JP6044986B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
保持テーブル(保持手段)31で保持されたパッケージ基板1を分割予定ライン10a,10bに沿って切削する切削ブレード43と切削ブレードを回転させるスピンドル42とを有した切削ユニット(切削手段)4と、
切削前のパッケージ基板1を複数収容可能な第一カセット6が載置される第一載置台60と、
第一載置台60に載置された第一カセット6からパッケージ基板1を保持テーブル31へと搬送する搬送手段として機能する被加工物搬出機構8及び被加工物搬入装置9と、
保持テーブル31で保持されて切削ユニット4で切削された切削済みのパッケージ基板1を保持テーブル31上から搬出する搬出装置(搬出手段)17と、
搬出装置17で保持テーブル31上から搬出された切削済みのパッケージ基板1に粘着テープ34Tを貼着するとともに粘着テープ34Tの外周が環状フレーム34Fに貼着された形態のパッケージ基板ユニット70を形成する粘着テープ貼り付け機構と、を備え、
粘着テープ貼り付け機構50は、
搬出装置17で保持テーブル31上から搬出された切削済みのパッケージ基板1を保持するステージ15と、
環状フレーム34Fの開口を覆うように環状フレーム34Fに粘着テープ34Tが貼着された環状フレーム体34を複数収容可能な第二カセット35が載置される第二載置台38と、
第二載置台38に載置された第二カセット35から環状フレーム体34を搬出してステージ15で保持された切削済みのパッケージ基板1に環状フレーム体34の粘着テープ34Tの粘着面34Nを対面させて載置する移動装置(移動手段)36と、
ステージ15で保持された切削済みのパッケージ基板1上に載置された環状フレーム体34上を転動して環状フレーム体34の粘着テープ34Nをパッケージ基板1に貼着してパッケージ基板ユニット70を形成するローラー部材51と、
形成されたパッケージ基板ユニット70をステージ15上から搬出して第二カセット35へ収容する移動装置(収容手段)36と、
を備えた切削装置とするものである。
2 切削装置
3 被加工物保持機構
4 切削ユニット
11 電極板
12 合成樹脂部
13 下面洗浄装置
14 乾燥装置
15 ステージ
31 保持テーブル
34 環状フレーム体
34F 環状フレーム34F
34k 開口部
34N 粘着面
34T 粘着テープ
50 粘着テープ貼り付け機構
51 ローラー部材
70 パッケージ基板ユニット
Claims (2)
- 交差する複数の分割予定ラインを有したパッケージ基板を切削する切削装置であって、
パッケージ基板の該分割予定ラインに対応した切削ブレード用逃げ溝と該切削ブレード用逃げ溝で区画された領域にそれぞれ吸引孔を有しパッケージ基板を保持する保持手段と、
該保持手段で保持されたパッケージ基板を該分割予定ラインに沿って切削する切削ブレードと該切削ブレードを回転させるスピンドルとを有した切削手段と、
切削前のパッケージ基板を複数収容可能な第一カセットが載置される第一載置台と、
該第一載置台に載置された該第一カセットからパッケージ基板を該保持手段へと搬送する搬送手段と、
該保持手段で保持されて該切削手段で切削された切削済みのパッケージ基板を該保持手段上から搬出する搬出手段と、
該搬出手段で該保持手段上から搬出された切削済みのパッケージ基板に粘着テープを貼着するとともに該粘着テープの外周が環状フレームに貼着された形態のパッケージ基板ユニットを形成する粘着テープ貼り付け機構と、を備え、
該粘着テープ貼り付け機構は、
該搬出手段で該保持手段上から搬出された切削済みのパッケージ基板を保持するステージと、
環状フレームの開口を覆うように該環状フレームに粘着テープが貼着された環状フレーム体を複数収容可能な第二カセットが載置される第二載置台と、
該第二載置台に載置された該第二カセットから該環状フレーム体を搬出して該ステージで保持された切削済みのパッケージ基板に該環状フレーム体の該粘着テープの粘着面を対面させて載置する移動手段と、
該ステージで保持された切削済みのパッケージ基板上に載置された該環状フレーム体上を転動して該環状フレーム体の該粘着テープをパッケージ基板に貼着して該パッケージ基板ユニットを形成するローラー部材と、
形成された該パッケージ基板ユニットを該ステージ上から搬出して該第二カセットへ収容する収容手段と、
を備えた切削装置。 - 前記移動手段が、前記収容手段を兼用する、請求項1に記載の切削装置。
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