TW201724338A - 處理裝置 - Google Patents

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Abstract

處理裝置(10)，係具備將於黏著體(WF)貼附第1接著薄片(AS1)的一次加工品(WK1)載置於薄片貼附台(47)上的第1搬送手段(20)、將框架構件(RF)載置於薄片貼附台(47)上的框架搬送手段(30)、於一次加工品(WK1)及框架構件(RF)貼附第2接著薄片(AS2)而形成二次加工品(WK2)的薄片貼附手段(40)、將二次加工品(WK2)載置於薄片剝離台(68)上的第2搬送手段(50)、從載置的二次加工品(WK2)剝離第1接著薄片(AS1)而形成三次加工品(WK3)的薄片剝離手段(60)、及從薄片剝離手段(60)搬出三次加工品(WK3)的第3搬送手段(70)，第3搬送手段(70)係在所定交接位置(DP)將該三次加工品(WK3)，一個一個地交接給可搬送三次加工品(WK3)且設置於處理裝置(10)的外部的三次加工品搬送裝置(90)。

Description

處理裝置
本發明係關於處理裝置。
先前，公知有於第1接著薄片被貼附於黏著體之一方的面的一次加工品，貼附第2接著薄片，形成所定加工品的處理裝置(例如，參照文獻1：日本特開2000-68293號公報)。
然而，像文獻1所記載之先前的處理裝置，係將處理後的加工品一旦貯存於如收納匣的貯存手段再搬出，故有導致裝置的大型化的問題。
本發明的目的係提供可防止裝置的大型化的處理裝置。
本發明的處理裝置，係於第1接著薄片被貼附於黏著體之一方的面的一次加工品，貼附第2接著薄片的處理裝置，其特徵為：具備：第1搬送手段，係將前述一次加工品載置於薄片貼附台上；框架搬送手段，係使前述一次加 工品位於具有開口部的框架構件的該開口部內，將該框架構件載置於前述薄片貼附台上；薄片貼附手段，係於被載置於前述薄片貼附台上的前述一次加工品及框架構件，貼附前述第2接著薄片而形成二次加工品；及第2搬送手段，係從前述薄片貼附手段搬出前述二次加工品；前述第2搬送手段，係在所定交接位置將該二次加工品，一個一個地交接給設置於該處理裝置的外部的二次加工品搬送裝置。
又，本發明的處理裝置，係於第1接著薄片被貼附於黏著體之一方的面的一次加工品，貼附第2接著薄片的處理裝置，其特徵為：具備：第1搬送手段，係將前述一次加工品載置於薄片貼附台上；框架搬送手段，係使前述一次加工品位於具有開口部的框架構件的該開口部內，將該框架構件載置於前述薄片貼附台上；薄片貼附手段，係於被載置於前述薄片貼附台上的前述一次加工品及框架構件，貼附前述第2接著薄片而形成二次加工品；第2搬送手段，係將前述二次加工品載置於薄片剝離台上；薄片剝離手段，係於被載置於前述薄片剝離台上的二次加工品之前述第1接著薄片，貼附剝離用膠帶，透過該剝離用膠帶從前述黏著體剝離該第1接著薄片而形成三次加工品；及第3搬送手段，係從前述薄片剝離手段搬出前述三次加工品；前述第3搬送手段，係在所定交接位置將該三次加工品，一個一個地交接給設置於該處理裝置的外部的三次加工品搬送裝置。
於本發明的處理裝置中，前述第1搬送手段，係從設置於該處理裝置的外部的一次加工品搬送裝置，在所定接收位置一個一個地接收該一次加工品為佳。
依據本發明，第2搬送手段將二次加工品一個一個地交接給二次加工品搬送裝置，故不需要設置貯存該二次加工品的貯存手段，可防止裝置的大型化。
依據本發明，第3搬送手段將三次加工品一個一個地交接給三次加工品搬送裝置，故不需要設置貯存該三次加工品的貯存手段，可防止裝置的大型化。
又，設為第1搬送手段從一次加工品搬送裝置一個一個地接收一次加工品的構造的話，不需要設置對於其他裝置去接收一次加工品的構造(例如，文獻1所記載的搬送機械臂12)，更可防止裝置的大型化。
10‧‧‧處理裝置
20‧‧‧第1搬送手段
21‧‧‧多關節機器人
21A‧‧‧前端機械臂
21B‧‧‧保持構件
22‧‧‧接收台
22A‧‧‧上面
23‧‧‧校準裝置
30‧‧‧框架搬送手段
31‧‧‧多關節機器人
31A‧‧‧前端機械臂
31B‧‧‧吸附墊
31C‧‧‧保持構件
32‧‧‧框架收容手段
40‧‧‧薄片貼附手段
41‧‧‧支持滾筒
42‧‧‧導引滾筒
43‧‧‧剝離板
44‧‧‧驅動滾筒
44A‧‧‧旋轉電動機
44B‧‧‧壓輪
45‧‧‧回收滾筒
46‧‧‧按壓滾筒
47‧‧‧薄片貼附台
47A‧‧‧線性電動機
47B‧‧‧滑件
47C‧‧‧支持面
50‧‧‧第2搬送手段
60‧‧‧薄片剝離手段
61‧‧‧支持滾筒
62‧‧‧驅動滾筒
62A‧‧‧旋轉電動機
62B‧‧‧壓輪
63‧‧‧收容手段
63A‧‧‧直線電動機
63B‧‧‧輸出軸
63C‧‧‧吸附面
63D‧‧‧吸引孔
64‧‧‧吸引手段
65‧‧‧按壓構件
65A‧‧‧線性電動機
65B‧‧‧滑件
65C‧‧‧加熱手段
66‧‧‧切斷刀刃
66A‧‧‧線性電動機
66B‧‧‧滑件
67‧‧‧輔助滾筒
67A‧‧‧直線電動機
67B‧‧‧輸出軸
68‧‧‧薄片剝離台
68A‧‧‧線性電動機
68B‧‧‧滑件
68C‧‧‧支持面
70‧‧‧第3搬送手段
70A‧‧‧第3搬送手段
80‧‧‧一次加工品搬送裝置
81‧‧‧多關節機器人
81B‧‧‧保持構件
82‧‧‧線性電動機
82A‧‧‧第1滑件
82B‧‧‧第2滑件
82C‧‧‧第3滑件
90‧‧‧三次加工品搬送裝置
91‧‧‧多關節機器人
91C‧‧‧保持構件
100‧‧‧二次加工品搬送裝置
AS1‧‧‧第1接著薄片
AS2‧‧‧第2接著薄片
DP‧‧‧交接位置
PA‧‧‧接收位置
PT‧‧‧剝離用膠帶
RF‧‧‧環形框
RF1‧‧‧開口部
RL‧‧‧剝離薄片
RS‧‧‧原始件
WF‧‧‧晶圓
WK1‧‧‧一次加工品
WK2‧‧‧二次加工品
WK3‧‧‧三次加工品
[圖1]關於本發明之一實施形態的處理裝置的側視圖。
[圖2]處理裝置的動作說明圖。
[圖3]處理裝置的動作說明圖。
以下，依據圖面來說明本發明的一實施形態。
再者，本實施形態之X軸、Y軸、Z軸係為分別正交的關係，X軸及Y軸作為所定平面內的軸，Z軸作為正交 於前述所定平面的軸。進而，在本實施形態中，以從與Y軸平行之箭頭AR方向觀看之狀況為基準，揭示方向時，「上」是與Z軸平行之圖1的跟前方向，「下」是其反方向，「左」是X軸的箭頭方向，「右」是其反方向，「前」是Y軸的箭頭方向，「後」是其反方向。
於圖1~3中，處理裝置10係於第1接著薄片AS1被貼附於作為黏著體的半導體晶圓(以下，有單稱為「晶圓」之狀況)WF之一方的面的一次加工品WK1，貼附第2接著薄片AS2的裝置，具備將一次加工品WK1載置於薄片貼附台47上的第1搬送手段20、使一次加工品WK1位於作為具有開口部RF1之框架構件的環形框RF的該開口部RF1內，將該環形框RF載置於薄片貼附台47上的框架搬送手段30、於被載置於薄片貼附台47上的一次加工品WK1及環形框RF，貼附第2接著薄片AS2而形成二次加工品WK2的薄片貼附手段40、將二次加工品WK2載置於薄片剝離台68上的第2搬送手段50、於被載置於薄片剝離台68上的二次加工品WK2之第1接著薄片AS1，貼附剝離用膠帶PT(圖3)，透過該剝離用膠帶PT從晶圓WF剝離該第1接著薄片AS1而形成三次加工品WK3的薄片剝離手段60、及從薄片剝離手段60搬出三次加工品WK3的第3搬送手段70，配置於設置在該處理裝置10的外部的一次加工品搬送裝置80，與設置於該處理裝置10的外部的三次加工品搬送裝置90的附近。
第1搬送手段20係具備被前端機械臂(作業機械 臂)21A支持，具有可藉由減壓泵或真空噴射器等之未圖示的減壓手段吸附保持的保持構件21B之作為驅動機器的多關節機器人21、上面22A作為所定接收位置PA的接收台22、及進行一次加工品WK1的定位的校準裝置23。
框架搬送手段30係具備被前端機械臂(作業機械臂)31A支持，具有可藉由連通於減壓泵或真空噴射器等之未圖示的減壓手段的吸附墊31B吸附保持的保持構件31C之作為驅動機器的多關節機器人31，與可收容環形框RF的框架收容手段32。本實施形態之狀況中，框架搬送手段30也具有第2搬送手段50的功能。再者，多關節機器人21、31係於其作業範圍中將利用保持構件21B、31C所保持者，即使任何位置、任何角度也可變位之所謂6軸機器人。
薄片貼附手段40係具備支持第2接著薄片AS2被暫時貼附於剝離薄片RL之一方的面之原始件RS的支持滾筒41、導引原始件RS的導引滾筒42、彎曲剝離薄片RL並從該剝離薄片RL剝離第2接著薄片AS2之作為剝離構件的剝離板43、藉由作為驅動機器的旋轉電動機44A驅動，與壓輪44B挾持剝離薄片RL的驅動滾筒44、回收剝離薄片RL的回收滾筒45、將利用剝離板43剝離的第2接著薄片AS2，按壓貼附環形框RF及晶圓WF之作為按壓手段的按壓滾筒46、及被作為驅動機器之線性電動機47A的滑件47B支持，具備可藉由減壓泵或真空噴射器等之未圖示的減壓手段吸附保持之支持面47C的薄片貼附台 47。
薄片剝離手段60係具備支持剝離用膠帶PT的支持滾筒61、藉由作為驅動機器的旋轉電動機62A驅動，與壓輪62B挾持剝離用膠帶PT的驅動滾筒62、被作為驅動機器之直線電動機63A的輸出軸63B支持的收容手段63、被收容於收容手段63內，透過形成於收容手段63的底面即吸附面63C的吸引孔63D吸附保持剝離用膠帶PT之減壓泵或真空噴射器等的吸引手段64、被收容於收容手段63內之作為驅動機器的線性電動機65A的滑件65B支持，設置成可從收容手段63的底面突沒的按壓構件65、被收容於收容手段63內之作為驅動機器的線性電動機66A的滑件66B支持，設置成可從收容手段63的底面突沒的切斷刀刃66、被作為驅動機器之直線電動機67A的輸出軸67B支持，使剝離用膠帶PT抵接於吸附面63C的輔助滾筒67、及被作為驅動機器之線性電動機68A的滑件68B支持，具備可藉由減壓泵或真空噴射器等之未圖示的減壓手段吸附保持之支持面68C的薄片剝離台68。本實施形態之狀況中，線性電動機68A及薄片剝離台68也具有第3搬送手段70的功能。
一次加工品搬送裝置80係與多關節機器人21相同構造，三次加工品搬送裝置90係與多關節機器人31相同構造，所以省略詳細說明。再者，一次、三次加工品搬送裝置80、90係分別被作為驅動機器之線性電動機82的第1滑件82A及第2滑件82B支持。
說明於以上的處理裝置10中，從一次加工品WK1形成三次加工品WK3的順序。
首先，對於各構件配置於初始位置之圖1中實線所示的處理裝置10，作業者如圖2、3所示般安置原始件RS及剝離用膠帶PT。接下來，對於處理裝置10，透過未圖示的操作面板或個人電腦等的輸入手段，輸入自動運轉開始的訊號的話，薄片剝離手段60會驅動吸引手段64，在吸附面63C吸附保持剝離用膠帶PT之後，處理裝置10成為待機狀態。
然後，一次加工品搬送裝置80驅動多關節機器人81及未圖示的減壓手段，如圖1中兩點虛線所示般，利用保持構件81B將一次加工品WK1載置於接收台22的上面22A上。接下來，第1搬送手段20驅動多關節機器人21及未圖示的減壓手段，利用保持構件21B吸附保持一次加工品WK1，將該一次加工品WK1從接收台22上載置於校準裝置23上。藉此，第1搬送手段20係從一次加工品搬送裝置80，在所定接收位置PA一個一個地接收一次加工品WK1。然後，一次加工品WK1被校準裝置23定位的話，第1搬送手段20會驅動多關節機器人21及未圖示的減壓手段，如圖2中實線所示般，將一次加工品WK1在晶圓WF成為上方之狀態下載置於薄片貼附台47上。之後，薄片貼附手段40驅動未圖示的減壓手段，在支持面47C吸附保持一次加工品WK1。接著，框架搬送手段30驅動多關節機器人31及未圖示的減壓手段，利用保持 構件31C吸附保持框架收容手段32內的環形框RF，如圖2中實線所示般，使一次加工品WK1位於環形框RF的開口部RF1內，並將該環形框RF載置於薄片貼附台47上。之後，薄片貼附手段40驅動未圖示的減壓手段，在支持面47C吸附保持環形框RF。
接下來，薄片貼附手段40驅動線性電動機47A，使薄片貼附台47向左方向移動，環形框RF到達所定位置之狀況被光學感測器或攝像手段等之未圖示的偵測手段偵測到的話，則驅動旋轉電動機44A，配合薄片貼附台47的移動速度，送出原始件RS。藉此，第2接著薄片AS2利用剝離板43從剝離薄片RL剝離，藉由按壓滾筒46貼附於環形框RF及晶圓WF，形成二次加工品WK2。二次加工品WK2到達圖1中兩點虛線所示之所定位置時，薄片貼附手段40停止線性電動機47A的驅動，並且停止未圖示之減壓手段的驅動。接下來，第2搬送手段50(框架搬送手段30)驅動多關節機器人31及未圖示的減壓手段，利用保持構件31C吸附保持二次加工品WK2，如圖3中實線所示般，在第1接著薄片AS1成為上方之狀態下將該二次加工品WK2載置於薄片剝離台68上。之後，薄片剝離手段60驅動未圖示的減壓手段，在支持面68C吸附保持二次加工品WK2之外，薄片貼附手段40驅動線性電動機47A，使薄片貼附台47回歸到初始位置。
然後，薄片剝離手段60驅動線性電動機68A，使薄片剝離台68向左方向移動，如圖3中兩點虛線所示般， 使第1接著薄片AS1的左端部位於按壓構件65的正下方。接下來，薄片剝離手段60驅動直線電動機67A，如圖3中兩點虛線所示般，使輔助滾筒67從收容手段63的下方退避之後，驅動旋轉電動機62A及直線電動機63A，如同圖中兩點虛線所示般，一邊送出剝離用膠帶PT一邊使收容手段63下降至第1接著薄片AS1的正上方所定位置為止。之後，薄片剝離手段60驅動線性電動機65A，使按壓構件65下降，將剝離用膠帶PT按壓貼附於第1接著薄片AS1的左端部。此時，薄片剝離手段60驅動盤管加熱器或熱管的加熱側等的加熱手段65C，加熱剝離用膠帶PT亦可。接著，薄片剝離手段60停止吸引手段64的驅動，並且驅動線性電動機65A及直線電動機63A，使按壓構件65及收容手段63回歸到初始位置。
之後，薄片剝離手段60在鎖住旋轉電動機62A的驅動之狀態下，驅動線性電動機68A，使薄片剝離台68向左方向移動，從晶圓WF剝離第1接著薄片AS1，形成三次加工品WK3。形成三次加工品WK3之後，第3搬送手段70(薄片剝離手段60)也持續驅動線性電動機68A，將該三次加工品WK3從薄片剝離手段60搬出。然後，支持三次加工品WK3的薄片剝離台68到達圖1中兩點虛線所示之所定交接位置DP時，第3搬送手段70(薄片剝離手段60)停止線性電動機68A的驅動，並且停止未圖示之減壓手段的驅動。之後，三次加工品搬送裝置90驅動多關節機器人91及未圖示的減壓手段，利用保持構件91C吸附 保持三次加工品WK3之後，將該三次加工品WK3搬送至下個工程。藉此，第3搬送手段70係在所定交接位置DP，將該三次加工品WK3一個一個地交接給三次加工品搬送裝置90。
另一方面，形成三次加工品WK3時，薄片剝離手段60會驅動直線電動機67A及吸引手段64，使輔助滾筒67回歸到初始位置，利用吸附面63C吸附保持剝離用膠帶PT之後，驅動線性電動機66A，使切斷刀刃66下降來切斷剝離用膠帶PT，以人的手或未圖示的移送手段回收第1接著薄片AS1。然後，薄片剝離手段60驅動線性電動機68A，使薄片剝離台68回歸到初始位置，之後重覆進行與前述相同的動作。
依據以上所述的實施形態，第3搬送手段70將三次加工品WK3一個一個地交接給三次加工品搬送裝置90，故不需要設置貯存該三次加工品WK3的貯存手段，可防止裝置的大型化。
如上所述，用以實施本發明的最佳構造、方法等，在前述記載中已揭示，但是，本發明並不限定於此者。亦即，本發明係主要關於特定實施形態特別圖示，且說明，但是，在不脫離本發明的技術思想及目的範圍，對於以上所述的實施形態，於形狀、材質、數量、其他詳細構造中，當業者可施加各種變形。又，限定前述所揭示的形狀、材質等的記載，係為了容易理解本發明所例示性記載者，並不是限定本發明者，所以，避開該等形狀、材質等 的限定的一部分或全部的限定之構件的名稱的記載，也包含於本發明。
例如，處理裝置10係沒有薄片剝離手段60與第3搬送手段70亦可。此時，作為第2搬送手段50從薄片貼附裝置40搬出二次加工品WK2，如圖1中兩點虛線所示般，在所定交接位置將該二次加工品WK一個一個地交接給設置在該處理裝置10的外部的二次加工品搬送裝置100的構造即可。再者，此種二次加工品搬送裝置100係被線性電動機82的第3滑件82C支持，可設為與多關節機器人31相同構造，所以省略詳細說明。
第1搬送手段20係將一次加工品WK1在第1接著薄片AS1成為上方之狀態下載置於薄片貼附台47上亦可。
第1搬送手段20係沒有接收台22及校準裝置23的至少一方亦可，在沒有接收台22時，從一次加工品搬送裝置80在所定接收位置直接接收一次加工品WK1亦可，在沒有校準裝置23時，將在所定接收位置PA接收的一次加工品WK1直接載置於薄片貼附台47上亦可。
接收台22作為台以外的其他裝置等亦可。
第1搬送手段20係除了多關節機器人21以外，採用作為與該多關節機器人21同等之驅動機器的其他多關節機器人亦可。此時，例如與前述實施形態同樣地，利用校準裝置23進行一次加工品WK1的定位之後，第1搬送手段20驅動其他多關節機器人及未圖示的減壓手段，將一次加工品WK1載置於薄片貼附台47上亦可。
第1搬送手段20係包含讓被貼附於一次加工品WK1之第1接著薄片AS1的接著力降低的紫外線照射裝置或紅外線照射裝置等的接著力降低手段亦可。此時，第1搬送手段20係先進行一次加工品WK1的定位，與第1接著薄片AS1之接著力的降低中任一者亦可。又，校準裝置23、接著力降低手段及薄片貼附台47間之一次加工品WK1的移動，係多關節機器人21與前述其他多關節機器人中任一者進行亦可。
第1搬送手段20係作為利用機械式夾頭或夾頭油壓缸等的夾頭手段、利用庫侖力、接著劑、黏著劑、磁力、伯努利吸附、驅動機器等來保持一次加工品WK1(被搬送物)的構造亦可，框架搬送手段30、第2搬送手段50、一次、二次、三次加工品搬送裝置80、100、90等也作為利用相同構造，保持被搬送物的構造亦可。
框架搬送手段30係在一次加工品WK1被載置於薄片貼附台47上之前，於該薄片貼附台47上的所定位置載置環形框RF亦可。
框架搬送手段30係在所定框架接收位置從設置於該處理裝置10的外部之未圖示的框架構件搬送裝置，一次複數個或一個一個地接收環形框RF亦可。此種框架構件搬送裝置可設為與三次加工品搬送裝置90相同的構造。
薄片貼附手段40係先固定薄片貼附台47的位置，使其他構件移動，或使薄片貼附台47及其他構件雙方移動，來貼附第2接著薄片AS2亦可。
薄片貼附台47係作為利用機械式夾頭或夾頭油壓缸等的夾頭手段、利用庫侖力、接著劑、黏著劑、磁力、伯努利吸附、驅動機器等來支持框架構件及黏著體(被搬送物)的構造亦可，薄片剝離台68也作為利用相同構造，支持被搬送物的構造亦可。
薄片貼附手段40係利用在暫時貼附於帶狀的剝離薄片RL之帶狀的接著薄片基材，形成閉環狀的切口，送出該切口的內側是第2接著薄片AS2，外側是不需要之薄片的原始件亦可。
薄片貼附手段40係在帶狀的接著薄片基材採用被暫時貼附於帶狀的剝離薄片RL上的原始件時，藉由切斷刀刃、雷射切割機、熱切割機、空氣切割機、壓縮水切割機等的切斷手段，於接著薄片基材形成閉環狀的切口，以該切口的內側成為第2接著薄片AS2之方式對該原始件進行加工亦可。
薄片貼附手段40係將帶狀的接著薄片基材貼附於環形框RF及晶圓WF之後，以與前述相同的切斷手段將該接著薄片基材切斷成所定形狀亦可。
剝離構件係以圓桿或滾筒等構成亦可。
按壓手段可採用圓桿、葉片材、橡膠、樹脂、海棉等所致之按壓構件，也可採用藉由空氣噴吹來按壓第2接著薄片AS2的構造。
第2搬送手段50係以不同於框架搬送手段30者來構成亦可。
薄片剝離手段60係在利用薄片貼附手段40將第2接著薄片AS2貼附於第1接著薄片AS1而形成二次加工品時，取消動作亦可。此時，第2搬送手段50(框架搬送手段30)將二次加工品載置於薄片剝離台68上時，第3搬送手段70(薄片剝離手段60)使薄片剝離台68位於所定交接位置DP亦可，將第2搬送手段50(框架搬送手段30)所吸附保持的二次加工品，直接搬送至所定交接位置DP亦可。
薄片剝離手段60可採用利用機械式夾頭或夾頭油壓缸等的夾頭手段、利用庫侖力、接著劑、黏著劑、磁力、伯努利吸附、驅動機器等來保持剝離用膠帶PT的構造，來代替吸引手段64或與吸引手段64併用。
薄片剝離手段60可採用葉片材、橡膠、樹脂、海棉、空氣的噴吹等所致之按壓構件，來代替按壓構件65或與按壓構件65併用，在剝離用膠帶PT是壓感接著性者時，有加熱手段65C亦可，沒有亦可。
薄片剝離手段60係先固定薄片剝離台68，使其他構件移動，或使薄片剝離台68與其他構件雙方移動，來剝離第1接著薄片AS1亦可。
薄片剝離手段60也可採用雷射切割機、熱切割機、空氣切割機、壓縮水切割機等其他構造，來代替切斷刀刃66或與切斷刀刃66併用。
薄片剝離手段60係作為剝離用膠帶PT，採用壓感接著性、熱感接著性等的接著形態者亦可，在採用壓感接著 性者時，有加熱手段65C亦可，沒有亦可。
第3搬送手段係如圖1中兩點虛線所示般，作為與多關節機器人31同等之構造的第3搬送手段70A亦可。此時，線性電動機68A及薄片剝離台68並不具有作為第3搬送手段70的功能，第3搬送手段70A可在所定位置從薄片剝離台68接收利用薄片剝離手段60形成的三次加工品WK3，並使該三次加工品WK3位於交接位置DP。
第1、第2、第3搬送手段及框架搬送手段20、50、70、70A、30以相同構造的複數裝置構成亦可，以不同構造的複數裝置構成亦可，以1體的裝置構成亦可，在以相同構造或不同構造之複數裝置構成時，該等裝置以1體的裝置構成任一種複數亦可。
一次、二次、三次加工品搬送裝置80、100、90及未圖示的框架構件搬送裝置以相同構造的複數裝置構成亦可，以不同構造的複數裝置構成亦可，以1體的裝置構成亦可，在以相同構造或不同構造之複數裝置構成時，該等裝置以1體的裝置構成任兩個亦可。
一次、二次、三次加工品搬送裝置80、100、90係不被線性電動機82的第1滑件82A、第三滑件82C及第2滑件82B支持亦可，分別被獨立之線性電動機的各滑件支持亦可。
一次、二次、三次加工品搬送裝置80、100、90例如皮帶輸送機、滾筒輸送機、驅動機器之外，作為對晶圓WF進行加工的研磨機、切割機、研磨裝置亦可，作為塗 裝裝置、印刷裝置、檢查裝置、表面處理裝置、曝光裝置、攝像裝置、化學處理裝置等亦可，作為構成該等裝置的構件等亦可，並未有任何限定。
框架構件係除了環形框RF以外，作為圓形、橢圓形、三角形以上的多角形、不是環狀者等其他形狀亦可。
又，第1、第2接著薄片AS1、AS2及黏著體的材質、種別、形狀等並未特別限定。例如，第1、第2接著薄片AS1、AS2作為圓形、橢圓形、三角形及四角形的多角形、其他形狀亦可，作為壓感接著性、熱感接著性等的接著形態者亦可，在採用熱感接著性的第1、第2接著薄片AS1、AS2時，利用設置加熱該第1、第2接著薄片AS1、AS2之適切的盤管加熱器或熱管等之加熱側等的加熱手段的適切方法來接著即可。又，此種第1、第2接著薄片AS1、AS2係作為例如僅接著劑層的單層者、基材薄片與接著劑層之間具有中間層者、於基材薄片的上面具有覆蓋層等3層以上者、進而，可從接著劑層剝離基材薄片之所謂兩面接著薄片者亦可，兩面接著薄片作為具有單層或複層的中間層者，及無中間層的單層或複層者亦可。又，作為黏著體，例如食品、樹脂容器、矽半導體晶圓及化合物半導體晶圓等的半導體晶圓、電路基板、光碟等的資訊記錄基板、玻璃板、鋼板、陶器、木板或樹脂板等，任意形態的構件及物品等也可作為對象。再者，將第1、第2接著薄片AS1、AS2換成功能性、用途性的觀點，例如可將資訊記載用標籤、裝飾用標籤、保護薄片、切割膠 帶、晶圓黏結薄膜(die attach film)、晶圓接合膠帶、記錄層形成樹脂薄片等之任意形狀的任意薄片、薄膜、膠帶等，貼附於如前述之任意黏著體。
本發明之手段及工程，係只要可達成已針對該等手段及工程說明的動作、功能或工程，並無任何限定，況且，前述實施形態中所示僅單為一實施形態的構造物及工程完全沒有限定。例如，薄片貼附手段只要是可將第2接著薄片貼附於被載置於薄片貼附台上的一次加工品及框架構件者的話，對照申請時的技術常識，只要是該技術範圍內者，並無任何限定(省略關於其他手段及工程的說明)。
又，前述實施形態之驅動機器，可採用旋轉電動機、直線電動機、線性電動機、單軸機器人、多關節機器人等的電動機器、空氣汽缸、油壓缸、無桿氣壓缸及旋轉缸等的致動器等之外，也可採用直接或間接組合該等者(有與實施形態所例示重複者)。
10‧‧‧處理裝置
20‧‧‧第1搬送手段
21‧‧‧多關節機器人
21A‧‧‧前端機械臂
21B‧‧‧保持構件
22‧‧‧接收台
22A‧‧‧上面
23‧‧‧校準裝置
30‧‧‧框架搬送手段
31‧‧‧多關節機器人
31A‧‧‧前端機械臂
31B‧‧‧吸附墊
31C‧‧‧保持構件
32‧‧‧框架收容手段
40‧‧‧薄片貼附手段
47‧‧‧薄片貼附台
47A‧‧‧線性電動機
47C‧‧‧支持面
50‧‧‧第2搬送手段
60‧‧‧薄片剝離手段
68‧‧‧薄片剝離台
68A‧‧‧線性電動機
68C‧‧‧支持面
70‧‧‧第3搬送手段
70A‧‧‧第3搬送手段
80‧‧‧一次加工品搬送裝置
81‧‧‧多關節機器人
81B‧‧‧保持構件
82‧‧‧線性電動機
82A‧‧‧第1滑件
82B‧‧‧第2滑件
82C‧‧‧第3滑件
90‧‧‧三次加工品搬送裝置
91‧‧‧多關節機器人
91C‧‧‧保持構件
100‧‧‧二次加工品搬送裝置
AS1‧‧‧第1接著薄片
AS2‧‧‧第2接著薄片
DP‧‧‧交接位置
PA‧‧‧接收位置
RF‧‧‧環形框
RF1‧‧‧開口部
WF‧‧‧晶圓
WK1‧‧‧一次加工品
WK2‧‧‧二次加工品
WK3‧‧‧三次加工品

Claims (3)

  1. 一種處理裝置，係於第1接著薄片被貼附於黏著體之一方的面的一次加工品，貼附第2接著薄片的處理裝置，其特徵為：具備：第1搬送手段，係將前述一次加工品載置於薄片貼附台上；框架搬送手段，係使前述一次加工品位於具有開口部的框架構件的該開口部內，將該框架構件載置於前述薄片貼附台上；薄片貼附手段，係於被載置於前述薄片貼附台上的前述一次加工品及框架構件，貼附前述第2接著薄片而形成二次加工品；及第2搬送手段，係從前述薄片貼附手段搬出前述二次加工品；前述第2搬送手段，係在所定交接位置將該二次加工品，一個一個地交接給設置於該處理裝置的外部的二次加工品搬送裝置。
  2. 一種處理裝置，係於第1接著薄片被貼附於黏著體之一方的面的一次加工品，貼附第2接著薄片的處理裝置，其特徵為：具備：第1搬送手段，係將前述一次加工品載置於薄片貼附台上； 框架搬送手段，係使前述一次加工品位於具有開口部的框架構件的該開口部內，將該框架構件載置於前述薄片貼附台上；薄片貼附手段，係於被載置於前述薄片貼附台上的前述一次加工品及框架構件，貼附前述第2接著薄片而形成二次加工品；第2搬送手段，係將前述二次加工品載置於薄片剝離台上；薄片剝離手段，係於被載置於前述薄片剝離台上的二次加工品之前述第1接著薄片，貼附剝離用膠帶，透過該剝離用膠帶從前述黏著體剝離該第1接著薄片而形成三次加工品；及第3搬送手段，係從前述薄片剝離手段搬出前述三次加工品；前述第3搬送手段，係在所定交接位置將該三次加工品，一個一個地交接給設置於該處理裝置的外部的三次加工品搬送裝置。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載之處理裝置，其中，前述第1搬送手段，係從設置於該處理裝置的外部的一次加工品搬送裝置，在所定接收位置一個一個地接收該一次加工品。
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