JP5912274B2 - チップ分割離間装置、及びチップ分割離間方法 - Google Patents
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)は上面図、(b)は(a)のA部詳細図、(c)は(a)のA−A断面図である。図1(a)に示すように、円筒状のチップ分割離間装置1aにおいて、ウェハ2はダイシングフィルム3に貼り付けられ、該ダイシングフィルム3は円周方向において均一にフレーム4に挟まれて支持されている。また、チップ分割離間においては、フレーム4は円周上に亘ってフレーム支持手段5に固定されている。
以上、各実施例において詳細に説明したように、本発明のチップ分割離間装置によれば、伸び方に異方性を有するフィルム(ダイシングフィルム)であっても、その伸び方の状態に応じてフィルムのテンションを調整することにより、一様な離間距離でチップを分割し、且つ、DAFテープを用いて一様な間隔でチップを保持することが可能となる。さらに、フィルム上に支持されたウェハが方向ずれを起こすことなく、各チップの切断予定ラインに沿って平行にチップを分割離間することが可能となる。
割離間することができるので、各種の半導体製造装置などに有効に利用することが可能である。
2 ウェハ
2a チップ
3 ダイシングフィルム
4 フレーム
5 フレーム支持手段
5a 支柱
6、6a、6b フィルム面支持機構(フィルム面支持手段)
7 フィルム押圧機構(フィルム押圧手段)、又はフィルム張力調整手段
8 エアシリンダ
9 チップ観察手段
11 DAFテープ(接着テープ)
12 冷却テーブル(冷凍チャックテーブル)
Claims (8)
- 異方性を有するフィルムに貼り付け支持された基板をチップに分割するためのチップ分割離間装置であって、
前記フィルムの外周をフレームに支持させるフレーム支持手段と、
前記フレーム支持手段の内側にあって、分割される前記チップのX方向とY方向に対応して、前記フィルムに加える張力を前記フィルムのX方向とY方向の張力差を解消するように独立して制御するフィルム面支持機構とを備え、
前記フレーム支持手段が、前記フィルム面支持機構に対して相対的に下方へ降下されることによって前記フィルムを伸長させ、前記チップを分割離間させ、
前記フィルム面支持機構は、円周方向において独立した複数の支持機構を備え、該複数の支持機構の相対的な高さを個別に制御して前記フィルムの張力を調整することにより、該フィルムのX方向の伸びとY方向の伸びを独立して制御することを特徴とするチップ分割離間装置。 - フィルムに貼り付け支持された基板をチップに分割するためのチップ分割離間装置であって、
前記フィルムの外周をフレームに支持させるフレーム支持手段と、
前記フレーム支持手段の内側にあって、前記フレームの内部に張られた前記フィルムの面を一定の張力で維持するフィルム面支持機構と、
前記フレーム支持手段と前記フィルム面支持機構との間に介在され、分割される前記チップのX方向とY方向に対応し、円周方向において独立して該フィルムの張力を選択的に調整するフィルム押圧手段と
を備えることを特徴とするチップ分割離間装置。 - フィルムに貼り付け支持された基板をチップに分割するためのチップ分割離間装置であって、
前記フィルムの外周をフレームに支持させるフレーム支持手段と、
前記フレーム支持手段の内側にあって、前記フレームの内部に張られた前記フィルムの面を一定の張力で維持するフィルム面支持機構と、
分割される前記チップのX方向とY方向に対応して、円周方向において独立してフィルムの張力を調整するフィルム張力調整手段と、
分割離間された前記チップのX方向の間隔とY方向の間隔を観察する観察手段とを備え、
前記フィルム張力調整手段は、前記観察手段による前記チップの離間の観察結果に基づいて、X方向、Y方向の少なくとも一方の方向において前記フィルムの張力を調整することを特徴とするチップ分割離間装置。 - フィルム上に貼り付けられた接着テープの表面に貼り付け支持された基板をチップに分割するためのチップ分割離間装置であって、
前記フィルムの外周をフレームに支持させるフレーム支持手段と、
前記フレーム支持手段の内側にあって、前記フレームの内部に張られた前記フィルムの面を一定の張力で維持するフィルム面支持機構と、
前記フィルム面支持機構の内側にあって、前記接着テープ及び前記基板を冷却する冷却テーブルと、
前記フレーム支持手段と前記フィルム面支持機構との間に介在され、分割される前記チップのX方向とY方向に対応して、円周方向において独立してフィルムの張力を選択的に調整するフィルム押圧手段と
を備えることを特徴とするチップ分割離間装置。 - 異方性を有するフィルムに貼り付け支持された基板をチップに分割するためのチップ分割離間方法であって、
フレーム支持手段が前記フィルムの外周をフレームに支持させる第1の工程と、
前記フレーム支持手段の内側に介在されたフィルム面支持機構が、分割される前記チップのX方向とY方向に対応して、前記フィルムに加える張力を前記フィルムのX方向とY方向の張力差を解消するように独立して制御する第2の工程と、
前記フレーム支持手段が、前記フィルム面支持機構に対して相対的に下方へ降下して前記フィルムを伸長させることにより、前記チップを分割離間させる第3の工程と
を含み、
前記フィルム面支持機構は、円周方向において独立した複数の支持機構を備え、該複数の支持機構の相対的な高さを個別に制御して前記フィルムの張力を調整することにより、該フィルムのX方向の伸びとY方向の伸びを独立して制御することを特徴とするチップ分割離間方法。 - フィルムに貼り付け支持された基板をチップに分割するためのチップ分割離間方法であって、
フレーム支持手段が前記フィルムの外周をフレームに支持させる第1の工程と、
前記フレーム支持手段の内側に介在されたフィルム面支持機構が、前記フレームの内部に張られた前記フィルムの面を一定の張力で維持する第2の工程と、
前記フレーム支持手段と前記フィルム面支持機構との間に介在されたフィルム押圧手段が、分割される前記チップのX方向とY方向に対応し、円周方向において独立してフィルムの張力を選択的に調整する第3の工程と
を含むことを特徴とするチップ分割離間方法。 - フィルムに貼り付け支持された基板をチップに分割するためのチップ分割離間方法であって、
フレーム支持手段が前記フィルムの外周をフレームに支持させる第1の工程と、
前記フレーム支持手段の内側に介在されたフィルム面支持機構が、前記フレームの内部に張られた前記フィルムの面を一定の張力で維持する第2の工程と、
フィルム張力調整手段が、分割される前記チップのX方向とY方向に対応して、円周方向において独立してフィルムの張力を調整する第3の工程と、
観察手段が、分割離間された前記チップのX方向の間隔とY方向の間隔を観察する第4の工程と、
前記フィルム張力調整手段が、前記観察手段による前記チップの離間の観察結果に基づいて、X方向、Y方向の少なくとも一方の方向において前記フィルムの張力を調整する第5の工程とを含むことを特徴とするチップ分割離間方法。 - フィルム上に貼り付けられた接着テープの表面に貼り付け支持された基板をチップに分割するためのチップ分割離間方法であって、
フレーム支持手段が前記フィルムの外周をフレームに支持させる第1の工程と、
前記フレーム支持手段の内側に介在されたフィルム面支持機構が、前記フレームの内部に張られた前記フィルムの面を一定の張力で維持する第2の工程と、
前記フィルム面支持機構の内側に介在された冷却テーブルが、前記接着テープ及び前記基板を冷却する第3の工程と、
前記フレーム支持手段と前記フィルム面支持機構との間に介在されたフィルム押圧手段が、分割される前記チップのX方向とY方向に対応し、円周方向において独立してフィルムの張力を選択的に調整する第4の工程と、
を含むことを特徴とするチップ分割離間方法。
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