JP6689023B2 - ブレーク装置 - Google Patents
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Description
2 粘着フィルム
3、3a、3b 枠体
4 枠体押下機構
100 ブレーク装置
101 弾性体
102 押刃
103 支持体
104 枠体押下機構
S スクライブライン
Claims (1)
- 脆性材料基板をあらかじめその一方主面側に形成されてなるスクライブラインからのクラック伸展によって分断するブレーク装置であって、
円形環状の枠体に粘着フィルムが張設されてなり、かつ、前記脆性材料基板の前記一方主面側を前記粘着フィルムに貼付させてなり、前記枠体と前記脆性材料基板が同一平面上に位置する基板保持部材が、上面に載置される弾性体と、
前記基板保持部材が前記弾性体上に載置された状態において前記脆性材料基板の他方主面側に当接可能に設けられた押刃と、
鉛直方向に昇降自在に設けられてなり、下降時に前記枠体と接触して前記枠体を押し下げる枠体押下機構と、
を備え、
前記押刃を前記他方主面側の前記スクライブラインの形成位置に対応する位置に当接させることによって前記脆性材料基板を分断する間、前記枠体押下機構が前記枠体を前記脆性材料基板の前記一方主面よりも下方に押し下げる、
ことを特徴とするブレーク装置。
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