JP6378976B2 - フランジ機構及び切削装置 - Google Patents

フランジ機構及び切削装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6378976B2
JP6378976B2 JP2014171539A JP2014171539A JP6378976B2 JP 6378976 B2 JP6378976 B2 JP 6378976B2 JP 2014171539 A JP2014171539 A JP 2014171539A JP 2014171539 A JP2014171539 A JP 2014171539A JP 6378976 B2 JP6378976 B2 JP 6378976B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flange
cutting
blade
spindle
cutting water
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014171539A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016043469A (ja
Inventor
敏文 松山
敏文 松山
博光 植山
博光 植山
逸人 木内
逸人 木内
浩司 楠部
浩司 楠部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corp filed Critical Disco Corp
Priority to JP2014171539A priority Critical patent/JP6378976B2/ja
Priority to TW104121841A priority patent/TWI659798B/zh
Priority to KR1020150111126A priority patent/KR102280138B1/ko
Priority to CN201510507312.6A priority patent/CN105382625B/zh
Priority to US14/833,700 priority patent/US10071433B2/en
Publication of JP2016043469A publication Critical patent/JP2016043469A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6378976B2 publication Critical patent/JP6378976B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D59/00Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
    • B23D59/02Devices for lubricating or cooling circular saw blades
    • B23D59/025Devices for lubricating or cooling circular saw blades the lubricating or cooling medium being applied through the mounting means of the tool, e.g. the tool spindle or hub
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/10Arrangements for cooling or lubricating tools or work
    • B23Q11/1015Arrangements for cooling or lubricating tools or work by supplying a cutting liquid through the spindle
    • B23Q11/103Rotary joints specially adapted for feeding the cutting liquid to the spindle
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T83/00Cutting
    • Y10T83/283With means to control or modify temperature of apparatus or work
    • Y10T83/293Of tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Dicing (AREA)
  • Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

本発明は、スピンドルに切削ブレードを装着するためのフランジ機構及びそのフランジ機構を備える切削装置に関する。
回転する切削ブレードを被加工物に切り込ませて切削する切削装置においては、ノズルから切削ブレードに切削水を供給しながら切削を行っている。ノズルから切削水を噴射することにより切削ブレードがその厚さ方向に振られるのを防ぐため、ノズルと切削ブレードとを正確に位置合わせする必要がある。そこで、調整治具を用いて切削ブレードに対するノズルの位置を調整する技術が提案されている(例えば、特許文献1,2参照)。
しかし、特許文献1,2に記載された調整治具を用いたとしても、ノズルと切削ブレードとを正確に位置合わせするのは手間がかかる。そこで、ノズルを用いずに、切削ブレードが装着されるスピンドルからフランジの内部を介して切削ブレードに切削水を供給する技術が提案されている(例えば、特許文献3,4参照)。また、切削ブレードを保持するフランジに環状の溝を設け、環状の溝に切削水を噴射することにより、フランジの内部を介して切削ブレードに切削水などを供給する技術も提案されている(例えば、特許文献5参照)。
特開2011−212815号公報 特開2010−42490号公報 特開平8−155949号公報 特開平6−71563号公報 特開2003−225844号公報
しかし、スピンドルの回転軸からフランジの内部を介して切削ブレードに切削水を供給する構造では、スピンドル内に切削水を供給する手段が必要となる。また、特許文献3及び4に記載されているように切削ブレードの前面側から回転軸内に切削水を供給する手段を設けると、切削ブレードを交換する際に邪魔になる。一方、切削ブレードの後面側から回転軸内に切削水を供給する場合には、スピンドルに切削水を通す通水路を設ける必要があり、また、切削水の漏れを防ぐためのシール機構なども必要になるため、スピンドルの構造が複雑化する。
フランジに設けた溝からフランジの内部を介して切削ブレードに切削水を供給する構造であれば、ノズルと切削ブレードとを位置合わせする手間がかからないだけでなく、切削ブレードの交換時の邪魔にならず、また、切削水の漏れを防ぐための複雑な機構も不要であるが、フランジに環状の溝を設けると、フランジの強度が低下するおそれがある。フランジの強度が低下すると、切削ブレードを挟持する力が弱くなり、切削加工の精度が低下するという問題がある。
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、切削ブレードに切削水を供給するにあたり、位置合わせなどの手間をかけないこと、切削ブレードの交換に支障を生じさせないこと、スピンドルの構造を複雑化させないこと、及び、フランジの強度を低下させないことを課題とする。
本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、回転可能なスピンドルの先端に固定されたフランジ機構を有し、該チャックテーブルに保持された被加工物を、該フランジ機構に挟持された切削ブレードで切削する切削手段と、を備えた切削装置であって、該フランジ機構は、該切削ブレードの一方の面に接する第1のフランジと、該切削ブレードの他方の面に接し、該第1のフランジとの間で該切削ブレードを挟持する第2のフランジと、を備え、該第1のフランジは、該スピンドルが嵌入される第1の嵌入孔と、該第1の嵌入孔の周囲に設けられた円環柱状の装着柱と、該装着柱よりも該第1のフランジの中心軸から離れた位置に設けられた複数の切削水供給孔と、該切削水供給孔よりも該第1のフランジの中心軸から離れた位置に設けられ、該切削ブレードに当接する環状の第1の挟持面と、該第1の挟持面において、該第1のフランジの径方向に配設された複数の第1の供給溝と、を備え、該第2のフランジは、該装着柱が嵌入される第2の嵌入孔と、該第2の嵌入孔よりも該第2のフランジの中心軸から離れた位置に設けられ、該切削ブレードに当接し、該第1の挟持面との間で該切削ブレードを挟持する環状の第2の挟持面と、該第2の挟持面において、該第2のフランジの径方向に配設された複数の第2の供給溝と、を備え、該第1のフランジと該第2のフランジとで該切削ブレードを挟持することにより、該第1のフランジと該第2のフランジとの間に、該切削水供給孔並びに該第1の供給溝及び該第2の供給溝と連通する環状の切削水供給室が形成され、該切削水供給孔から供給された切削水が、該切削水供給室に供給され、該スピンドルの回転による遠心力により、該第1の供給溝及び該第2の供給溝から噴射され、該切削手段は、該フランジ機構が固定される該スピンドルと、該スピンドルを囲繞し該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該スピンドルの外周面と該ハウジングの内周面との間から該第1のフランジに向けて流体を噴出させる噴出口と、該第1のフランジと対面する第1のブレードカバーを備え、該フランジ機構及び該フランジ機構に挟持された該切削ブレードを囲繞するブレードカバー機構と、を備え、該第1のブレードカバーは、切削水供給源から供給される切削水を、該第1のフランジに向けて噴射する噴射口を備え、該噴射口から噴射された切削水が、該切削水供給孔から該切削水供給室に供給され、該第1及び第2の供給溝から噴射される
上記切削装置において、前記ブレードカバー機構は、前記第2のフランジと対面する第2のブレードカバーを備え、該第2のブレードカバーは、前記スピンドルの回転軸を中心とする円状の開口を備えることが好ましい。
本発明に係るフランジ機構によれば、切削水供給孔から供給された切削水が、第1及び第2の供給溝から噴射されるので、ノズルの位置合わせをする必要がなく、切削ブレードの両面に切削水を供給することができる。また、切削ブレードの後面側から切削ブレードに切削水を供給することができるので、切削ブレードを交換する際の邪魔になることはなく、スピンドルの構造を複雑化させずに簡単な機構で切削水を供給することができる。さらに、フランジ機構に溝を設ける必要がないので、フランジの強度低下を防ぐことができる。
また、第2の供給溝が第1の供給溝に対面していれば、第1の供給溝から噴射される切削水による圧力と第2の供給溝から噴射される切削水による圧力とが均等に切削ブレードに加わるので、切削ブレードが傾いて被加工物に切り込むのを防ぐことができる。
本発明に係る切削装置によれば、第1のフランジと対面する第1のブレードカバーに設けられた噴射口から切削水を噴射することにより切削水を供給するので、第1のフランジに環状の溝を設ける必要がなく、フランジ機構の強度低下を防ぐことができる。また、噴出口からエアーなどの流体を第1のフランジに向けて噴出するので、第1のフランジを冷却することができ、切削ブレードの冷却効率を高めることができる。
第2のブレードカバーの中央に円状の開口を設ければ、スピンドルの回転による遠心力により開口から外気が流入するので、第2のフランジを冷却することができ、切削ブレードの冷却効率を高めることができる。
切削装置を示す斜視図。 切削手段を示す一部拡大断面図。 第1のフランジを示す正面図。 第2のフランジを示す背面図。 挟持手段を示す正面図。 フランジ機構と切削ブレードとを示す一部拡大断面図。 フランジ機構で切削ブレードを挟持した状態を示す一部拡大断面図。 第1のブレードカバーを示す正面図。 第1のブレードカバーとフランジ機構との位置関係を示す正面図。 切削手段の第2例を示す一部拡大断面図。 図10のa−a線断面図。 切削手段の第3例を示す一部拡大断面図。 第1のフランジの第2例を示す正面図。
図1に示す切削装置10は、被加工物20を保持するチャックテーブル11と、チャックテーブル11を±X方向に平行に移動させる切削送り手段12と、チャックテーブル11に保持された被加工物20を切削する2つの切削手段13a,13bと、それぞれの切削手段13a,13bを±Z方向に移動させる2つの切込み送り手段14a,14bと、それぞれの切込み送り手段14a,14bを±Y方向に移動させる2つの割出し送り手段15a,15bとを備えている。
チャックテーブル11は、回転可能であり、例えばXY平面に平行な保持面を備え、保持面に作用する吸引力によって載置された被加工物20を吸引保持する。
切削送り手段12は、±X方向に平行なねじ軸122をモータ121が回転させることにより、ねじ軸122に係合した移動部123が、ガイド124に案内されて±X方向に移動する構成となっている。チャックテーブル11は、移動部123に固定され、移動部123の移動に伴って±X方向に移動する。
切削手段13a,13bには、切削ブレード60が装着される。切削手段13a,13bは、装着された切削ブレード60を回転させ、チャックテーブル11に保持された被加工物20に切り込ませることにより、被加工物20を切削する。なお、切削手段13bを構成する切削ブレード60については図示を省略している。
切込み送り手段14a,14bは、±Z方向に平行なねじ軸142をモータ141が回転させることにより、ねじ軸142に係合した移動部143が、ガイド144に案内されて±Z方向に移動する構成となっている。切削手段13a,13bは、移動部143に固定され、移動部143の移動に伴って、±Z方向に移動する。
割出し送り手段15a,15bは、例えばボールねじ機構を備え、±Y方向に平行なねじ軸152をモータ151が回転させることにより、ねじ軸152に係合した移動部153が、ガイド154に案内されて±Y方向に移動する構成となっている。切込み送り手段14a,14bは、移動部153に固定され、移動部153の移動に伴って、±Y方向に移動し、それに伴って、切削手段13a,13bも±Y方向に移動する。
このように構成される切削装置10では、チャックテーブル11が±Z方向に平行な回転軸を中心として回転することにより、チャックテーブル11に保持された被加工物20の切削ラインを±X方向に平行にする。そして、割出し送り手段15a,15bが切削手段13a,13bを移動させることにより、切削手段13a,13bに装着された切削ブレード60の±Y方向における位置を被加工物20の切削予定ラインに合わせ、切削手段13a,13bが切削ブレード60を回転させ、切込み送り手段14a,14bが切削手段13a,13bを移動させることにより、切削ブレード60が被加工物20の切削ラインに切り込む。その状態で、切削送り手段12がチャックテーブル11を移動させることにより、被加工物20は、切削ラインに沿って切削される。
図2に示すように、切削手段13aは、±Y方向に平行な回転軸を有するスピンドル31と、スピンドル31を回転可能に支持するハウジング32と、切削ブレード60を挟持するフランジ機構35と、切削ブレード60及びフランジ機構35を覆うブレードカバー機構34とを備えている。なお、切削手段13bも同様に構成される。
スピンドル31の外周面とハウジング32の内周面との間の隙間には、エアースピンドルベアリングを構成するエアーが流れており、そのエアーは、噴出口33からフランジ機構35に向けて噴出している。
フランジ機構35は、スピンドル31の根元側(+Y側)に配置された第1のフランジ51と、第1のフランジ51よりもスピンドル31の先端側(−Y側)に配置された第2のフランジ52と、2つのフランジ51,52を固定する挟持手段53とを備え、スピンドル31の先端に固定され、2つのフランジ51,52の間に切削ブレード60を挟持する。
第1のフランジ51は、中央にスピンドル31の−Y側の先端部を収容する嵌入穴511と、第2のフランジ52が装着される装着柱512と、切削水が供給される複数の切削水供給孔513とを備え、嵌入穴511にスピンドル31の先端が嵌入される。スピンドル31の−Y側の先端には雄ねじが形成されており、この雄ねじに第1フランジ固定ナット55の内周に形成される雌ねじを螺合させることにより、第1のフランジ51がスピンドル31に固定される。装着柱512は、−Y側に向けて突設された円環柱状に形成され、嵌入穴511の周囲を囲っている。切削水供給孔513は、装着柱512よりも外側(第1のフランジ51の中心軸から離れた位置)に設けられている。一方、第2のフランジ52は、概ね円環状に形成され、中央を貫通する嵌入孔521を備え、嵌入孔521に装着柱512が嵌入されることにより、第1のフランジ51に固定される。
図2に示すように、ブレードカバー機構34は、ハウジング32とフランジ機構35との間に配置された第1のブレードカバー41と、フランジ機構35よりも−Y側に配置された第2のブレードカバー42とを備え、第1のブレードカバー41と第2のブレードカバー42との間に、フランジ機構35及びそれに挟持された切削ブレード60を収容するブレード室43が形成されている。ブレードカバー機構34は、ブレード室43とその外部とを連通させる突出口44を−Z側に有している。切削ブレード60は、一部が突出口44からブレードカバー機構34の外に突出し、突出した部分が被加工物20(図1参照)に接触して被加工物20を切削する。
第1のブレードカバー41は、切削水供給源に接続される受入口411と、受入口411に連通した流路412と、流路412に連通した噴射口413と、スピンドル31の回転軸を中心とする円形の開口414とを備え、第1のフランジ51に対面している。噴射口413は、第1のフランジ51の切削水供給孔513にほぼ対向する位置に設けられ、切削水供給源から供給される切削水は、受入口411及び流路412を介して噴射口413から第1のフランジ51に向けて噴射される。
第2のブレードカバー42は、スピンドル31の回転軸を中心とする円形の開口421を備え、第1のブレードカバー41に着脱可能に固定されている。第2のブレードカバー42を取り外すことにより、切削ブレード60を容易に交換することができる。
図3に示すように、第1のフランジ51の−Y側の外周付近には、切削ブレード60と当接する挟持面514が設けられている。挟持面514には、第1のフランジ51の径方向に挟持面514を横断する複数の第1の供給溝515が等間隔に配設されている。それぞれの切削水供給孔513は、例えば挟持面514側が開口した円柱状であり、第1のフランジ51の中心軸から等距離の位置に円状に配置され、挟持面側の開口によって切削水供給孔513と切削水供給室54とが連通している。
図4に示すように、第2のフランジ52の+Y側の外周付近には、切削ブレード60と当接する挟持面524が設けられている。挟持面524には、第2のフランジ52の径方向に挟持面524を横断する複数の第2の供給溝525が等間隔に配設されている。第1のフランジ51の第1の供給溝515と、第2のフランジ52の第2の供給溝525とは、互いに対面する位置に設けられている。
図5に示すように、挟持手段53は、円環状のナットであり、中央を貫通する嵌入孔531を備え、嵌入孔531の内周には雌ねじ531aが設けられている。図2に示したように、嵌入孔531に装着柱512が嵌入され、嵌入孔531の内周に設けられた雌ねじ531aが装着柱512の外周に設けられた雄ねじと螺合することにより、第1のフランジ51に固定される。
図6に示すように、切削ブレード60は、円環状の薄板であり、中央に円形の開口61を有する。切削ブレード60は、第1のフランジ51の挟持面514と、第2のフランジ52の挟持面524との間に挟持される。
図7に示すように、第1のフランジ51と第2のフランジ52との間に切削ブレード60を挟持した状態においては、第1のフランジ51と第2のフランジ52との間には、第1のフランジ51と第2のフランジ52とが接触しない空間である切削水供給室54が形成される。つまり、切削ブレード60は、第1のフランジ51における切削水供給室54の内周側の−Y側の面と切削ブレード60の+Y側の面とが接した状態で第1のフランジ51と第2のフランジ52とに挟持される。切削水供給室54は、切削水供給孔513、第1の供給溝515及び第2の供給溝525に連通している。第1のブレードカバー41の噴射口413(図2参照)から噴射された切削水は、切削水供給孔513から切削水供給室54に入り、第1の供給溝515及び第2の供給溝525から切削ブレード60の先端に向かって噴射される。
図8に示すように、第1のブレードカバー41は、複数の噴射口413を有している。複数の噴射口413は、開口414の中心(スピンドル31の回転軸)から等距離の位置に配置されている。また、図9に示すように、噴射口413は、第1のフランジ51の切削水供給孔513に対面する位置に配置されている。
図2に示したように、フランジ機構35はスピンドル31に固定されるため、スピンドル31の回転によりフランジ機構35全体が回転する。したがって、噴射口413に対する切削水供給孔513の位置は変化するが、いずれかの切削水供給孔513が常に噴射口413に対面しているため、噴射口413から噴射される切削水は、そのとき噴射口413に正対している切削水供給孔513から切削水供給室54に取り入れられる。第1のブレードカバー41が第1のフランジ51に対面しているため、切削水供給孔513に取り入れられずに溢れる切削水が少なく、切削水を有効に利用することができる。
切削水供給室54に取り入れられた切削水は、スピンドル31の回転による遠心力を受けて、回転軸から離れる方向へ移動し、第1の供給溝515及び第2の供給溝525から外周側へ向けて噴射される。第1の供給溝515及び第2の供給溝525は、第1のフランジ51及び第2のフランジ52の径方向に複数設けられているので、切削水は、360度あらゆる方向へ向けて噴射される。噴射された切削水は、切削ブレード60の両面に沿って切削ブレード60の外周へ向かうので、切削ブレード60を効果的に冷却することができる。
切削ブレード60が被加工物20を切削している領域へ向けて噴射された切削水は、突出口44からブレードカバー機構34の外へ噴射され、噴射の勢いで切削屑を洗い流す。突出口44以外の方向へ噴射された切削水は、ブレード室43の内部を伝って、突出口44からブレードカバー機構34の外へ排出される。また、図2に示したように、噴射口413と切削水供給孔513とは±Z方向に位置が若干ずれているため、噴射口413から噴出された切削水がすべて切削水供給孔513に流入するのではなく、一部は第1のフランジ51と第1のブレードカバー41との間の空間を流れる。こうして噴射口413から噴射されたものの切削水供給孔513に取り入れられなかった切削水も、ブレード室43の内部を伝って、突出口44からブレードカバー機構34の外へ排出される。これにより、切削領域へ向けて直接噴射されて切削屑を含んだ切削水を薄めて流し去ることができるので、切削屑が被加工物20に再付着するのを防ぐことができる。
また、噴出口33から噴射された流体は、開口414を通過して、第1のフランジ51に向けて噴射される。これにより、第1のフランジ51が冷却されるので、切削ブレード60を効果的に冷却することができる。また、第1の供給溝515及び第2の供給溝525から噴射された切削水により発生する流れにより、第2のブレードカバー42の開口421から外部の空気がブレードカバー機構34の中に引き込まれる。これにより、第2のフランジ52が冷却されるので、切削ブレード60を効果的に冷却することができる。噴出口33から噴射された流体や、開口421から引き込まれた空気は、最終的に、突出口44からブレードカバー機構34の外へ排出される。
このように、フランジ機構35の内部から切削水を供給することにより、ノズルなどで外部から切削水を供給する場合と異なり、切削ブレード60に対してノズルを位置合わせする必要がなく、切削ブレード60を交換する際の手間を大幅に削減することができる。また、切削ブレード60に沿って切削水を供給するので、切削水の量が少なくて済む。
フランジ機構35の内部に切削水を供給するための手段は、切削ブレード60の前面側ではなく、スピンドル31側に配置されているので、切削ブレード60を交換する際に邪魔になることはない。一方、スピンドル31経由で切削水を供給するのではなく、フランジ機構35に対して切削水を直接供給できるので、切削水を供給するための構造が複雑化するのを防ぐことができる。
第1のフランジ51に対面した第1のブレードカバー41に、切削水を噴射する噴射口413を設けていることにより、切削水を受け取るための溝を第1のフランジ51に設ける必要がなく、フランジ機構35の強度低下を防ぐことができる。
また、第1の供給溝515と第2の供給溝525とが、切削ブレード60を挟んで対面しているため、第1の供給溝515と第2の供給溝525とから噴射される切削水の圧力が、切削ブレード60の両面に均等に加わり、切削ブレード60が被加工物20に切り込むときの水の抵抗が両面で同じになる。これにより、切削ブレード60が傾いて被加工物20に切り込むのを防ぐことができ、加工精度を向上することができる。
さらに、切削水で切削屑を排出できるとともに切削ブレード60を冷却できるので、切削水のほかに切削ブレード60を冷却するための冷却水を供給する必要がない。
なお、ブレードカバー機構34は、図10に示すように、第2のブレードカバー42を備えず、−Y側が開放された構成であってもよい。そのような構成であれば、第1の供給溝515及び第2の供給溝525から噴射された切削水が第2のブレードカバー42に当たることによる発熱がなく、切削ブレード60の周囲の空気が自由に移動できるので、切削ブレード60を効果的に冷却することができる。また、切削水供給孔513の形状は、円形ではなく、リング状など他の形状であってもよい。
また、図11に示すように、切削水供給孔513は、噴射口413に対面する端部をフランジ機構35の回転方向に対し上流側とし、下流側を切削水供給室54と連通する端部としてもよい。このような構造とすることで、噴射口413から噴射される切削水を切削水供給室54に確実に取り入れることが可能になるため、溢れて取り入れられない切削水を少なくすることができ、取り入れた切削水が第1のフランジ51から噴き出すのを防止している。
図12に示すように、噴射口413をスピンドル31の近くに配設し、噴射口413に切削水供給孔513を対面させ、切削水供給孔513は、第1のフランジ51の径方向に放射状に傾斜し、さらに、図12及び図13に示すように、切削水供給孔513が噴射口413から噴射される切削水を受け取る受取口付近には、噴射孔413から噴射された切削水の跳ね返りを防止する窪み513aを形成してもよい。
さらに、窪み513aは、切削水供給孔513ごとに、それぞれ形成していても良いし、切削水供給孔513を接続するように円環状に形成させていても良い。
このように、噴射孔413をスピンドル31の近くに配設する事で、遠心力による切削水の飛散を防止できる。また、切削水供給孔513の数が少なくても入水することができ、第1のフランジ51の強度を高めることが可能になる。
10 切削装置、11 チャックテーブル、
12 切削送り手段、121 モータ、122 ねじ軸、123 移動部、
124 ガイド、
13a,13b 切削手段、31 スピンドル、32 ハウジング、33 噴出口、
34 ブレードカバー機構、35 フランジ機構、
41 第1のブレードカバー,42 第2のブレードカバー、
411 受入口、412 流路、413 噴射口、414,421 開口、
43 ブレード室、44 突出口、
51 第1のフランジ,52 第2のフランジ、511 嵌入穴、
521,531 嵌入孔、
512 装着柱、513 切削水供給孔、514,524 挟持面、
515 第1の供給溝、525 第2の供給溝、
53 挟持手段、532 ねじ穴、54 切削水供給室、
14a,14b 切込み送り手段、141 モータ、142 ねじ軸、143 移動部、
144 ガイド
15a,15b 割出し送り手段、151 モータ、152 ねじ軸、153 移動部、
154 ガイド、
60 切削ブレード、61 開口、
20 被加工物

Claims (2)

  1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、
    回転可能なスピンドルの先端に固定されたフランジ機構を有し、該チャックテーブルに保持された被加工物を、該フランジ機構に挟持された切削ブレードで切削する切削手段と、
    を備えた切削装置であって、
    該フランジ機構は、
    該切削ブレードの一方の面に接する第1のフランジと、
    該切削ブレードの他方の面に接し、該第1のフランジとの間で該切削ブレードを挟持する第2のフランジと、を備え、
    該第1のフランジは、
    該スピンドルが嵌入される第1の嵌入孔と、
    該第1の嵌入孔の周囲に設けられた円環柱状の装着柱と、
    該装着柱よりも該第1のフランジの中心軸から離れた位置に設けられた複数の切削水供給孔と、
    該切削水供給孔よりも該第1のフランジの中心軸から離れた位置に設けられ、該切削ブレードに当接する環状の第1の挟持面と、
    該第1の挟持面において、該第1のフランジの径方向に配設された複数の第1の供給溝と、を備え、
    該第2のフランジは、
    該装着柱が嵌入される第2の嵌入孔と、
    該第2の嵌入孔よりも該第2のフランジの中心軸から離れた位置に設けられ、該切削ブレードに当接し、該第1の挟持面との間で該切削ブレードを挟持する環状の第2の挟持面と、
    該第2の挟持面において、該第2のフランジの径方向に配設された複数の第2の供給溝と、を備え、
    該第1のフランジと該第2のフランジとで該切削ブレードを挟持することにより、該第1のフランジと該第2のフランジとの間に、該切削水供給孔並びに該第1の供給溝及び該第2の供給溝と連通する環状の切削水供給室が形成され、
    該切削水供給孔から供給された切削水が、該切削水供給室に供給され、該スピンドルの回転による遠心力により、該第1の供給溝及び該第2の供給溝から噴射され、
    該切削手段は、
    該フランジ機構が固定されるスピンドルと、
    該スピンドルを囲繞し該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、
    該スピンドルの外周面と該ハウジングの内周面との間から第1のフランジに向けて流体を噴出させる噴出口と、
    該第1のフランジと対面する第1のブレードカバーを備え、該フランジ機構及び該フランジ機構に挟持された該切削ブレードを囲繞するブレードカバー機構と、
    を備え、
    該第1のブレードカバーは、切削水供給源から供給される切削水を、該第1のフランジに向けて噴射する噴射口を備え、
    該噴射口から噴射された切削水が、該切削水供給孔から該切削水供給室に供給され、該第1及び第2の供給溝から噴射される、切削装置。
  2. 前記ブレードカバー機構は、
    前記第2のフランジと対面する第2のブレードカバーを備え、
    該第2のブレードカバーは、前記スピンドルの回転軸を中心とする円状の開口を備えた、
    請求項記載の切削装置。
JP2014171539A 2014-08-26 2014-08-26 フランジ機構及び切削装置 Active JP6378976B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014171539A JP6378976B2 (ja) 2014-08-26 2014-08-26 フランジ機構及び切削装置
TW104121841A TWI659798B (zh) 2014-08-26 2015-07-06 Cutting device
KR1020150111126A KR102280138B1 (ko) 2014-08-26 2015-08-06 플랜지 기구 및 절삭 장치
CN201510507312.6A CN105382625B (zh) 2014-08-26 2015-08-18 凸缘机构以及切削装置
US14/833,700 US10071433B2 (en) 2014-08-26 2015-08-24 Flange mechanism and cutting apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014171539A JP6378976B2 (ja) 2014-08-26 2014-08-26 フランジ機構及び切削装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016043469A JP2016043469A (ja) 2016-04-04
JP6378976B2 true JP6378976B2 (ja) 2018-08-22

Family

ID=55401427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014171539A Active JP6378976B2 (ja) 2014-08-26 2014-08-26 フランジ機構及び切削装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10071433B2 (ja)
JP (1) JP6378976B2 (ja)
KR (1) KR102280138B1 (ja)
CN (1) CN105382625B (ja)
TW (1) TWI659798B (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6866217B2 (ja) * 2017-04-21 2021-04-28 株式会社ディスコ 切削装置
CN107538630A (zh) * 2017-07-14 2018-01-05 合肥文胜新能源科技有限公司 一种用于硅片切割的装置
JP7018724B2 (ja) * 2017-08-15 2022-02-14 株式会社ディスコ 切削ブレード及び切削ブレードの装着機構
JP6994363B2 (ja) * 2017-11-22 2022-01-14 株式会社ディスコ 切削装置
JP6612372B2 (ja) * 2018-01-30 2019-11-27 Towa株式会社 フランジ交換機構、切断装置、フランジ交換方法および切断品の製造方法
CN108816898A (zh) * 2018-08-06 2018-11-16 无锡市诚信洗选设备有限公司 具备切割功能的板件平面清洗设备
JP7344682B2 (ja) * 2019-06-18 2023-09-14 株式会社ディスコ 加工装置
JP7521947B2 (ja) * 2020-06-22 2024-07-24 株式会社ディスコ 切削装置
CN112643112A (zh) * 2020-12-25 2021-04-13 安徽台信科技有限公司 一种直驱电主轴用高效型切断设备
CN118269240A (zh) * 2022-12-30 2024-07-02 桂林磨院材料科技有限公司 半导体划片刀复合功能压板

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2413016A (en) * 1942-10-01 1946-12-24 Rockwell Mfg Co Cutting machine
US2840960A (en) * 1956-10-22 1958-07-01 Sheldon M Booth Liquid feed for a grinding wheel
US4570609A (en) * 1984-10-05 1986-02-18 Hogue John J Water-cooled hub for flush-cut concrete saws
JPS6339002Y2 (ja) * 1984-10-09 1988-10-13
JPS61125775A (ja) * 1984-11-26 1986-06-13 Hitachi Ltd 研削液供給方法およびその装置
CN2084405U (zh) * 1991-01-02 1991-09-11 吴焕元 内冷式旋切刀具的供液器
JPH0671563A (ja) * 1992-08-25 1994-03-15 Toshiba Corp 高速回転式の外周刃ブレードダイサー
JPH08155949A (ja) 1994-12-06 1996-06-18 Disco Abrasive Syst Ltd 切削液供給手段
JPH1064856A (ja) * 1996-08-15 1998-03-06 Taiyo Yuden Co Ltd ダイシングソー支持装置
JPH11347912A (ja) * 1998-06-08 1999-12-21 Murata Mfg Co Ltd 研削液供給機構
JP2003225844A (ja) 2002-02-01 2003-08-12 Scm:Kk 中心給水式フランジ及び給水方式
JP2004235250A (ja) * 2003-01-28 2004-08-19 Disco Abrasive Syst Ltd 切削装置
CN101190459B (zh) * 2006-12-01 2010-12-01 王昇辉 内藏式马达主轴
JP5220513B2 (ja) 2008-08-15 2013-06-26 株式会社ディスコ ノズル調整治具
JP2011020231A (ja) * 2009-07-17 2011-02-03 Disco Abrasive Syst Ltd 切削装置
JP5465064B2 (ja) 2010-04-01 2014-04-09 株式会社ディスコ ノズル調整治具

Also Published As

Publication number Publication date
TWI659798B (zh) 2019-05-21
US20160059370A1 (en) 2016-03-03
CN105382625A (zh) 2016-03-09
JP2016043469A (ja) 2016-04-04
TW201607668A (zh) 2016-03-01
KR20160024754A (ko) 2016-03-07
CN105382625B (zh) 2019-04-26
KR102280138B1 (ko) 2021-07-20
US10071433B2 (en) 2018-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6378976B2 (ja) フランジ機構及び切削装置
JP4694210B2 (ja) ブレードカバー装置
JP5265964B2 (ja) 切削装置
WO2018092879A1 (ja) チャック
KR20150077293A (ko) 절삭 장치
JP6340286B2 (ja) 主軸装置および当該主軸装置を備えた工作機械
TWI750270B (zh) 冷卻液聯結裝置
TW201524664A (zh) 用於加工機之噴液裝置
JP4786949B2 (ja) 切削装置
CN107249793B (zh) 切削工具
JP6298724B2 (ja) 切削装置
TW201821186A (zh) 用於車床刀塔的內外徑刀與刀座的調整防漏系統
JP5028040B2 (ja) フライス工具装置
JP6605976B2 (ja) 切削装置
KR101593832B1 (ko) 세정도구
KR20140103383A (ko) 플러싱 장치를 구비한 공작 기계
KR102246781B1 (ko) 머시닝 센터의 스핀들 유닛
JP6408830B2 (ja) 切削装置
JP2011214605A (ja) スピンドルアセンブリ
JP6668000B2 (ja) マシニングセンタ
KR20190001511A (ko) 블레이드 커버
JP2017144510A (ja) ノズル調整治具
JP2008091775A (ja) 切削装置
JP4204513B2 (ja) 加工装置
KR101471402B1 (ko) 공구고정블록

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170609

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180308

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180424

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180620

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180703

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180730

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6378976

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250