JP2021016921A - フランジ機構と切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態1に係るフランジ機構と切削装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。図2は、図1に示された切削装置の切削ユニットを分解して示す斜視図である。図3は、図2に示された切削ユニットの要部の断面図である。
実施形態1に係る切削装置1は、図1に示す被加工物200を切削加工する切削装置である。実施形態1では、被加工物200は、シリコン、ガリウムヒ素、SiC(炭化ケイ素)又はサファイア、などを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。被加工物200は、表面201に格子状に形成された複数の分割予定ライン202によって格子状に区画された領域にデバイス203が形成されている。
ブレード交換ユニット70は、切削ブレード21を着脱位置に位置付けられた切削ユニット20のスピンドル23の先端に固定された支持フランジ42のボス部43に着脱するものである。なお、着脱位置とは、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向の位置が予め定められた位置であり、切削ユニット20がブレード交換ユニット70により切削ブレード21が着脱される際に位置付けられる位置である。
切削装置1は、オペレータが、加工内容情報を制御ユニット100に登録し、切削加工前の被加工物200をカセット51に収容して、カセット51をカセットエレベータ50の上面に設置し、ブレード交換ユニット70のブレードストッカ71のブレード保持部74に交換用の切削ブレード21を取り付ける。
図4は、図1に示された切削装置の切削ブレードの着脱動作中のフランジ機構等の断面図である。実施形態1において、切削装置1は、制御ユニット100が加工動作中に、切削ユニット20の切削ブレード21がブレード交換タイミングであると判定すると切削ブレード21の着脱動作を実施する。ブレード交換タイミングは、切削ユニット20の切削ブレード21を交換するタイミングであることをいう。ブレード交換タイミングは、例えば、予め設定された数の被加工物200を切削する毎や、測定された切削ブレード21の外径が事前に設定した数値を下回ったとき等であり、加工内容情報の一部として制御ユニット100に登録される。また、本発明のブレード交換タイミングは、まさに1枚の被加工物200を加工している途中でも良く、複数の被加工物200を連続して加工する際に、被加工物200を交換するタイミングでも良い。
本発明の実施形態1の変形例に係るフランジ機構を図面に基づいて説明する。図5は、実施形態1の変形例に係る切削装置の切削ユニットの要部の断面図である。なお、図5は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態2に係る切削装置を図面に基づいて説明する。図6は、実施形態2に係る切削装置の切削ユニットの要部の断面図である。なお、図6は、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
10 チャックテーブル
20 切削ユニット
21,21−2 切削ブレード
23 スピンドル
24 開閉弁
25 吸引源
30 X軸移動ユニット(加工送りユニット)
40,40−2 フランジ機構
43 ボス部
44 フランジ部
45 押さえフランジ
72 ブレード着脱ユニット
211 装着穴
212 基台
213 切り刃
215 基台凹部
216 装着穴
441 支持面
443 端面
444 凹部
445 空間
446,446−2 貫通穴
447 背面
449 対向面
451 装着穴
452 挟持面
Claims (7)
- 中央に装着穴を有する円盤状の基台と、該基台の外周縁に設けられた切り刃と、を有する切削ブレードをスピンドルの先端に装着するためのフランジ機構であって、
前後方向に伸長し該切削ブレードの該基台の該装着穴に挿通する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方側から径方向外向きに突出する鍔状の部材で、該切削ブレードと対面するボス部側の支持面の外周縁に該切削ブレードの該基台を支持する環状の端面を有するフランジ部と、を備え、
該フランジ部は、
該端面と該ボス部の間に、該フランジ部を該支持面側から該支持面と反対側の背面側まで貫通する貫通穴を複数備え、
該フランジ部の該背面側に作用する吸引源からの負圧を、該貫通穴を介して該切削ブレードに作用させ、負圧によって該切削ブレードを該フランジ部に固定するフランジ機構。 - 該貫通穴は、該フランジ部の外周に沿って周方向に複数形成されている請求項1に記載のフランジ機構。
- 該フランジ部の該支持面は該端面と該ボス部との間の環状の領域に凹部を備え、該貫通穴は凹部に開口し、該凹部と該切削ブレードの該基台との間の空間に負圧を作用させる請求項1又は請求項2に記載のフランジ機構。
- 該切削ブレードの基台は、該フランジ部の該支持面の該貫通穴に対面する領域に基台凹部を備え、該支持面と該基台凹部との間の空間に負圧が作用する請求項1又は請求項2に記載のフランジ機構。
- 中央に装着穴を有する切り刃からなる切削ブレードをスピンドルの先端に装着するためのフランジ機構であって、
前後方向に伸長する円柱状のボス部と、
該ボス部の後方側から径方向外向きに突出する鍔状の部材で、該切削ブレードと対面する外周縁に該切削ブレードを支持する環状の端面を有するフランジ部と、
中央に該ボス部が挿通する装着穴と、外周縁に該フランジ部との間に該切削ブレードを挟持する環状の挟持面とを有した押さえフランジと、を備え、
該フランジ部は、
該端面と該ボス部の間に、該押さえフランジと対面する対向面側から該対向面と反対側の背面側まで貫通する貫通穴を複数備え、
該フランジ部の該背面側に作用する吸引源からの負圧を、該貫通穴を介して該押さえフランジに作用させ、負圧によって該押さえフランジを該フランジ部に固定して、該切削ブレードを該フランジ部に固定するフランジ機構。 - 被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルに固定されたフランジ機構を介して装着した切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、該チャックテーブルと該切削ユニットとを相対的に加工送りする加工送りユニットとを備える切削装置であって、
該切削ユニットは、
該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングと、
該スピンドルに固定され、かつ切削ブレードをスピンドルの先端に装着するフランジ機構とを備え、
該フランジ機構として、請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載のフランジ機構を備える切削装置。 - 該フランジ機構に該切削ブレードを装着及び離脱させるブレード着脱ユニットをさらに備え、該吸引源とロータリージョイントの連通を開閉する開閉弁と連動し該ブレード着脱ユニットによる切削ブレードを装着及び離脱させる請求項6に記載の切削装置。
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