JP2014107518A - 脆性材料基板のスクライブ用治具、スクライブ方法及び分断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】脆性材料基板である半導体ウエハ10をスクライブする際に、平板状のスクライブ用治具20を用いる。スクライブ用治具20は半導体ウエハ10のスクライブ予定ラインのピッチと同一ピッチの格子状の領域の中心に夫々保護穴21を有している。そして治具20の保護穴21に半導体ウエハ10の機能領域が対応するように位置合わせを行って接触させ、スクライブ予定ラインに沿ってスクライブする。こうすればスクライブ時に機能領域11がスクライブ用治具20に直接接触しないので、機能領域を損傷することなく半導体ウエハ10をスクライブすることができる。
【選択図】図5
Description
10A 機能面
11 基板面
11 機能領域
Sx1〜Sxm,Sy1〜Syn スクライブ予定ライン
20 スクライブ用治具
21 保護穴
22−1〜22−4 ホルダ
30 テーブル
31 スクライビングホイール
Claims (4)
- 一方の面が縦方向及び横方向に整列して形成された多数の機能領域を有する機能面であり、他方の面が基板面である脆性材料基板をスクライブするスクライブ方法であって、
前記脆性材料基板の基板面の格子状のスクライブ予定ラインと同一ピッチの格子状の領域の夫々の中心位置に前記機能領域より大きい保護穴を形成した平板状のスクライブ用治具を用いて、前記脆性材料基板の機能領域が該スクライブ用治具の保護穴に含まれるように脆性材料基板の機能面と前記スクライブ用治具とを接触させ、
前記脆性材料基板の基板面より、前記スクライブ予定ラインに沿って格子状にスクライブラインを形成する脆性材料基板のスクライブ方法。 - 一方の面が縦方向及び横方向に整列して形成された多数の機能領域を有する機能面であり、他方の面が基板面である脆性材料基板をスクライブするスクライブ用治具であって、
平板状であり、前記脆性材料基板の格子状のスクライブ予定ラインと同一ピッチの領域の夫々の中心位置に設けられた前記機能領域より大きい保護穴を有するスクライブ用治具。 - 前記脆性材料基板の機能面の機能領域が前記夫々の保護穴に含まれるように前記脆性材料基板を保持する複数のホルダを更に有する請求項2記載のスクライブ用治具。
- 一方の面が縦方向及び横方向に整列して形成された多数の機能領域を有する機能面であり、他方の面が基板面である脆性材料基板をスクライブし、分断する分断方法であって、
前記脆性材料基板の基板面の格子状のスクライブ予定ラインと同一ピッチの格子状の領域の夫々の中心位置に前記機能領域より大きい保護穴を形成した平板状のスクライブ用治具を用いて、前記脆性材料基板の機能領域が該スクライブ用治具の保護穴に含まれるように脆性材料基板の機能面と前記スクライブ用治具とを接触させ、
前記脆性材料基板の基板面より、前記スクライブ予定ラインに沿って格子状にスクライブラインを形成し、
前記スクライブされた脆性材料基板を反転させ、形成されたスクライブラインに沿ってブレイクすることによって分断する脆性材料基板の分断方法。
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