KR102521704B1 - 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

처리 장치(10)는, 피착체(WF)에 제1 접착 시트(AS1)가 점착된 1차 가공품(WK1)을 시트 점착대(47) 위에 적재하는 제1 반송 수단(20)과, 프레임 부재(RF)를 시트 점착대(47) 위에 적재하는 프레임 반송 수단(30)과, 1차 가공품(WK1) 및 프레임 부재(RF)에 제2 접착 시트(AS2)를 점착하여 2차 가공품(WK2)을 형성하는 시트 점착 수단(40)과, 2차 가공품(WK2)을 시트 박리대(68) 위에 적재하는 제2 반송 수단(50)과, 적재된 2차 가공품(WK2)으로부터 제1 접착 시트(AS1)를 박리하여 3차 가공품(WK3)을 형성하는 시트 박리 수단(60)과, 3차 가공품(WK3)을 시트 박리 수단(60)으로부터 반출하는 제3 반송 수단(70)을 구비하고, 제3 반송 수단(70)은 3차 가공품(WK3)을 반송 가능하며 처리 장치(10)의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치(90)에, 소정의 수수 위치(DP)에서 당해 3차 가공품(WK3)을 1개씩 수수한다.

Description

처리 장치{PROCESSING APPARATUS}
본 발명은, 처리 장치에 관한 것이다.
종래, 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하고, 소정의 가공품을 형성하는 처리 장치가 알려져 있다(예를 들어, 문헌 1: 일본 특허공개 제2000-68293호 공보 참조).
그러나, 문헌 1에 기재된 바와 같은 종래의 처리 장치는, 처리 후의 가공품을 수납 카세트와 같은 스톡 수단에 일단 스톡하고 나서 반출되기 때문에, 장치의 대형화를 초래한다는 문제가 있다.
본 발명의 목적은, 장치의 대형화를 방지할 수 있는 처리 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 처리 장치는, 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며, 상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과, 개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과, 상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과, 상기 2차 가공품을 상기 시트 점착 수단으로부터 반출하는 제2 반송 수단을 구비하고, 상기 제2 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 2차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 2차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 처리 장치는, 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며, 상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과, 개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과, 상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과, 상기 2차 가공품을 시트 박리대 위에 적재하는 제2 반송 수단과, 상기 시트 박리대 위에 적재된 2차 가공품에 있어서의 상기 제1 접착 시트에 박리용 테이프를 점착하고, 당해 박리용 테이프를 개재해서 상기 피착체로부터 당해 제1 접착 시트를 박리해서 3차 가공품을 형성하는 시트 박리 수단과, 상기 3차 가공품을 상기 시트 박리 수단으로부터 반출하는 제3 반송 수단을 구비하고, 상기 제3 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 3차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 처리 장치에 있어서, 상기 제1 반송 수단은, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 1차 가공품 반송 장치로부터, 소정의 수취 위치에서 당해 1차 가공품을 1개씩 수취하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 제2 반송 수단이 2차 가공품을 1개씩 2차 가공품 반송 장치에 수수하기 때문에, 당해 2차 가공품을 스톡하는 스톡 수단을 설치할 필요가 없어지게 되어, 장치의 대형화를 방지할 수 있다.
본 발명에 의하면, 제3 반송 수단이 3차 가공품을 1개씩 3차 가공품 반송 장치에 수수하기 때문에, 당해 3차 가공품을 스톡하는 스톡 수단을 설치할 필요가 없어지게 되어, 장치의 대형화를 방지할 수 있다.
또한, 제1 반송 수단이 1차 가공품을 1개씩 1차 가공품 반송 장치로부터 수취하는 구성으로 하면, 다른 장치에 대하여 1차 가공품을 취하러 가는 구성[예를 들어, 문헌 1에 기재된 반송 아암(12)]을 설치할 필요가 없어지게 되어, 장치의 대형화를 더 방지할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 처리 장치의 측면도이다.
도 2는, 처리 장치의 동작 설명도이다.
도 3은, 처리 장치의 동작 설명도이다.
이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있으며, X축 및 Y축은, 소정 평면 내의 축이라 하고, Z축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축이라 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y축과 평행한 화살표 AR 방향으로부터 본 경우를 기준으로 하여 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z축과 평행한 도 1 중 바로 앞 방향이고 「하」가 그 역방향, 「좌」가 X축의 화살표 방향이고 「우」가 그 역방향, 「전」이 Y축의 화살표 방향이고 「후」를 그 역방향이라 한다.
도 1 내지 3에 있어서, 처리 장치(10)는, 피착체로서의 반도체 웨이퍼(이하, 단순히 「웨이퍼」라고 하는 경우가 있음) WF의 한쪽의 면에 제1 접착 시트 AS1이 점착된 1차 가공품 WK1에 제2 접착 시트 AS2를 점착하는 장치이며, 1차 가공품 WK1을 시트 점착대(47) 위에 적재하는 제1 반송 수단(20)과, 개구부 RF1을 갖는 프레임 부재로서의 링 프레임 RF의 당해 개구부 RF1 내에 1차 가공품 WK1을 위치시켜서 당해 링 프레임 RF를 시트 점착대(47) 위에 적재하는 프레임 반송 수단(30)과, 시트 점착대(47) 위에 적재된 1차 가공품 WK1 및 링 프레임 RF에 제2 접착 시트 AS2를 점착하여 2차 가공품 WK2를 형성하는 시트 점착 수단(40)과, 2차 가공품 WK2를 시트 박리대(68) 위에 적재하는 제2 반송 수단(50)과, 시트 박리대(68) 위에 적재된 2차 가공품 WK2에 있어서의 제1 접착 시트 AS1에 박리용 테이프 PT(도 3)를 점착하고, 당해 박리용 테이프 PT를 개재해서 웨이퍼 WF로부터 당해 제1 접착 시트 AS1을 박리해서 3차 가공품 WK3을 형성하는 시트 박리 수단(60)과, 3차 가공품 WK3을 시트 박리 수단(60)으로부터 반출하는 제3 반송 수단(70)을 구비하고, 당해 처리 장치(10)의 외부에 설치된 1차 가공품 반송 장치(80)와, 당해 처리 장치(10)의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치(90)의 근방에 배치되어 있다.
제1 반송 수단(20)은, 선단 아암(작업 아암)(21A)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지 가능한 유지 부재(21B)를 갖는 구동 기기로서의 다관절 로봇(21)과, 상면(22A)이 소정의 수취 위치 PA로 된 수취대(22)와, 1차 가공품 WK1의 위치 결정을 행하는 얼라인먼트 장치(23)를 구비하고 있다.
프레임 반송 수단(30)은 선단 아암(작업 아암)(31A)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시하지 않은 감압 수단에 연통된 흡착 패드(31B)에 의해 흡착 유지 가능한 유지 부재(31C)를 갖는 구동 기기로서의 다관절 로봇(31)과, 링 프레임 RF를 수용 가능한 프레임 수용 수단(32)을 구비하고 있다. 본 실시 형태의 경우, 프레임 반송 수단(30)은, 제2 반송 수단(50)으로서도 기능한다. 또한, 다관절 로봇(21, 31)은, 그 작업 범위 내에 있어서 유지 부재(21B, 31C)에 의해 유지한 것을 어떠한 위치, 어떠한 각도에서라도 변위 가능한 소위 6축 로봇이다.
시트 점착 수단(40)은, 박리 시트 RL의 한쪽의 면에 제2 접착 시트 AS2가 가착된 원단 RS를 지지하는 지지 롤러(41)와, 원단 RS를 안내하는 가이드 롤러(42)와, 박리 시트 RL을 절곡해서 당해 박리 시트 RL로부터 제2 접착 시트 AS2를 박리하는 박리 부재로서의 박리판(43)과, 구동 기기로서의 회동 모터(44A)에 의해 구동되고, 핀치 롤러(44B)로 박리 시트 RL을 끼워 넣는 구동 롤러(44)와, 박리 시트 RL을 회수하는 회수 롤러(45)와, 박리판(43)에서 박리된 제2 접착 시트 AS2를 링 프레임 RF 및 웨이퍼 WF에 가압해서 점착하는 가압 수단으로서의 가압 롤러(46)와, 구동 기기로서의 리니어 모터(47A)의 슬라이더(47B)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시하지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지 가능한 지지면(47C)을 구비한 시트 점착대(47)를 구비하고 있다.
시트 박리 수단(60)은, 박리용 테이프 PT를 지지하는 지지 롤러(61)와, 구동 기기로서의 회동 모터(62A)에 의해 구동되고, 핀치 롤러(62B)로 박리용 테이프 PT를 끼워 넣는 구동 롤러(62)와, 구동 기기로서의 직동 모터(63A)의 출력축(63B)에 지지된 수용 수단(63)과, 수용 수단(63) 내에 수용되고, 수용 수단(63)의 저면인 흡착면(63C)에 형성된 흡인 구멍(63D)을 통해 박리용 테이프 PT를 흡착 유지하는 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 흡인 수단(64)과, 수용 수단(63) 내에 수용된 구동 기기로서의 리니어 모터(65A)의 슬라이더(65B)에 지지되고, 수용 수단(63)의 저면으로부터 돌출 함몰 가능하게 설치된 가압 부재(65)와, 수용 수단(63) 내에 수용된 구동 기기로서의 리니어 모터(66A)의 슬라이더(66B)에 지지되고, 수용 수단(63)의 저면으로부터 돌출 함몰 가능하게 설치된 절단날(66)과, 구동 기기로서의 직동 모터(67A)의 출력축(67B)에 지지되고, 박리용 테이프 PT를 흡착면(63C)에 접촉시키는 보조 롤러(67)와, 구동 기기로서의 리니어 모터(68A)의 슬라이더(68B)에 지지되고, 감압 펌프나 진공 이젝터 등이 도시하지 않은 감압 수단에 의해 흡착 유지 가능한 지지면(68C)을 구비한 시트 박리대(68)를 구비하고 있다. 본 실시 형태의 경우, 리니어 모터(68A) 및 시트 박리대(68)가 제3 반송 수단(70)으로서도 기능한다.
1차 가공품 반송 장치(80)는 다관절 로봇(21)과 마찬가지의 구성이며, 3차 가공품 반송 장치(90)는 다관절 로봇(31)과 마찬가지의 구성이므로, 상세한 설명은 생략한다. 또한, 1차, 3차 가공품 반송 장치(80, 90)는 각각 구동 기기로서의 리니어 모터(82)의 제1 슬라이더(82A) 및 제2 슬라이더(82B)에 지지되어 있다.
이상의 처리 장치(10)에 있어서, 1차 가공품 WK1로부터 3차 가공품 WK3을 형성하는 수순을 설명한다.
우선, 각 부재가 초기 위치에 배치된 도 1 중 실선으로 나타내는 처리 장치(10)에 대하여 작업자가 원단 RS 및 박리용 테이프 PT를 도 2, 3에 도시한 바와 같이 세트한다. 계속해서, 처리 장치(10)에 대하여 도시하지 않은 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 입력 수단을 개재해서 자동 운전 개시의 신호를 입력하면, 시트 박리 수단(60)이 흡인 수단(64)을 구동하고, 흡착면(63C)에서 박리용 테이프 PT를 흡착 유지한 후, 처리 장치(10)가 스탠바이 상태로 된다.
그리고, 1차 가공품 반송 장치(80)가 다관절 로봇(81) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 도 1 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 유지 부재(81B)로 1차 가공품 WK1을 수취대(22)의 상면(22A) 위에 적재한다. 계속해서, 제1 반송 수단(20)이 다관절 로봇(21) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 유지 부재(21B)에서 1차 가공품 WK1을 흡착 유지하고, 당해 1차 가공품 WK1을 수취대(22) 위에서 얼라인먼트 장치(23) 위에 적재한다. 이에 의해, 제1 반송 수단(20)은 1차 가공품 반송 장치(80)로부터, 소정의 수취 위치 PA에서 1차 가공품 WK1을 1개씩 수취하게 된다. 그리고, 1차 가공품 WK1이 얼라인먼트 장치(23)에서 위치 결정되면, 제1 반송 수단(20)이 다관절 로봇(21) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 도 2 중 실선으로 나타낸 바와 같이, 1차 가공품 WK1을 웨이퍼 WF가 상방이 되는 상태에서 시트 점착대(47) 위에 적재한다. 그 후, 시트 점착 수단(40)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 지지면(47C)에서 1차 가공품 WK1을 흡착 유지한다. 이어서, 프레임 반송 수단(30)이 다관절 로봇(31) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 유지 부재(31C)에서 프레임 수용 수단(32) 내의 링 프레임 RF를 흡착 유지하고, 도 2 중 실선으로 나타낸 바와 같이, 링 프레임 RF의 개구부 RF1 내에 1차 가공품 WK1을 위치시켜서 당해 링 프레임 RF를 시트 점착대(47) 위에 적재한다. 그 후, 시트 점착 수단(40)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 지지면(47C)에서 링 프레임 RF를 흡착 유지한다.
계속해서, 시트 점착 수단(40)이 리니어 모터(47A)를 구동하고, 시트 점착대(47)를 좌 방향으로 이동시키고, 링 프레임 RF가 소정 위치에 도달한 것이 광학 센서나 촬상 수단 등이 도시하지 않은 검지 수단에 검지되면, 회동 모터(44A)를 구동하고, 시트 점착대(47)의 이동 속도에 맞춰서 원단 RS를 풀어낸다. 이에 의해, 제2 접착 시트 AS2가 박리판(43)로 박리 시트 RL로부터 박리되고, 가압 롤러(46)에 의해 링 프레임 RF 및 웨이퍼 WF에 점착되어 2차 가공품 WK2가 형성된다. 2차 가공품 WK2가 도 1 중 이점쇄선으로 나타내는 소정의 위치에 도달하면, 시트 점착 수단(40)이 리니어 모터(47A)의 구동을 정지함과 함께, 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지한다. 계속해서, 제2 반송 수단(50)[프레임 반송 수단(30)]이 다관절 로봇(31) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 유지 부재(31C)에서 2차 가공품 WK2를 흡착 유지하고, 도 3 중 실선으로 나타낸 바와 같이, 제1 접착 시트 AS1이 상방이 되는 상태에서 당해 2차 가공품 WK2를 시트 박리대(68) 위에 적재한다. 그 후, 시트 박리 수단(60)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 지지면(68C)에서 2차 가공품 WK2를 흡착 유지하는 한편, 시트 점착 수단(40)이 리니어 모터(47A)를 구동하고, 시트 점착대(47)를 초기 위치로 복귀시킨다.
그리고, 시트 박리 수단(60)이 리니어 모터(68A)를 구동하고, 시트 박리대(68)를 좌 방향으로 이동시키고, 도 3중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 제1 접착 시트 AS1의 좌측 단부를 가압 부재(65)의 바로 아래에 위치시킨다. 계속해서, 시트 박리 수단(60)이 직동 모터(67A)를 구동하고, 도 3중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이 보조 롤러(67)를 수용 수단(63)의 하방으로부터 퇴피시킨 후, 회동 모터(62A) 및 직동 모터(63A)를 구동하고, 상기 도면 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 박리용 테이프 PT를 풀어내면서 수용 수단(63)을 제1 접착 시트 AS1의 바로 위 소정 위치까지 하강시킨다. 그 후, 시트 박리 수단(60)이 리니어 모터(65A)를 구동하고, 가압 부재(65)를 하강시켜서, 박리용 테이프 PT를 제1 접착 시트 AS1의 좌측 단부에 가압하여 점착한다. 이때, 시트 박리 수단(60)이 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단(65C)을 구동하고, 박리용 테이프 PT를 가열해도 된다. 이어서, 시트 박리 수단(60)이 흡인 수단(64)의 구동을 정지함과 함께, 리니어 모터(65A) 및 직동 모터(63A)를 구동하고, 가압 부재(65) 및 수용 수단(63)을 초기 위치로 복귀시킨다.
그 후, 시트 박리 수단(60)이 회동 모터(62A)의 구동을 로크시킨 상태에서, 리니어 모터(68A)를 구동하고, 시트 박리대(68)를 좌 방향으로 이동시켜서 웨이퍼 WF로부터 제1 접착 시트 AS1을 박리하고, 3차 가공품 WK3을 형성한다. 3차 가공품 WK3이 형성된 후에도, 제3 반송 수단(70)[시트 박리 수단(60)]이 리니어 모터(68A)를 계속해서 구동하고, 당해 3차 가공품 WK3을 시트 박리 수단(60)으로부터 반출한다. 그리고, 3차 가공품 WK3을 지지한 시트 박리대(68)가 도 1 중 이점쇄선으로 나타내는 소정의 수수 위치 DP에 도달하면, 제3 반송 수단(70)[시트 박리 수단(60)]이 리니어 모터(68A)의 구동을 정지함과 함께, 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지한다. 그 후, 3차 가공품 반송 장치(90)가 다관절 로봇(91) 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 유지 부재(91C)에서 3차 가공품 WK3을 흡착 유지한 후, 당해 3차 가공품 WK3을 다음 공정으로 반송한다. 이에 의해, 제3 반송 수단(70)은 3차 가공품 반송 장치(90)에, 소정의 수수 위치 DP에서 당해 3차 가공품 WK3을 1개씩 수수하게 된다.
한편, 3차 가공품 WK3이 형성되면, 시트 박리 수단(60)이 직동 모터(67A) 및 흡인 수단(64)을 구동하고, 보조 롤러(67)를 초기 위치로 복귀시켜서, 흡착면(63C)에서 박리용 테이프 PT를 흡착 유지한 후, 리니어 모터(66A)를 구동하고, 절단날(66)을 하강시켜서 박리용 테이프 PT를 절단하고, 사람 손 또는 도시하지 않은 이송 수단이 제1 접착 시트 AS1을 회수한다. 그리고, 시트 박리 수단(60)이 리니어 모터(68A)를 구동하고, 시트 박리대(68)를 초기 위치로 복귀시켜서, 이후 상기 마찬가지의 동작이 반복된다.
이상과 같은 실시 형태에 의하면, 제3 반송 수단(70)이 3차 가공품 WK3을 1개씩 3차 가공품 반송 장치(90)에 수수하기 때문에, 당해 3차 가공품 WK3을 저장하는 스톡 수단을 설치할 필요가 없어지게 되어, 장치의 대형화를 방지할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은 주로 특정한 실시 형태에 관하여 특히 도시되고, 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상 설명한 실시 형태에 대하여 형상, 재질, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 다양한 변형을 가할 수 있는 것이다. 또한, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위해서 예시적으로 기재한 것으로, 본 발명을 한정하는 것은 아니기 때문에, 그것들의 형상, 재질 등의 한정된 일부 혹은 전부의 한정을 제외한 부재의 명칭에서의 기재는, 본 발명에 포함된다.
예를 들어, 처리 장치(10)는 시트 박리 수단(60)과, 제3 반송 수단(70)이 없어도 된다. 이 경우, 제2 반송 수단(50)이 2차 가공품 WK2를 시트 점착 수단(40)으로부터 반출하고, 도 1 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 당해 처리 장치(10)의 외부에 설치된 2차 가공품 반송 장치(100)에, 소정의 수수 위치에서 당해 2차 가공품 WK2를 1개씩 수수하는 구성으로 하면 된다. 또한, 이러한 2차 가공품 반송 장치(100)는 리니어 모터(82)의 제3 슬라이더(82C)에 지지되어 있고, 다관절 로봇(31)과 마찬가지의 구성으로 할 수 있으므로, 상세한 설명은 생략한다.
제1 반송 수단(20)은 1차 가공품 WK1을 제1 접착 시트 AS1이 상방이 되는 상태에서 시트 점착대(47) 위에 적재해도 된다.
제1 반송 수단(20)은 수취대(22) 및 얼라인먼트 장치(23) 중 적어도 한쪽이 없어도 되며, 수취대(22)가 없는 경우, 1차 가공품 반송 장치(80)로부터 소정의 수취 위치에서 1차 가공품 WK1을 직접 수취해도 되며, 얼라인먼트 장치(23)가 없는 경우, 소정의 수취 위치 PA에서 수취한 1차 가공품 WK1을 직접 시트 점착대(47) 위에 적재해도 된다.
수취대(22)는, 대 이외에 다른 장치 등이어도 된다.
제1 반송 수단(20)은, 다관절 로봇(21) 외에, 당해 다관절 로봇(21)과 동등한 구동 기기로서의 다른 다관절 로봇을 채용해도 된다. 이 경우, 예를 들어 상기 실시 형태와 마찬가지로 하여 얼라인먼트 장치(23)에서 1차 가공품 WK1의 위치 결정을 행한 후, 제1 반송 수단(20)이 다른 다관절 로봇 및 도시하지 않은 감압 수단을 구동하고, 1차 가공품 WK1을 시트 점착대(47) 위에 적재하도록 해도 된다.
제1 반송 수단(20)은, 1차 가공품 WK1에 점착되어 있는 제1 점착 시트 AS1의 접착력을 저하되게 하는 자외선 조사 장치나 적외선 조사 장치 등의 접착력 저하 수단을 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 제1 반송 수단(20)은, 1차 가공품 WK1의 위치 결정과, 제1 접착 시트 AS1의 접착력의 저하 중 어느 쪽을 먼저 행해도 된다. 또한, 얼라인먼트 장치(23), 접착력 저하 수단 및 시트 점착대(47) 사이의 1차 가공품 WK1의 이동은, 다관절 로봇(21)과 전술한 다른 다관절 로봇 중 어느 쪽이 행해도 된다.
제1 반송 수단(20)은, 메카니즘 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 1차 가공품 WK1(피반송물)을 유지하는 구성으로 해도 되고, 프레임 반송 수단(30), 제2 반송 수단(50), 1차, 2차, 3차 가공품 반송 장치(80, 100, 90) 등도 마찬가지의 구성에 의해, 피반송물을 유지하는 구성으로 해도 된다.
프레임 반송 수단(30)은, 1차 가공품 WK1이 시트 점착대(47) 위에 적재되기 전에, 당해 시트 점착대(47) 위의 소정 위치에 링 프레임 RF를 적재해도 된다.
프레임 반송 수단(30)은, 당해 처리 장치(10)의 외부에 설치된 도시하지 않은 프레임 부재 반송 장치로부터, 소정의 프레임 수취 위치에서 링 프레임 RF를 복수 또는 1개씩 수취해도 된다. 이와 같은 프레임 부재 반송 장치는, 3차 가공품 반송 장치(90)와 마찬가지의 구성으로 할 수 있다.
시트 점착 수단(40)은, 시트 점착대(47)의 위치를 고정해 두고 그 밖의 부재를 이동시키거나, 시트 점착대(47) 및 그 밖의 부재의 양쪽을 이동시키거나 해서 제2 접착 시트 AS2를 점착하여도 된다.
시트 점착대(47)는, 메카니즘 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등에 의해 프레임 부재나 피착체(피반송물)를 지지하는 구성이어도 되며, 시트 박리대(68)도 마찬가지의 구성으로 피반송물을 지지하는 구성으로 해도 된다.
시트 점착 수단(40)은, 띠 형상의 박리 시트 RL에 가착된 띠 형상의 접착 시트 기재에 폐 루프 형상의 절입이 형성됨으로써, 당해 절입의 내측이 제2 접착 시트 AS2, 외측이 불필요 시트로 된 원단을 풀어내도 된다.
시트 점착 수단(40)은, 띠 형상의 접착 시트 기재가 띠 형상의 박리 시트 RL에 가착된 원단이 채용된 경우, 절단날, 레이저 커터, 열 커터, 에어 커터, 압축수 커터 등의 절단 수단에 의해, 접착 시트 기재에 폐 루프 형상의 절입을 형성하고, 당해 절입의 내측이 제2 접착 시트 AS2가 되도록 당해 원단을 가공해도 된다.
시트 점착 수단(40)은, 띠 형상의 접착 시트 기재를 링 프레임 RF 및 웨이퍼 WF에 점착한 후, 당해 접착 시트 기재를 상기와 마찬가지의 절단 수단에 의해 소정 형상으로 절단해도 된다.
박리 부재는, 환봉이나 롤러 등으로 구성해도 된다.
가압 수단은, 환봉, 블레이드재, 고무, 수지, 스펀지 등에 의한 가압 부재를 채용해도 되고, 에어 분사에 의해 제2 접착 시트 AS2를 가압하는 구성으로 해도 된다.
제2 반송 수단(50)은, 프레임 반송 수단(30)과 별체의 것으로 구성해도 된다.
시트 박리 수단(60)은, 시트 점착 수단(40)에 의해 제1 접착 시트 AS1측에 제2 접착 시트 AS2를 점착하여 2차 가공품을 형성한 경우, 동작을 캔슬해도 된다. 이 경우, 제2 반송 수단(50)[프레임 반송 수단(30)]이 2차 가공품을 시트 박리대(68) 위에 적재하면, 제3 반송 수단(70)[시트 박리 수단(60)]이 시트 박리대(68)를 소정의 수수 위치 DP에 위치시켜도 되고, 제2 반송 수단(50)[프레임 반송 수단(30)]이 흡착 유지한 2차 가공품을 직접 소정의 수수 위치 DP에 반송해도 된다.
시트 박리 수단(60)은, 흡인 수단(64)을 대신하여 또는 병용하여, 메카니즘 척이나 척 실린더 등의 척 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 박리용 테이프 PT를 유지하는 구성을 채용할 수 있다.
시트 박리 수단(60)은, 가압 부재(65)를 대신하여 또는 병용하여, 블레이드 재, 고무, 수지, 스펀지, 에어의 분사 등에 의한 가압 부재를 채용할 수 있고, 박리용 테이프 PT가 감압 접착성의 것인 경우, 가열 수단(65C)은 있어도 되고, 없어도 된다.
시트 박리 수단(60)은, 시트 박리대(68)를 고정해 두고 그 밖의 부재를 이동시키거나, 시트 박리대(68)와 그 밖의 부재의 양쪽을 이동시키거나 해서 제1 접착 시트 AS1을 박리해도 된다.
시트 박리 수단(60)은, 절단날(66)을 대신하여 또는 병용하여, 레이저 커터, 열 커터, 에어 커터, 압축수 커터 등의 다른 구성의 것을 채용해도 된다.
시트 박리 수단(60)은, 박리용 테이프 PT로서 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것을 채용해도 되며, 감압 접착성의 것이 채용된 경우에는, 가열 수단(65C)은 있어도 되고, 없어도 된다.
제3 반송 수단은, 도 1 중 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 다관절 로봇(31)과 동등한 구성의 제3 반송 수단(70A)으로 하여도 된다. 이 경우, 리니어 모터(68A) 및 시트 박리대(68)는, 제3 반송 수단(70)으로서 기능할 일은 없고, 제3 반송 수단(70A)가 시트 박리 수단(60)에 의해 형성된 3차 가공품 WK3을 소정의 위치에서 시트 박리대(68)로부터 수취하고, 수취한 당해 3차 가공품 WK3을 수수 위치 DP에 위치시킬 수 있다.
제1, 제2, 제3 반송 수단 및 프레임 반송 수단(20, 50, 70, 70A, 30)은, 동일한 구성의 복수의 장치로 구성해도 되고, 서로 다른 구성의 복수의 장치로 구성해도 되고, 1개의 장치로 구성해도 되며, 동일한 구성 또는 서로 다른 구성의 복수의 장치로 구성하는 경우, 그것들 장치는, 어떤 것이든 복수를 1개의 장치로 구성해도 된다.
1차, 2차, 3차 가공품 반송 장치(80, 100, 90) 및 도시하지 않은 프레임 부재 반송 장치는, 동일한 구성의 복수의 장치로 구성해도 되고, 서로 다른 구성의 복수의 장치로 구성해도 되고, 1개의 장치로 구성해도 되며, 동일한 구성 또는 서로 다른 구성의 복수의 장치로 구성하는 경우, 그것들 장치는, 어떤 것이든 2개를 1개의 장치로 구성해도 된다.
1차, 2차, 3차 가공품 반송 장치(80, 100, 90)는, 리니어 모터(82)의 제1 슬라이더(82A), 제3 슬라이더(82C) 및 제2 슬라이더(82B)에 지지되지 않아도 되고, 각각이 독립된 리니어 모터의 각 슬라이더에 지지되어 있어도 된다.
1차, 2차, 3차 가공품 반송 장치(80, 100, 90)는, 예를 들어 벨트 컨베이어, 롤러 컨베이어, 구동 기기 외에, 웨이퍼 WF를 가공하는 그라인더, 다이서, 연마 장치이어도 되고, 도장 장치, 인쇄 장치, 검사 장치, 표면 처리 장치, 노광 장치, 촬상 장치, 화학 처리 장치 등이어도 되고, 그것들 장치를 구성하는 부재 등이어도 되며, 어떠한 한정도 되지 않는다.
프레임 부재는, 링 프레임 RF 이외에, 원형, 타원형, 삼각형 이상의 다각형의 것이나, 환상이 아닌 것 등, 그 밖의 형상이어도 된다.
또한, 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2 및 피착체의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되지는 않는다. 예를 들어, 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 되고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 되며, 감열 접착성의 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2가 채용된 경우에는, 당해 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프 등의 가열측 등의 가열 수단을 설치하는 등의 적절한 방법에 의해 접착되면 된다. 또한, 이와 같은 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2는, 예를 들어 접착제층만의 단층의 것, 기재 시트와 접착제층의 사이에 중간층을 갖는 것, 기재 시트의 상면에 커버층을 갖는 등 3층 이상의 것, 나아가서는, 기재 시트를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되며, 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또한, 피착체로서는, 예를 들어 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도자기, 목판 또는 수지판 등, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 제1, 제2 접착 시트 AS1, AS2를 기능적, 용도적인 읽는 방법으로 바꾸어, 예를 들어 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 형상의 임의의 시트, 필름, 테이프 등을 전술한 바와 같은 임의의 피착체에 점착할 수 있다.
본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그것들 수단 및 공정에 대하여 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 어떠한 한정도 되지 않으며, 하물며, 상기 실시 형태에서 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정으로 전혀 한정되지 않는다. 예를 들어, 시트 점착 수단은, 시트 점착대 위에 적재된 1차 가공품 및 프레임 부재에 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 비추어, 그 기술 범위 내의 것이면 어떠한 한정도 되지 않는다(다른 수단 및 공정에 대한 설명은 생략함).
또한, 상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 동시에, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다(실시 형태에서 예시한 것과 중복되는 것도 있음).

Claims (3)

  1. 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며,
    상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과,
    개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과,
    상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과,
    상기 2차 가공품을 상기 시트 점착 수단으로부터 반출하는 제2 반송 수단을 구비하고,
    상기 프레임 반송 수단은, 상기 제2 반송 수단으로서도 기능하고, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 2차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 2차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 하는, 처리 장치.
  2. 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며,
    상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과,
    개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과,
    상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과,
    상기 2차 가공품을 시트 박리대 위에 적재하는 제2 반송 수단과,
    상기 시트 박리대 위에 적재된 2차 가공품에 있어서의 상기 제1 접착 시트에 박리용 테이프를 점착하고, 당해 박리용 테이프를 개재해서 상기 피착체로부터 당해 제1 접착 시트를 박리해서 3차 가공품을 형성하는 시트 박리 수단과,
    상기 3차 가공품을 상기 시트 박리 수단으로부터 반출하는 제3 반송 수단을 구비하고,
    상기 시트 박리 수단은, 상기 시트 박리대를 이동시키는 구동 기기를 구비하고,
    상기 구동 기기는, 상기 제3 반송 수단으로서도 기능하고, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 3차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 하는, 처리 장치.
  3. 피착체의 한쪽 면에 제1 접착 시트가 점착된 1차 가공품에 제2 접착 시트를 점착하는 처리 장치이며,
    상기 1차 가공품을 시트 점착대 위에 적재하는 제1 반송 수단과,
    개구부를 갖는 프레임 부재의 당해 개구부 내에 상기 1차 가공품을 위치시켜서 당해 프레임 부재를 상기 시트 점착대 위에 적재하는 프레임 반송 수단과,
    상기 시트 점착대 위에 적재된 상기 1차 가공품 및 프레임 부재에 상기 제2 접착 시트를 점착하여 2차 가공품을 형성하는 시트 점착 수단과,
    상기 2차 가공품을 시트 박리대 위에 적재하는 제2 반송 수단과,
    상기 시트 박리대 위에 적재된 2차 가공품에 있어서의 상기 제1 접착 시트에 박리용 테이프를 점착하고, 당해 박리용 테이프를 개재해서 상기 피착체로부터 당해 제1 접착 시트를 박리해서 3차 가공품을 형성하는 시트 박리 수단과,
    상기 3차 가공품을 상기 시트 박리 수단으로부터 반출하는 제3 반송 수단을 구비하고,
    상기 프레임 반송 수단은, 상기 제3 반송 수단으로서도 기능하고, 당해 처리 장치의 외부에 설치된 3차 가공품 반송 장치에, 소정의 수수 위치에서 당해 3차 가공품을 1개씩 수수하는 것을 특징으로 하는, 처리 장치.
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