TWI769220B - 離間裝置及離間方法 - Google Patents
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Abstract
本發明之課題在於可以將相互間隔被擴大之被黏接體群全體定位於指定的位置。 本發明之解決手段為一種離間裝置，係具備：在一方之面(AS1)與另一方之面(AS2)之至少一方、保持被黏貼複數被黏接體(CP)或被分割而成複數的被黏接體(CP)之黏接片(AS)的端部之複數保持手段(20)，與使保持黏接片(AS)的端部之保持手段(20)相對移動、對黏接片(AS)賦予張力使被黏接體(CP)的相互間隔擴大之離間手段(30)；具備：可以將相互間隔被擴大的被黏接體(CP)群全體當作一塊辨識之檢知手段(40)，與以檢知手段(40)的檢知結果作為基礎，進行一塊的被黏接體(CP)群全體的位置與方位的至少一方之定位之定位手段(50)。
Description
本發明係有關離間裝置及離間方法。
從前，已知將黏貼在黏接片的複數被黏接體的相互間隔擴大之離間裝置(例如，參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2016-127124號公報
[發明所欲解決之課題]
然而，於專利文獻1記載之類的從前的離間裝置，由於各個黏接片的特性、特質、性質、材質、組成、構成、形狀、尺寸及重量、或環境氛圍的條件、或其他因素等之差異，導致相互間隔被擴大的片狀體(被黏接體)群全體並未安定在指定的位置，例如，發生或將相互間隔被擴大的被黏接體以拾取裝置拾取之場合，引起該拾取裝置位置偏離而無法拾取，或將相互間隔被擴大的被黏接體群全體轉移至其他物之場合，引起位置偏離而被轉移之不便情形。
本發明之目的，係提供一種可以將相互間隔被擴大之被黏接體群全體定位於指定的位置之離間裝置及離間方法。 [供解決課題之手段]
本發明係採用申請專利範圍所記載之構成。 [發明之效果]
根據本發明，可以將相互間隔被擴大之被黏接體群全體定位於指定的位置。
以下，根據圖式說明本發明之實施形態。 又，本實施形態之X軸、Y軸、Z軸係具有每個都正交的關係，X軸及Y軸係設為指定平面內之軸，Z軸則設為正交於前述指定平面之軸。再者，於本實施形態，係以從與Y軸平行的箭頭BD方向來看之場合作為基準，未舉出基準的圖而顯示方向之場合，設定「上」為Z軸的箭頭方向而「下」為其逆方向，「左」為X軸的箭頭方向而「右」為其逆方向，「前」為Y軸的箭頭方向而「後」為其逆方向。
本發明之離間裝置10，係具備：在一方之面AS1保持被黏貼複數被黏接體CP之黏接片AS的端部之複數保持手段20，使保持黏接片AS的端部之保持手段20相對移動、對黏接片AS賦予張力使被黏接體CP的相互間隔擴大之離間手段30，可以將相互間隔被擴大的被黏接體CP群全體當作一塊辨識之檢知手段40，與以檢知手段40的檢知結果作為基礎，進行一塊的被黏接體CP群全體之位置與方位雙方之定位之定位手段50。
保持手段20，係具備被支撐在離間手段30之作為驅動機器之回動馬達21、與被支撐在其輸出軸21A之上保持構件22。
離間手段30，係具備作為驅動機器之線性馬達31，與被支撐在其滑件31A、於上面側支撐回動馬達21之下保持構件32。
檢知手段40，係具備攝影機或投影機等攝影手段、光學感測器或音波感測器等各種感測器等之檢知機器41，可以檢知被黏接體CP的相互間隔或各被黏接體CP全體的集合形狀等。
定位手段50，係具備：具備朝Y軸方向移動的滑件51A之作為驅動機器之線性馬達51，被支撐在滑件51A、具備朝X軸方向移動的滑件52A之作為驅動機器之線性馬達52，被支撐在滑件52A、具備以Z軸為中心旋轉的輸出軸53A之作為驅動機器之回動馬達53，與被支撐在輸出軸53A、於上方支撐離間手段30之基表54。
說明上述之離間裝置10的動作。 首先，對於各構件於圖1(A)、(B)中實線所示的初期位置待機之離間裝置10，該離間裝置10之使用者(以下，簡稱「使用者」)透過操作面板或個人電腦等未圖示的操作手段而將自動運轉開始之訊號輸入。之後，在作業者、或者未圖示之搬送手段將被黏貼複數被黏接體CP的黏接片AS載置於下保持構件32上時，保持手段20則驅動各回動馬達21，如圖1(B)中二點虛線所示，以上保持構件22與下保持構件32保持黏接片AS的端部。
其次，離間手段30驅動各線性馬達31，如圖2(A)所示，使保持手段20相互離間，對黏接片AS賦予張力並將被黏接體CP的相互間隔擴大。此時，各被黏接體CP，有因黏接片AS的變形等，而使相互間隔未擴大到指定的間隔之情形。於是，檢知手段40驅動檢知機器，檢知各被黏接體CP的相互間隔或各被黏接體CP的全體集合形狀等。其次，以檢知手段40之檢知結果為基礎，離間手段30驅動各線性馬達31，如圖2(B)所示，以各被黏接體CP的相互間隔成為指定間隔之方式，或者，以使各被黏接體CP的全體集合形狀相對於基礎的全體集合形狀成為相似關係之方式，使各保持手段20個別地移動。藉此，各被黏接體CP，其全體集合形狀成為指定的集合形狀。
當各被黏接體CP的全體集合形狀成為指定的集合形狀時，檢知手段40則驅動檢知機器41，如圖2(B)中二點虛線所示，將被黏接體CP群全體當作形成一塊的方形區域SE來辨識。在辨識結束時，檢知手段40，求出在連結方形區域SE的角部C1與C2之線分L1的中心正交於該線分L1之第1中心線CL1，與在連結方形區域SE的角部C1與C3之線分L2的中心正交於該線分L2之第2中心線CL2之交點，將該交點當作方形區域SE的中心SC辨識之後，求出第1中心線CL1與Y軸之傾斜度θ1。
之後，藉由定位手段50驅動回動馬達53，以消除傾斜度θ1之方式，使基表54朝傾斜度θ1分反時針旋轉方向旋轉，設線分L1與X軸平行(線分L2與Y軸平行)，進行一塊的被黏接體CP群全體(方形區域SE)的方位之定位。其次，藉由定位手段50驅動線性馬達51、52，使方形區域SE的中心SC一致於該離間裝置10的中心AC，如圖2(C)所示，進行一塊的被黏接體CP群全體(方形區域SE)的位置之定位。
然後，作為黏接片AS而採用藉由賦予紫外線、X光或紅外線等指定能量使其黏接力降低者之場合，可以賦予該指定能量的未圖示的賦予能量手段對黏接片AS賦予指定的能量，使黏接片AS對被黏接體CP的黏接力降低。其次，拾取裝置或搬送裝置等未圖示的被黏接體取出手段係將各被黏接體CP加以保持，且從黏接片AS拆卸而搬送到別的程序。然後，當全部被黏接體CP或指定量的被黏接體CP被從黏接片AS拆卸時，各手段則驅動各自的驅動機器，使各構件復歸到初期位置後，作業者或、未圖示的搬送手段將殘留在下保持構件32上的黏接片AS摘除，以下反覆進行上述同樣的動作。
根據以上之類的離間裝置10，可以將相互間隔被擴大之被黏接體CP群全體定位在指定的位置。
本發明之手段及程序，只要可以實現針對該等手段及程序說明之動作、功能或程序則並未限定，更不以前述實施形態所示之單一實施形態的構成物或程序為任何限定。例如，檢知手段，只要可以將相互間隔被擴大的前述被黏接體群全體當作一塊辨識，對照於申請案當初的技術常識、在其技術範圍內者則並未限定(其他的手段及程序亦同)。
本發明之離間裝置，也可以如圖3(A)所示，作成具備：保持手段20，於黏接片AS之比起被黏貼複數被黏接體CP的被黏接體黏接領域CE更加外側之、保持手段20保持的保持領域HE的內側抵接在該黏接片AS之抵接手段60，使保持黏接片AS的端部之保持手段20及抵接手段60相對移動、對黏接片AS賦予張力並使被黏接體CP的相互間隔擴大之離間手段30A，檢知手段40，與定位手段50之離間裝置10A。 又，在離間裝置10A，以與離間裝置10同等的構成具有同等的功能者，附上與該離間裝置10相同圖號並省略其構成說明、簡略化動作說明。
抵接手段60，係具備被支撐在定位手段50的基表54上之圓筒狀的抵接構件61。 離間手段30A，係具備被支撐在基表54上之作為驅動機器之直動馬達33，與被支撐在其輸出軸33A、於上面側支撐回動馬達21之下保持構件34。
此類之離間裝置10A，與離間裝置10同樣作法，在將被黏貼複數被黏接體CP的黏接片AS載置於下保持構件34上時，保持手段20則驅動回動馬達21，如圖3(A)中二點虛線所示，以上保持構件22與下保持構件34保持黏接片AS的端部。又，在黏接片AS的端部，如圖3所示，黏貼環狀的框架RF，但該框架RF沒有亦可。其次，離間手段30A驅動直動馬達33，使保持手段20下降並使保持手段20及抵接手段60相對移動，如圖3(B)所示，將被黏接體CP的相互間隔擴大。之後，與離間裝置10同樣作法，以檢知手段40的檢知結果作為基礎，定位手段50則驅動回動馬達53及線性馬達51、52，進行相互間隔形成指定間隔之被黏接體CP群全體之定位。然後，在利用未圖示的被黏接體取出手段，將被黏接體CP從黏接片AS拆卸時，各手段驅動各自的驅動機器，使各構件復歸到初期位置後，將殘留在下保持構件34上的黏接片AS拆卸，以下反覆進行上述同樣的動作。
即使利用此類之離間裝置10A，也能得到與離間裝置10同樣的效果。
保持手段20，可以是在另一方之面AS2、或一方之面AS1及另一方之面AS2雙方之面保持被黏貼複數被黏接體CP之黏接片AS的端部之構成，抑或以機械式夾頭或夾持筒等抓持手段、庫侖力、接著劑、黏著劑、磁力、白努利(Bernoulli)吸附、驅動機器等保持黏接片AS的端部之構成。 保持手段20，離間裝置10之場合，例如，可以形成以往右方移動的該保持手段20作成1體、往左方移動的該保持手段20作成1體之2體之構成，例如，抑或以形成往右方、左方及其他方向移動的3體以上之構成。 保持手段20，離間裝置10A之場合，可以是1體或2體以上。
離間手段30、30A並非複數而是單數亦可，該場合，例如，離間裝置10，係作成以1體的線性馬達的2個滑件，分別一體一體支撐保持手段20，將被黏接體CP的相互間隔擴大之構成，抑或將被黏接體CP的相互間隔僅於1軸方向(例如，X軸方向或Y軸方向等)擴大之構成。 離間手段30，可以是將相互間隔朝3軸以上的方向(例如，X軸方向、Y軸方向及其他軸方向)擴大之構成，例如，作成使朝X軸方向移動之複數保持手段20分別朝Y軸方向移動之構成(使朝Y軸方向移動之複數保持手段20分別朝X軸方向移動之構成)，可以將被黏接體CP的相互間隔擴大，抑或無法動作使被黏接體CP的相互間隔成為指定間隔之構成。 離間手段30A，亦可藉由停止或移動保持手段20、且移動抵接手段60，而使保持手段20及抵接手段60相對移動，對黏接片AS賦予張力而將被黏接體CP的相互間隔擴大。 離間手段30、30A，亦可作業者操作按鈕或桿等，來驅動線性馬達31、直動馬達33，該場合，例如，構成將依照檢知手段40的檢知結果顯示於監視器或檢出器等顯示器，亦可以根據該顯示器所顯示之檢知結果使被黏接體CP的相互間隔成為指定間隔之方式，或者，以各被黏接體CP全體的集合形狀相對於基礎全體的集合形狀成為相似關係之方式，使作業者驅動線性馬達31、直動馬達33。
檢知手段40，也可以是作業者的目視，例如，可以構成作業者利用目視，操作按鈕或桿等使被黏接體CP的相互間隔成為指定間隔，或者，使各被黏接體CP全體的集合形狀相對於基礎全體的集合形狀成為相似關係，並驅動線性馬達31、51、52、直動馬達33、回動馬達53。
定位手段50，可以僅定位一塊的被黏接體CP群全體的位置，抑或僅定位一塊的被黏接體CP群全體的方位，上述之類的定位之外，例如，也可以是將方型區域SE的對角線的交點辨識為該方型區域SE的中心SC，進行一塊的被黏接體CP群全體(方型區域SE)的位置與方位之至少一方之定位之構成，抑或以方型區域SE的中心SC並不一致於該離間裝置10的中心AC、而是一致於其他指定的基準點之方式，或線分L1或L2並不與X軸或Y軸平行、而與其他指定基準線平行之方式定位。
抵接手段60，除了角筒狀或橢圓筒狀等，亦可採用圓柱、角柱、橢圓柱等其他形狀之抵接構件61。
本發明之黏接片AS及被黏接體CP之材質、種類別、形狀等並未特別限定。例如，黏接片AS、被黏接體CP、一塊的被黏接體CP群全體，可以是圓形、橢圓形、三角形或四角形等多角形，其他形狀亦可；黏接片AS也可以是感壓黏接性、感熱黏接性等黏接形態之物。此外，黏接片AS，例如，可以是只有接著劑層的單層者、在基材與接著劑層之間具有中間層者、在基材的上面具有蓋層等3層以上者，進而，可以將基材從接著劑層剝離之所謂雙面黏接片之類者亦可，這樣的雙面黏接片，可以是具有單層或複層的中間層者、或沒有中間層之單層或複層者。此外，作為被黏接體CP，例如，可以是食品、樹脂容器、矽半導體晶圓或化合物半導體晶圓等之半導體晶圓，半導體晶片、電路基板、光碟等資訊記錄基板、玻璃板、鋼板、陶器、木板或樹脂等單體物，抑或該等2個以上所形成之複合物，能以任意形態的構件或物品等作為對象。又，黏接片AS，也可以換成功能性的、用途性的讀法，例如，資訊記載用標籤、裝飾用標籤、保護片、切割膠帶、裸晶貼膜、晶粒黏著膠帶、記錄層形成樹脂片等任意片、薄膜、膠帶等；黏接片AS，也可以並不藉由被賦予紫外線、X光或紅外線等指定能量而使其黏接力降低之物。 被黏接體CP，可以是預先在黏接片AS上複數存在者，抑或在利用離間手段30、30A、其他機構或人手等賦予外力之時點而被分割成複數，在黏接片AS上複數存在之類的被分割而成為複數者。作為此類之被分割而成為複數之被黏接體CP，例如，對半導體晶圓或基板等照射雷射，先在該半導體晶圓或基板等形成線狀或格子狀等脆弱的脆弱層，或在對黏接片AS賦予張力、或在對半導體晶圓或基板等直接或間接地賦予外力之時點而個片化，成為複數被黏接體CP者，或例如，以切割刃切入樹脂或玻璃板等，先在該樹脂或玻璃板等形成沒有貫通於線狀或格子狀等的表背之切入或排孔等之切斷預定線，或在對黏接片AS賦予張力、或在對樹脂或玻璃板等直接或間接地賦予外力之時點加以個片化，形成複數被黏接體CP等，並無任何限定。
前述實施形態之驅動機器，可以採用回動馬達、直動馬達、線性馬達、單軸機器手臂、多關節機器手臂等之電動機器、空氣壓缸、油壓缸、無桿汽缸及回轉式汽缸等致動器等之外，也可以採用直接或間接地組合該等之驅動機器。
10、10A‧‧‧離間裝置20‧‧‧保持手段30、30A‧‧‧離間手段40‧‧‧檢知手段50‧‧‧定位手段60‧‧‧抵接手段AS‧‧‧黏接片AS1‧‧‧一方之面AS2‧‧‧另一方之面CE‧‧‧被黏接體黏接領域CP‧‧‧被黏接體HE‧‧‧保持領域
圖1(A)係關於本發明之實施形態之離間裝置之平面圖。(B)係(A)之側面圖。 圖2(A)～(C)係關於本發明之實施形態之離間裝置之動作說明圖。 圖3(A)、(B)係本發明之其他例之說明圖。
10‧‧‧離間裝置
20‧‧‧保持手段
21‧‧‧回動馬達
21A‧‧‧輸出軸
22‧‧‧上保持構件
30‧‧‧離間手段
31‧‧‧線性馬達
31A、51A、52A‧‧‧滑件
32‧‧‧下保持構件
40‧‧‧檢知手段
41‧‧‧檢知機器
50‧‧‧定位手段
51、52‧‧‧線性馬達
53‧‧‧回動馬達
53A‧‧‧輸出軸
54‧‧‧基表
AC‧‧‧中心
AS‧‧‧黏接片
AS1‧‧‧一方之面
AS2‧‧‧另一方之面
CP‧‧‧被黏接體
Claims (4)
- 一種離間裝置，其特徵係具備：在一方之面與另一方之面之至少一方、保持被黏貼複數被黏接體或被分割而成複數的被黏接體之黏接片的端部之複數保持手段，使保持前述黏接片的端部之前述保持手段相對移動、對前述黏接片賦予張力使前述被黏接體的相互間隔擴大之離間手段，與可以將相互間隔被擴大的前述被黏接體群全體當作一塊辨識之檢知手段；前述離間手段，以前述檢知手段之檢知結果為基礎，以使各被黏接體的全體集合形狀相對於基礎的全體集合形狀成為相似關係之方式，使各保持手段移動，該各被黏接體的全體集合形狀成為指定的集合形狀，前述檢知手段，將前述指定的集合形狀當作一塊來辨識，具備以前述檢知手段的檢知結果作為基礎，進行前述一塊的被黏接體群全體的位置與方位的至少一方之定位之定位手段。
- 一種離間裝置，其特徵係具備：在一方之面與另一方之面之至少一方、保持被黏貼複數被黏接體或被分割而成複數的被黏接體之黏接片的端部 之保持手段，在比起前述黏接片的被黏貼前述複數被黏接體之被黏接體黏接領域更加外側之、前述保持手段保持之保持領域的內側抵接在該黏接片之抵接手段，使保持前述黏接片的端部之前述保持手段及抵接手段相對移動、對前述黏接片賦予張力使前述被黏接體的相互間隔擴大之離間手段，與可以將相互間隔被擴大的前述被黏接體群全體當作一塊辨識之檢知手段；前述離間手段，以前述檢知手段之檢知結果為基礎，以使各被黏接體的全體集合形狀相對於基礎的全體集合形狀成為相似關係之方式，使各保持手段移動，該各被黏接體的全體集合形狀成為指定的集合形狀，前述檢知手段，將前述指定的集合形狀當作一塊來辨識，具備以前述檢知手段的檢知結果作為基礎，進行前述一塊的被黏接體群全體的位置與方位的至少一方之定位之定位手段。
- 一種離間方法，其特徵係具有：在一方之面與另一方之面之至少一方、以複數保持手段保持被黏貼複數被黏接體或被分割而成複數的被黏接體之黏接片的端部之保持程序，使保持前述黏接片的端部之前述保持手段相對移動、 對前述黏接片賦予張力使前述被黏接體的相互間隔擴大之離間程序，與可以將相互間隔被擴大的前述被黏接體群全體當作一塊辨識之檢知程序；在前述離間程序，以前述檢知程序之檢知結果為基礎，以使各被黏接體的全體集合形狀相對於基礎的全體集合形狀成為相似關係之方式，使各保持手段移動，該各被黏接體的全體集合形狀成為指定的集合形狀，在前述檢知程序，將前述指定的集合形狀當作一塊來辨識，具有以前述檢知程序的檢知結果作為基礎，進行前述一塊的被黏接體群全體的位置與方位的至少一方之定位之定位程序。
- 一種離間方法，其特徵係具有：在一方之面與另一方之面之至少一方、以保持手段保持被黏貼複數被黏接體或被分割而成複數的被黏接體之黏接片的端部之保持程序，使在比起前述黏接片的被黏貼前述複數被黏接體之被黏接體黏接領域更加外側之、前述保持手段保持之保持領域的內側抵接在該黏接片之抵接手段、及保持前述黏接片的端部之前述保持手段相對移動、對前述黏接片賦予張力使前述被黏接體的相互間隔擴大之離間程序，與可以將相互間隔被擴大的前述被黏接體群全體當作一 塊辨識之檢知程序；在前述離間程序，以前述檢知程序之檢知結果為基礎，以使各被黏接體的全體集合形狀相對於基礎的全體集合形狀成為相似關係之方式，使各保持手段移動，該各被黏接體的全體集合形狀成為指定的集合形狀，在前述檢知程序，將前述指定的集合形狀當作一塊來辨識，具有以前述檢知程序的檢知結果作為基礎，進行前述一塊的被黏接體群全體的位置與方位的至少一方之定位之定位程序。
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