JP5973813B2 - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 26
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 16
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 9
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 52
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 18
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、ウェハおよびリングフレームに接着シートとしてのマウント用シートを貼付するマウント機構と、複数のリングフレームが収容され、底部にキャスタが設けられたワゴンと、ワゴンからマウント機構にリングフレームを搬送する搬送機構とを備え、ワゴンに収容されたリングフレームを使い切ると、当該ワゴンをシート貼付装置から切り離し、リングフレームを補充して再度シート貼付装置内に配置するように構成されている。
また、保持手段にリフタを設ければ、フレーム収容手段を容易に搬送できる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な矢印AR方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
搬送手段44は、フレーム11上に支持された駆動機器としての回動モータ45の出力軸46で保持体41の中央を支持している。ここで、保持手段4の周辺には、回動モータ45の回転中心を中心として90°毎にフレーム収容手段3を搭載する搭載位置P1、フレーム収容手段3に収容されたリングフレームRFの収容位置を検出する検出位置P2、上述の供給位置P3および、フレーム収容手段3を排出する排出位置P4が設けられている。そして、回動モータ45が図1中反時計回りに回動することで、搭載位置P1で収容手段保持部42に収容されたフレーム収容手段3を、検出位置P2、供給位置P3、排出位置P4に順次搬送できるように構成されている。なお、検出位置P2の右方には、駆動機器としての直動モータ82によって昇降可能に支持されたセンサ81を有する第1検出手段8Aが設けられている。センサ81としては、エリアセンサやラインセンサ等の非接触型センサ、リミットスイッチ等の接触型センサ、またはカメラ等の撮像装置が例示できる。
リフタ48は、各収容手段保持部42にそれぞれ2体ずつ設けられた駆動機器としての直動モータ49と、当該直動モータ49の出力軸50に設けられ、フレーム収容手段3の傾斜面部33に摺動可能な傾斜面部52が形成されたリフトアーム51とを備えている。
先ず、図1中符号BBで示す図に示すように貼付手段9に原反RSをセットするとともに、ウェハカセット21を図1で示す位置にセットし、リングフレームRFが収容されたフレーム収容手段3を供給位置P3にセットする。
次いで、搬送手段44が回動モータ45を駆動し、保持体41を図1中反時計回りに90°回転させ、搭載位置P1で保持したフレーム収容手段3を検出位置P2に搬送し、以降同様にして搭載位置P1でフレーム収容手段3が保持される。そして、フレーム収容手段3が検出位置P2に搬送されると、第1検出手段8Aが直動モータ82を駆動し、センサ81を上昇させた後下降させる。これにより、検出位置P2に位置したフレーム収容手段3に収容されたリングフレームRFの収容位置が検出される。
この後、搬送手段44が回動モータ45を駆動し、保持体41を図1中反時計回りにさらに90°回転させ、検出位置P2でリングフレームRFの収容位置が検出されたフレーム収容手段3を供給位置P3に搬送し、以降同様にして検出位置P2でリングフレームRFの収容位置が検出される。
そして、フレーム収容手段3が排出位置P4に搬送されると、保持手段4が排出位置P4に対応する直動モータ49を駆動し、リフトアーム51をフレーム収容手段3の傾斜面部33から離間させることで、キャスタ34を地面GRに接地させる。その後、排出位置P4のフレーム収容手段3を矢印Y2の方向に移動させ、以降同様にして排出位置P4でフレーム収容手段3が排出される。
ここで、例えば、フレームカセット31にそれぞれ120枚ずつのリングフレームRFを収容できるとし、1枚の接着シートASの貼付に60秒を要する場合を例示すると、7200秒(2時間)でフレームカセット31の全てのリングフレームRFを使い切る。この7200秒の間に、排出位置P4に位置する収容手段保持部42からフレーム収容手段3を切り離し、新しいリングフレームRFをフレームカセット31に補充し、搭載位置P1に位置する収容手段保持部42にフレーム収容手段3を位置させればよく、十分に余裕を持って補充作業が行えることとなる。これに対して特許文献1に記載されたような従来のシート貼付装置では、稼働効率の面からして2時間もの間、装置の操業を停止させておくようなことはできない。
すなわち、フレーム収容手段3を複数保持可能な保持手段4がフレーム収容手段3を順次供給位置P3へ搬送することができるので、1のフレーム収容手段3に収容されているリングフレームRFを使い切っても、即座に別のフレーム収容手段3を供給位置P3に搬送することができる。これにより、当該シート貼付装置1の操業を停止させることなくリングフレームRFを補充することができ、単位時間あたりの処理能力が低下することを防止することができる。
また、シート貼付装置1の処理能力が低下することを危惧して、オペレータが急いでリングフレームRFを当該シート貼付装置1に供給しなければならなくなるといった煩雑性を低減することができる。
そして、リングフレームRFが収容されたフレーム収容手段3を搭載・排出位置P11に位置する収容手段保持部42内に位置させ、保持手段4が保持すると、搬送手段44が回動モータ45を駆動し、保持体41Aを反時計回りに180°回転させ、搭載・排出位置P11で保持したフレーム収容手段3を供給位置P12に搬送する構成となっている。
さらに、前記実施形態では、搬送手段が4体のフレーム収容手段3を円弧の軌跡を描くように搭載位置P1、検出位置P2、供給位置P3、排出位置P4に順次搬送したが、四角形の軌跡を描くように搬送してもよい。保持手段4が3個のフレーム収容手段3あるいは5体以上のフレーム収容手段3を収容可能な収容手段保持部を有する場合、これらのフレーム収容手段3が円弧あるいは多角形の軌跡を描くように搬送してもよい。
さらに、ウェハ収容手段2を複数設け、フレーム収容手段3と同様にウェハ収容手段2を複数保持可能な保持手段4と同等なものでフレーム11から切り離し可能に構成してもよい。
また、排出位置P4に位置する収容手段保持部42からフレーム収容手段3を切り離した後、新しいリングフレームRFをフレームカセット31に補充し、当該排出位置P4に位置する収容手段保持部42にフレーム収容手段3を位置させてもよい。
3 フレーム収容手段
4,4A 保持手段
6 支持手段
7 移載手段
9 貼付手段
44 搬送手段
48 リフタ
AS 接着シート
RF リングフレーム(フレーム部材)
Claims (2)
- 接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を複数収容可能な複数のフレーム収容手段を所定の供給位置で保持可能な保持手段と、
前記フレーム部材および前記被着体のうちの少なくともフレーム部材を支持する支持手段と、
前記供給位置で保持されたフレーム収容手段からフレーム部材を前記支持手段に移載する移載手段と、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを貼付する貼付手段とを備え、
前記フレーム収容手段は、下面端縁に台車傾斜面部が設けられ、上面で複数のフレーム部材を支持する台車フレームを有する移動可能な台車を備え、
前記保持手段は、前記台車を出し入れ自在に収容する複数の収容手段保持部と、前記収容手段保持部内で前記台車を持ち上げて保持するリフタと、前記収容手段保持部を移動させることで保持された台車を順次前記供給位置へ搬送する搬送手段とを有し、
前記リフタは、前記台車傾斜面部に摺動可能なリフタ傾斜面部を有するリフトアームと、前記リフタ傾斜面部を前記台車傾斜面部に摺動させる駆動機器とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。 - 下面端縁に台車傾斜面部が設けられ、接着シートを介して被着体と一体化されるフレーム部材を上面で複数支持する台車フレームを有する移動可能な台車を備える複数のフレーム収容手段に、複数のフレーム部材を収容する収容工程と、
前記複数のフレーム収容手段を所定の供給位置で保持する保持工程と、
前記フレーム部材および前記被着体のうちの少なくともフレーム部材を支持手段で支持する支持工程と、
前記供給位置で保持されたフレーム収容手段からフレーム部材を前記支持手段に移載する移載工程と、
前記支持手段に支持されたフレーム部材または、フレーム部材および被着体に前記接着シートを貼付する貼付工程とを備え、
前記保持工程は、前記台車を出し入れ自在に収容する複数の収容手段保持部内でリフトアームのリフト傾斜面部を前記台車の台車フレームの下面端縁に設けられた台車傾斜面部に駆動機器で摺動させることで、前記台車を持ち上げて保持する工程と、前記収容手段保持部を移動させることで保持された台車を所定の供給位置へ搬送する工程とを備えたことを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012152243A JP5973813B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012152243A JP5973813B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014017308A JP2014017308A (ja) | 2014-01-30 |
JP5973813B2 true JP5973813B2 (ja) | 2016-08-23 |
Family
ID=50111773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012152243A Expired - Fee Related JP5973813B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5973813B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6302765B2 (ja) * | 2014-06-25 | 2018-03-28 | 株式会社ディスコ | テープ貼着装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59113636A (ja) * | 1982-12-20 | 1984-06-30 | Disco Abrasive Sys Ltd | 全自動ウエ−ハ−のテ−プ貼着機 |
JPH04340248A (ja) * | 1991-01-22 | 1992-11-26 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | ウエハプローバ |
IT1259732B (it) * | 1992-07-07 | 1996-03-26 | Gisulfo Baccini | Dispositivo di prelievo, sovrapposizione e bloccaggio di fogli per circuiti green-tape |
JP2582578Y2 (ja) * | 1992-12-01 | 1998-10-08 | 光洋リンドバーグ株式会社 | 多室式半導体処理装置 |
JP3888754B2 (ja) * | 1997-12-08 | 2007-03-07 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの自動貼付け装置 |
JP4331839B2 (ja) * | 1999-11-30 | 2009-09-16 | アピックヤマダ株式会社 | テープ貼付装置及びテープ貼付方法 |
JP2001244220A (ja) * | 2000-02-29 | 2001-09-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置 |
-
2012
- 2012-07-06 JP JP2012152243A patent/JP5973813B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014017308A (ja) | 2014-01-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160121 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160330 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160712 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160715 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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