JPH0691533A - 砥石のクーラント液供給装置 - Google Patents
砥石のクーラント液供給装置Info
- Publication number
- JPH0691533A JPH0691533A JP24485992A JP24485992A JPH0691533A JP H0691533 A JPH0691533 A JP H0691533A JP 24485992 A JP24485992 A JP 24485992A JP 24485992 A JP24485992 A JP 24485992A JP H0691533 A JPH0691533 A JP H0691533A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coolant liquid
- grindstone
- base material
- grinding wheel
- guide hole
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- Pending
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】切削部に必要量のクーラント液を確実に供給で
きると共に、研削屑をスムーズに排除できる砥石のクー
ラント液供給装置を提供する。 【構成】砥石軸１８の上端部に母材２０が設けられると
共に、母材２０は上下に分かれており上側母材２０Ａの
上面周囲には円形な砥石２２が固着され、中心部分には
垂直な円筒状のガイド孔２４が形成されている。又、上
下の母材２０Ａ、２０Ｂはガイド孔２４から放射状に延
ばされた湾曲形状の案内羽根２６を挟んで固着されてい
る。そして、砥石軸１８を回転させながら、上下の母材
２０Ａ、２０Ｂと案内羽根２６とで形成される扇形の空
間部２８の円周側からクーラント液を取り込むことによ
り、クーラント液は案内羽根２６によりガイド孔２４に
案内され、ガイド孔２４を上昇してガイド孔２４出口か
ら砥石２２の中心部から外側に向かって供給される。こ
れにより、クーラント液を砥石２２に確実に供給するこ
とができる共に、研削屑もスムーズに排除される。
きると共に、研削屑をスムーズに排除できる砥石のクー
ラント液供給装置を提供する。 【構成】砥石軸１８の上端部に母材２０が設けられると
共に、母材２０は上下に分かれており上側母材２０Ａの
上面周囲には円形な砥石２２が固着され、中心部分には
垂直な円筒状のガイド孔２４が形成されている。又、上
下の母材２０Ａ、２０Ｂはガイド孔２４から放射状に延
ばされた湾曲形状の案内羽根２６を挟んで固着されてい
る。そして、砥石軸１８を回転させながら、上下の母材
２０Ａ、２０Ｂと案内羽根２６とで形成される扇形の空
間部２８の円周側からクーラント液を取り込むことによ
り、クーラント液は案内羽根２６によりガイド孔２４に
案内され、ガイド孔２４を上昇してガイド孔２４出口か
ら砥石２２の中心部から外側に向かって供給される。こ
れにより、クーラント液を砥石２２に確実に供給するこ
とができる共に、研削屑もスムーズに排除される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は砥石のクーラント液供給
装置に係り、特にウエハ表面やインゴット端面を研削す
る時に、研削部にクーラント液を供給する砥石のクーラ
ント液供給装置に関する。
装置に係り、特にウエハ表面やインゴット端面を研削す
る時に、研削部にクーラント液を供給する砥石のクーラ
ント液供給装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴットを切断して半導体ウエ
ハを製造する場合、高速回転（３００００ｒｐｍ）する
内周刃にインゴットを押し当てて切断しているが、切断
刃の保持方法、切刃の両面の切断性能のアンバランス、
クーラント、風圧の不均一等の切断要因により切断面の
平面度、即ち切断されたウエハの面精度を上げることが
困難である。
ハを製造する場合、高速回転（３００００ｒｐｍ）する
内周刃にインゴットを押し当てて切断しているが、切断
刃の保持方法、切刃の両面の切断性能のアンバランス、
クーラント、風圧の不均一等の切断要因により切断面の
平面度、即ち切断されたウエハの面精度を上げることが
困難である。
【０００３】特に近来、インゴットの径を大きくする、
所謂大口径化の技術的要請が強いが、大口径化するほど
ウエハの平面度誤差が大となる傾向が大きい。切断した
ウエハの面精度が悪いと、後工程の研磨、ラップ加工に
おける修正、仕上げに多大の工数と経費を要し、しかも
必ずしも満足な面精度が得られないことが多い。この
為、インゴットからウエハを切断するスライシングマシ
ンの切断機能にインゴットの端面を平面研削する機能を
付加してインゴットの切断と前記端面の研削を同時に行
ったり、切断されたウエハの表面を研削装置で研削する
ことが行われている。そして、インゴットの端面やウエ
ハを表面を研削する場合、水、油、添加剤の混合された
クーラント液を研削部に供給しながら研削する必要があ
り、従来は前記クーラント液を回転しているカップ型砥
石の外側から供給していた。
所謂大口径化の技術的要請が強いが、大口径化するほど
ウエハの平面度誤差が大となる傾向が大きい。切断した
ウエハの面精度が悪いと、後工程の研磨、ラップ加工に
おける修正、仕上げに多大の工数と経費を要し、しかも
必ずしも満足な面精度が得られないことが多い。この
為、インゴットからウエハを切断するスライシングマシ
ンの切断機能にインゴットの端面を平面研削する機能を
付加してインゴットの切断と前記端面の研削を同時に行
ったり、切断されたウエハの表面を研削装置で研削する
ことが行われている。そして、インゴットの端面やウエ
ハを表面を研削する場合、水、油、添加剤の混合された
クーラント液を研削部に供給しながら研削する必要があ
り、従来は前記クーラント液を回転しているカップ型砥
石の外側から供給していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにクーラント液をカップ型砥石の外側から供給する
と、回転しているカップ型砥石には外向きの遠心力が作
用しているので、供給されたクーラント液がカップ型砥
石の外側に飛散されてしまい、確実に供給できないとい
う欠点がある。この結果、前記インゴット端面又はウエ
ハの表面を砥石で研削する際、必要量のクーラント液が
供給されない為、クーラント液としての役目である研削
部の冷却、潤滑及び研削屑の除去が適切に行われなくな
る等の問題が発生する。
ようにクーラント液をカップ型砥石の外側から供給する
と、回転しているカップ型砥石には外向きの遠心力が作
用しているので、供給されたクーラント液がカップ型砥
石の外側に飛散されてしまい、確実に供給できないとい
う欠点がある。この結果、前記インゴット端面又はウエ
ハの表面を砥石で研削する際、必要量のクーラント液が
供給されない為、クーラント液としての役目である研削
部の冷却、潤滑及び研削屑の除去が適切に行われなくな
る等の問題が発生する。
【０００５】本考案はこのような事情に鑑みてなされた
もので、研削部に必要量のクーラント液を確実に供給で
きると共に、研削屑をスムーズに排除できる砥石のクー
ラント液供給装置を提供することを目的とする。
もので、研削部に必要量のクーラント液を確実に供給で
きると共に、研削屑をスムーズに排除できる砥石のクー
ラント液供給装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
する為に、回転軸に支持された母材と、前記母材の上面
に設けられた砥石と、前記母材に形成され、前記母材の
外側から前記母材に向かって供給されるクーラント液を
前記母材の内部に取り込むと共に、前記クーラント液を
前記母材の中心部に案内する案内羽根が設けられた案内
通路と、前記母材の中心部に形成され、前記案内通路に
連通すると共に前記案内羽根に案内されたクーラント液
を前記砥石に供給するガイド孔と、から成ることを特徴
とする。
する為に、回転軸に支持された母材と、前記母材の上面
に設けられた砥石と、前記母材に形成され、前記母材の
外側から前記母材に向かって供給されるクーラント液を
前記母材の内部に取り込むと共に、前記クーラント液を
前記母材の中心部に案内する案内羽根が設けられた案内
通路と、前記母材の中心部に形成され、前記案内通路に
連通すると共に前記案内羽根に案内されたクーラント液
を前記砥石に供給するガイド孔と、から成ることを特徴
とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、母材の外側から前記母材の案
内通路内に供給されたクーラント液は、回転する母材の
遠心力により、前記母材の外側に飛散しようとする。し
かし、前記案内通路には案内羽根が設けられているの
で、前記クーラント液は前記案内羽根によって取り込ま
れ、更に案内羽根によって前記母材の中心部に案内され
てガイド孔に導かれる。そして、前記ガイド孔に導かれ
たクーラント液は、前記遠心力によりガイド孔を上昇し
て前記ガイド孔出口から流れ出てリング状の砥石に供給
される。
内通路内に供給されたクーラント液は、回転する母材の
遠心力により、前記母材の外側に飛散しようとする。し
かし、前記案内通路には案内羽根が設けられているの
で、前記クーラント液は前記案内羽根によって取り込ま
れ、更に案内羽根によって前記母材の中心部に案内され
てガイド孔に導かれる。そして、前記ガイド孔に導かれ
たクーラント液は、前記遠心力によりガイド孔を上昇し
て前記ガイド孔出口から流れ出てリング状の砥石に供給
される。
【０００８】これにより、クーラント液を回転している
砥石の中心部から外側に向けて供給することができるの
で、確実に供給することができる。また、前記砥石表面
に供給されたクーラント液は、前記遠心力により砥石の
中心部から外側に向かって流れることにより、研削屑を
砥石の外側にスムーズに排除することができる。
砥石の中心部から外側に向けて供給することができるの
で、確実に供給することができる。また、前記砥石表面
に供給されたクーラント液は、前記遠心力により砥石の
中心部から外側に向かって流れることにより、研削屑を
砥石の外側にスムーズに排除することができる。
【０００９】
【実施例】以下、添付図面に従って本発明に係わる砥石
のクーラント液供給装置の好ましい実施例を詳説する。
先ず、図１に示すように、本発明の砥石のクーラント液
供給装置を内周刃１０のブレード１２を中空スピンドル
１４に取付けた横型スライシング機に適用した場合の概
要を説明する。半導体インゴット１６は中空スピンドル
１４に取付けられ、高速回転する内周刃１０のブレード
１２に対して図示していない保持機構、切断送り機構に
より、切断送り方向（Ｘ−Ｘ方向）に移動できるように
なっている。更に、前記インゴット１６は図示していな
いワーク割出し機構によりワーク割出し方向（Ｚ−Ｚ方
向）に移動できるようになっている。また、ブレード１
２は高速回転する中空スピンドル１４に張設されてい
る。
のクーラント液供給装置の好ましい実施例を詳説する。
先ず、図１に示すように、本発明の砥石のクーラント液
供給装置を内周刃１０のブレード１２を中空スピンドル
１４に取付けた横型スライシング機に適用した場合の概
要を説明する。半導体インゴット１６は中空スピンドル
１４に取付けられ、高速回転する内周刃１０のブレード
１２に対して図示していない保持機構、切断送り機構に
より、切断送り方向（Ｘ−Ｘ方向）に移動できるように
なっている。更に、前記インゴット１６は図示していな
いワーク割出し機構によりワーク割出し方向（Ｚ−Ｚ方
向）に移動できるようになっている。また、ブレード１
２は高速回転する中空スピンドル１４に張設されてい
る。
【００１０】前記中空スピンドル１４内には砥石軸１８
が配置され、前記砥石軸１８の先端部に設けられた円柱
形の母材２０上面にカップ型砥石２２が固着されてい
る。次に、図２及び図３に本発明の砥石のクーラント液
供給装置の構造の詳細を示す。尚、図３は図２の縦断面
図である。前記母材２０は上下２個の母材２０Ａ、２０
Ｂに分かれており、上側の母材２０Ａの上面周囲には円
形な砥石が固着されてカップ型砥石を形成していると共
に、前記上側の母材２０Ａの中心部分には、垂直な円筒
状のガイド孔２４が形成されている。また、前記上下の
母材２０Ａ、２０Ｂは、前記ガイド孔２４から放射状に
延ばされた４枚の案内羽根２６、２６…を挟んで固着さ
れている。また、前記上下の母材２０Ａ、２０Ｂと案内
羽根２６とで形成される略扇形状の空間部は、前記扇形
状の円周部が外部に連通してクーラント液の取込口３
０、３０…となり、要部が前記ガイド孔２４に連通した
案内通路２８、２８…を形成している。
が配置され、前記砥石軸１８の先端部に設けられた円柱
形の母材２０上面にカップ型砥石２２が固着されてい
る。次に、図２及び図３に本発明の砥石のクーラント液
供給装置の構造の詳細を示す。尚、図３は図２の縦断面
図である。前記母材２０は上下２個の母材２０Ａ、２０
Ｂに分かれており、上側の母材２０Ａの上面周囲には円
形な砥石が固着されてカップ型砥石を形成していると共
に、前記上側の母材２０Ａの中心部分には、垂直な円筒
状のガイド孔２４が形成されている。また、前記上下の
母材２０Ａ、２０Ｂは、前記ガイド孔２４から放射状に
延ばされた４枚の案内羽根２６、２６…を挟んで固着さ
れている。また、前記上下の母材２０Ａ、２０Ｂと案内
羽根２６とで形成される略扇形状の空間部は、前記扇形
状の円周部が外部に連通してクーラント液の取込口３
０、３０…となり、要部が前記ガイド孔２４に連通した
案内通路２８、２８…を形成している。
【００１１】また、図２の４−４線の断面図である図４
に示すように、前記案内羽根２６は回転時にクーラント
液を中心部に案内するように湾曲形状に形成され、前記
案内通路２８の外側にはクーラント液の供給ノズル３
２、３２…が複数本対向して配設されている。これによ
り、前記供給ノズル３２から前記取込口３０に供給され
たクーラント液は前記案内通路２８を中心部に向かって
流れてガイド孔２４に達し、更にガイド孔２４を通って
砥石２２が固定された母材２０の上面に流れるようにな
っている。
に示すように、前記案内羽根２６は回転時にクーラント
液を中心部に案内するように湾曲形状に形成され、前記
案内通路２８の外側にはクーラント液の供給ノズル３
２、３２…が複数本対向して配設されている。これによ
り、前記供給ノズル３２から前記取込口３０に供給され
たクーラント液は前記案内通路２８を中心部に向かって
流れてガイド孔２４に達し、更にガイド孔２４を通って
砥石２２が固定された母材２０の上面に流れるようにな
っている。
【００１２】次に、上記の如く構成された砥石のクーラ
ント液供給装置の作用を説明する。ウエハ切断時、半導
体インゴット１６の端面２４は、回転するラップ砥石２
６に当てられ研削されながら、前記切断送り機構により
Ｘ−Ｘ方向に移動し切断される。研削する際、前記供給
ノズル３２から前記母材２０の取込口３０に供給された
クーラント液は、砥石軸１８の回転する遠心力により母
材２０の外側に飛散しようとする。しかし、クーラント
液は前記案内羽根２６に取り込まれ、図３及び図４の矢
印３４、３４…で示したように湾曲形状の案内羽根２６
に案内されて前記案内通路２８をガイド孔２４に向かっ
て勢いよく流れる。このように案内羽根２６はポンプ作
用を行う。前記ガイド孔２４に流れたクーラント液は、
図３及び図４の矢印３６、３６に示すように、前記遠心
力により前記ガイド孔２４の内壁を薄膜状になって上昇
し、前記ガイド孔２４の上端出口から流れ出る。前記ガ
イド孔２４の上端出口から流れ出たクーラント液は、前
記遠心力により前記母材２０の上面を流れて前記カップ
型砥石２２に中心部から外側に向けて供給される。
ント液供給装置の作用を説明する。ウエハ切断時、半導
体インゴット１６の端面２４は、回転するラップ砥石２
６に当てられ研削されながら、前記切断送り機構により
Ｘ−Ｘ方向に移動し切断される。研削する際、前記供給
ノズル３２から前記母材２０の取込口３０に供給された
クーラント液は、砥石軸１８の回転する遠心力により母
材２０の外側に飛散しようとする。しかし、クーラント
液は前記案内羽根２６に取り込まれ、図３及び図４の矢
印３４、３４…で示したように湾曲形状の案内羽根２６
に案内されて前記案内通路２８をガイド孔２４に向かっ
て勢いよく流れる。このように案内羽根２６はポンプ作
用を行う。前記ガイド孔２４に流れたクーラント液は、
図３及び図４の矢印３６、３６に示すように、前記遠心
力により前記ガイド孔２４の内壁を薄膜状になって上昇
し、前記ガイド孔２４の上端出口から流れ出る。前記ガ
イド孔２４の上端出口から流れ出たクーラント液は、前
記遠心力により前記母材２０の上面を流れて前記カップ
型砥石２２に中心部から外側に向けて供給される。
【００１３】これにより、本発明の砥石のクーラント液
供給装置は、クーラント液をカップ型砥石２２の中心部
から外側に向けて供給することができるので、確実に供
給することができる。また、クーラント液はカップ型砥
石の中心部から外側に向けて流れるので、切削屑をカッ
プ型砥石２２の外側にスムーズに排除することができ
る。
供給装置は、クーラント液をカップ型砥石２２の中心部
から外側に向けて供給することができるので、確実に供
給することができる。また、クーラント液はカップ型砥
石の中心部から外側に向けて流れるので、切削屑をカッ
プ型砥石２２の外側にスムーズに排除することができ
る。
【００１４】従って、本発明の砥石のクーラント液供給
装置は、回転するカップ型砥石２２の外側からクーラン
ト液を供給する従来の砥石のクーラント液供給装置のよ
うに供給されたクーラント液が遠心力で逆戻りすること
がなく研削部に確実に供給することができるので、研削
部の冷却、潤滑及び研削屑の除去を適切に行うことがで
きる。
装置は、回転するカップ型砥石２２の外側からクーラン
ト液を供給する従来の砥石のクーラント液供給装置のよ
うに供給されたクーラント液が遠心力で逆戻りすること
がなく研削部に確実に供給することができるので、研削
部の冷却、潤滑及び研削屑の除去を適切に行うことがで
きる。
【００１５】尚、本実施例ではインゴットの切断機能と
ウエハの研削機能とが一体の横型スライシング機に本発
明の砥石のクーラント液供給装置を適用した例で説明し
たが、切断機構と研削機構とが独立した切削装置に適用
してもよい。また、カップ型砥石を用いて説明したが全
面砥石でもよい。更に、４枚の案内羽根で説明したが、
この数に限定されるものではない。
ウエハの研削機能とが一体の横型スライシング機に本発
明の砥石のクーラント液供給装置を適用した例で説明し
たが、切断機構と研削機構とが独立した切削装置に適用
してもよい。また、カップ型砥石を用いて説明したが全
面砥石でもよい。更に、４枚の案内羽根で説明したが、
この数に限定されるものではない。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の砥石のク
ーラント液供給装置によれば、クーラント液を砥石の中
心部から外側に向かって供給することができるので、確
実に供給することができる。また、前記砥石表面に供給
されたクーラント液は、砥石の中心部から外側に向けて
流れるので、切削屑を砥石の外側にスムーズに排除する
ことができる。
ーラント液供給装置によれば、クーラント液を砥石の中
心部から外側に向かって供給することができるので、確
実に供給することができる。また、前記砥石表面に供給
されたクーラント液は、砥石の中心部から外側に向けて
流れるので、切削屑を砥石の外側にスムーズに排除する
ことができる。
【００１７】従って、本発明の砥石のクーラント液供給
装置は、回転する砥石の外側からクーラント液を供給す
る従来の砥石のクーラント液供給装置のように、供給さ
れたクーラント液が遠心力で砥石の外側に飛散すること
がなく研削部に確実に供給することができるので、研削
部の冷却、潤滑及び研削屑の除去を適切に行うことがで
きる。
装置は、回転する砥石の外側からクーラント液を供給す
る従来の砥石のクーラント液供給装置のように、供給さ
れたクーラント液が遠心力で砥石の外側に飛散すること
がなく研削部に確実に供給することができるので、研削
部の冷却、潤滑及び研削屑の除去を適切に行うことがで
きる。
【図１】本発明に係わる砥石のクーラント液供給装置の
適用例を示した説明図
適用例を示した説明図
【図２】本発明に係わる砥石のクーラント液供給装置の
斜視図
斜視図
【図３】図２の縦断面図
【図４】図３の４−４線の断面図
２０…母材 ２２…円形砥石 ２４…ガイド孔 ２６…案内羽根
Claims (1)
- 【請求項１】 回転軸に支持された母材と、 前記母材の上面に設けられた砥石と、 前記母材に形成され、前記母材の外側から前記母材に向
かって供給されるクーラント液を前記母材の内部に取り
込むと共に、前記クーラント液を前記母材の中心部に案
内する案内羽根が設けられた案内通路と、 前記母材の中心部に形成され、前記案内通路に連通する
と共に前記案内羽根に案内されたクーラント液を前記砥
石に供給するガイド孔と、から成ることを特徴とする砥
石のクーラント液供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24485992A JPH0691533A (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 砥石のクーラント液供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24485992A JPH0691533A (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 砥石のクーラント液供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0691533A true JPH0691533A (ja) | 1994-04-05 |
Family
ID=17125056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24485992A Pending JPH0691533A (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 砥石のクーラント液供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691533A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2391188A (en) * | 2002-07-30 | 2004-02-04 | Raysun Innovative Design Ltd | Grinding apparatus and method with coolant supply |
| JP2006159323A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | 回転砥石 |
| JP2009279709A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Asahi-Seiki Mfg Co Ltd | コイルばねの両端研削機 |
| US9579771B2 (en) | 2013-12-02 | 2017-02-28 | Apple Inc. | Flood coolant to through spindle coolant conversion |
| CN113021175A (zh) * | 2019-12-09 | 2021-06-25 | Dmg森精机株式会社 | 机床 |
-
1992
- 1992-09-14 JP JP24485992A patent/JPH0691533A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2391188A (en) * | 2002-07-30 | 2004-02-04 | Raysun Innovative Design Ltd | Grinding apparatus and method with coolant supply |
| GB2391188B (en) * | 2002-07-30 | 2005-08-03 | Raysun Innovative Design Ltd | Method and apparatus for grinding |
| JP2006159323A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Asahi Diamond Industrial Co Ltd | 回転砥石 |
| JP2009279709A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Asahi-Seiki Mfg Co Ltd | コイルばねの両端研削機 |
| US9579771B2 (en) | 2013-12-02 | 2017-02-28 | Apple Inc. | Flood coolant to through spindle coolant conversion |
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