JP2019081252A - 樹脂シートの分断システム - Google Patents
樹脂シートの分断システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019081252A JP2019081252A JP2019002643A JP2019002643A JP2019081252A JP 2019081252 A JP2019081252 A JP 2019081252A JP 2019002643 A JP2019002643 A JP 2019002643A JP 2019002643 A JP2019002643 A JP 2019002643A JP 2019081252 A JP2019081252 A JP 2019081252A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin sheet
- scribing
- adhesive tape
- scribing wheel
- held
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Details Of Cutting Devices (AREA)
- Nonmetal Cutting Devices (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
Abstract
Description
前記粘着テープを下面より押し広げることによって樹脂シートを分離する手段、を有するものである。
14,15,25 モータ
16 テーブル
24 スライドベース
26 送りねじ
27 スクライブヘッド
28 スクライビングホイール
31 ダイシングリング
32 粘着テープ
33 樹脂シート
34 ガラス板
Claims (3)
- 樹脂シートの分断に用いられる分断システムであって、
粘着テープ上にスクライブの対象となる樹脂シートを保持した枠状体を保持するテーブルと、前記テーブルに保持された樹脂シートに対してスクライビングホイールを昇降させるスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドと前記テーブルとを相対的に移動させる相対移動手段と、を具備し、前記樹脂シート上で前記スクライビングホイールを転動させることによって樹脂シートを分断する分断装置、及び
前記粘着テープを下面より押し広げることによって樹脂シートを分離する手段、
を有する樹脂シートの分断システム。 - 前記樹脂シートは、シリコーン樹脂シートである請求項1記載の分断システム。
- 前記スクライビングホイールは、100°以下の刃先角度を有するものである請求項1又は2記載の分断システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019002643A JP2019081252A (ja) | 2019-01-10 | 2019-01-10 | 樹脂シートの分断システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019002643A JP2019081252A (ja) | 2019-01-10 | 2019-01-10 | 樹脂シートの分断システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014067662A Division JP6528356B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 樹脂シートの分断方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020087593A Division JP2020121407A (ja) | 2020-05-19 | 2020-05-19 | 樹脂シート単体の分断システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019081252A true JP2019081252A (ja) | 2019-05-30 |
Family
ID=66669952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019002643A Pending JP2019081252A (ja) | 2019-01-10 | 2019-01-10 | 樹脂シートの分断システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019081252A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009166169A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | カッター装置 |
US20100011925A1 (en) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Sang-Hyung Lim | Mother substrate cutting apparatus, method of cutting a mother substrate using the same and organic light emitting diode display cut thereby |
JP2013033801A (ja) * | 2011-08-01 | 2013-02-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の切削方法 |
JP2013232466A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板吸着装置 |
JP2013239563A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの分割方法 |
JP2014046530A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | カッターホイール並びにその製造方法 |
-
2019
- 2019-01-10 JP JP2019002643A patent/JP2019081252A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009166169A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | カッター装置 |
US20100011925A1 (en) * | 2008-07-16 | 2010-01-21 | Sang-Hyung Lim | Mother substrate cutting apparatus, method of cutting a mother substrate using the same and organic light emitting diode display cut thereby |
JP2013033801A (ja) * | 2011-08-01 | 2013-02-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の切削方法 |
JP2013232466A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板吸着装置 |
JP2013239563A (ja) * | 2012-05-15 | 2013-11-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの分割方法 |
JP2014046530A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | カッターホイール並びにその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102247838B1 (ko) | 수지 시트의 분단 방법 및 분단 장치 | |
JP4739900B2 (ja) | 転着装置及び転着方法 | |
JP4767122B2 (ja) | テープの貼り替え方法及び該テープの貼り替え方法を使用した基板の分割方法 | |
CN105365060B (zh) | 脆性材料基板的分断方法及分断装置 | |
TW201515801A (zh) | 彈性支撐板、斷裂裝置及分斷方法 | |
TW201515802A (zh) | 斷裂裝置及分斷方法 | |
TW201515800A (zh) | 擴展器、斷裂裝置及分斷方法 | |
JP5879698B2 (ja) | 半導体基板のエキスパンド装置およびエキスパンド処理方法 | |
TWI735699B (zh) | 脆性材料基板之分斷方法及分斷裝置 | |
TW201516010A (zh) | 彈性支撐板、斷裂裝置及分斷方法 | |
KR20180111520A (ko) | 수지 시트의 분단 장치 및 분단 방법 | |
JP6528356B2 (ja) | 樹脂シートの分断方法 | |
JP2019081252A (ja) | 樹脂シートの分断システム | |
TW202035323A (zh) | 彎曲基板的劃線裝置以及分割系統 | |
JP5330907B2 (ja) | 脆性材料基板の分断方法 | |
JP2020121407A (ja) | 樹脂シート単体の分断システム | |
KR20160022760A (ko) | 취성재료 기판의 분단방법, 취성재료 기판 분단용의 기판 지지 부재, 및 취성재료 기판의 분단시에 사용하는 점착필름 부착용 프레임체 | |
JP6689023B2 (ja) | ブレーク装置 | |
JP2010184319A (ja) | 切削方法 | |
TW201727814A (zh) | 板狀構件之分割裝置及板狀構件之分割方法 | |
CN109791319A (zh) | 柔性基板的剥离方法和剥离设备 | |
JP2016104578A (ja) | 脆性材料基板の分断装置 | |
TW202104109A (zh) | 脆性材料基板之劃線裝置、劃線方法、分割裝置以及分割方法 | |
KR20180012205A (ko) | 기판 분단 장치 및 기판 분단 방법 | |
JP2014223811A (ja) | 脆性材料基板の分断方法並びに分断装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200117 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200310 |