JP6255247B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
1 加工装置
3 保持テーブル
5 研削手段(加工手段)
6 洗浄機構
61 昇降手段
611 シリンダ本体
612 ピストンロッド
613 移動ブロック
62 エアー供給源
63 エアー配管
631 エアー絞り弁
632 エアー流量計
633 エアー圧力計
64 洗浄液供給源
65 洗浄液配管
651 洗浄液絞り弁
652 洗浄液圧力計
66 変換器
7 2流体洗浄ノズル
8 制御手段
81 記憶部
82 取得部
83 算出部
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、被加工物を加工する加工手段と、該加工手段で加工された被加工物の被加工面に洗浄液とエアーとを混合させた噴霧を噴射させる2流体洗浄ノズルと、該2流体洗浄ノズルから噴射される該噴霧で被加工物を洗浄する洗浄機構と、該洗浄機構で噴射する該噴霧を制御する制御手段と、を備えた加工装置であって、
該洗浄機構は、
該2流体洗浄ノズルとエアーを供給するエアー供給源との間のエアー配管に配設されるエアー絞り弁と、
該エアー絞り弁で絞られた配管口径を流れるエアーの流量を測定するエアー流量計と、
該2流体洗浄ノズルと洗浄液を供給する洗浄液供給源との間の洗浄液配管に配設される洗浄液絞り弁と、
該2流体洗浄ノズルから該洗浄液絞り弁までの該洗浄液配管の内部圧力を測定する洗浄液圧力計と、
該エアー流量計で測定したエアー流量値と該洗浄液圧力計で測定した洗浄液圧力値とを電気信号に変換する変換器と、から少なくとも構成され、
該制御手段は、
予め測定して、該エアー配管を流れるエアー流量に対する該洗浄液配管を流れる洗浄液流量と該洗浄液配管の内部圧力との相関関係を表す相関関係図を格納する記憶部と、
該変換器で電気信号に変換された該エアー流量値と該洗浄液圧力値と該相関関係図とを用いて該2流体洗浄ノズルから噴射される洗浄液の流量を算出する算出部とを備えた加工装置。 - 請求項1記載の加工装置において測定する該エアー流量をエアー圧力に置き換えて、以下のように構成され、
洗浄機構に、該2流体洗浄ノズルから該エアー絞り弁までのエアー配管の内部圧力を測定するエアー圧力計を含み、
該相関関係図が、予め測定して、該エアー配管の内部圧力に対する該洗浄液配管を流れる洗浄液流量と該洗浄液配管の内部圧力との相関関係を表しており、
該算出部は、該変換器で電気信号に変換された該エアー圧力値と該洗浄液圧力値と該相関関係図とを用いて該2流体洗浄ノズルから噴射される洗浄液の流量を算出する加工装置。
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