JPH1064856A - ダイシングソー支持装置 - Google Patents
ダイシングソー支持装置Info
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- JPH1064856A JPH1064856A JP21580296A JP21580296A JPH1064856A JP H1064856 A JPH1064856 A JP H1064856A JP 21580296 A JP21580296 A JP 21580296A JP 21580296 A JP21580296 A JP 21580296A JP H1064856 A JPH1064856 A JP H1064856A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高圧ポンプ等を使用せずに、ダイシングソー
１７の刃先に確実に切削液を吹き付け、ダイシングソー
１７の長寿命化を図ると共に、切削精度及び切削品質の
向上を図る。 【解決手段】 ダイシングソー支持装置は、回転駆動さ
れるシャフト２０と、このシャフト２０の先端に取り付
けられたフランジ１１、１２と、このフランジ１１、１
２に取り付けられることにより、前記シャフト２０の回
りに固定されたリング状のダイシングソー１７とを有す
る。さらに、前記ダイシングソー１７を保持したフラン
ジ１１、１２内に形成された貯液室１６と、この貯液室
１６に切削液を送り込む切削液導入路１８、２３と、貯
液室１６内の切削液をダイシングソー１７の内周側から
外周側へ送り出す溝２１からなる隙間とを有する。貯液
室１６内の切削液は、ダイシングソー１７の回転時の遠
心力により、前記の溝２１からなる隙間を通ってダイシ
ングソー１７の刃先である外周側に噴出する。
１７の刃先に確実に切削液を吹き付け、ダイシングソー
１７の長寿命化を図ると共に、切削精度及び切削品質の
向上を図る。 【解決手段】 ダイシングソー支持装置は、回転駆動さ
れるシャフト２０と、このシャフト２０の先端に取り付
けられたフランジ１１、１２と、このフランジ１１、１
２に取り付けられることにより、前記シャフト２０の回
りに固定されたリング状のダイシングソー１７とを有す
る。さらに、前記ダイシングソー１７を保持したフラン
ジ１１、１２内に形成された貯液室１６と、この貯液室
１６に切削液を送り込む切削液導入路１８、２３と、貯
液室１６内の切削液をダイシングソー１７の内周側から
外周側へ送り出す溝２１からなる隙間とを有する。貯液
室１６内の切削液は、ダイシングソー１７の回転時の遠
心力により、前記の溝２１からなる隙間を通ってダイシ
ングソー１７の刃先である外周側に噴出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック積層体
電子部品を製造するための積層バーや半導体部品を製造
するためのシリコンウエハ等を裁断するのに使用される
ダイシングソーをスピンドルに取り付けるダイシングソ
ー支持装置に関する。
電子部品を製造するための積層バーや半導体部品を製造
するためのシリコンウエハ等を裁断するのに使用される
ダイシングソーをスピンドルに取り付けるダイシングソ
ー支持装置に関する。
【０００２】前記のようなセラミック積層体電子部品を
製造するための積層バーや半導体部品を製造するための
シリコンウエハ等は、ダイヤモンド粉末を含ませたリン
グ状のダイシングソーにより切断される。図５に示すよ
うに、リング状のダイシングソー７は、シャフト４の先
端に設けた一対のカップ状のフランジ１、２の外周部分
に挟持され、ナット９により締め付け、固定される。こ
の状態では、ダイシングソー７がシャフト４と中心軸が
一致するようにシャフト４の先端部分回りに固定され、
ダイシングソー７の刃先である外周縁がフランジ１、２
からその外周に露出している。図５において、符号５は
シャフト４を通してスリーブであり、これらシャフト４
とスリーブ５によりスピンドルを構成している。
製造するための積層バーや半導体部品を製造するための
シリコンウエハ等は、ダイヤモンド粉末を含ませたリン
グ状のダイシングソーにより切断される。図５に示すよ
うに、リング状のダイシングソー７は、シャフト４の先
端に設けた一対のカップ状のフランジ１、２の外周部分
に挟持され、ナット９により締め付け、固定される。こ
の状態では、ダイシングソー７がシャフト４と中心軸が
一致するようにシャフト４の先端部分回りに固定され、
ダイシングソー７の刃先である外周縁がフランジ１、２
からその外周に露出している。図５において、符号５は
シャフト４を通してスリーブであり、これらシャフト４
とスリーブ５によりスピンドルを構成している。
【０００３】このダイシングソー７でシリコンウエハ等
の切削物ａを切削する場合、切削物ａをＸＹテーブル等
の加工台ｂ上に固定し、回転するダイシングソー７に対
して切削物ａを切削方向に移動させながらダイシングソ
ー７の刃先を切削物ｂに切り込み、同切削物ａを所定の
方向に切削する。この際、切削時のダイシングソー７及
び切削物ａの冷却並びに切り屑の排出等を目的とする洗
浄のため、切削物ａの切り込まれたダイシングソー７の
刃先に切削液を吹き付ける。従来において、この切削液
は、図６に示すように、ノズル６の先端からダイシング
ソー７の刃先に向けて吹き付けていた。
の切削物ａを切削する場合、切削物ａをＸＹテーブル等
の加工台ｂ上に固定し、回転するダイシングソー７に対
して切削物ａを切削方向に移動させながらダイシングソ
ー７の刃先を切削物ｂに切り込み、同切削物ａを所定の
方向に切削する。この際、切削時のダイシングソー７及
び切削物ａの冷却並びに切り屑の排出等を目的とする洗
浄のため、切削物ａの切り込まれたダイシングソー７の
刃先に切削液を吹き付ける。従来において、この切削液
は、図６に示すように、ノズル６の先端からダイシング
ソー７の刃先に向けて吹き付けていた。
【０００４】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、前
記のような従来のダイシングソーによる切断では、高速
回転に伴ってダイシングソー７の表面に発生する高速気
流の層に阻まれ、図６に矢印で示すように、ノズル６か
らダイシングソー７の刃先に吹き付けた切削液が、ダイ
シングソー７の刃先でその表面から両側に逃げてしま
い、ダイシングソー７の表面に切削液が充分届かない。
さらに、ダイシングソー７の高速回転に伴って発生する
遠心力により、図６に矢印で示すように、切削液がダイ
シングソー７の表面から放射状に弾かれてしまう。この
ため、ダイシングソー７が切削物ａの切り込んだ部分に
充分切削液が回らず、切削液による冷却効果や切り屑の
排出効果が充分発揮されない。これが原因で、ダイシン
グソー７の寿命が短く、切削面の平滑性が劣るという問
題があった。
記のような従来のダイシングソーによる切断では、高速
回転に伴ってダイシングソー７の表面に発生する高速気
流の層に阻まれ、図６に矢印で示すように、ノズル６か
らダイシングソー７の刃先に吹き付けた切削液が、ダイ
シングソー７の刃先でその表面から両側に逃げてしま
い、ダイシングソー７の表面に切削液が充分届かない。
さらに、ダイシングソー７の高速回転に伴って発生する
遠心力により、図６に矢印で示すように、切削液がダイ
シングソー７の表面から放射状に弾かれてしまう。この
ため、ダイシングソー７が切削物ａの切り込んだ部分に
充分切削液が回らず、切削液による冷却効果や切り屑の
排出効果が充分発揮されない。これが原因で、ダイシン
グソー７の寿命が短く、切削面の平滑性が劣るという問
題があった。
【０００５】切削液をダイシングソー７が切削物ａの切
り込んだ部分に充分回り込ませるためには、例えば高圧
ポンプを使用し、ノズル５から切削液を高速で吹き付け
るという手段がとられることがある。しかし、切削液を
高速で吹き付けると、ダイシングソー７に高周波による
振れが発生しやすく、切削精度が悪くなる。また、切断
された細かいチップを吹き飛ばしてしまい、回収を困難
にするという課題がある。
り込んだ部分に充分回り込ませるためには、例えば高圧
ポンプを使用し、ノズル５から切削液を高速で吹き付け
るという手段がとられることがある。しかし、切削液を
高速で吹き付けると、ダイシングソー７に高周波による
振れが発生しやすく、切削精度が悪くなる。また、切断
された細かいチップを吹き飛ばしてしまい、回収を困難
にするという課題がある。
【０００６】本発明は、このような従来の課題に鑑み、
高圧ポンプ等を使用せずに、ダイシングソーの刃先に確
実に切削液を吹き付けることができ、これによってダイ
シングソーの長寿命化を図ると共に、切削精度及び切削
品質の向上を図ることができるダイシングソー支持装置
を提供することを目的とする。
高圧ポンプ等を使用せずに、ダイシングソーの刃先に確
実に切削液を吹き付けることができ、これによってダイ
シングソーの長寿命化を図ると共に、切削精度及び切削
品質の向上を図ることができるダイシングソー支持装置
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、切削液をダイシングソー１７の外側か
ら吹き付けることなく、内周側から外周の刃先側へと放
射状に吹き付けるようにした。そのため、ダイシングソ
ー１７を取り付けるフランジ１１、１２内に貯液室１６
を形成し、この貯液室１６内に切削液を導入すると共
に、フランジ１１、１２とそれにより挟持さえるダイシ
ングソー１７との間に隙間を形成し、フランジ１１、１
２とダイシングソー１７との回転による生じる遠心力を
利用して、この隙間から切削液を放射状に吹き付けるよ
うにした。
を達成するため、切削液をダイシングソー１７の外側か
ら吹き付けることなく、内周側から外周の刃先側へと放
射状に吹き付けるようにした。そのため、ダイシングソ
ー１７を取り付けるフランジ１１、１２内に貯液室１６
を形成し、この貯液室１６内に切削液を導入すると共
に、フランジ１１、１２とそれにより挟持さえるダイシ
ングソー１７との間に隙間を形成し、フランジ１１、１
２とダイシングソー１７との回転による生じる遠心力を
利用して、この隙間から切削液を放射状に吹き付けるよ
うにした。
【０００８】すなわち、本発明によるダイシングソー支
持装置は、回転駆動されるシャフト２０と、このシャフ
ト２０の先端に取り付けられたフランジ１１、１２と、
このフランジ１１、１２に取り付けられることにより、
前記シャフト２０の回りに固定されたリング状のダイシ
ングソー１７とを有するものであって、前記ダイシング
ソー１７を保持したフランジ１１、１２内に形成された
貯液室１６と、この貯液室１６に切削液を送り込む切削
液導入路１８、２３と、貯液室１６内の切削液をダイシ
ングソー１７の内周側から外周側へ送り出す隙間とを有
することを特徴とする。
持装置は、回転駆動されるシャフト２０と、このシャフ
ト２０の先端に取り付けられたフランジ１１、１２と、
このフランジ１１、１２に取り付けられることにより、
前記シャフト２０の回りに固定されたリング状のダイシ
ングソー１７とを有するものであって、前記ダイシング
ソー１７を保持したフランジ１１、１２内に形成された
貯液室１６と、この貯液室１６に切削液を送り込む切削
液導入路１８、２３と、貯液室１６内の切削液をダイシ
ングソー１７の内周側から外周側へ送り出す隙間とを有
することを特徴とする。
【０００９】このようなダイシングソー支持装置では、
切削液導入路１８、２３からフランジ１１、１２内に形
成された貯液室１６に切削液を導入した状態で、シャフ
ト２０を回転し、フランジ１１、１２とダイシングソー
１７を回転させると、遠心力により、切削液がフランジ
１１、１２とダイシングソー１７との隙間を通ってダイ
シングソー１７の刃先である外周側に噴出する。このよ
うにして噴出する切削液は、ダイシングソー１７の表面
に沿って放射状に噴出するため、確実にダイシングソー
１７の表面から切削熱を奪ってそれを冷却する。また、
ダイシングソー１７の刃先から切削物ａに直接切削液が
吹き付けられるので、切削物ａから発生する切り屑を確
実に排除することができる。
切削液導入路１８、２３からフランジ１１、１２内に形
成された貯液室１６に切削液を導入した状態で、シャフ
ト２０を回転し、フランジ１１、１２とダイシングソー
１７を回転させると、遠心力により、切削液がフランジ
１１、１２とダイシングソー１７との隙間を通ってダイ
シングソー１７の刃先である外周側に噴出する。このよ
うにして噴出する切削液は、ダイシングソー１７の表面
に沿って放射状に噴出するため、確実にダイシングソー
１７の表面から切削熱を奪ってそれを冷却する。また、
ダイシングソー１７の刃先から切削物ａに直接切削液が
吹き付けられるので、切削物ａから発生する切り屑を確
実に排除することができる。
【００１０】ここで、貯液室１６内の切削液をダイシン
グソー１７の内周側から外周側へ送り出す隙間は、フラ
ンジ１１、１２のダイシングソー１７の挟持面に放射状
に設けられた溝２１やダイシングソー１７の外周側に放
射状に設けられた切欠２５からなる。また、貯液室１６
に切削液を送り込む切削液導入路１８は、フランジ１
１、１２の側面の導入口１５から切削液を送り込むもの
や、フランジ１１、１２が固定されたシャフト２０の内
部に形成され、フランジ１１の中心から貯液室１６に切
削液を送り込むもの等がある。
グソー１７の内周側から外周側へ送り出す隙間は、フラ
ンジ１１、１２のダイシングソー１７の挟持面に放射状
に設けられた溝２１やダイシングソー１７の外周側に放
射状に設けられた切欠２５からなる。また、貯液室１６
に切削液を送り込む切削液導入路１８は、フランジ１
１、１２の側面の導入口１５から切削液を送り込むもの
や、フランジ１１、１２が固定されたシャフト２０の内
部に形成され、フランジ１１の中心から貯液室１６に切
削液を送り込むもの等がある。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
１は、シリコンウエハや積層チップを裁断する前の積層
バーを切断するため切断装置のスピンドル先端部分とそ
れに取り付けられたダイシングソー１７とを示す。スピ
ンドルは、図示してない回転駆動源に連結されたシャフ
ト２０を有し、このシャフトはスリーブ２２の内部に嵌
挿されている。このシャフト２０の先端には、ダイシン
グソー１７を取り付けるためのフランジ１１、１２が取
り付けられている。
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
１は、シリコンウエハや積層チップを裁断する前の積層
バーを切断するため切断装置のスピンドル先端部分とそ
れに取り付けられたダイシングソー１７とを示す。スピ
ンドルは、図示してない回転駆動源に連結されたシャフ
ト２０を有し、このシャフトはスリーブ２２の内部に嵌
挿されている。このシャフト２０の先端には、ダイシン
グソー１７を取り付けるためのフランジ１１、１２が取
り付けられている。
【００１２】図１及び図２に示されたように、フランジ
１１、１２は、外周側が緩いテーパーとなったカップ状
のもので、凹面側が互いに向い合うようにダイシングソ
ー１７を介して重ね合わせることにより、同ダイシング
ソー１７を挟持する。一方のフランジ１１は、その中心
から円筒状のボス１９が突設され、このボス１９が前記
シャフト２０の先端に固定されている。さらに、このボ
ス２０の先端部外周にネジが切られている。ダイシング
ソー１７をフランジ１１の外周部分に当てた状態で、他
方のフランジ１２の中心の通孔を前記のボス１９に嵌合
し、これにより、一対のフランジ１１、１２の外周部分
でダイシングソー１７を挟持する。さらにボス１９の先
端にナット１３をねじ込み、締め付けることにより、双
方のフランジ１１、１２が互いに締め付けられ、ダイシ
ングソー１７が固定さる。
１１、１２は、外周側が緩いテーパーとなったカップ状
のもので、凹面側が互いに向い合うようにダイシングソ
ー１７を介して重ね合わせることにより、同ダイシング
ソー１７を挟持する。一方のフランジ１１は、その中心
から円筒状のボス１９が突設され、このボス１９が前記
シャフト２０の先端に固定されている。さらに、このボ
ス２０の先端部外周にネジが切られている。ダイシング
ソー１７をフランジ１１の外周部分に当てた状態で、他
方のフランジ１２の中心の通孔を前記のボス１９に嵌合
し、これにより、一対のフランジ１１、１２の外周部分
でダイシングソー１７を挟持する。さらにボス１９の先
端にナット１３をねじ込み、締め付けることにより、双
方のフランジ１１、１２が互いに締め付けられ、ダイシ
ングソー１７が固定さる。
【００１３】ダイシングソー１７は、ダイヤモンド粉末
をセラミック焼結体の中に混合したもので、このダイシ
ングソー１７は、図１及び図２に示すように、薄いリン
グ状をなしている。前述のように、このダイシングソー
１７は、その内周側部分が両側から一対のフランジ１
１、１２の外周部分に挟持され、この状態でシャフト２
０の回りに固定される。この固定された状態では、ダイ
シングソー１７の中心軸がシャフト２０の中心軸と一致
するようにし、且つダイシングソー１７の刃先である外
周縁は、フランジ１１、１２の外周側に露出させる。
をセラミック焼結体の中に混合したもので、このダイシ
ングソー１７は、図１及び図２に示すように、薄いリン
グ状をなしている。前述のように、このダイシングソー
１７は、その内周側部分が両側から一対のフランジ１
１、１２の外周部分に挟持され、この状態でシャフト２
０の回りに固定される。この固定された状態では、ダイ
シングソー１７の中心軸がシャフト２０の中心軸と一致
するようにし、且つダイシングソー１７の刃先である外
周縁は、フランジ１１、１２の外周側に露出させる。
【００１４】このようにフランジ１１、１２が互いに固
定された状態で、それら双方のフランジ１１、１２の中
に、切削液が通る空洞状の貯液室１６が形成される。ま
た、一方のフランジ１１の側面には、その貯液室１６に
切削液を導入する導入口１５が開設されている。さら
に、フランジ１１、１２のダイシングソー１７を挟持す
る外周側の挟持面には、等角度間隔で複数個の放射状の
溝２１、２１…が設けられ、この溝２１、２１…によ
り、フランジ１１、１２の挟持面とダイシングソー１７
の側面との間に、前記貯液室１６内の切削液を放射状の
噴射する隙間が形成されている。図１に示した例では、
スリーブ２２の端面とフランジ１１との間に切削液ジャ
ケット１４が設けられ、これに切削液導入路１８が設け
られている。さらに、この切削液ジャケット１４は、前
記導入口１５を介して貯液室１６に通じている。
定された状態で、それら双方のフランジ１１、１２の中
に、切削液が通る空洞状の貯液室１６が形成される。ま
た、一方のフランジ１１の側面には、その貯液室１６に
切削液を導入する導入口１５が開設されている。さら
に、フランジ１１、１２のダイシングソー１７を挟持す
る外周側の挟持面には、等角度間隔で複数個の放射状の
溝２１、２１…が設けられ、この溝２１、２１…によ
り、フランジ１１、１２の挟持面とダイシングソー１７
の側面との間に、前記貯液室１６内の切削液を放射状の
噴射する隙間が形成されている。図１に示した例では、
スリーブ２２の端面とフランジ１１との間に切削液ジャ
ケット１４が設けられ、これに切削液導入路１８が設け
られている。さらに、この切削液ジャケット１４は、前
記導入口１５を介して貯液室１６に通じている。
【００１５】このダイシングソー支持装置を使用してシ
リコンウエハ等の切削物ａを切断する場合、所定の位置
に配置された前記シャフト２０の先端に、前述のように
フランジ１１、１２を介してダイシングソー１７を取り
付ける。そして、前記切削液導入路１８から切削液ジャ
ケット１４内に切削液を送り込むと、この切削液が導入
口１５を通して貯液室１６に流れ込む。そしてこの切削
液は、フランジ１１、１２の回転により生じる遠心力に
より溝２１によって形成されたフランジ１１、１２の外
周のダイシングソー１７との隙間から噴出される。
リコンウエハ等の切削物ａを切断する場合、所定の位置
に配置された前記シャフト２０の先端に、前述のように
フランジ１１、１２を介してダイシングソー１７を取り
付ける。そして、前記切削液導入路１８から切削液ジャ
ケット１４内に切削液を送り込むと、この切削液が導入
口１５を通して貯液室１６に流れ込む。そしてこの切削
液は、フランジ１１、１２の回転により生じる遠心力に
より溝２１によって形成されたフランジ１１、１２の外
周のダイシングソー１７との隙間から噴出される。
【００１６】ダイシングソー１７の下には切削物ａを固
定したＸＹＺテーブル等の加工台ｂが配置され、この加
工台ｂが図１において、上下、左右及び前後に移動す
る。そして、加工台ｂが上昇し、且つ図１において前後
に移動したとき、ダイシングソー１７の刃先である外周
が切削物ａに切り込まれ、切削物ａを切断する。このと
き、前記フランジ１１、１２の内側の貯液室１６から前
記の溝２１に形成される隙間を通って切削液がダイシン
グソー１７の外周側へと放射状に噴射される。この切削
液は、ダイシングソー１７の側面に沿って噴射され、さ
らに切削物ａの切断線上に噴射される。これにより、ダ
イシングソー１７の表面から切削熱が奪われ、冷却され
ると共に、切削物ａから生じる切り屑が洗浄される。
定したＸＹＺテーブル等の加工台ｂが配置され、この加
工台ｂが図１において、上下、左右及び前後に移動す
る。そして、加工台ｂが上昇し、且つ図１において前後
に移動したとき、ダイシングソー１７の刃先である外周
が切削物ａに切り込まれ、切削物ａを切断する。このと
き、前記フランジ１１、１２の内側の貯液室１６から前
記の溝２１に形成される隙間を通って切削液がダイシン
グソー１７の外周側へと放射状に噴射される。この切削
液は、ダイシングソー１７の側面に沿って噴射され、さ
らに切削物ａの切断線上に噴射される。これにより、ダ
イシングソー１７の表面から切削熱が奪われ、冷却され
ると共に、切削物ａから生じる切り屑が洗浄される。
【００１７】次に、図３に示した例について説明する
と、この例では、シャフト２０の中央に切削液導入路２
３を設け、フランジ１１、１２内の貯液室１６内に切削
液を導入するようにしている。この例では、回転するシ
ャフト２０内の切削液導入路２３に切削液を送るのに特
殊な流路構造が必要となるが、貯液室１６の中心から切
削液を導入できるので、円滑な切削液の供給と噴出が可
能である。
と、この例では、シャフト２０の中央に切削液導入路２
３を設け、フランジ１１、１２内の貯液室１６内に切削
液を導入するようにしている。この例では、回転するシ
ャフト２０内の切削液導入路２３に切削液を送るのに特
殊な流路構造が必要となるが、貯液室１６の中心から切
削液を導入できるので、円滑な切削液の供給と噴出が可
能である。
【００１８】また、前記の例では、フランジ１１、１２
内の貯液室１６から切削液をダイシングソー１７の外周
側へと噴出するための隙間として、フランジ１１、１２
の挟持面に設けた溝を使用した。これに対し、例えば図
４に示すように、ダイシングソー１７の外周側に放射状
の切欠２５を一定の角度毎に設け、これによってダイシ
ングソー１７とフランジ１１、１２との間に隙間を形成
してもよい。この場合、ダイシングソー１７の切欠２５
の部分に応力が集中しやすくなるため、ダイシングソー
１７の強度が弱くなるが、フランジ１１、１２に特別な
加工を必要としない。
内の貯液室１６から切削液をダイシングソー１７の外周
側へと噴出するための隙間として、フランジ１１、１２
の挟持面に設けた溝を使用した。これに対し、例えば図
４に示すように、ダイシングソー１７の外周側に放射状
の切欠２５を一定の角度毎に設け、これによってダイシ
ングソー１７とフランジ１１、１２との間に隙間を形成
してもよい。この場合、ダイシングソー１７の切欠２５
の部分に応力が集中しやすくなるため、ダイシングソー
１７の強度が弱くなるが、フランジ１１、１２に特別な
加工を必要としない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、高
圧ポンプ等を使用せずに、ダイシングソー１７とそれを
保持したフランジ１１、１２の回転により生じる遠心力
を利用して、ダイシングソー１７の刃先に確実に切削液
を吹き付けることができる。これによってダイシングソ
ー１７の長寿命化を図ると共に、切削精度及び切削品質
の向上を図ることができる。
圧ポンプ等を使用せずに、ダイシングソー１７とそれを
保持したフランジ１１、１２の回転により生じる遠心力
を利用して、ダイシングソー１７の刃先に確実に切削液
を吹き付けることができる。これによってダイシングソ
ー１７の長寿命化を図ると共に、切削精度及び切削品質
の向上を図ることができる。
【図１】本発明によるダイシングソー支持装置の例を示
す概略縦断側面図である。
す概略縦断側面図である。
【図２】第１図ダイシングソー支持装置の例におけるダ
イシングソーとそのフランジを示す分解斜視図である。
イシングソーとそのフランジを示す分解斜視図である。
【図３】本発明によるダイシングソー支持装置の他の例
を示す概略縦断側面図である。
を示す概略縦断側面図である。
【図４】第３図ダイシングソー支持装置の例におけるダ
イシングソーとそのフランジを示す分解斜視図である。
イシングソーとそのフランジを示す分解斜視図である。
【図５】ダイシングソー支持装置の従来例を示す概略縦
断側面図である。
断側面図である。
【図６】同ダイシングソー支持装置の従来例におけるダ
イシングソーへの切削液の吹付状態を示す概略要部縦断
側面図である。
イシングソーへの切削液の吹付状態を示す概略要部縦断
側面図である。
１１ フランジ １２ フランジ １５ 切削液の導入口 １６ 貯液室 １７ ダイシングソー １８ 切削液導入路 ２０ シャフト ２１ 溝 ２３ 切削液導入路 ２５ 切欠 ａ 切削物
Claims (5)
- 【請求項１】 回転駆動されるシャフト（２０）と、こ
のシャフト（２０）の先端に取り付けられた一対の皿状
のフランジ（１１）、（１２）と、この一対のフランジ
によって挟持され、当該フランジよりも大きな径を有
し、前記シャフト（２０）の回りに固定されたリング状
のダイシングソー（１７）とを有するダイシングソー支
持装置において、前記ダイシングソー（１７）を保持し
たフランジ（１１）、（１２）内に形成された貯液室
（１６）と、この貯液室（１６）に切削液を送り込む切
削液導入路（１８）、（２３）と、貯液室（１６）内の
切削液をダイシングソー（１７）の内周側から外周側へ
送り出す隙間とを有することを特徴とするダイシングソ
ー支持装置。 - 【請求項２】 貯液室（１６）内の切削液をダイシング
ソー（１７）の内周側から外周側へ送り出す隙間が、フ
ランジ（１１）、（１２）のダイシングソー（１７）の
挟持面に放射状に設けられた溝（２１）からなることを
特徴とする請求項１に記載のダイシングソー支持装置。 - 【請求項３】 貯液室（１６）内の切削液をダイシング
ソー（１７）の内周側から外周側へ送り出す隙間が、ダ
イシングソー（１７）の外周側に放射状に設けられた切
欠（２５）からなることを特徴とする請求項１に記載の
ダイシングソー支持装置。 - 【請求項４】 貯液室（１６）に切削液を送り込む切削
液導入路（１８）が、フランジ（１１）、（１２）の側
面の導入口（１５）から切削液を送り込むものであるこ
とを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のダイシン
グソー支持装置。 - 【請求項５】 貯液室（１６）に切削液を送り込む切削
液導入路（１８）が、フランジ（１１）、（１２）が固
定されたシャフト（２０）の内部に形成されていること
を特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のダイシング
ソー支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21580296A JPH1064856A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | ダイシングソー支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21580296A JPH1064856A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | ダイシングソー支持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1064856A true JPH1064856A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16678501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21580296A Withdrawn JPH1064856A (ja) | 1996-08-15 | 1996-08-15 | ダイシングソー支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1064856A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6586161B2 (en) | 1999-08-31 | 2003-07-01 | Hitachi, Ltd. | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
| KR20160024754A (ko) * | 2014-08-26 | 2016-03-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 플랜지 기구 및 절삭 장치 |
-
1996
- 1996-08-15 JP JP21580296A patent/JPH1064856A/ja not_active Withdrawn
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6586161B2 (en) | 1999-08-31 | 2003-07-01 | Hitachi, Ltd. | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
| US6737221B2 (en) | 1999-08-31 | 2004-05-18 | Renesas Technology Corp. | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
| US7964509B2 (en) | 1999-08-31 | 2011-06-21 | Renesas Electronics Corporation | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
| US8034717B2 (en) | 1999-08-31 | 2011-10-11 | Renesas Electronics Corporation | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
| US8293648B2 (en) | 1999-08-31 | 2012-10-23 | Renesas Electronics Corporation | Mass production method of semiconductor integrated circuit device and manufacturing method of electronic device |
| KR20160024754A (ko) * | 2014-08-26 | 2016-03-07 | 가부시기가이샤 디스코 | 플랜지 기구 및 절삭 장치 |
| CN105382625A (zh) * | 2014-08-26 | 2016-03-09 | 株式会社迪思科 | 凸缘机构以及切削装置 |
| JP2016043469A (ja) * | 2014-08-26 | 2016-04-04 | 株式会社ディスコ | フランジ機構及び切削装置 |
| TWI659798B (zh) * | 2014-08-26 | 2019-05-21 | 日商迪思科股份有限公司 | Cutting device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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