JP7340838B2 - ウエハーのブレイク方法並びにブレイク装置 - Google Patents
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Description
このようにして、上方からブレイクバーをスクライブラインS1に向かって押し下げることにより、基板Wを左右の受刃との間で3点支持曲げ方式により撓ませて先ずX方向のスクライブラインS1に沿ってブレイクして長尺状の基板に分断し、次いで、同様な手段によりY方向のスクライブラインS2に沿ってブレイクして方形状または矩形状のチップに分断している。
ここで、前記ダイシングテープ並びに被覆テープは、リング状のダイシングフレイムに保持するようにするのがよい。
これにより、ウエハーをダイシングテープと被覆テープとの間で真空パックのように挟み付けて更に安定よく固定保持することが可能となる。
上記の被覆テープ3をガラスウエハーWに貼り付けるには、例えば図2(b)に示すように、被覆テープ貼り付け装置Aの台盤7上にガラスウエハーWを載置し、その上面に粘着面を下向きにして被覆テープ3を載置し、その上方から押し型8で軽く押しつけることにより行うことができる。
次いで、上方から先端を細くしたブレイクバー6をスクライブラインS1に向かって押し下げることにより、基板Wを受刃5、5の間で三点支持曲げ方式により撓ませて先ずX方向のスクライブラインS1に沿ってブレイクして長尺状の基板に分断する。次いで、テーブル4を90度回転させて、上記と同様な手段によりY方向のスクライブラインS2をブレイクして1.25mm四方のチップに分断する。尚、上記した受け刃とブレイクバーによる3点支持曲げ方式のブレイク手段は周知であるので、ここではブレイクバー昇降機構などの詳細な説明は省略する。
特に、ガラスウェハーWをX方向スクライブラインS1に沿って分断された長尺状の基板を、Y方向のスクライブラインS2に沿ってブレイクする際に、従来では長尺状基板のX方向に沿った左右両辺が切り離されていることで基板が不安定となり、「ソゲ」や「カケ」などの不具合が多発していたが、本発明方法では安定した固定保持により上記のような不具合の発生を抑制して高品質のチップを得ることができる。
更に、分断されるチップの形状は方形に限らず、矩形状であってもよいことは勿論である。
また、(微細孔加工のアスペクト比(深さZ/穴径D)と同様の)加工の困難さに関係するY/Z比(基板厚さ(Z方向)と、長尺状基板に切り出した後にブレイクする側であるY方向の長さとの比)は、1.5/1~3/1の範囲で選択される。一般に、このY/Z比が3以下になると加工の困難度が増し、従来の基板固定方法(片面は粘着テープ貼り付けで固定、片面は保護フィルムのみ)ではソゲが多発し、加工品質が悪くなっていたが、本発明方法の採用により3以下でもソゲを大きく低減することができ、加工品質を向上させることが可能となった。
また、上記実施例では、左右一対の受け刃とブレイクバー(ブレイクプレートともいう)とによる3点支持曲げ方式で基板を撓ませてブレイクするようにしたが、受け刃に代えてクッション材を基板下方に配置してブレイクバーの押付により基板を撓ませるようにすることも可能である。また、ガラスウェハーに代えてシリコンウェハーであってもよい。
その他本発明では、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
S2 Y方向のスクライブライン
A 被覆テープ貼り付け装置
B ブレイク装置
W ウエハー
1 ダイシングフレイム
2 ダイシングテープ
3 被覆テープ
4 テーブル
5 受刃
6 ブレイクバー
Claims (4)
- ウエハーの片面に互いに直交するX方向、Y方向の格子状のスクライブラインが加工され、厚さ方向がZ方向とされ、粘着性のあるダイシングテープに貼り付けて固定されたウエハーのブレイク方法であって、
前記スクライブラインは、前記ウエハーをX方向のスクライブラインに沿ってブレイクした後でY方向のスクライブラインに沿ってブレイクする前の長尺状基板のときに前記ウエハーの基板厚さであるZ方向長さとY方向の長さとの比であるY/Z比が1.5/1~3/1となるようにY方向のスクライブライン幅が加工され、
前記ウエハーのブレイクに先立って、当該ウエハーの前記ダイシングテープを貼り付けた面とは反対側の面に粘着性のある被覆テープを貼り付けて、前記ウエハーを前記被覆テープと前記ダイシングテープとによって上下両面から挟みつけて固定し、
次いで、前記スクライブラインを形成した面とは反対側の面の上方からブレイクバーを押しつけてウエハーを撓ませることにより、前記スクライブラインに沿ってウエハーをブレイクするようにしたウエハーのブレイク方法。 - 前記被覆テープは、前記ウエハーの周囲を取り囲むようにリング状の接合部分を介して前記ダイシングテープに接合されている請求項1に記載のウエハーのブレイク方法。
- 前記ダイシングテープ並びに被覆テープが、リング状のダイシングフレイムに保持されている請求項1または請求項2に記載のウエハーのブレイク方法。
- 前記被覆テープが、ウエハーの前記スクライブラインを形成した面に貼り付けられている請求項1~請求項3の何れかに記載のウエハーのブレイク方法。
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