JP2016081973A - 離間装置および離間方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】離間装置10は、フレームRFを支持する支持手段20と、接着シートASを介して板状部材WFを支持する離間テーブル30と、支持手段20および離間テーブル30を相対移動させて接着シートASに張力を付与する張力付与手段40と、接着シートASにおける板状部材WFが貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートASの外縁方向に延びて、包囲領域に対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成することで離間用接着シートAUを形成可能な切断手段50とを備えている。
【選択図】図1
Description
また、本発明の離間装置では、前記切断手段は、前記各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びる切込からなる不干渉切込を形成可能に構成されていることが好ましい。
なお、本実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって図1中紙面に直交する手前方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、図1中実線で示すように、各部材が初期位置で待機する離間装置10に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物WKを搬送し、図2(A)に示すように、リングフレームRFを支持部材21の溝21Aに挿通させて退避する。このとき、光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段と、一体物WKを移動可能な図示しない位置決め手段とが共動し、ウエハWFと離間テーブル30の上面31Aとの位置決めを行う。次いで、離間テーブル30が直動モータ33を駆動し、内側テーブル32を上昇させて支持面32Aを接着シートASの下面に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、接着シートASを吸着保持する。
ここで、接着シートASに不干渉切込CUが形成されていない場合、被着体貼付領域AWには、上記4方向に加え、これらの合成方向にも張力が付与される。このため、各チップCPは、図2(D)に示すように、内側のチップCPの間隔と外側のチップCPとの間隔に違いが生じ、各チップCPを理論上の位置に配置することができない。
これに対し、本実施形態では、図2(C)に示すように、接着シートASに不干渉切込CUを形成して離間用接着シートAUを形成するため、包囲領域ACに対して4方向に張力を付与したときに、当該包囲領域ACに対してそれらの合成方向に張力が付与されることを極力抑制することができ、各チップCPを理論上の位置に配置することができる。
離間テーブル30、30A、30B、30Cに、内側テーブル32が設けられていてもよいし、内側テーブル32および凹部31Bが設けられていなくてもよい。内側テーブル32が設けられている場合、内側テーブル32の支持面32Aの形状は、被着体貼付領域AW、AW1より大きくてもよいし、小さくてもよいし、同じであってもよい。
内側テーブル32は、接着シートASの全域を吸着保持可能としてもよく、この場合、支持面32Aの面内にカッター刃52の通過を許容する溝を設けるとよい。これにより、不干渉切込CUの形成時に接着シートASが上下に揺れて不干渉切込CUを適切に形成できなくなることをより確実に防止することができる。
切断手段50は、図7(A)に示すように、四角形の包囲領域ACの各頂部APからそれぞれ接着シートの外縁方向に延びるスリット状の切込からなる不干渉切込CU3を形成し、包囲領域AC1に張力を付与する4つの引張領域AL3と、フレーム貼付領域AFとを備える離間用接着シートAU3を形成してもよい。
切断手段50は、不干渉切込CU、CU1、CU2を構成する各辺や、不干渉切込CU3を曲線状や折線状等の切込で形成してもよい。
切断手段50は、カッター刃52の代わりにレーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の他の構成のものを採用してもよい。
切断手段50は、包囲領域ACの各頂部APからそれぞれ接着シートASの外縁方向に延びる2つの辺CSのみを形成し、リングフレームRFの内縁に沿う円弧部を切断することなく不干渉切込CUを形成してもよい。
切断手段50は、リングフレームRFの下面に貼付された接着シートAS部分をも切断し、フレーム貼付領域AFのない離間用接着シートAUを形成してもよい。
包囲領域の形状は、離間テーブルの上面の形状と相似関係にある形状でもよいし、相似関係にない形状でもよし、被着体貼付領域と相似関係にある形状でもよいし、相似関係にない形状でもよく、被着体貼付領域を囲む多角形の形状であればなんら限定されることはなく、被着体貼付領域に対して張力を付与する方向と数によってその形状を決定することができる。
板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形等、その他の形状であってもよい。
フレームは、リングフレーム以外に、環状でない(外周が繋がっていない)フレームや、円形以外に三角形や四角形等の多角形や楕円形でもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20…支持手段
30、30A、30B、30C…離間テーブル
40…直動モータ(張力付与手段)
50…切断手段
AC、AC1、AC2…包囲領域
AP…頂部
AS…接着シート
AU、AU1、AU2、AU3…離間用接着シート
AW、AW1…被着体貼付領域
CP…チップ(片状体)
CS…辺
CU、CU1、CU2、CU3…不干渉切込
RF…リングフレーム(フレーム)
WF…ウエハ(板状部材)
Claims (4)
- フレームに貼付された接着シート上の板状部材に少なくとも3方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間装置であって、
前記フレームを支持する支持手段と、
前記接着シートを介して前記板状部材を支持する離間テーブルと、
前記支持手段および前記離間テーブルを相対移動させて前記接着シートに張力を付与する張力付与手段と、
前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びて、当該包囲領域に対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成可能な切断手段とを備えていることを特徴とする離間装置。 - 前記切断手段は、前記各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びる2つの辺を有する不干渉切込を形成可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の離間装置。
- 前記切断手段は、前記各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びる切込からなる不干渉切込を形成可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の離間装置。
- フレームに貼付された接着シート上の板状部材に少なくとも3方向の張力を付与して、前記板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間方法であって、
支持手段で前記フレームを支持する工程と、
前記接着シートにおける前記板状部材が貼付された被着体貼付領域を囲む多角形の包囲領域の各頂部からそれぞれ接着シートの外縁方向に延びて、前記包囲領域に対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込を形成して離間用接着シートを形成する工程と、
前記離間用接着シートを介して前記板状部材を支持する離間テーブルおよび前記支持手段を相対移動させて前記接着シートに張力を付与することで、複数の片状体の相互間隔を広げる工程とを備えていることを特徴とする離間方法。
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JP2014209407A JP2016081973A (ja) | 2014-10-10 | 2014-10-10 | 離間装置および離間方法 |
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2014
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