CN103722494A

CN103722494A - 磨削装置

Info

Publication number: CN103722494A
Application number: CN201310445478.0A
Authority: CN
Inventors: 宫本弘树
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-10-16
Filing date: 2013-09-26
Publication date: 2014-04-16
Also published as: KR20140048799A; JP2014079838A

Abstract

本发明提供一种磨削装置，在使高度计的测量件与板状工件接触来进行板状工件的厚度测量的磨削装置中，防止磨粒侵入测量件与板状工件之间而与磨削条件无关。磨削装置具有保护高度计（5）的测量件（52）的测量件保护部（6），测量件保护部（6）具有：具有使测量件（52）通过的通过孔的配液板（56），在配液板（56）中具有在下表面开口的放液口（58），通过从放液口（58）放出清洗液，通过清洗液（7）围绕测量件（52）的周围，清洗液（7）能够阻止磨粒等附着物与磨削液一起流向测量件（52），能够防止磨粒等附着物进入测量件（52）和板状工件（W）之间。

Description

磨削装置

技术领域

本发明涉及磨削板状工件的磨削装置。

背景技术

在磨削板状工件的磨削装置中，在卡盘工作台上保持板状工件，将磨削液供给到板状工件同时使旋转的磨削磨具与该板状工件接触，由此磨削板状工件的上表面。

磨削中，使高度计的第1测量件与保持在卡盘工作台上的板状工件的上表面接触，从而测量出该板状工件的上表面的高度，并且使高度计的第2测量件与卡盘工作台的上表面接触，从而测量出卡盘工作台的上表面的高度，通过算出板状工件上表面的高度与卡盘工作台上表面的高度的差，从而识别出磨削中的板状工件的厚度（例如参照专利文献1）。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2009-023057号公报

但是，磨削中存在这样的问题：由于构成磨削磨具的磨粒脱落而下落至板状工件上，另一方面第1高度计的测量件持续与板状工件的上表面接触，所以脱落的磨粒会进入第1高度计的测量件与板状工件上表面之间，从而板状工件的厚度测量产生误差，并且对板状工件造成损伤。

从磨削磨具脱落的磨粒的大部分被磨削液从板状工件上表面除去，其中上述磨削液是在磨削中针对板状工件上表面与磨削磨具的接触部位供给的磨削液，但是若磨粒进入第1测量件与板状工件上表面之间，则很难通过磨削液除去该磨粒。

另一方面，可以向第1测量件与板状工件上表面接触的部分喷出清洗液以使含有磨粒的磨削液不进入该接触部分，但是存在这样的问题：当磨削条件变更时不得不对清洗液的喷出方向进行调整。

发明内容

本发明是鉴于这样的问题而完成的发明，其目的在于，防止磨粒侵入高度计的测量件与板状工件之间而与磨削条件无关。

本发明的磨削装置至少具有：卡盘工作台，其具有保持板状工件的下表面的保持面；磨削构件，其对卡盘工作台所保持的板状工件进行磨削；磨削液供给构件，其在利用磨削构件磨削板状工件时向板状工件供给磨削液；以及高度计，其使测量件与通过磨削构件被磨削的板状工件的上表面接触，测量出板状工件的上表面高度，上述磨削装置的特征在于，在上述卡盘工作台的上方具有保护上述测量件的测量件保护部，测量件保护部由以下部分构成：配液板，其具有使测量件通过的通过孔；环状的配液路，其配设于配液板的内部；放液口，其从配液路向配液板的下表面开口，在通过孔的周围至少形成有3个该放液口；以及供给口，其与将清洗液供给到配液路的供给源连接，使配液板的下表面与卡盘工作台的上表面在平行的状态下面对面，使从供给口供给的清洗液从放液口放出，防止附着物附着在测量件的末端。

发明效果

本发明的磨削装置具有保护高度计的测量件的测量件保护部，测量件保护部具有配液板，该配液板具有使测量件通过的通过孔，在配液板具有在下表面开口的放液口，因此，通过从放液口放出清洗液，能够由清洗液围绕测量件的周围。因此，由于清洗液能够阻止磨粒等附着物与磨削液一起流向测量件，所以能够防止磨粒等附着物进入测量件和板状工件之间。

附图说明

图1是表示磨削装置的一个示例的立体图。

图2是表示测量件保护部的结构的剖视图。

图3是表示测量件保护部的结构的俯视图。

图4是表示磨削被加工物并且保护高度计的测量件的状态的剖视图。

标号说明

1：磨削装置

A：磨削区域 B：装卸区域

2：卡盘工作台

20：吸引部 200：保持面

21：框体 210：上表面

3：磨削构件

30：旋转轴 31：马达 32：底座 33：磨削轮 34：磨削磨具 35：流路 36：磨削液供给构件

4：磨削进给构件

40：滚珠丝杠 41：导轨 42：马达 43：升降部 44：保持架44

5：高度计 50：基部 51：第1测量件 52：第2测量件

53：支撑轴 530：下垂部 531：水平板

54、55：臂部

6：测量件保护部

56：配液板 561、562：通过孔

57：配液路 58：放液口 59：供给口 60：清洗液供给源

7：清洗液层

具体实施方式

图1所示的磨削装置1具有：卡盘工作台2，其用于保持作为磨削对象的板状工件W；以及磨削构件3，其用于对保持在卡盘工作台2上的板状工件W进行磨削。

卡盘工作台2能够旋转，并且能够在前后方向（Y轴方向）移动，通过Y轴方向的移动，卡盘工作台2能够在进行板状工件W的磨削的区域即磨削区域A、与进行板状工件W的相对于卡盘工作台2的装卸的区域即装卸区域B之间移动。

卡盘工作台2由以下部分构成：吸引部20，其由多孔部件形成；以及框体21，其从周围支撑吸引部20。吸引部20的上表面成为保持板状工件W的下表面的保持面200，保持面200与框体21的上表面210形成为处于同一平面。

磨削构件3由以下部分构成：旋转轴30，其具有铅直方向（Z轴方向）的轴心；马达31，其旋转驱动旋转轴30；底座32，其与旋转轴30的下端连接；以及磨削轮33，其固定在底座32的下表面。在磨削轮33的下表面呈环状地紧固有多个磨削磨具34。另外，旋转轴30中形成有使磨削液流通的流路35，流路35在磨削轮33中向下方开口，并且与成为液源的磨削液供给构件36连接。

磨削构件3被支撑为通过磨削进给构件4能够在Z轴方向升降。磨削进给构件4设置于从装置基座10立设的支柱11的侧面，并且由以下部分构成：滚珠丝杠40，其具有Z轴方向的轴心；一对导轨41，其与滚珠丝杠40平行地配设；马达42，其与滚珠丝杠40的上端连接；升降部43，其与导轨41滑动接触并且内部的螺母结构与滚珠丝杠40螺合；以及保持架44，其与升降部43连接并保持磨削构件3。磨削进给构件4为这样的结构：马达42使滚珠丝杠40旋转，由此升降部43以及保持架44由导轨41引导着升降。并且，为这样的结构：通过使升降部43以及保持架44升降，由保持架44保持的磨削构件3也升降，相对于保持工作台2接近以及远离。

在磨削区域A中配设有测量板状工件W的上表面的高度的高度计5。高度计5具有：从装置基座10向上方突出的基部50、和在水平方向延伸且一端固定在基部50的上端中心部的支撑轴53。如图2所示，在支撑轴53上形成有向下方弯曲且下垂的下垂部530，另外，在支撑轴53上还形成有从下垂部530的下端弯曲且在水平方向上延伸的水平板531。

如图1所示，在支撑轴53的两侧，2个臂部54、55在水平方向延伸，第1测量件51以及第2测量件52分别以下垂的状态支撑在2个臂部54、55的末端。

如图2所示，在构成支撑轴53的水平板531的下部固定有配液板56。如图2以及图3所示，在配液板56中形成有贯穿上下方向的圆形的2个通过孔561、562，第1测量件51从通过孔561的中心贯穿通过，第2测量件52从通过孔562的中心贯穿通过。

如图2所示，在配液板56的内部形成有环状的配液路57。在配液路57的下部形成有多个在配液板56的下表面开口的放液口58。如图3所示，在通过孔561、562的周围至少形成有3个放液口58。配液板56的下表面560与卡盘工作台2的吸引部20的上表面即保持面200大致平行。

如图2所示，配液路57与在配液板56的上表面开口的供给口59连通，供给口59与用于贮存清洗液并供给到配液路57的清洗液供给源60连接。

从供给源60供给到配液路57的清洗液被从放液口58向下方放出，包围第1测量件51以及第2测量件52的周围。因此，配液板56、配液路57、放液口58以及供给口59在卡盘工作台2的上方作为保护第2测量件52的测量件保护部6发挥功能。另外，第1测量件51的周围也可以不配设测量保护部。

在图1所示的磨削装置1中，在位于装卸区域B的卡盘工作台2的保持面200上吸引保持板状工件W的下表面。并且，使卡盘工作台2移动到磨削区域A。

接下来，旋转卡盘工作台2而使板状工件W旋转，并且使磨削轮33旋转同时由磨削进给构件4使磨削构件3下降，使旋转的磨削磨具34与板状工件W的上表面W1接触从而对上表面W1进行磨削。此时，如图4所示，使磨削磨具34只与板状工件W的上表面W1的半径部分接触来进行磨削，使高度计5的第2测量件52与板状工件W的上表面W1中的不与磨削磨具34接触的部分接触。另外，磨削中，使从磨削液供给构件36供给的磨削液从磨削轮33流出，并供给到板状工件和磨削磨具34的接触部位。

另外，虽为图示，但是如图1所示，高度计5的第1测量件51与卡盘工作台2的框体21的上表面210接触。并且，第1测量件51的Z轴方向的高度位置、与第2测量件52的Z轴方向的高度位置的差被识别为板状工件W的厚度，根据这样的识别结果，进行磨削进给构件4对磨削构件3的控制。

磨削中，使配液板56的下表面与卡盘工作台2的保持面200在大致平行的状态下面对面，通过使从供给口59供给的清洗液持续从图2所示的放液口58放出，在第2测量件52的周围形成清洗液层7，并阻止从磨削磨具34脱落的磨粒或磨削液流向第2测量件52。通过像这样形成清洗液层7并围绕第2测量件52，能够防止磨粒夹在第2测量件52与板状工件W的上表面W1之间，从而能够保护第2测量件。因此，能够确保板状工件W的厚度测量的精度，并且能够防止对板状工件W造成损伤。

Claims

1.一种磨削装置，至少具有：

卡盘工作台，其具有保持板状工件的下表面的保持面；

磨削构件，其对上述卡盘工作台所保持的板状工件进行磨削；

磨削液供给构件，其在利用上述磨削构件磨削板状工件时向上述板状工件供给磨削液；以及

高度计，其使测量件与通过上述磨削构件被磨削的板状工件的上表面接触，测量出上述板状工件的上表面高度，

上述磨削装置的特征在于，

在上述卡盘工作台的上方具有保护上述测量件的测量件保护部，

上述测量件保护部由以下部分构成：

配液板，其具有使上述测量件通过的通过孔；

环状的配液路，其配设于上述配液板的内部；

放液口，其从上述配液路向上述配液板的下表面开口，在上述通过孔的周围至少形成有3个该放液口；以及

供给口，其与将清洗液供给到上述配液路的供给源连接，

使上述配液板的下表面与上述卡盘工作台的上表面在大致平行的状态下面对面，使从上述供给口供给的清洗液从上述放液口放出，防止附着物附着在上述测量件的末端。