JP5389473B2 - スピンナ洗浄装置 - Google Patents
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Description
18 チャックテーブル
27 スピンナ洗浄装置
28 切削ブレード
30 スピンナテーブル
30a 保持面
36,42 モータ
38 洗浄流体供給手段
40 第1アーム
46 第2アーム
48 装着部材
50 第1移動手段
52 第2移動手段
54 洗浄流体噴射ノズル
62 第1テーブル
66 第1パルスモータ
70 第2テーブル
72 第2パルスモータ
Claims (1)
- 被洗浄物を保持する保持面を有し回転可能なスピンナテーブルと、該スピンナテーブルに保持された被洗浄物に洗浄流体を供給する洗浄流体供給手段とを備えたスピンナ洗浄装置であって、
前記洗浄流体供給手段は、
アームと、
該アームの先端に移動可能に配設されて洗浄流体を前記保持面に向かって噴射する洗浄流体噴射ノズルと、
該洗浄流体噴射ノズルに洗浄流体を供給する配管と、
前記スピンナテーブルに保持されて所定速度で回転される被洗浄物に対して、該アームの先端が該スピンナテーブルの回転中心を通るように該アームを揺動させる揺動手段と、
該洗浄流体噴射ノズルを該保持面と平行な面において第1の方向へと移動させる第1移動手段と、
該洗浄流体噴射ノズルを該保持面と平行な面において該第1の方向と直交する第2の方向へと移動させる第2移動手段と、を具備し、
前記第1移動手段は、前記アームの先端に配設された前記第1の方向に伸長する一対の第1ガイドレールと、
該第1ガイドレールに沿って移動可能に装着された第1テーブルと、
該第1テーブルに係合するように前記アームの先端に取り付けられた第1ボールねじと、
該第1ボールねじを回転する第1モータとを含み、
前記第2移動手段は、前記第2の方向に伸長するように前記第1テーブルに固定された一対の第2ガイドレールと、
該第2ガイドレールに沿って移動可能に装着された第2テーブルと、
該第2テーブルに係合するように該第1テーブルに配設された第2ボールねじと、
該第2ボールねじを回転する第2モータとを含み、
前記洗浄流体噴射ノズルは該第2テーブルに配設されており、
被洗浄物洗浄時には該第1移動手段と該第2移動手段とを同時駆動することを特徴とするスピンナ洗浄装置。
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JP2009048800A JP5389473B2 (ja) | 2009-03-03 | 2009-03-03 | スピンナ洗浄装置 |
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JP2009048800A JP5389473B2 (ja) | 2009-03-03 | 2009-03-03 | スピンナ洗浄装置 |
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Family Applications (1)
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JP2009048800A Active JP5389473B2 (ja) | 2009-03-03 | 2009-03-03 | スピンナ洗浄装置 |
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