KR100385428B1 - 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기 - Google Patents

평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기 Download PDF

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Abstract

연삭지석(28)의 회전중심을 내주칼날(14a)의 회전중심에 대하여 절단이송방향의 절단측(Xa방향)으로 편심지게 설치한다.
이와같은 구성에 의하여 연삭지석의 직경을 작게할 수 있고 또한, 잉곳의 절단이동거리를 짧게 할 수 있어서, 절단시간이 짧아져 연삭면의 정밀도가 좋고 염가의 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기를 제공할 수가 있다.

Description

평면연삭 내주칼날 전달 복합 가공기
본 발명은 잉곳(ingot)을 지지하는 이동테이블과 회전하는 블레이드를 상대적으로 서로 접근시켜서 잉곳을 절단하는 내주칼날식 절단기에 연삭지석(grinding wheel)을 부가하여 잉곳의 단면을 연삭하면서 잉곳을 절단히는 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기에 관한 것으로서, 특히 연삭지석의 부착위치의 개량에 관한 것이다.
내주칼날식 절단기는 반도체 소자의 소재가 되는 실리콘등의 잉곳을 회전하는 ID블레이드(본 명세서에서는 간단히 「블레이드」라함)의 칼날 선단에 상대적으로 서로 접근시켜서 소정의 두께로 절단하여 웨이퍼를 제조한다.
이 경우, 블레이드는 축방향의 강성이 작으므로 절단이 진행되면 칼날선단의 마모, 잉곳과 블레이드 사이의 슬러지의 퇴적등 여러가지의 요인으로 절단 저항이 증가하여 블레이드의 칼날선단은 초기의 상태로 부터 축방향으로 변위하기 쉽게 된다. 이 결과, 잘려진 웨이퍼에는 양면으로 휨이 발생하기 쉽다.
반도체 소자가 제조되는 공정에서는 웨이퍼에 높은 평면정밀도가 요구되기 때문에 웨이퍼는 후공정에서 양면의 래핑(lapping)등이 행하여 지게 되지만, 웨이퍼의 두께가 얇기 때문에 양면에 휨이 있으면 래핑등에 많은 시간이 걸린다.
상기에서 언급한 문제를 해결하기 위해 내주 칼날식 절단기의 연삭 지석을 부가하여 잉곳의 단면을 연삭하면서 잉곳을 절단하는 평면 연삭 내주 칼날 절단 복합 가공기가 본 발명의 출원인에 의해 「특공평2-12729호 (웨이퍼 제조 방법)」으로서 개시되어 있다.
또, 연삭지석의 구체적 지지기구가 본 발명의 출원인에 의해 「특개평 1-210313호 (웨이퍼의 절단장치)」나 「특개평4-71688호 (웨이퍼의 절단장치)」로서 개시되어 있다.
평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기에는 잉곳이 어떻게 부착되느냐에 따라 세로형과 가로형으로 분류할 수 있는데, 제 5 도에 세로형의 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기의 예(요부 측면도)를 나타내었다.
제 5 도에 있어서 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기의 가공부는 대략 다음과 같이 구성되어 있다.
즉, 가대(1)에 상면에 설치된 테이블 가이드(2)에 이동테이블(4)이 Xa 및 Xb 방향으로 이동 자재하게 지지됨과 함께, 내장된 구동기구에 의하여 구동된다.
이동테이블(4)에는 칼럼(5)이 부착되어 칼럼(5)에 설치된 상하가이드에 Z방향으로 이동 자재하게 지지된 워크홀더(7)가 칼럼(5)에 내장된 구동기구에 의하여 구동된다.
또, 테이블 가이드(2)에 인접되게 설치된 가공부(10)에는 텐션헤드(13)가 회전 기구에 의해 지지되어 있고, 텐션헤드(13)에는 내주에 칼날선단(14a) (이하, 「내주칼날(14a)」라함)이 형성된 블레이드(14)가 상부링(15)에 의하여 펼쳐져 부착되어 있다.
그리고, 블레이드(14)를 회전자재하게 지지하는 주축에는 중공부분이 형성되고, 그 중공부분을 관통하여 회전자재하면서 상하 이동자재하게 설치된 지석축에 연삭지석(28)이 고착되어 있다. 연삭지석(28)의 상면에는 컵형상의 지석면(28a)이 형성되어 있고, 지석면(28a)은 내주칼날(14a)보다 웨이퍼의 두께 만큼 하측에 위치하고 있다.
이 예의 연삭지석(28)의 지지기구는 「특개평 1-210313호」나 「특개평4-71688호」로서 개시되어 있는 것의 하나이다.
또한, 텐션헤드(13)의 내측에는 내측커버(18)가 가대(1)측에 고정되어 설치되어 있다.
이와같이 구성된 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기에서는 블레이드(14)를 고속회전시켜서 잉곳(W)의 단면이 내주칼날(14a)보다 웨이퍼 두께만큼 하측에 위치한 상태에서 이동테이블(4)에 의하여 잉곳(W)을 블레이드(14)의 거의 중앙 위치로부터 Xa 방향으로 이동시켜 잉곳(W)을 절단하는데, 이 상태에서 잉곳(W)은 내주칼날(14a)에 닿기전에 연삭지석(28)의 지석면(28a)에 닿는다.
그 결과, 잉곳(W)은 끝단면이 연삭되면서 (연삭이 선행되어) 절단된다.
이 결과, 하면에 양호한 평면을 가진 웨이퍼가 얻어진다. 한쪽편의 평면정밀도가 좋으면 후공정의 래핑등의 시간이 대폭 단축된다.
더구나, 연삭지석(28)은 절단된 웨이퍼가 회수될때에는 회수기구의 웨이퍼를 지지하는 부분(회수접시)에 간섭하지 않도록 하방으로 이동된다.
또한, 연삭지석(28)의 회전중심은 내주칼날(14a)의 회전중심에 일치하여 있고, 내주칼날(14a)의 직경, 연삭지석(28)의 직경, 잉곳(W)의 초기 위치의 관계는 다음과 같이 설정된다.
이것을 제 4 도에 의하여 설명한다. 제 4 (a)도는 평면도, 제 4 (b)도는 그 중앙 단면도이다.
우선, 잉곳(W)의 직경(A)와 슬라이스 베이스 방항길이 (B)로 부터 절단후의 웨이퍼의 회수가 가능하도록 내주칼날(14a)의 직경(C) (회수접시 및 그 지지축이 통과할 수 있는 크기)를 설정한다.
다음에, 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 반경방향 간격(δ)을 설정하여 연삭지석(28)의 직경 Db(= C - 2δ)를 결정한다.
다시, 연삭지석(28)의 지석면(28a)의 반경방향 폭(t)보다 큰값(r)를 설정하여 연삭지석(28)의 외주면으로 부터(r)만큼 내측으로 잉곳(W)의 절단개시점(Wa)이 위치하도록 잉곳(W)의 초기 위치를 결정한다.
이 결과, 잉곳(W)의 절단이동거리(Eb)는 다음과 같이 된다.
이중에서(r)는 연삭지석(28)의 지석면(28a)의 반경방향 폭(t)에 의하여 거의 자동적으로 설정된 값이므로, 결국, 절단이동거리(Eb)는 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 반경방향 간격(δ)에 의하여 결정된다.
그렇지만, 종래의 기구에서는 연삭지석(28)의 회전중심이 내주칼날(14a)의 회전중심에 일치하고 있기 때문에 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 반경방향 간격(δ)을 작게하기 위하여는 연삭지석(28)의 직경(Db)을 크게 할 필요가 있다. 그러나, 연삭지석(28)의 직경(Db)을 크게하면 연삭지석(28)을 고속회전 시키기 위한 장치가 고가로 되고, 이것을 피하기 위하여 연삭지석 (28)의 회전 속도를 낮게하면 양호한 연삭면이 얻어지기 어렵다. 연삭지석(28)의 직경(Db)이 크게되면 지석면(28a)이 정밀도도 나타내기 어렵게 된다.
또한, 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 반경방향 간격(δ)이 작게 되면 연삭지석(28)의 회전에 따른 풍압등에 의하여 내주칼날(14a)이 축방향으로 변동하기 쉽게 되는 문제도 있다.
본 발명은 이와같은 사정을 감안하여 된것으로서, 연삭지석의 직경을 작게 하고 또, 잉곳의 절단이송 거리를 짧게 함으로써 절단시간이 짧아서 연삭면 정밀도가 좋으며 염가의 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에서는 상기 목적을 달성하기 위하여 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기에 있어서, 연삭지석(28)의 회전중심을 내주칼날(14a)의 회전중심에 대하여 절단이송 방향의 절단측(Xa방향)으로 편심지게 설치하도록 한다.
이 경우, 종래와 마찬가지로 연삭지석(28)은 회전과 함께 블레이드(14)의 축방향으로 이동할 필요가 있고, 이 지지기구를 다음과 같이 구성할 수가 있다.
즉, 그 하나의 방법 (제 1 의 방법이라 함)으로서는 블레이드(14)를 회전자재하게 지지하는 주축(12)의 중공부분을 관통하여 주축(12)의 축방향으로 이동 자재하게 축받이대(24)를 설치하고, 축받이대(24)에 회전자재하게 지석축(26)을 지지시켜 지석축(26)의 블레이드(14) 측단면에 연삭지석(28)을 고착한 기구이다.
또한, 다른방법(제 2 의 방법이라함)으로서는 주축(12)의 중공부분을 관통하여 고정된 축받이대(42)를 설치하고, 축받이대(42)에 회전자재하게 내축(43)을 지지함과 함께 내축(43)의 중심에 주축(12)의 축방향으로 이동자재하게 지석축(44)을 설치하여, 지석축(44)의 블레이드(14) 측단면에 연삭지석(28)을 고착하는 기구이다.
이 경우, 지석축(26)이나 내축(43)의 회전은 외부부착 모터에 의하여 구동시킬 수도 있지만, 다음과 같이 내장 모터를 구성하여도 좋다.
즉, 제 1 방법에서는 지석축(26)을 로터로 하고 축받이대(24)를 스테이터로 한다. 또, 제 2 의 방법에서는 내축(43)을 로터로 하고 축받이대(42)를 스테이터로 한다.
본 발명에 의한 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기에서는 연삭지석(28)의 회전중심은 내주칼날(14a)의 회전 중심에 대하여 절단 이송방향의 절단측(Xa방향)으로 편심하게 설치되어 있으므로 연삭지석(28)의 직경을 크게 하지 않아도 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 Xa방향 간격을 작게 할 수가 있다.
그 결과 잉곳(W)의 절단 이송거리가 짧아질 수 있다. 이 것을 제 1 도에 의하여 설명한다. 제 1 (a)도는 평면도, 제 1 (b)도는 그 중앙단면도이다.
먼저, 종래의 기술로서 설명한 제 4 도의 경우와 마찬가지로 잉곳(W)의 직경(A)과 슬라이스 베이스 방향길이(B)로 부터 절단후의 웨이퍼의 회수가 가능 하도록 내주칼날(14a)의 직경(C)이 설정된다.
다음에, 연삭지석(28)의 지석면(28a)의 반경방향폭(t)보다 큰 값(r)를 설정하여 연삭지석(28) 직경 Da ( > A + 2r )를 결정한다. 다음에, 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 Xa방향간격( α )를 설정하여, 잉곳(W)의 초기위치를 결정한다.
이 결과, 잉곳(W)의 절단이동거리(Ea)는 다음과 같이 된다.
Ea = B + α + r
이 중에서 종래의 기술과 마찬가지로( r )는 연삭지석(28)의 지석면(28a)의 반경방향 폭(t)에 의하여 거의 자동적으로 설정된 값이므로 결국, 절단이동거리(Ea)는 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 Xa방향 간격(α)에 의하여 결정되는데, 본 발명에서는 연삭지석(28)의 회전중심이 내주칼날(14a)의 회전중심으로 부터 독립하여 있기 때문에 Xa방향간격(α)를 임의의 값으로 설정할 수가 있다.
그 결과, Xa방향간격(α)를 작게 할 수 있으므로 절단이동거리(Ea)를 작게할 수 있다.
이 경우, Xa 방향간격( α )가 작게 되어도 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 다른방향의 간격은 크게되기 때문에 연삭지석(28)의 회전에 의한 풍압등에 의하여 내주칼날(14a)이 축방향으로 변동할 염려는 적다.
본 발명의 다른 목적과 잇점 뿐만아니라 본 발명의 정확한 특징은 첨부한 도면에 의거하여 이하의 설명에 의해 명확해질 것이다. 상세한 설명은 이하에서 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 의한 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기의 양호한 실시예에 주어질 것이다.
실시예 1
본 발명에 의한 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기의 연삭지석 지지기구의 실시예 1을 제 2 도에 나타낸다. 제 2 도는 종래의 기술에서 설명한 세로형의 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기의 가공부(10)와 마찬가지 부분의 단면도로서, 블레이드(14)의 지지기구를 포함하여 표시하고 있다. 연삭지석(28)은 상승단(연삭시)의 상태이다.
제 2도에 있어서 종래의 기술에서 설명한 것과 마찬가지로 가대(1)에 하우징(11)이 고착되고, 하우징(11)에 내장된 베어링(11a),(11a)에 회전 자재하게 주축(12)이 지지도어 있다. 주축(12)의 상측에는 텐션헤드(13)가 고착되며, 텐션헤드(13)에는 블레이드(14)가 상부링(15)등에 의하여 펼쳐져 부착되어 있다.
또한, 주축(12)의 하측에는 구동풀리(16)가 고착되어 도시하지 않은 모터의 회전축에 연결되어 있다. 이것에 의하여 블레이드(14)는 주축(12)의 회전에 따라 거의 수평면으로 회전한다.
그리고, 내측커버(18)는 후술하는 브래킷(21)에 설치된 원주(17)의 상단에 고착된다.
여기까지는 종래의 기술에서 설명한 것과 마찬가지이다.
또, 가대(1)의 하면에는 브래킷(21)이 고착되고, 브래킷(21)에 부착된 리니어가이드(22)에 슬라이드 블럭(23)이 상하자재하게 지지되어 있다.
슬라이드 블럭(23)에는 주축(12)의 중공부분을 관통하여 축받이대(24)가 설치되며, 축받이대(24)에는 베어링 (24a),(24a)이 내장되어 지석축(26)이 회전자재하게 지지되어 있다. 지석축(26)의 상단에는 연삭지석(28)이 고착되어 있다.
그리고, 축받이대(24)에는 스테이터(25), 지석축(26)에는 로터(27)가 설치되어 내장모터가 구성되며, 슬라이드 블럭(23)의 하방에는 직진구동수단(30)이 설치되어 있다.
직진구동수단(30)에는 하우징(31)에 수평면내에서 회전자재하게 지지된 웜휠(32)과 그것을 구동하는 웜(33)이 설치되며, 웜 (33)은 도시하지 않은 모터의 회전축에 결합되어 있다. 웜휠(32)의 중공부에는 나사가 형성되어 슬라이드 블럭(23)의 하면에 고착된 나사축(34)과 나사결합되어 있다.
실시예 1의 연삭지석(28)의 지지기구는 이와같이 구성되어 있으며, 연삭지석 (28)은 스테이터(25)와 로터(27)로된 내장모터에 의하여 회전된다. 또한, 직진구동수단(30)에서는 도시하지 않은 모터에 의하여 웜(33)이 회진하고, 이에 의하여 웜휠(32)이 회전하면 나사축(34)이 상하로 이동한다.
이에따라, 상하로는 회전기구까지도 포함한 축받이대(24) 전체가 이동한다.
실시예 2
본 발명에 의한 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기의 연삭지석 지지기구의 실시예 2를 제 3 도에 나타낸다. 제 3 도는 실시예 1과 마찬가지로 가공부의 단면도이며, 블레이드(14)의 지지기구를 포함하여 표시하고 있다. 블레이드(14)의 지지기구는 실시예 1과 마찬가지이므로, 동일 기능부품에는 동일 부호를 붙여서 설명은 생략한다. 연삭지석(28)은 상승단(연삭시)의 상태이다.
제 3 도에 있어서, 가대(1)의 하면에 브레킷(41)이 고착되어, 브래킷(41)에는 주축(12)의 중공부분을 관통하여 축받이대(4a)가 부착되어 있다. 축받이대 (42)에는 베어링(42a),(42a)이 내장되어 내축(43)이 회전자재하게 지지되어 있다. 내축(43)의 하측에는 구동풀리(45)가 고착되어 도시하지 않은 모터의 전축에 연결되어 있다.
또한, 내축(43)의 축심에는 스프라인(spline)받이(43a),(43a)가 내장되고, 외주에 스프라인(44a)이 형성된 지석축(44)이 스프라인받이 (43a),(43a)에 주축(12)의 축방향으로 이동자재하게 지지되어 있다. 그리고, 지석축(44)의 상단에 연삭지석(28)이 고착되어 있다.
또, 브래킷(14)의 하측에 부착된 리니어가이드(47)에 슬라이드 블럭(48)이 상하 이동자재하게 지지되어 있다. 슬라이드 블럭(48)에는 드러스트 베어링(48a),(48a)이 내장되어 지석축(44)의 하단에 형성된 플렌지(44b)의 상하가 드러스트 베어링(48a),(48a)에 지지되어 있다. 슬라이드 블럭(48)의 하측에는 실시예 1에서 설명한 직진구동수단(30)이 설치되어 그 나사축(34)이 슬라이드 블럭(48)의 하면에 고착되어 있다.
실시예 2의 연삭지석(28)의 지지기구는 이와같이 구성되어 있고, 직진구동 수단(30)에 의하여 슬라이드 블럭(48)이 상하방향으로 구동되며, 이것에 의하여 지석축(44)이 상하로 이동한다.
또, 구동풀리(45)에 의하여 내축(43)이 회전되는데, 내축(43)이 회전하면 스프라인받이(43a),(43a)를 사이에 두고서 지석축(44)이 회전한다. 이때, 지석축(44)의 하단은 슬라이드 블럭(48)에 내장된 드러스트 베어링(48a),(48a)에 상하방향으로만 구속되어 있으므로 회전에는 지장이 없다.
따라서, 실시예 2에서는 상하기구와 회전기구가 각각 독립하여 있다.
그리고, 연삭지석(28)의 회전과 상하이동기구는 이상 설명한 실시예에 한정되지 않고 다른 방법에서도 본 발명은 적용 가능하다.
예를들면, 실시예 1에서는 회전구동하는 모터를 축받이대(24)와 지석축(26)과의 사이에 내장하였지만, 실시예 2와 같이 외부부착 모터로 하여도 좋다.
반대로, 실시예 2에서는 외부부착 모터로 하였지만, 실시예 1과 같이 축받이대(42)와 내축(43)과의 사이에 내장한 모터로 하여도 좋다.
이상 설명한 바와같이 본 발명에 의한 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기에서는 연삭지석(28)의 회전중심을 내주칼날(14a)의 회전중심에 대하여 절단 이송방향의 절단측(Xa방향)으로 편심지게 설치하였다.
이것에 의하여 연삭지석(28)의 직경(Da)는 잉곳(W)의 직경(A)보다 약간 큰 정도에서도 내주칼날(14a)의 절단측에 접근시킬수 있고, 잉곳(W)의 절단 이동거리(Ea)를 짧게 할 수 있다.
이것을 구체적인 수치로 비교하여 보면 다음과 같이 된다.
우선, 공통조건을 다음과 같이 설정한다.
잉곳(W)의 직경 (A) = 200
잉곳(W)의 슬라이스베이스 방향길이(B) = 210
내주칼날(14a)의 직경(C) = 310
연삭지석에 대한 잉곳의 Xa 방향간격(r) = 5
종래의 경우는,
내주칼날(14a)과 연삭지석(28)의 반경방향 간격( δ ) = 20으로 설정하면,
연삭지석(28)의 직경 (Db) = 310-(2 X 20) = 270
잉곳(W)의 절단이동거리 (Eb) = 210 + 20 + 5 = 235로 된다.
이에 대하여 본 발명에서는
연삭지석(28)의 직경 (Da) = 220
내주칼날에 대한 연삭지석의 Xa 방향간격( α ) = 5로 설정하면,
잉곳(W)의 절단이동거리 (Ea) = 210 + 5 + 5 = 220 으로 된다.
이 결과,
연삭지석(28)의 직경의 차(Db-Da) = 270-220 = 50
잉곳(W)의 절단이동거리의 차(Eb-Ea) = 235-220 = 15로 된다. 또한, 연삭지석(28)의 직경(Da)이 작아지므로 지지기구를 작게할 수가 있어서 염가로 구성할 수 있을 뿐만아니라, 연삭면(28a)의 정밀도도 향상시킬 수 있게 된다.
그리고, 내주칼날(14a)과 연삭지석(28)과의 전체간격 (내주칼날(14a)에서 구성되는 내원의 면적과 연삭지석(28)의 면적과의 차)이 크게 되므로 연삭지석(28)의 회전에 의한 풍압등에 의하여 내주칼날(14)이 축방향으로 변동할 염려가 적게 된다.
따라서, 연삭지석의 직경을 작게할 수 있고, 또 잉곳의 절단이동거리를 짧게할 수 있어서, 절단시간이 짧아져 연삭면의 정밀도가 좋고 염가의 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기를 제공할 수 있다.
그러나, 본 발명은 명세서에 공개된 형상에 한정하지 않고 모든 변형물, 대체적인 구성 그리고 청구범위에 표현된 본 발명의 정신과 범위내에서 동등물을 포함할 수 있다.
제 1 도는 본 발명에 의한 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기의 개요 설명도.
제 2 도는 본 발명에 의한 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기의 연삭지석 지지 기구의 실시예1의 설명도.
제 3 도는 본 발명에 의한 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기의 연삭지석 지지기구의 실시예 2의 설명도.
제 4 도는 종래의 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기의 개요 설명도.
제 5 도는 일반적인 세로형의 평면연삭 내주칼날 절단 복합가공기의 요부 측면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
1 : 가대 4 : 이동테이블
7 : 워크홀더 10 : 가공부
14 : 블레이드 14a : 내주칼날
15 : 상부링 28 : 연삭지석
28a : 지석면 24,42 : 축받이대
30 : 직진구동수단 43 : 내축
44 : 지석축 47 : 리니어 가이드
48 : 슬라이드 블럭 48a : 드러스트 베어링

Claims (7)

  1. 내주부에 칼날이 형성되어 회전됨으로써 잉곳을 박판상으로 절단하는 도너츠상의 블레이드와, 상기 블레이드의 내측에 배치됨과 동시에 그 회전 중심이 상기 블레이드의 회전중심에 대하여 상기 잉곳의 절단이송 방향측으로 편심지게 설치되어 회전됨으로써 상기 잉곳의 단면을 연삭하는 연삭지석으로 된 것을 특징으로 하는 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 연삭지석의 회전지지 기구는 상기 블레이드를 회전자재하게 지지하는 추축의 중공부분을 관통하여 그 축방향으로 이동 자재하게 설치된 축받이대(24)와, 그 축받이대(24)에 회전자재하게 지지되어 상기 블레이드측의 단면에 상기 연삭지석이 고착된 지석축(26)과, 그 지석축(26)을 로터로 하고 상기 축받이대(24)를 스테이터로 하여 구성된 내장모터와, 상기 축받이대(24)를 상기 블레이드 주축의 축방향으로 구동하는 직진구동수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 직진구동수단은 상기 축받이대를 상기 블레이드 주축의 축방향으로 이동가능하게 안내하는 가이드부재(22),(23)와, 상기 축받이대를 상기 블레이드 주축의 축방향으로 이동시키는 이송나사 장치(30)로 구성된 것을 특징으로 하는 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 연삭지석의 회전지지기구는 상기 블레이드를 회전자재하게 지지하는 주축의 중공부분을 관통하여 설치된 축받이대(42)와, 그 축받이대(42)에 회전자재하게 지지된 내축(43)과, 그 내축(43)의 축심에 상기 블레이드 주축의 축방향으로 이동자재하게 설치되어 상기 블레이드축의 단면에 상기 연삭지석이 고착된 지석축(44)과, 상기 내축(43)을 회전구동하는 회전구동수단, 상기 지석축(44)을 상기 블레이드 주축의 축방향으로 구동하는 직진구동수단으로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 지석축은 상기 내축과 결합되어 그 내축과 일체로 회전됨을 특징으로 하는 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 지석축은 상기 내측에 스프라인 결합되어 그 내측과 일체로 회전됨과 함께 그 내측에 대하여 축방향으로 이동됨을 특징으로 하는 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 지석축을 상기 블레이드 주축의 축방향으로 이동가능하게 안내하는 가이드부재(47),(48)와, 상기 지석축을 상기 블레이드 주축의 축방향으로 이동시키는 이송나사장치(30)로 된 것을 특징으로 하는 평면연삭 내주칼날 절단 복합 가공기.
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