JP6078107B2 - 脆性材料基板のブレイク装置 - Google Patents
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Description
まず、図5(a)に示すように、スクライブ装置のテーブル40上に脆性材料の加工基板Wを載置し、その表面にカッターホイール41を用いてスクライブラインSを形成する。
次いで、図5(b)に示すように、弾性体のクッションシート43が敷かれたブレイク装置のテーブル42上に加工基板Wを載置する。このとき加工基板WのスクライブラインSを形成した表面(表面側)をクッションシート43側に向け、反対側の表面(裏面側)が上面となるように反転させる。
そして下向きとなったスクライブラインSの上方から、スクライブラインSに沿って細長く延びる板状のブレイクバー44を下降させて加工基板Wの裏面側から押圧し、加工基板Wをクッションシート43上で僅かにV字状に撓ませることにより、スクライブラインS(クラック)を深さ方向に浸透させるブレイクを行う。これにより加工基板WはスクライブラインSに沿って分断される。
ない場合がある。
図2は、基板表面に突部が格子状に形成された加工基板Wを示す斜視図(図2(a))と隣接する突部を横断する面での断面図(図2(b))である。このような基板としては、基板自体に突部が形成されている場合の他に、例えば、突部となる樹脂製キャップが固着された状態で分断されるLED用マザー基板がある。
LED用のマザー基板が加工基板Wである場合、例えばアルミナセラミック基板11上に、正方格子状に素子(LED)Eが埋め込むように形成され、各素子Eの上にシリコーン樹脂製のシート面12とキャップ(突部)13とが一体に形成された樹脂部品14を固着するようにして素子Eを封止してある。隣接するキャップ13の間隔L1は0.5mm〜2.5mm程度の幅にしてあり、樹脂部品14の厚さL2は0.5mm〜2mm程度、セラミック基板11の厚さL3は0.3mm〜1mmである。
なお、以下の説明では突部を有する面を基板表面側とし、反対側を裏面側とする。
また、できるだけ位置決めが簡単なブレイク方法を提供することを目的とする。
あるいは、弾性シートは透明材料からなり、テーブルも透明材料であるのが好ましい。例えばガラス製のテーブルとすることが好ましい。
このようにすれば、テーブル側からスクライブ溝を見ることができるので、直接スクライブ溝を利用して簡単に正確な位置決めができる。
前記弾性シートが不透明材料である場合は、スクライブ溝を観察するための開口等が形成されたものを使用することができる。開口等は、スクライブ溝の少なくとも一部をテーブル側から観察できるような形状、大きさの開口部を形成したものでよく、また、弾性シートの端部を切り欠いてスクライブ溝の端部を観察できるようにしたものでもよい。
また、前記支持手段が2以上に分割されたテーブル、複数(通常は2個)の棒状部材または板状部材(例えば、ブレイクバー)である場合は、複数の部材(分割されたテーブル、棒状部材、板状部材等)の間隙から、スクライブ溝を観察するようにしてもよい。
図1は本発明のブレイク方法を含む分断加工の手順の一例を説明するための図である。
ここでは図2で示したLED用の加工基板Wを加工する場合について説明する。
また、セラミック基板11にスクライブ溝Sを形成する前に、樹脂部品14のシート面12における少なくともセラミック基板11に形成しようとするスクライブ溝Sに相当する部分(スクライブ溝Sに沿った部分)を除去した後にセラミック基板11にスクライブ溝Sを形成するようにしてもよい。樹脂部品を除去する方法としては、例えば、樹脂部品14の種類等に応じて、ダイシング(ダイヤモンドソー等を使用した切削)、レーザ光照射による除去等を採用することができる。
図3は弾性シートの一例を示す斜視図である。弾性シート16は、透明材料、例えば高透明シリコーンゴムでできており、内部を透過して反対側を視認することができるようになっている。なお凹部15は、キャップ13の頂部のみが弾性シート16と接触するのを防止できる形状、大きさであればよく、図3では貫通孔としたが、有底穴であってもよく、有底穴である場合は、キャップ13の破損を防止する効果の点より、キャップ13を埋め込んだときに、キャップ13の頂部の上に空間が形成される深さのある有底穴とするのがよい。
加工基板Wは反転され、弾性シート16がテーブル21に接するようにしてブレイク装置に載置される。
ブレイク装置のテーブル21には、ブレイクバー22の真下の位置に、位置確認用の開口23が形成してある。この開口23を介して弾性シート16を見ることができ、弾性シート23自体は透明材料で形成されているので、スクライブ溝Sの位置が、テーブル21の下に設けたカメラ等(不図示)により、弾性シート16および開口23を介して確認することができるようになっている。
位置合わせができた状態でブレイクバー22を下降してブレイク加工を行う。このときブレイクバー22の押圧力が加わるとセラミック基板11、樹脂部品14のシート面12、弾性シート16には荷重が伝達されるが、樹脂部品14のキャップ13は凹部15の空間内に入っており、テーブル21に接していないので荷重が加わることはない。
したがってキャップ13を破損することなくスクライブ溝Sに沿ってブレイクすることができる。
例えば、上記実施形態ではテーブルに位置確認用の開口23を設けたが、これに代えてテーブル21自体をガラス製にして透明にしてもよい。
また、上記実施形態はLED用のマザー基板の分断加工について説明したが、はんだボールやバンプ付きの基板についても同様のブレイク方法を適用することができる。
S スクライブ溝
11 セラミック基板
12 シート面
13 キャップ(突部)
14 樹脂部品
15 凹部(貫通孔または有底穴)
16 弾性シート
21 テーブル(支持手段)
22 ブレイクバー
23 開口
Claims (3)
- 基板表面から突出する突部が格子状に形成された脆性材料基板を、前記基板表面の隣接する突部の間に形成されたスクライブ溝に沿って当該基板の裏面側からブレイクバーで押圧することによりブレイクするブレイク装置であって、
前記各突部の位置に対応する格子状の凹部が形成された弾性シートが支持手段に接するようにして当該支持手段上に載置され、
前記各突部が前記弾性シートの凹部に埋まるように載置される脆性材料基板を当該基板の裏面側から押圧するブレイクバーを有する脆性材料基板のブレイク装置。 - 前記弾性シートは透明材料からなり、前記支持手段はブレイクバーの直下にスクライブ溝を可視化するための開口が形成されているテーブルである請求項1に記載のブレイク装置。
- 前記弾性シートは透明材料からなり、前記支持手段も透明材料からなるテーブルである請求項1に記載のブレイク装置。
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