JP5465064B2 - ノズル調整治具 - Google Patents
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Description
本発明は、被加工物を切削する切削装置において、切削ブレードへ切削水を供給する切削水ノズルの位置を調整するノズル調整治具に関する。
ＩＣやＬＳＩ等のデバイスが複数表面に形成された半導体ウエーハや、樹脂基板、各種セラミック基板、ガラス基板等の被加工物は切削装置によって個々のチップに分割され、分割されたチップは各種電子機器に広く利用される。
切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する外周先端部に切刃を有する切削ブレードを含む切削手段と、加工中の切削ブレードへ切削水を供給するノズルとから少なくとも構成され、被加工物を高精度に分割する。切削ブレードへ切削水を供給することは、加工中の加工熱を冷却する点と切削によって発生する切削屑を被加工物上面から洗い流す点において非常に重要である。
ノズル位置が誤った位置に調整され切削ブレードの適切な位置に切削水が供給されないと、加工熱が十分に冷却されずに切削ブレードの異常磨耗や焼けが発生して加工品質が著しく悪化する。ひいては切削ブレードの破損や被加工物の破損を発生させてしまうことになる。
同様に、ノズル位置が適切でない場合には、切削屑が被加工物上面から排出されずに被加工物上面に切削屑が付着する。加工後一度乾燥した切削屑は洗浄が難しいことから、一旦切削屑が付着した被加工物は更なる洗浄が必要となる。
切削水ノズルは切削ブレードの切刃の厚み方向中央に向けて切削水が供給されるように調整することが望ましい。切削ブレードをスピンドルに固定されたマウントフランジに取り付ける際には、取り付けの都度僅かに取付位置が異なるため、切削ブレードの交換に応じて切削水ノズルの取付位置を調整することが必要となる。
ところが、切削ブレードの厚みは一般的に１０μｍ〜５００μｍと薄く、その厚み方向中央に切削水ノズルを調整することは非常に難しい。そこで、特開２００６−１８７８４９号公報には、切削水ノズルの位置を調整可能としたブレードカバー装置が開示されている。
しかし、近年広く利用されている二つの切削手段を対向する形で配設したデュアルダイサーと呼ばれる切削装置（対向式デュアルダイサー）では、二つの切削ブレード間に作業者が入って調整する必要があるため、特許文献１に開示されたようなブレードカバー装置を用いても、切削ブレード位置を確認しながらの調整が必要となるため、精密な調整は非常に難しいという問題がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、容易に切削水ノズルの位置調整が可能なノズル調整治具を提供することである。
本発明によると、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに回転可能に装着された切削手段と、該スピンドルを収容するスピンドルハウジングに装着されたホイールカバーと、該ホイールカバーに調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルを有する切削水ブロックとを備えた切削装置において使用され、該切削ブレードが取り外された状態で該切削水ノズルの位置を調整するノズル調整治具であって、該マウントフランジの該ボス部に嵌合する嵌合穴を有する平板部と、該平板部に対して垂直方向に伸長する所定長さの連結部で該平板部に連結され、該切削ブレードの後方で該切削水ノズルを該切削ブレードの厚み方向の中心へ位置決めする該平板部と平行に伸長する規制部と、を具備したことを特徴とするノズル調整治具が提供される。
好ましくは、連結部には、ノズル調整治具がマウントフランジに装着された際に、切削水ブロックに圧接してノズル調整治具の回転を防止する回転防止手段が配設されている。
本発明のノズル調整治具によると、マウントフランジのボス部にノズル調整治具を装着した状態で、切削水ノズルを有する切削水ブロックをノズル調整治具の規制部へ押し当てることで、切削水ノズルを切削ブレードの厚み方向の中心へ容易に位置決めすることができる。
また、連結部には、ノズル調整治具がマウントフランジに装着された際に、切削水ブロックに圧接してノズル調整治具の回転を防止する回転防止手段が配設されているので、規制部を切削水ノズルの後方に配置することができるとともに、ノズル調整治具が回転してホイールカバー等に衝突するのを防止することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は半導体ウエーハをダイシングして個々のチップ（デバイス）に分割することのできる切削装置２の外観を示している。本発明のノズル調整治具は、切削装置２に装着された切削水ノズルの位置調整を使用するために使用される。
切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
図２に示すように、ダイシング対象の半導体ウエーハＷの表面においては、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されて多数のデバイスＤがウエーハＷ上に形成されている。
ウエーハＷは粘着シートであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウエーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウエーハカセット８中にウエーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウエーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
ウエーハカセット８の後方には、ウエーハカセット８から切削前のウエーハＷを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウエーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウエーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
仮置き領域１２の近傍には、ウエーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウエーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数のクランプ１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
アライメント手段２０は、ウエーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウエーハＷに対して切削加工を施す切削手段２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
図３を参照すると、スピンドルと、スピンドルに装着されるブレードマウントとの関係を示す分解斜視図が示されている。スピンドルユニット３０のスピンドルハウジング３２中には、図示しないサーボモータにより回転駆動されるスピンドル２６が回転可能に収容されている。スピンドル２６はテーパ部２６ａ及び先端小径部２６ｂを有しており、先端小径部２６ｂには雄ねじ３４が形成されている。
３６はボス部（凸部）３８と、ボス部３８と一体的に形成された固定フランジ４０とから構成されるマウントフランジであり、ボス部３８には雄ねじ４２が形成されている。さらに、マウントフランジ３６は装着穴４３を有している。
マウントフランジ３６は、装着穴４３をスピンドル２６の先端小径部２６ｂ及びテーパ部２６ａに挿入して、ナット４４を雄ねじ３４に螺合して締め付けることにより、図４に示すようにスピンドル２６の先端部に取り付けられる。
図４はマウントフランジ３６が固定されたスピンドル２６と、切削ブレード２８との装着関係を示す分解斜視図である。切削ブレード２８はハブブレードと呼ばれ、円形ハブ４８を有する円形基台４６の外周にニッケル母材中にダイヤモンド砥粒が分散された切刃５０が電着されて構成されている。
切削ブレード２８の装着穴５２をマウントフランジ３６のボス部３８に挿入し、固定ナット５４をボス部３８の雄ねじ４２に螺合して締め付けることにより、図５に示すように切削ブレード２８がスピンドル２６に取り付けられる。
図６を参照すると、リング状またはワッシャー状の切削ブレード５６をスピンドル２６に装着する様子を示す分解斜視図が示されている。切削ブレード５６はその全体が電鋳された切刃（電鋳砥石）から構成されている。
マウントフランジ３６のボス部３８に切削ブレード５６を挿入し、さらに着脱フランジ５８をボス部３８に挿入して、固定ナット５４を雄ねじ４２に螺合して締め付けることにより、切削ブレード５６は固定フランジ４０と着脱フランジ５８により両側から挟まれてスピンドル２６に取り付けられる。
図７を参照すると、スピンドルに装着された切削ブレードをホイールカバー（ブレードカバー）６０で包囲した状態の斜視図が示されている。図８は切削ブレードを省略した状態のホイールカバー部分の斜視図である。ホイールカバー６０にはブレード破損検出器６２が取り付けられている。
ブレード破損検出器６２は、図９に示すように光ファイバー６６に接続された発光部６４の先端と、同じく光ファイバーに接続された受光部の先端とが切削ブレード２８の切刃５０を挟んで対向するように位置付けられて構成されている。
６８はブレード破損検出器６２の位置を調整する調整ねじであり、７０は調整された位置でブレード破損検出器６２を固定する固定ねじである。発光部６４の先端にはマーカー７２が形成されている。
図１０を参照すると、切削ブレード２８を取り外した状態のホイールカバー部分の側面図が示されている。ホイールカバー６０内には図示しないエアーシリンダが収容されており、図１０はエアーシリンダのピストンロッド７４が伸長された状態を示している。
ピストンロッド７４の先端には図示しない取り付けプレートが固定されており、この取り付けプレートに冷却水ノズルアセンブリ７６がねじ８６により締結されている。図８に最もよく示されるように、冷却水ノズルアセンブリ７６は、ホース８２が接続される接続パイプ７８と、接続パイプ７８から分岐した冷却水ノズル８０ａ，８０ｂを含んでいる。８１は冷却水ノズル８０ａ，８０ｂに形成された冷却水供給口である。各冷却水ノズル８０ａ，８０ｂの外側には飛沫カバー８４が設けられている。
８８は切削水ブロック（ノズルブロック）であり、ねじ９０によりホイールカバー６０に締結されている。切削水ブロック８８は、ホース９６に接続される接続パイプ９２と、接続パイプ９２に接続された切削水ノズル９４（図９参照）とを含んでいる。
切削水ノズル９４の先端（切削水供給口）は切削ブレード２８の切刃５０に向かって開口している。図８に示すように、冷却水ノズルアセンブリ７６は矢印Ａ方向に調整可能であり、切削水ブロック８８は矢印Ｂ方向に調整可能である。
図１１を参照すると、本発明実施形態のノズル調整治具１００の斜視図が示されている。ノズル調整治具１００は、マウントフランジ３６のボス部３８に嵌合する嵌合穴１０４を有する平板部１０２と、平板部１０２に対して垂直方向に伸長する所定長さの連結部１０８で平板部１０２に連結され、平板部１０２と平行に伸長する平板状規制部１０６とから構成される。
規制部１０６は規制面１０６ａを有している。連結部１０８の長さは、ノズル調整治具１００をマウントフランジ３６のボス部３８に装着した際、切削水ブロック８８を規制部１０６の規制面１０６ａに押し当てると、切削水ノズル９４が切削ブレード２８の切刃５０の厚み方向の中心へ位置決めされる所定長さに設定されている。連結部１０８には、回転防止手段としての板ばね１１０がねじ１１２で固定されている。
切削水ノズル９４の位置調整をする際には、切削ブレード２８をマウントフランジ３６から取り外し、ノズル調整治具１００の平板部１０２に形成された嵌合穴１０４をマウントフランジ３６のボス部３８に嵌合して、図１２に示すようにノズル調整治具１００をマウントフランジ３６に装着する。この時、板ばね１１０は切削水ブロック８８に圧接し、ノズル調整治具１００の回転が防止される。
この状態で、切削水ブロック８８をホイールカバー６０に固定しているねじ９０を緩め、図１３に示すように切削水ブロック８８の側面８８ａを規制部１０６の規制面１０６ａに押し当てる。
上述したように、連結部１０８の長さが所定長さに形成されているため、図１３に示した状態で切削水ノズル９４は切削ブレード２８の切刃５０の厚み方向の中心へ位置決めされる。よって、ねじ９０を締結して切削水ブロック８８をホイールカバー６０に固定することにより、切削水ノズル９４の調整は終了する。
ノズル調整治具１００をマウントフランジ３６から取り外すには、図１４に示すようにノズル調整治具１００を時計回り方向に回転して、板ばね１１０の切削水ブロック８８に対する圧接を解除してから、ノズル調整治具１００を引き出してマウントフランジ３６から取り外す。
本発明のノズル調整治具１００によると、マウントフランジ３６のボス部３８にノズル調整治具１００を装着した状態で、切削水ノズル９４を有する切削水ブロック８８をノズル調整治具１００の規制部１０６に押し当てることで、切削水ノズル９４を切削ブレード２８の厚み方向の中心へ容易に位置決めすることができる。
ノズル調整治具１００の規制部１０６を切削水ノズル９４を有する切削水ブロック８８の後方（装置奥側）に配置することで、ナットでノズル調整治具１００を止めなくても容易に作業を行うことができる。
また、回転防止手段として作用する板ばね１１０を連結部１０８に取り付けたことにより、作業中にノズル調整治具１００の回転を防止して規制部１０６を切削水ノズル９４を有する切削水ブロック８８の後方に配置することができるとともに、ノズル調整治具１００がホイールカバー６０等に衝突するのを防止できる。
２ 切削装置
１８ チャックテーブル
２４ 切削手段
２６ スピンドル
２８ 切削ブレード
３６ マウントフランジ
６０ ホイールカバー（ブレードカバー）
８８ 切削水ブロック
９４ 切削水ノズル
１００ ノズル調整治具
１０２ 平板部
１０４ 嵌合穴
１０６ 規制部
１０８ 連結部
１１０ 板ばね
１８ チャックテーブル
２４ 切削手段
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２８ 切削ブレード
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９４ 切削水ノズル
１００ ノズル調整治具
１０２ 平板部
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１０８ 連結部
１１０ 板ばね
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに回転可能に装着された切削手段と、該スピンドルを収容するスピンドルハウジングに装着されたホイールカバーと、該ホイールカバーに調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルを有する切削水ブロックとを備えた切削装置において使用され、該切削ブレードが取り外された状態で該切削水ノズルの位置を調整するノズル調整治具であって、
該マウントフランジの該ボス部に嵌合する嵌合穴を有する平板部と、
該平板部に対して垂直方向に伸長する所定長さの連結部で該平板部に連結され、該切削ブレードの後方で該切削水ノズルを該切削ブレードの厚み方向の中心へ位置決めする該平板部と平行に伸長する規制部と、
を具備したことを特徴とするノズル調整治具。 - 前記連結部には、ノズル調整治具が前記マウントフランジに装着された際に、該切削水ブロックに圧接してノズル調整治具の回転を防止する回転防止手段が配設されている請求項１記載のノズル調整治具。
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