JP2021058958A - 切削方法及び切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係る切削方法と切削装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図3は、図2に示された切削ユニットの要部の断面図である。図4は、図1に示された切削装置の切削ブレードを交換する際に用いられる着脱治具を示す斜視図である。図5は、図4に示された着脱治具を回転するためのトルクレンチを示す斜視図である。図6は、図1に示された切削装置が停止したスピンドルを所定の回転数まで回転する際のスピンドルの回転数の変化を示す図である。図7は、図1に示された切削装置が停止したスピンドルを所定の回転数まで回転する際のスピンドルモータに流れる電流値の変化を示す図である。図8は、実施形態1に係る切削方法の流れを示すフローチャートである。
実施形態1に係る切削装置1は、図1に示す被加工物200を切削加工する切削装置である。実施形態1では、被加工物200は、シリコン、ガリウムヒ素、SiC(炭化ケイ素)又はサファイア、などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物200は、表面201に格子状に形成された複数の分割予定ライン202によって格子状に区画された領域にデバイス203が形成されている。
図9は、図8に示された切削方法のブレード取り付けステップを示す切削ユニットの正面図である。ブレード取り付けステップST1は、スピンドル23の先端に着脱治具50を用いて切削ブレード21を固定するステップである。
図10は、図8に示された切削方法の検出ステップで検出したスピンドルの回転数の変化の一例を示す図である。検出ステップST2は、ブレード取り付けステップST1を実施した後、切削ステップST5を実施する前に、停止した状態から回転が開始されたスピンドル23の一定時間における回転数の変化を検出するステップである。
図12は、図8に示された切削方法の切削ステップを一部断面で示す側面図である。切削ステップST5は、ブレード取り付けステップST1を実施した後、スピンドル23を所定の回転数402で回転させて切削ブレード21で被加工物200を切削するステップである。
本発明の実施形態2に係る切削方法及び切削装置を図面に基づいて説明する。図13は、実施形態2に係る切削方法の検出ステップで検出したスピンドルモータの電流値の変化の一例を示す図である。図13は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。実施形態2に係る切削方法及び切削装置1は、正常状態記憶部101と、検出ステップST2及びステップST3が実施形態と異なること以外、実施形態1と同じである。
本発明の実施形態1及び実施形態2の変形例に係る切削方法及び切削装置を図面に基づいて説明する。図14は、実施形態1及び実施形態2の変形例に係る切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。なお、図14は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
20 切削ユニット(切削手段)
21,21−1 切削ブレード
23 スピンドル
28 スピンドルモータ(モータ)
29,29−1 フランジ機構(固定具)
50 着脱治具
100 制御ユニット(制御手段)
101 正常状態記憶部
102 判定部
111 電流値検出手段(検出部、制御手段)
112 回転数検出手段(検出部、制御手段)
200 被加工物
301,304 時間(一定時間、回転数の変化)
301−1,304−1 時間(回転数の変化)
303 所定の時間(一定時間)
401 第2の所定の回転数
402 所定の回転数
404 回転数(第2の所定の回転数)
503,503−1 電流値(電流値の変化)
ST1 ブレード取り付けステップ
ST2 検出ステップ
ST5 切削ステップ
Claims (6)
- スピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、該スピンドルの先端に固定された切削ブレードと、を備えた切削装置で被加工物を切削する切削方法であって、
該スピンドルの先端に着脱治具を用いて切削ブレードを固定するブレード取り付けステップと、
該ブレード取り付けステップを実施した後、該スピンドルを所定の回転数で回転させて該切削ブレードで被加工物を切削する切削ステップと、
該ブレード取り付けステップを実施した後、該切削ステップを実施する前に、停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する検出ステップと、を備え、
該検出ステップで検出された回転数または電流値の変化に基づいて該着脱治具の取り外し忘れの有無を検出する、切削方法。 - 該検出ステップは、該ブレード取り付けステップ後に、該切削ステップを実施するために、停止した該スピンドルの回転を開始し、該スピンドルの回転数が該所定の回転数になるまで実施する、請求項1に記載の切削方法。
- 該検出ステップは、該ブレード取り付けステップ後に、該切削ステップとは別に、停止した該スピンドルの回転を開始し、該スピンドルの回転数が該所定の回転数よりも低い第2の所定の回転数になるまで実施する、請求項1に記載の切削方法。
- 切削装置であって、
スピンドルと、該スピンドルを回転させるモータと、該スピンドルの先端に固定具を介して固定された切削ブレードと、を有した切削手段と、
少なくとも該モータを制御する制御手段と、を備え、
該制御手段は、該切削手段の正常時に、停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶する正常状態記憶部と、
該スピンドルが停止した状態から回転が開始された該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する検出部と、
該検出部で検出された回転数の変化または電流値の変化を該正常状態記憶部で記憶された回転数の変化または電流値の変化と比較して着脱治具の取り外し忘れの有無を検出する判定部と、を有する、切削装置。 - 該正常状態記憶部は、該切削ブレードが該被加工物を切削する所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶し、
該検出部は、該所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する、請求項4に記載の切削装置。 - 該正常状態記憶部は、停止した状態から該切削ブレードが該被加工物を切削する所定の回転数よりも低い第2の所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を記憶し、
該検出部は、該スピンドルが停止した状態から該第2の所定の回転数になるまでの該スピンドルの一定時間における回転数の変化、または一定時間における該モータの電流値の変化を検出する、請求項4に記載の切削装置。
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US20050000333A1 (en) * | 2003-04-14 | 2005-01-06 | Josef Schittl | Method and device for the automatic determination of the diameter of a round disk-like tool driven by a motor |
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