JP5965815B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
[1]切削装置の構成
図1は、一実施形態に係る切削装置10の全体斜視図である。この切削装置10は、例えば半導体ウェーハ等の円板状の被加工物1を多数のチップに分割する装置として好適なものである。この場合、被加工物1は、粘着テープ4を介して環状のフレーム5の内側に表面側が露出する状態に支持され、この状態で、カセット50内に複数段に重ねて収納される。被加工物1は、切削装置10内においてフレーム5を保持することで搬送される。
切削ブレード検出手段60は、この場合、図1に示すように移動台17上において保持手段16の周囲近傍の所定箇所に配置されている。図3および図4に示すように、切削ブレード検出手段60は直方体状の検出台61を有しており、この検出台61の上面には、検出板62が固定されている。検出板62のX方向一端側には、X方向(図1のX方向と共通の方向)に貫通する溝621が形成されている。そして溝621の両側の壁部622の互いの対向面には、光学センサの発光部63と受光部64が、それらの光軸を一致させて取り付けられている。
切削装置10は図示せぬ制御手段を有し、該制御手段は、上記構成の切削ブレード検出手段60の受光部64が受光する光の受光量に基づき、以下のようにして切削ブレード21の上下方向(Z方向)の位置を調整する。
本実施形態の切削ブレード検出手段60は、切削液を供給しながら被加工物1を切削している最中においては、保護カバー部67を閉じて被覆位置に位置付けておく。切削中には、切削屑を含んだ汚れた切削液が発生するが、この汚れた切削液は、保護カバー部67によって保護カバー部67内への浸入が遮断され、発光部63および受光部64には到達せず、発光面631および受光面641に付着することが防がれる。
10…切削装置
16…保持手段
20…切削手段
21…切削ブレード
63…発光部
631…発光面
64…受光部
641…受光面
67…保護カバー部
68…異物付着防止部材
Claims (1)
- 切削装置であって、
被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物を切削する切削ブレードを有した切削手段と、
互いに対面した発光面を含む発光部と該発光面からの発光を受光する受光面を含む受光部とを有し、前記切削ブレードが該発光部と該受光部との間に位置付けられることで該切削ブレードの先端位置を検出する切削ブレード検出手段と、を備え、
該切削ブレード検出手段は、
前記発光部と前記受光部とを覆う被覆位置と該発光部と該受光部とを露出する露出位置とに選択的に位置付けられる保護カバー部と、
該保護カバー部の内壁に配設され、該保護カバー部が前記被覆位置に位置付けられることで前記発光部と前記受光部との間に挿入され前記発光面と前記受光面とに密着するとともに該発光面と該受光面とを覆うことで異物の付着を防止する異物付着防止部材と、を有する
ことを特徴とする切削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012228654A JP5965815B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012228654A JP5965815B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 切削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014079833A JP2014079833A (ja) | 2014-05-08 |
JP5965815B2 true JP5965815B2 (ja) | 2016-08-10 |
Family
ID=50784523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012228654A Active JP5965815B2 (ja) | 2012-10-16 | 2012-10-16 | 切削装置 |
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JP (1) | JP5965815B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6609894B2 (ja) * | 2016-02-04 | 2019-11-27 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置及びその異常検出方法 |
JP6605976B2 (ja) * | 2016-02-08 | 2019-11-13 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6990588B2 (ja) * | 2018-01-05 | 2022-01-12 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2021098243A (ja) * | 2019-12-20 | 2021-07-01 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP7450392B2 (ja) * | 2020-01-10 | 2024-03-15 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2511370Y2 (ja) * | 1990-10-11 | 1996-09-25 | 株式会社ディスコ | ブレ―ド破損検出器用クリ―ナ―治具 |
JPH08288244A (ja) * | 1995-04-11 | 1996-11-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | 光学検出手段 |
JP2003211354A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-29 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2011110631A (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
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2012
- 2012-10-16 JP JP2012228654A patent/JP5965815B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014079833A (ja) | 2014-05-08 |
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