JP2003203884A - ダイシングマシンの洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
ダイシングマシンの洗浄装置及び洗浄方法Info
- Publication number
- JP2003203884A JP2003203884A JP2002000555A JP2002000555A JP2003203884A JP 2003203884 A JP2003203884 A JP 2003203884A JP 2002000555 A JP2002000555 A JP 2002000555A JP 2002000555 A JP2002000555 A JP 2002000555A JP 2003203884 A JP2003203884 A JP 2003203884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- work
- water
- nozzle
- dicing machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
エアとが良好に混合され、洗浄力の優れた洗浄ノズルを
有する洗浄装置を提供するとともに、加工中及び加工後
のワークに対して有効なコンタミ除去が行われる洗浄方
法を提供すること。 【解決手段】ダイシングマシン10の洗浄装置40にお
いて、洗浄ノズル41を水とエアの混合ノズルとし、混
合ノズルには、水の流路41Aを中心にその円周上に複
数のエアの流路41B、41B、…を形成し、複数のエ
アの流路41B、41B、…を混合ノズルの先端近傍で
前記水の流路41Aに合流させ、合流後の流路の形状を
がラッパ状に広がってなる噴射口41Cとして形成し
た。これにより水の粒子が細かく、また、均一に混合さ
れる。このため、高圧洗浄水を用いることなく有効な洗
浄が行えるので、装置のコストアップを抑えることがで
きる。
Description
材料等のワークに溝加工や切断加工を行うダイシングマ
シンに関するもので、特にダイシングマシンに設けられ
ているワークの洗浄装置、及び洗浄方法に関するもので
ある。
工や切断加工を行うダイシングマシンにおいては、高速
で回転するブレードと称する薄型砥石で研削水や冷却水
をかけながらワークを加工する。このダイシングマシン
では、前記ブレードを保持したスピンドルがY軸方向の
インデックス送りとZ軸方向の切込み送りとがなされ、
ワークを載置したワーク加工テーブルがX方向に研削送
りされるようになっている。
に発生する微細な研削粉によるワーク表面や研削溝内の
汚染物(コンタミネータ:以下略してコンタミという)
付着を極度に嫌うため、回転ブレードの近傍に洗浄ノズ
ルを設け、ダイシング中のコンタミ付着を削減し、更に
ダイシング加工終了後のワークをダイシングマシン中に
設けられたスピン洗浄装置に搬入し、ワークを回転させ
ながら洗浄ノズルをワーク面内で揺動させてスピン洗浄
をしていた。この加工中及び加工後の洗浄においては、
約0.2MPaの市水程度の圧力の純水が用いられてい
た。ところが、この従来のダイシングマシンの洗浄装置
では、洗浄水をワーク表面に垂直に噴射していた。この
ためワークに付着しているコンタミが剥がれにくく、ま
た、剥がれても周囲に飛び散りワークを再汚染してい
た。また、スピン洗浄装置では洗浄ノズルが等速で揺動
運動していたので、ワークの周縁部の洗浄が不十分だっ
た。
浄水の圧力を10〜20MPaの高圧にすることが試み
られた。しかし、この洗浄方法では洗浄水供給に用いる
バルブやコネクタやチューブ等の配管部品を全て高圧に
耐えられる仕様のものにしなければならず、コストアッ
プになっていた。この問題を解決するために、特開20
00−306878号公報には、洗浄水と圧力エアとを
混合して供給する技術が記載されている。ところが、こ
の特開2000−306878号公報に開示された装置
では水とエアの混合の仕方が適切でなく、微細なコンタ
ミの除去が不十分であった。
たもので、ダイシング装置の洗浄装置において、洗浄水
とエアとが良好に混合され、洗浄力の優れた洗浄ノズル
を有する洗浄装置を提供するとともに、加工中及び加工
後のワークに対して有効なコンタミ除去が行われる洗浄
方法を提供することを目的とする。
するために、請求項1に記載の発明は、回転ブレードで
ワークに溝加工や切断加工を行うダイシングマシンの洗
浄装置において、該洗浄装置の洗浄ノズルは、水とエア
とが供給される混合ノズルであって、該混合ノズルに
は、中心部に水の流路が形成されると共に、その周囲に
複数のエアの流路が形成され、該複数のエアの流路が混
合ノズルの先端近傍で前記水の流路に合流され、合流後
の流路の形状がラッパ状に広がってなる噴射口が形成さ
れていることを特徴としている。この発明によれば、水
の流路を中心にしてその周囲に複数のエアの流路が形成
されているので、水の粒子が細かく、また、均一に混合
される。このため、高圧洗浄水を用いることなく有効な
洗浄が行えるので、装置のコストアップを抑えられる。
ードでワークに溝加工や切断加工を行うダイシングマシ
ンの洗浄装置において、該洗浄装置の洗浄ノズルは水と
エアとが供給される混合ノズルであって、該混合ノズル
には、水の流路とエアの流路とが形成され、前記水の流
路がエアの流路に合流され、合流後の流路の内径が合流
前の流路の内径よりも小さく絞られてなる噴射口が形成
されていることを特徴としている。この発明によれば、
水とエアとが混合された後で流路が絞られているので流
速が増し、洗浄効果が高まる。
又は請求項2の発明において、前記噴射口の断面形状が
星型であることを特徴としている。この発明によれば、
噴射口の断面が星形に形成されているので、不必要な拡
散が抑制されて直進性が向上し、洗浄効果が一層高ま
る。
ワークに溝加工や切断加工を行うダイシングマシンにお
けるワークの洗浄方法において、洗浄水を噴射する前記
請求項1又は請求項2に記載の洗浄ノズルを前記ワーク
に対して任意の角度に傾斜可能に取付け、該洗浄ノズル
から噴射する洗浄水を前記ワークに対して斜めに噴射す
ることを特徴としている。この洗浄方法によれば、洗浄
水がワークに対して斜めに噴射されるので、ワークに付
着しているコンタミが剥がれやすく、また周囲に飛び散
らない。
ワークに溝加工や切断加工を行うダイシングマシンのス
ピン洗浄装置におけるワークの洗浄方法において、回転
するワークの表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノズル
を配置し、該洗浄ノズルを前記ワークの面内で往復移動
させ、前記移動速度を、前記ワークの周縁部から中心部
に向けて徐々に速くし、前記ワークの中心部から周縁部
に向けて徐々に遅くしたことを特徴としている。この洗
浄方法によれば、回転するワークに対して、洗浄ノズル
の揺動速度をワークの位置に応じて変化させているの
で、ワーク全面に亘って均一な洗浄ができる。
るダイシングマシンの好ましい実施の形態について詳説
する。尚、各図において同一部材には同一の番号又は符
号を付してある。
いて説明する。図1は本発明に係るダイシングマシンの
外観を示す斜視図である。ダイシングマシン10は、加
工部20、スピン洗浄装置40A、搬送装置50、ロー
ドポート60、の他図示しない顕微鏡、アライメント装
置、モニターテレビ、操作・表示部、表示灯、コントロ
ーラ等から構成されている。加工部20は、ワークに溝
加工や切断加工を行う部分である。スピン洗浄装置40
Aは加工後のワークを洗浄する装置で、ワークを回転さ
せながら洗浄水を噴射してワークに付着しているコンタ
ミを除去する。搬送装置50は、ワークをダイシングマ
シン各部へ搬送する装置で、吸着アーム51を2個有
し、一方の吸着アーム51は加工前及び加工後の洗浄済
みの清浄なワークを搬送し、他方の吸着アーム51は加
工後の未洗浄で汚れたワークを搬送する。ロードポート
60は、多数枚のワークを収納したカセットをダイシン
グマシン外部との間で受渡しを行う部分である。
を評価するために、ワークの表面を観察する部材で、観
察画像はCCDカメラを介してモニターテレビの画面で
観察することができる。アライメント装置はワーク表面
のパターン画像を処理してワークを自動アライメントす
る。操作・表示部にはダイシングマシン10の各部の操
作を行うスイッチや表示手段が設けられている。コント
ローラはダイシングマシン10の各動作をコントロール
する部分で、マイクロプロセッサ、メモリ、及び入出力
回路等で構成され、ダイシングマシン10の架台内部に
格納されている。 表示灯は、ダイシングマシン10の稼
動中、加工終了、待機中、及び警報等を表示するもの
で、離れたところからでも判明できるように高い位置に
設けられている。
工を行う回転ブレード21が、互いに対向配置された2
本の高周波モータ内蔵のエアーベアリングスピンドル2
2、22に夫々取付けられ、30,000rpm〜6
0,000rpmの高速で回転されるとともに、不図示
の送り機構によって図の矢印Y方向にインデックス送り
される。 この回転ブレード21は薄い円盤状で、ダイヤ
モンド砥粒やCBN砥粒をニッケルで電着した電着ブレ
ードや、樹脂で結合したレジンブレードが用いられる。
回転ブレード21には研削ノズルから研削水が加工ポイ
ントに供給される。 また、回転ブレード21の近傍には
洗浄ノズルあり、洗浄水が供給される。 Xテーブル30
は、図示しない駆動機構によりX方向に移動される。 X
テーブル30には図示しないθテーブルが載置され、θ
テーブルにはワークテーブル23が連結されている。 加
工されるワークはこのワークテーブル23の上面に吸着
固定され、θテーブルによってθ回転されるとともに、
Xテーブル30によって図の矢印X方向に研削送りされ
るようになっている。
置40、及びスピン洗浄装置40Aで用いられている洗
浄ノズルを示している。先ず図2に示す洗浄ノズル41
を説明する。図2(a)は洗浄ノズル41の側断面図で
あり、図2(b)は図2(a)におけるA−A断面を表
わし、図2(c)及び図2(d)は図2(a)における
B−B断面を表わしている。この洗浄ノズル41は洗浄
水の中に圧縮エアを供給して、水とエアとを混合して噴
射する混合ノズルである。この洗浄ノズル41は図2
(a)、及び図2(b)に示すように、中心に水の流路
41Aが形成され、また水の流路41Aを中心にした円
周上に4個のエアの流路41B、41B、…が形成さ
れ、これら4個のエアの流路41B、41B、…は洗浄
ノズル41の先端近くで水の流路41Aに合流してい
る。更に、合流後の流路は洗浄ノズル41の先端に向け
てラッパ状に広がって噴射口41Cを形成している。図
2(c)は噴射口41Cの断面が円形の場合を表わし、
図2(d)は星型断面の場合を表わしている。
され、約0.2MPaの市水程度の圧力の純水が200
mL/min程度供給される。エアの流路41B、41
B、…はエア供給源80に接続され、圧力0.4MPa
の窒素ガス(N2 )が供給される。
水の流路41Aの周囲から複数のエアの流路41B、4
1B、…によって窒素ガス(N2 )が供給されるので、
純水と窒素ガス(N2 )とがきめ細かく均一に混ざり合
い、純水が窒素ガス(N2 )によって加速され、その後
に拡散噴射されるので、ワークの洗浄時に微小なコンタ
ミを除去し易い。また、図2(d)に示す噴射口41C
の場合は、不必要な拡散が抑えられ、直進性がよい。
の流路41Bに水の流路41Aが合流し、合流後の流路
がエアの流路41Bの内径よりも小径に絞られた噴射口
41Cを形成した混合ノズルである。図3(b)は図3
(A)におけるC−C断面図で、噴射口41Cの断面形
状が円形の場合を表わしている。図3(b)は同じくC
−C断面図で、噴射口41Cの断面形状が星形の場合を
表わしている。この図3に示す洗浄ノズル41も、エア
の流路41Bはエア供給源80に接続されて、圧力0.
4MPaの窒素ガス(N2 )が供給され、水の流路41
Aは洗浄水供給源70に接続されて、約0.2MPaの
市水程度の圧力の純水が200mL/min程度供給さ
れる。
水よりも高圧な窒素ガス(N2 )中に純水が混入され、
混入後の流路が図3(b)のように絞られた円形の噴射
口からストレートに噴射するので、ワークの洗浄能力が
向上する。また、図3(C)のように噴射口41Cの断
面形状が星形の場合には、拡散し難いため、直進性が良
好で、ワークの洗浄能力が更に向上するという作用効果
を有している。
いた洗浄装置40によれば、洗浄水の圧力を特別高圧に
しなくても、市水程度の圧力の純水と、通常工場のコン
プレッサで昇圧される程度の圧力の窒素ガス(N2 )と
を混合しただけで、ワークに付着したコンタミを十分除
去することが可能で、高圧配管部材を使用しないのでマ
シンコストの増大を招くことがない。尚、洗浄水には純
水を用い、圧縮エアとして窒素ガス(N2 )を用いた
が、これはワークが半導体ウエーハのような場合であっ
て、ワークの種類によって経済性等を加味した適宜な洗
浄水及びエアを用いればよい。
浄方法を示す図である。図4に示すように、回転ブレー
ド21がスピンドル22の先端に取付けられて、高速で
回転している。ワークWはダイシングシートSを介して
ワークテーブル23に載置され、X方向に研削送りされ
る。回転ブレード21は、前方と下方が開口されたフラ
ンジカバー24で囲われており、フランジカバー24に
設けられた研削ノズルから研削水が回転ブレード21の
刃先に供給される。また、回転ブレード21を前後で挟
み込むように配置された冷却ノズル26、26からは冷
却水が供給され、回転ブレード21に生ずる加工熱を冷
却している。また、回転ブレード21の近傍には洗浄装
置40が設けられている。 この洗浄装置40ではフラン
ジカバー24の研削水の下流側に、上下調整手段42及
び傾斜調整手段43を介して洗浄ノズル41が取付けら
れている。この洗浄ノズル41は、上下調整手段42に
よって適宜の高さに調整されるとともに、傾斜調整手段
43によってワークWに対して傾斜して取付けられてい
る。
付け、ワークWの面に対して洗浄水を傾けて噴射する。
洗浄水がワークWの面に対して斜めから噴射されるの
で、付着していたコンタミが剥離し易く、また剥離した
コンタミが一方向に吹き飛ばされるので、ワークWの洗
浄ポイントの周囲を再汚染することがない。また、ワー
クWの加工中常時洗浄水を噴射しているので、加工で発
生するコンタミがワークWの面に付着する暇もなく流し
去られる。更に、洗浄ノズル41には前記図2、及び図
3に示した混合ノズルを用い、洗浄水と圧縮エアとを混
合して噴射することにより、洗浄効果が一層高まる。
ン10のスピン洗浄装置40Aにおける洗浄方法を説明
するものである。図5、図6に示すように、スピン洗浄
装置40Aでは、図示しない洗浄槽内でスピンテーブル
47が不図示のモータによって回転される軸47Aに取
付けられ、約3,000rpmの速度で回転される。ス
ピンテーブル47にはダイシングシートSを介してワー
クWが吸着されている。ワークWの上方には洗浄ノズル
41が、上下調整手段42及び傾斜調整手段43を介し
てアーム44に取付けられている。アーム44はモータ
46で一定角度往復回転される回転シャフト45に接続
されている。洗浄ノズル41は上下調整手段42によっ
て適宜の高さに調整されるとともに、傾斜調整手段43
によってワークWに対して傾斜して、洗浄水の噴射中心
とワークWの中心とが一致するように取付けられてい
る。この状態で洗浄ノズル41はワークWの周縁から中
心を経由して反対側の周縁までの間を往復揺動する。
ータ46の回転角と角速度との関係を説明するグラフで
ある。従来のスピン洗浄装置においては、ノズルの揺動
速度は一定速度であったため、ワークの中心部から外周
になるに従ってワーク回転における周速が早くなるの
で、ワークの周縁部分に近づくほどコンタミが落ち難か
った。本発明では、図7に示すように、ワークWの中心
位置における洗浄ノズル41の揺動角度(θ)を0とし
た時に、角速度(ω)の値は、ワークWの周縁部での揺
動角度(−θm 、θm )に近づくに従って小さくなるよ
うにしている。これにより、ワークWの全面に亘り均一
な洗浄が施される。 ここでも洗浄ノズル41には前記図
2、及び図3に示した混合ノズルを用い、洗浄水と圧縮
エアとを混合して噴射することにより、洗浄効果が一層
高まる。
いては既知であるので、説明は省略する。また、本実施
の形態では加工部20の回転ブレード21の近傍に設け
た洗浄ノズル41の取付け位置は、研削水の下流側とし
たが、これに限らず、適宜の位置に取付けることができ
る。 更に、洗浄ノズル41の傾斜方向も研削ライン方向
に限らず種々の変形が可能である。
イシングマシンの洗浄装置に用いられている洗浄ノズル
は、水と圧縮エアとが適切に混合されるノズル形状とな
っているので、研削によってワークに付着するコンタミ
を効率よく除去できる。このため、高圧洗浄水を用いる
ことなく有効な洗浄が行えるので、装置のコストアップ
を抑えられる。
がワークに対して斜めに噴射されるので、ワークに付着
しているコンタミが剥がれやすく、また周囲に飛び散っ
て再汚染することがない。更に、スピン洗浄装置では回
転するワークに対して、洗浄ノズルの揺動速度をワーク
の位置に応じて変化させる方法をとっているので、ワー
ク全面に亘って均一な洗浄ができる。
ルを説明する断面図
面図
面図
ラフ
洗浄装置、40A…スピン洗浄装置、41…洗浄ノズル
(混合ノズル)、41A…水の流路、41B…エアの流
路、41C…噴射口、70…洗浄水供給源、80…エア
供給源、S…ダイシングシート、W…ワーク
Claims (5)
- 【請求項1】回転ブレードでワークに溝加工や切断加工
を行うダイシングマシンの洗浄装置において、 該洗浄装置の洗浄ノズルは、水とエアとが供給される混
合ノズルであって、 該混合ノズルには、中心部に水の流路が形成されると共
に、その周囲に複数のエアの流路が形成され、該複数の
エアの流路が混合ノズルの先端近傍で前記水の流路に合
流され、合流後の流路の形状がラッパ状に広がってなる
噴射口が形成されていることを特徴とするダイシングマ
シンの洗浄装置。 - 【請求項2】回転ブレードでワークに溝加工や切断加工
を行うダイシングマシンの洗浄装置において、 該洗浄装置の洗浄ノズルは水とエアとが供給される混合
ノズルであって、 該混合ノズルには、水の流路とエアの流路とが形成さ
れ、前記水の流路がエアの流路に合流され、合流後の流
路の内径が合流前の流路の内径よりも小さく絞られてな
る噴射口が形成されていることを特徴とするダイシング
マシンの洗浄装置。 - 【請求項3】前記噴射口の断面形状が星型であることを
特徴とする請求項1又は請求項2に記載のダイシングマ
シンの洗浄装置。 - 【請求項4】回転ブレードでワークに溝加工や切断加工
を行うダイシングマシンにおけるワークの洗浄方法にお
いて、 洗浄水を噴射する前記請求項1又は請求項2に記載の洗
浄ノズルを前記ワークに対して任意の角度に傾斜可能に
取付け、該洗浄ノズルから噴射する洗浄水を前記ワーク
に対して斜めに噴射することを特徴とするダイシングマ
シンにおけるワークの洗浄方法。 - 【請求項5】回転ブレードでワークに溝加工や切断加工
を行うダイシングマシンのスピン洗浄装置におけるワー
クの洗浄方法において、 回転するワークの表面に向けて洗浄水を噴射する洗浄ノ
ズルを配置し、該洗浄ノズルを前記ワークの面内で往復
移動させ、前記移動速度を、前記ワークの周縁部から中
心部に向けて徐々に速くし、前記ワークの中心部から周
縁部に向けて徐々に遅くしたことを特徴とするダイシン
グマシンのスピン洗浄装置におけるワークの洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002000555A JP3968636B2 (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | ダイシングマシンの洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002000555A JP3968636B2 (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | ダイシングマシンの洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003203884A true JP2003203884A (ja) | 2003-07-18 |
JP3968636B2 JP3968636B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=27640910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002000555A Expired - Lifetime JP3968636B2 (ja) | 2002-01-07 | 2002-01-07 | ダイシングマシンの洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3968636B2 (ja) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006073828A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
KR100687004B1 (ko) | 2004-08-24 | 2007-02-27 | 세메스 주식회사 | 전자분무 노즐 및 이를 이용한 기판 세정 장치 및 방법 |
JP2010046726A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-03-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
WO2010097896A1 (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-02 | アクアサイエンス株式会社 | 洗浄用ノズル及び洗浄方法 |
JP2010253487A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Jfe Steel Corp | ロール上の汚れ除去方法および除去装置 |
CN102407225A (zh) * | 2010-09-25 | 2012-04-11 | 河南省电力公司焦作供电公司 | 绝缘子清扫器 |
JP2013115278A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 洗浄水の供給装置及び供給方法 |
JP2013111713A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 切削水の供給装置及び供給方法 |
WO2014010579A1 (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-16 | 日産自動車株式会社 | 車載カメラの洗浄装置 |
WO2014010578A1 (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-16 | 日産自動車株式会社 | 車載カメラの洗浄装置及び車載カメラの洗浄方法 |
KR101478723B1 (ko) * | 2012-05-21 | 2015-02-05 | 김진영 | 잉곳 절단장치 |
CN104470769A (zh) * | 2012-07-11 | 2015-03-25 | 日产自动车株式会社 | 车载摄像机的清洗装置 |
RU2566169C1 (ru) * | 2012-07-11 | 2015-10-20 | Ниссан Мотор Ко., Лтд. | Устройство для очистки для установленной на транспортном средстве камеры |
JP2019069505A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-05-09 | 株式会社塩 | ノズル、ノズル固定構造、及びノズルアセンブリー |
JP2021500106A (ja) * | 2017-10-23 | 2021-01-07 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 液体シート洗浄動作を用いる洗浄装置 |
WO2024103845A1 (en) * | 2022-11-16 | 2024-05-23 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Under-wire spray cleaning device for wire cutting machine |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2958558B1 (fr) * | 2010-04-09 | 2014-05-23 | Durr Ecoclean | Installation avec jet de traitement pour le nettoyage et/ou le degraissage de pieces manufacturees |
-
2002
- 2002-01-07 JP JP2002000555A patent/JP3968636B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100687004B1 (ko) | 2004-08-24 | 2007-02-27 | 세메스 주식회사 | 전자분무 노즐 및 이를 이용한 기판 세정 장치 및 방법 |
JP2006073828A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-03-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
TWI454356B (zh) * | 2008-08-19 | 2014-10-01 | Disco Corp | Cutting device |
JP2010046726A (ja) * | 2008-08-19 | 2010-03-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
WO2010097896A1 (ja) * | 2009-02-24 | 2010-09-02 | アクアサイエンス株式会社 | 洗浄用ノズル及び洗浄方法 |
JP2010253487A (ja) * | 2009-04-22 | 2010-11-11 | Jfe Steel Corp | ロール上の汚れ除去方法および除去装置 |
CN102407225A (zh) * | 2010-09-25 | 2012-04-11 | 河南省电力公司焦作供电公司 | 绝缘子清扫器 |
JP2013115278A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 洗浄水の供給装置及び供給方法 |
JP2013111713A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 切削水の供給装置及び供給方法 |
KR101478723B1 (ko) * | 2012-05-21 | 2015-02-05 | 김진영 | 잉곳 절단장치 |
JPWO2014010580A1 (ja) * | 2012-07-11 | 2016-06-23 | 日産自動車株式会社 | カメラの洗浄装置 |
RU2569981C1 (ru) * | 2012-07-11 | 2015-12-10 | Ниссан Мотор Ко., Лтд. | Устройство для очистки для установленной на транспортном средстве камеры и способ очистки установленной на транспортном средстве камеры |
WO2014010579A1 (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-16 | 日産自動車株式会社 | 車載カメラの洗浄装置 |
CN104470769A (zh) * | 2012-07-11 | 2015-03-25 | 日产自动车株式会社 | 车载摄像机的清洗装置 |
WO2014010580A1 (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-16 | 日産自動車株式会社 | 車載カメラの洗浄装置 |
RU2566169C1 (ru) * | 2012-07-11 | 2015-10-20 | Ниссан Мотор Ко., Лтд. | Устройство для очистки для установленной на транспортном средстве камеры |
WO2014010578A1 (ja) * | 2012-07-11 | 2014-01-16 | 日産自動車株式会社 | 車載カメラの洗浄装置及び車載カメラの洗浄方法 |
JP5892249B2 (ja) * | 2012-07-11 | 2016-03-23 | 日産自動車株式会社 | カメラの洗浄装置 |
RU2566166C1 (ru) * | 2012-07-11 | 2015-10-20 | Ниссан Мотор Ко., Лтд. | Устройство для очистки для установленной на транспортном средстве камеры |
JPWO2014010579A1 (ja) * | 2012-07-11 | 2016-06-23 | 日産自動車株式会社 | カメラの洗浄装置 |
US9796361B2 (en) | 2012-07-11 | 2017-10-24 | Nissan Motor Co., Ltd. | Cleaning device for vehicle-mounted camera |
US10011251B2 (en) | 2012-07-11 | 2018-07-03 | Nissan Motor Co., Ltd. | Cleaning device for vehicle-mounted camera |
JP2019069505A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-05-09 | 株式会社塩 | ノズル、ノズル固定構造、及びノズルアセンブリー |
JP2021500106A (ja) * | 2017-10-23 | 2021-01-07 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェKoninklijke Philips N.V. | 液体シート洗浄動作を用いる洗浄装置 |
JP7301045B2 (ja) | 2017-10-23 | 2023-06-30 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 液体シート洗浄動作を用いる洗浄装置 |
WO2024103845A1 (en) * | 2022-11-16 | 2024-05-23 | Tcl Zhonghuan Renewable Energy Technology Co., Ltd. | Under-wire spray cleaning device for wire cutting machine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3968636B2 (ja) | 2007-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003203884A (ja) | ダイシングマシンの洗浄装置及び洗浄方法 | |
JP3410385B2 (ja) | 洗浄装置及び切削装置 | |
US6105567A (en) | Wafer sawing apparatus having washing solution spray and suction devices for debris removal and heat dissipation | |
JP2007216377A (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
US20160311127A1 (en) | Cutting apparatus and cutting method | |
JP5415184B2 (ja) | 切削装置 | |
JPH09181026A (ja) | 半導体装置の製造装置 | |
JP2019055445A (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
WO2008004365A1 (fr) | Appareil et procédé de découpage en dés | |
JP2019055446A (ja) | 切削ブレードの装着機構 | |
JP7227754B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2018133387A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2010177602A (ja) | スピンナ洗浄装置 | |
JP5389473B2 (ja) | スピンナ洗浄装置 | |
JP2019212838A (ja) | 切削装置 | |
JP5875331B2 (ja) | 切削装置 | |
US11881418B2 (en) | Wafer cleaning apparatus | |
JP4880244B2 (ja) | 切削装置 | |
JP4831329B2 (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
JP5618508B2 (ja) | ウエハ研磨装置 | |
JP2003133259A (ja) | ダイシング装置 | |
JP2022064024A (ja) | 切削装置 | |
JP2011062778A (ja) | 切削装置 | |
JP2010003816A (ja) | ウェーハ洗浄装置 | |
JP2004288962A (ja) | ダイシング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040707 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061215 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070523 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3968636 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100615 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110615 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110615 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120615 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120615 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130615 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |