JP6438795B2 - シート剥離装置および剥離方法 - Google Patents
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Description
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1に示す状態のシート剥離装置10に対し、作業者またはベルトコンベア等の図示しない移送手段が、接着シートASが上側となるように一体物WKを支持面51A、52A上の所定位置に載置する。次に、一体物保持手段50が図示しない減圧手段を駆動し、支持面51A、52AでリングフレームRFおよびウエハWFを吸着保持する。
切断手段20は、切断刃23のかわりにレーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の他の構成のものを採用してもよい。
切断手段20は、搬送手段30でリングフレームRFを保持した状態で、接着シートASに切込CUを形成してもよい。
切断手段20は、基準線SL1に対してウエハWF側の切込CU部分をウエハWFの外形形状に合わせることなく、例えば、多角形や楕円形としたり、その他の形状となるように切込CUを形成してもよい。
切断手段20は、一端CU1と他端CU2とがX軸方向にずれた切込CUを形成してもよい。
切込CUは、リングフレームRFとウエハWFとを相対移動させたときに、ウエハWFに貼付された接着シートAS部分が基準線SL1に対してウエハWFから離間する側でリングフレームRFに繋がった状態となっていればよいので、切断手段20は、例えば、切取線のような断続的な(部分的に繋がった)切込CUを形成してもよい。
搬送手段30は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力等でリングフレームRFを保持する構成でもよい。
シート挟込手段35は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段や、エアの噴き付けにより接着シートASをリングフレームRFとで挟み込んでもよいし、なくてもよい。
シート挟込手段35がリングフレームRFとで接着シートASを挟み込む位置は、いずれの位置でもよく、1箇所でもよいし複数個所でもよい。
搬送手段30は、切込CUを形成するときにシート挟込手段35で接着シートASをリングフレームRFとで挟み込んでいてもよい。
搬送手段30は、吸着パッド34の位置を固定しておき外側テーブル51を移動させて、または、吸着パッド34と外側テーブル51との両方を移動させてリングフレームRFを図示しない所定のフレーム回収位置に搬送する構成でもよい。
一体物保持手段50は、他の装置や人手でウエハWFを保持する場合、なくてもよい。
被着体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
フレームは、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)フレームや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 切断手段
30 搬送手段
35 シート挟込手段
AS 接着シート
CU 切込
CU1 一端
CU2 他端
RF リングフレーム(フレーム)
SL 直交線
SL1 基準線
TD 搬送方向
WF ウエハ(被着体)
WF1 剥離開始端縁
WK 一体物
Claims (3)
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートにより、フレームと一体化された一体物における当該被着体から、前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記接着シートに所定形状の切込を形成する切断手段と、
前記フレームと被着体とを所定の搬送方向に相対移動させ、当該被着体から前記接着シートを剥離しつつ、当該フレームを所定のフレーム回収位置に搬送する搬送手段とを備え、
前記切断手段は、前記被着体の外部から前記搬送方向に直交する直交線が当該搬送方向に移動したときに、当該直交線が前記接着シートと前記被着体とが隣接している位置に最初に当接する位置を前記接着シートの剥離開始端縁とし、当該剥離開始端縁を通り前記直交線と平行な基準線に対して前記被着体から離間する側に一端と他端とを有し、当該基準線に対して前記被着体側で当該被着体を囲うように連なった切込を形成することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記搬送手段は、前記フレームとで前記接着シートを挟み込むシート挟込手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートにより、フレームと一体化された一体物における当該被着体から、前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記接着シートに所定形状の切込を形成する切断工程と、
前記フレームと被着体とを所定の搬送方向に相対移動させ、当該被着体から前記接着シートを剥離しつつ、当該フレームを所定のフレーム回収位置に搬送する工程とを備え、
前記接着シートは、前記被着体の外部から前記搬送方向に直交する直交線が当該搬送方向に移動したときに、当該直交線が前記接着シートと前記被着体とが隣接している位置に最初に当接する位置が剥離開始端縁とされ、
前記切断工程では、前記剥離開始端縁を通り前記直交線と平行な基準線に対して前記被着体から離間する側に一端と他端とを有し、当該基準線に対して前記被着体側で当該被着体を囲うように連なった切込を形成することを特徴とするシート剥離方法。
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JP2015032220A JP6438795B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート剥離装置および剥離方法 |
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JP2015032220A JP6438795B2 (ja) | 2015-02-20 | 2015-02-20 | シート剥離装置および剥離方法 |
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2015
- 2015-02-20 JP JP2015032220A patent/JP6438795B2/ja active Active
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