手段と、を備え、
   該制御手段は、該切削手段の正常時に、停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶する正常状態記憶部と、
   該スピンドルが停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する検出部と、
   該検出部で検出された回転数の変化または電流値の変化を該正常状態記憶部で記憶された回転数の変化または電流値の変化と比較して着脱治具の取り外し忘れの有無を検出する判定部と、を有する、切削装置。
5. 該正常状態記憶部は、該切削ブレードが該被加工物を切削する所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶し、
   該検出部は、該所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する、請求項４に記載の切削装置。
6. 該正常状態記憶部は、停止した状態から該切削ブレードが該被加工物を切削する所定の回転数よりも低い第２の所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶し、
   該検出部は、該スピンドルが停止した状態から該第２の所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する、請求項４に記載の切削装置。

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