JP2015062257A - 脆性材料基板のブレイク用治具及びブレイク方法 - Google Patents
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Abstract
Description
11 機能領域
Sx1〜Sxm,Sy1〜Syn スクライブライン
20 ブレイク用治具
21 保護穴
22 貫通孔
23−1〜23−n,24−1〜24−m 溝
30 粘着テープ
33 ブレイクバー
Claims (3)
- 脆性材料基板をブレイクするブレイク方法であって、
前記脆性材料基板の一方の面に、縦方向及び横方向に格子状にスクライブラインを形成し、
前記脆性材料基板の格子状のスクライブラインと同一ピッチで溝を格子状に形成したブレイク用治具を用いて、該ブレイク用治具の格子状の溝の中心に脆性材料基板のスクライブラインが位置するように脆性材料基板と前記ブレイク用治具とを接触させ、
前記脆性材料基板のスクライブラインが形成されていない面よりスクライブラインに沿ってブレイクバーを押し当ててブレイクする脆性材料基板のブレイク方法。 - 一方の面に格子状に形成されたスクライブラインを有する脆性材料基板をブレイクするブレイク用治具であって、
前記脆性材料基板の格子状のスクライブラインと同一ピッチで格子状に形成された溝を有するブレイク用治具。 - 前記ブレイク用治具は、前記溝の両端にスクライブライン確認用の少なくとも2つの貫通孔を更に有する請求項2記載のブレイク用治具。
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