JP2015023222A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、上記従来の切削手段においては、切削作業時における回転軸の回転による固定フランジの弛みの発生を防止するために、固定フランジおよびマウンターに形成されたネジは一般に回転軸の回転方向に対して逆ネジとなっているので、切削装置の稼働によって次第に固定フランジの締め付け力が増大するため、切削ブレードの交換時に固定フランジの締め付けを緩める作業が困難となる場合がある。
該切削手段は、スピンドルハウジングに回転可能に支持された回転軸と、該回転軸の前端部に嵌合して装着され切削ブレードを支持するマウンターと、該マウンターに支持された切削ブレードを該マウンターに固定する固定フランジとを具備し、
該マウンターは、該固定フランジの中央部に形成された嵌合穴が嵌合し軸方向に摺動可能に支持するボス部と、該ボス部の外周から径方向に突出して形成され前面に支持面を備えたツバ部と、該ツバ部の後方側に設けられた円筒部とを具備し、該ツバ部には該支持面側に開口する吸引孔が設けられ、該円筒部には該吸引孔と連通する連通路が設けられており、該円筒部に設けられた該連通路がロータリージョイントを介して吸引手段に連通されており、
該吸引手段を作動して該ロータリージョイントと該連通路および該吸引孔を介して該マウンターと該固定フランジとの間に負圧を作用させて該固定フランジを該マウンター側に吸引することにより切削ブレードを該マウンターと該固定フランジとの間に固定する、
ことを特徴とする切削装置が提供される。
図示の実施形態における切削装置は、略直方体状の装置ハウジング2を具備している。この装置ハウジング2内には、被加工物を保持する被加工物保持手段としてのチャックテーブル3が加工送り方向である矢印Xで示す方向に移動可能に配設されている。チャックテーブル3は、吸着チャック支持台31と、該吸着チャック支持台31上に装着された吸着チャック32を具備しており、該吸着チャック32の表面である載置面上に被加工物である例えば円形状の半導体ウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。また、チャックテーブル3は、図示しない回転機構によって回動可能に構成されている。このように構成されたチャックテーブル3は、図示しない加工送り手段によって矢印Xで示す加工送り方向に移動せしめられる。
なお、図2および図3に示す実施形態における切削ブレード43は、環状の切れ刃のみからなる所謂ワッシャーブレードである。
先ず、ロータリージョイント8の環状の取付け部81および筒状の回転支持部82を回転軸42の前端部に挿通し、環状の取付け部81に設けられた複数のボルト挿通穴811に締結ボルト80を挿通してスピンドルハウジング41に設けられた雌ネジ穴411に螺合することにより、ロータリージョイント8をスピンドルハウジング41の前端に装着する。次に、図3に示すようにマウンター6の嵌合穴61を回転軸42の前端部に嵌合するとともに、円筒部64をロータリージョイント8の筒状の回転支持部82に回転可能に嵌合する。そして、回転軸42の先端部外周に形成された雄ネジ421に締め付けナット11を螺合することにより、マウンター6を回転軸42の先端部に固定する。次に、固定フランジ7の嵌合凸部73に環状の切削ブレード43を嵌合し、固定フランジ7の嵌合穴71をマウンター6のボス部62に嵌合するとともに、固定フランジ7の嵌合凸部73をマウンター6の嵌合凹部632に嵌合する。
図4に示すハブブレードからなる切削ブレード430は、円盤状の基台431と該基台431の片側側面の外周部に配設された環状の切れ刃432とからなっている。基台431は、アルミニウムによって形成されその中心部には上記マウンター6のボス部62の外周面と対応する内径の内周面を有する嵌合穴431aが設けられているとともに、上記固定フランジ7の嵌合凸部73と対応する嵌合凸部431bが設けられている。切れ刃432は、例えば10μ程度のダイヤモンド砥粒が電鋳によって形成されている。このように構成されたハブブレードからなる切削ブレード430は、円盤状の基台431が上記固定フランジ7と同様の機能を有する。即ち、円盤状の基台431の嵌合穴431aをマウンター6のボス部62に嵌合するとともに、嵌合凸部431bをマウンター6の嵌合凹部632に嵌合することにより、上記固定フランジ7と同様の機能を有することになる。
なお、切削装置による切削加工を実施するに際しては、オペレータが入力手段102から作業開始信号を入力すると、制御手段10は吸引手段9の電磁三方向弁93を吸引源91側とロータリージョイント8側とを連通する第1の形態に作動せしめる。この結果、上述したように吸引源91が吸引パイプ92、ロータリージョイント8の回転支持部82に設けられた流通路821、マウンター6の円筒部64に設けられた環状溝642および連通路641、マウンター6を構成するツバ部63に設けられた吸引孔633を介して嵌合凹部632と連通する。従って、嵌合凹部632と嵌合している固定フランジ7の嵌合凸部73に負圧が作用し、固定フランジ7がマウンター6のツバ部63側に吸引されるので、切削ブレード43がマウンター6のツバ部63に形成された環状の支持面631と固定フランジ7に形成された環状の支持面72との間に挟持固定される。なお、ハブブレードからなる切削ブレード430を用いる場合は、切削ブレード430の嵌合凸部431bがマウンター6のツバ部63側に吸引されて固定される。
3:チャックテーブル
31:吸着チャック支持台
32:吸着チャック
4:スピンドルユニット
41:スピンドルハウジング
42:回転軸
5:切削ブレード装着機構
6:マウンター
62:ボス部
63:ツバ部
631:支持面
632:嵌合凹部
633:吸引孔
64:円筒部
641:連通路
642:環状溝
7:固定フランジ
72:支持面
73:嵌合凸部
8:ロータリージョイント
82:回転支持部
821:流通路
9:吸引手段
91:吸引源
92:吸引パイプ
93:電磁三方向弁
10:制御手段
Claims (2)
- 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物を切削する回転可能に構成された切削ブレードを備えた切削手段と、該被加工物保持手段と該切削手段とを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、を具備する切削装置において、
該切削手段は、スピンドルハウジングに回転可能に支持された回転軸と、該回転軸の前端部に嵌合して装着され切削ブレードを支持するマウンターと、該マウンターに支持された切削ブレードを該マウンターに固定する固定フランジとを具備し、
該マウンターは、該固定フランジの中央部に形成された嵌合穴が嵌合し軸方向に摺動可能に支持するボス部と、該ボス部の外周から径方向に突出して形成され前面に支持面を備えたツバ部と、該ツバ部の後方側に設けられた円筒部とを具備し、該ツバ部には該支持面側に開口する吸引孔が設けられ、該円筒部には該吸引孔と連通する連通路が設けられており、該円筒部に設けられた該連通路がロータリージョイントを介して吸引手段に連通されており、
該吸引手段を作動して該ロータリージョイントと該連通路および該吸引孔を介して該マウンターと該固定フランジとの間に負圧を作用させて該固定フランジを該マウンター側に吸引することにより切削ブレードを該マウンターと該固定フランジとの間に固定する、
ことを特徴とする切削装置。 - 該ロータリージョイントと該吸引手段との間に配設され該ロータリージョイント側の圧力を検出する圧力センサーと、該圧力センサーからの検出圧力が所定値より高い場合には警報手段に警報信号を出力する制御手段を備えている、請求項1記載の切削装置。
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