JP5451720B2 - 基板ブレーク方法 - Google Patents
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Description
2 基板支持板
3 ダイシングフレーム(フィルム圧着機構)
4 弾性フィルム
5 下ブレークバー
6、6a、6b 上ブレークバー
7 開口部
8 位置合わせ用マーク(アライメントマーク)
11 スクライブライン
20 撮像装置
Claims (3)
- スクライブラインが表面に形成されている脆性材料基板を前記スクライブラインに沿ってブレークする基板ブレーク方法において、
前記脆性材料基板を固定する弾性フィルムと、
該弾性フィルムの上方にて上下方向に移動することができるように配設された、前記スクライブラインに沿ってブレークする第1の上ブレークバー及び第2の上ブレークバーと、
前記弾性フィルムの下方にて上下方向に移動することができるように配設された、前記スクライブラインに沿ってブレークする下ブレークバーと
を用いて、
スクライブラインを跨ぐように前記第1の上ブレークバー及び前記第2の上ブレークバーを配置し、前記第1のブレークバーを下降させ、前記下ブレークバーを前記スクライブラインが形成されている側と反対側に前記スクライブラインの位置に下方から上昇させて前記スクライブラインに沿って圧着させ、前記脆性材料基板を前記第1の上ブレークバー及び前記下ブレークバーの圧力により水平となるように調整し、前記下ブレークバーと前記第1の上ブレークバーとで前記脆性材料基板を挟んだ状態で前記第2の上ブレークバーにてブレークするブレーク動作を実行した後、
前記第1の上ブレークバー及び前記第2の上ブレークバーを上昇並びに前記下ブレークバーを下降させた後、次のスクライブラインが前記下ブレークバーの直上になるまで前記脆性材料基板をピッチ移動させ、前記ブレーク動作を実行することを特徴とする基板ブレーク方法。 - 前記脆性材料基板がLTCC基板であることを特徴とする請求項1記載の基板ブレーク方法。
- 前記弾性フィルムがダイシングフレームを用いて開帳されている請求項1記載の基板ブレーク方法。
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